專利名稱：高架地板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型實(shí)用新型涉及一種高架地板(raised floor)，尤其涉及一種裝設(shè)在無(wú) 塵室的高架地板。
背景技術(shù)：
隨著科技的進(jìn)步，在高制造質(zhì)量的需求下，無(wú)塵室(clean room)的要求標(biāo)準(zhǔn)越來(lái) 越高。無(wú)塵室更是半導(dǎo)體制造業(yè)不可或缺的重要設(shè)施，且與產(chǎn)品的質(zhì)量、可靠性及良率息息 相關(guān)。 承上所述，目前亂流型側(cè)回風(fēng)式無(wú)塵室的地板多是先在自平水泥地板涂布一層具 防水功能的環(huán)氧(印oxy)材料層，若有自動(dòng)行走車(AGV)行走的需求則再于環(huán)氧材料層上 鋪設(shè)厚度較厚的鐵板，并通過(guò)螺絲將鐵板螺接于無(wú)塵室地面。其中，隨著半導(dǎo)體制程越來(lái)越 精密，半導(dǎo)體設(shè)備也隨之精密化、自動(dòng)化而有大型化的趨勢(shì)，無(wú)塵室地板的負(fù)荷重量大幅提 升。以面板廠的自動(dòng)行走車為例，大型面板廠之自動(dòng)行走車重約3.2噸以上，自動(dòng)行走車在 鐵板上之運(yùn)行容易對(duì)鐵板造成擠壓，造成鐵板凹陷。因此，面板廠常需更換鐵板，以保持無(wú) 塵室地板的平整度。 然而，在更換鐵板時(shí)，也需連帶地移除涂布于地板的環(huán)氧材料層，此移除作業(yè)會(huì)產(chǎn) 生大量粉塵，并會(huì)對(duì)無(wú)塵室造成污染，且此移除作業(yè)需較長(zhǎng)的施工時(shí)間。如此，不僅影響無(wú) 塵室之作業(yè)環(huán)境，也影響到無(wú)塵室的生產(chǎn)效率。另一方面，由于鐵板與環(huán)氧材料層有不同的 材料特性，鐵板與環(huán)氧材料層的組裝精度不佳，且鐵板與環(huán)氧材料層的接觸面容易有間隙 存在，更容易導(dǎo)致無(wú)塵室地板在自動(dòng)行走車運(yùn)行之后產(chǎn)生平整度不佳的情況。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種高架地板，其有較佳的組裝精度。 本實(shí)用新型提供一種高架地板，其后續(xù)維護(hù)時(shí)有較佳的擴(kuò)充性、較低之施工成本 及較短之施工時(shí)間。 本實(shí)用新型提出一種高架地板，其適于裝設(shè)在無(wú)塵室，此高架地板包括多個(gè)適于 架設(shè)于無(wú)塵室地面的地板支撐架、一第一支撐板件及一第二支撐板件。其中，第一支撐板件 配置于這些地板支撐架上，以與地面距離一預(yù)定高度。第二支撐板件則配置于第一支撐板 件上，且第二支撐板件的厚度小于第一支撐板件的厚度。 在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，每一個(gè)地板支撐架包括一支撐部與一承載部，支撐 部固定于無(wú)塵室地面，而第一支撐板件固定于承載部。 在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，高架地板更包括至少一調(diào)整墊片，配置于每一個(gè)地 板支撐架與無(wú)塵室地面之間。 在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，高架地板更包括多個(gè)第一固定螺栓，螺接于地板支 撐架與無(wú)塵室地面之間。 在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，高架地板更包括多個(gè)第二固定螺栓，螺接于第一支撐板件與第二支撐板件之間。 在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，高架地板更包括多個(gè)第三固定螺栓，螺接于第一支 撐板件、第二支撐板件以及地板支撐架之間。 在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一支撐板件的材質(zhì)為鋼。 在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第二支撐板件的材質(zhì)為不銹鋼。 基于上述，本實(shí)用新型是在地板支撐架上鋪設(shè)一第一支撐板件以及一厚度小于該 第一支撐板件厚度的第二支撐板件。其中，由于第一支撐板件與第二支撐板件的材質(zhì)相同， 因此第一支撐板件與第二支撐板件間有良好的接觸關(guān)系，進(jìn)而使得本實(shí)用新型的高架地板 有較佳的平整性。此外，在進(jìn)行無(wú)塵室地板之后續(xù)維護(hù)工程時(shí)，僅需更換厚度較薄的第二支 撐板件。如此，能有效地縮短施工時(shí)間，且不易造成大量的粉塵污染。 為讓本實(shí)用新型的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合 所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下。

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例的高架地板的示意圖； 圖2為本實(shí)用新型另一實(shí)施例的高架地板的示意圖。
具體實(shí)施方式由于無(wú)塵室內(nèi)之機(jī)臺(tái)有大型化的趨勢(shì)，因此本實(shí)用新型提出一種高架地板，其可 提供較高的承載力、穩(wěn)定性以及后續(xù)維護(hù)的擴(kuò)充性以滿足無(wú)塵室的需求。 圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例的高架地板的示意圖。請(qǐng)參考圖l，本實(shí)施例的高架 地板100適于裝設(shè)在亂流型側(cè)回風(fēng)式無(wú)塵室。高架地板100主要包括多個(gè)適于架設(shè)于無(wú)塵 室地面G的地板支撐架110、一第一支撐板件120及一第二支撐板件130。其中，地板支撐 架110、第一支撐板件120及第二支撐板件130的材質(zhì)例如是鋼或是其他硬度較高的剛性 材質(zhì)。此外，每一個(gè)地板支撐架110例如是由一承載部112與一支撐部114所組成，支撐部 114是固定于無(wú)塵室地面G，第一支撐板件120則是固定于承載部112，而第二支撐板件130 則是配置于第一支撐板件120上。 承上所述，本實(shí)用新型例如是先通過(guò)多個(gè)第一固定螺栓140來(lái)將地板支撐架110 固定于無(wú)塵室地面G。其中，第一固定螺栓140是穿過(guò)地板支撐架110的支撐部114，并鎖 固于無(wú)塵室地面G。此外，第一支撐板件120與第二支撐板件130例如是預(yù)先通過(guò)多個(gè)第二 固定螺栓150來(lái)相互結(jié)合。之后，第一支撐板件120與第二支撐板件130之組合再鋪設(shè)至 地板支撐架110上，并藉由多個(gè)第三固定螺栓160來(lái)固定于支撐架110的承載部112。 在本實(shí)施例中，第二支撐板件130的厚度小于第一支撐板件120的厚度。第一支 撐板件120例如是厚度為10t的鋼板(lt = lmm)，而第二支撐板件130例如是厚度為2t的 不銹鋼板。此外，配置于這些地板支撐架110上的第一支撐板件120與地面距離一預(yù)定高 度H，第一支撐板件120下方的空間可作為機(jī)臺(tái)之布線空間S。預(yù)定高度H的高低視無(wú)塵室 的設(shè)計(jì)而定，本實(shí)用新型在此并不做任何限制。另外，本實(shí)用新型在此僅限制第二支撐板件 130的厚度小于第一支撐板件120的厚度，至于第一支撐板件120與第二支撐板件130的實(shí) 際厚度，本實(shí)用新型在此也不做任何限制。[0023] 值得一提的是，由于第一支撐板件120與第二支撐板件130的材質(zhì)均為剛性較佳 的材質(zhì)，因此第一支撐板件120與第二支撐板件130間有良好的接觸關(guān)系，即第一支撐板件 120與第二支撐板件130間有良好的組裝精度，進(jìn)而提升高架地板100之承載力及穩(wěn)定性， 使得高架地板100在長(zhǎng)時(shí)間承載機(jī)臺(tái)或其他重量較重之移動(dòng)載具后仍有足夠的平整度。 另一方面，如無(wú)塵室欲進(jìn)行地板維護(hù)作業(yè)，以更進(jìn)一步提升高架地板100的平整 度時(shí)，維護(hù)人員僅需移除厚度較薄的第二支撐板件130，并更換平整度更為良好額另一第二 支撐板件130即可。相較于現(xiàn)有技術(shù)在每次進(jìn)行地板維護(hù)作業(yè)時(shí)均需將整個(gè)環(huán)氧材料層以 及鋪設(shè)于環(huán)氧材料層上厚度較厚的鐵板移除，而導(dǎo)致大量粉塵，本實(shí)用新型的維護(hù)作業(yè)并 不會(huì)造成大量的粉塵污染。因此，應(yīng)用本實(shí)用新型高架地板100的無(wú)塵室在進(jìn)行地板維護(hù) 作業(yè)時(shí)仍能維持適當(dāng)?shù)淖鳂I(yè)環(huán)境質(zhì)量。此外，上述地板維護(hù)作業(yè)能有效地縮短施工時(shí)間，進(jìn) 而提升無(wú)塵室的生產(chǎn)效率。 再者，相較于習(xí)知技術(shù)在每次進(jìn)行地板維護(hù)作業(yè)時(shí)需將鋪設(shè)于環(huán)氧材料層上的整 個(gè)鐵板移除，本實(shí)用新型在進(jìn)一步提升高架地板100的平整度時(shí)，由于維護(hù)人員僅需移除 厚度較薄的第二支撐板件130，第二支撐板件130之厚度較現(xiàn)有技術(shù)的鐵板薄，第二支撐板 件130的成本即較低廉，因此本實(shí)用新型即有較低額施工成本。此外，本實(shí)用新型的高架地 板也可方便無(wú)塵室的地板進(jìn)行任何擴(kuò)充作業(yè)。 圖2為本實(shí)用新型另一實(shí)施例的高架地板的示意圖。請(qǐng)參考圖2，本實(shí)施例的高架 地板200與上述實(shí)施例的高架地板100相似，二者差異在于本實(shí)施例的高架地板200更包 括多個(gè)調(diào)整墊片210，每一調(diào)整墊片210分別配置于所對(duì)應(yīng)的地板支撐架110與無(wú)塵室地面 G之間。除此之外，并無(wú)任何差異。詳細(xì)地說(shuō)，高架地板200可通過(guò)調(diào)整墊片210來(lái)調(diào)整預(yù) 定高度H'之大小，以使高架地板200能符合各家廠商的無(wú)塵室設(shè)計(jì)。當(dāng)然，本實(shí)施例的其 他優(yōu)點(diǎn)與上述實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)相同，故在此并不做任何贅述。 雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許之更 動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型之保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種高架地板，適于裝設(shè)在無(wú)塵室，其特征在于，包括多個(gè)地板支撐架，適于架設(shè)于無(wú)塵室地面；一第一支撐板件，配置于該些地板支撐架上，以與地面距離一預(yù)定高度；以及一第二支撐板件，配置于該第一支撐板件上，其中該第二支撐板件的厚度小于該第一支撐板件的厚度。
2. 如權(quán)利要求1所述的高架地板，其特征在于，其中各該地板支撐架包括一支撐部與 一承載部，該支撐部固定于無(wú)塵室地面，而該第一支撐板件固定于各該承載部。
3. 如權(quán)利要求1所述的高架地板，其特征在于，更包括至少一調(diào)整墊片，配置于各該地 板支撐架與無(wú)塵室地面之間。
4. 如權(quán)利要求1所述的高架地板，其特征在于，更包括多個(gè)第一固定螺栓，螺接于該地 板支撐架與無(wú)塵室地面之間。
5. 如權(quán)利要求1所述的高架地板，其特征在于，更包括多個(gè)第二固定螺栓，螺接于該第 一支撐板件與該第二支撐板件之間。
6. 如權(quán)利要求1所述的高架地板，其特征在于，更包括多個(gè)第三固定螺栓，螺接于該第 一支撐板件、該第二支撐板件以及該地板支撐架之間。
7. 如權(quán)利要求1所述的高架地板，其特征在于，其中第一支撐板件的材質(zhì)為鋼。
8. 如權(quán)利要求1所述的高架地板，其特征在于，其中第二支撐板件的材質(zhì)為不銹鋼。
專利摘要一種高架地板，其適于裝設(shè)在無(wú)塵室，此高架地板包括多個(gè)適于架設(shè)于無(wú)塵室地面的地板支撐架、一第一支撐板件及一第二支撐板件。其中，第一支撐板件配置于這些地板支撐架上，以與地面距離一預(yù)定高度。第二支撐板件則配置于第一支撐板件上，且第二支撐板件的厚度小于第一支撐板件的厚度。
文檔編號(hào)E04F15/02GK201531097SQ20092006939
公開(kāi)日2010年7月21日 申請(qǐng)日期2009年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月25日
發(fā)明者林志成 申請(qǐng)人:華映視訊(吳江)有限公司;中華映管股份有限公司