專利名稱：一種切割硅片用夾具的夾緊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種夾緊裝置，特別涉及一種切割硅片用夾具的夾緊裝置，屬于硅片 加工工具的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
硅片加工前，要先將硅晶板切割分體成塊狀?，F(xiàn)有的硅片切割設(shè)備中，對(duì)硅晶板 的夾緊方式，普遍采用固定氣缸夾緊、移動(dòng)氣缸夾緊或無桿氣缸夾緊等方式。上述夾緊方 式中，固定夾緊方式應(yīng)用最為普遍，但其成本高；無桿氣缸移動(dòng)速度慢，且由于是單邊夾緊， 夾緊力不均勻，容易使硅晶板劃損，且出現(xiàn)加工的硅晶塊不規(guī)范，如切縫與表面不垂直等現(xiàn) 象；移動(dòng)氣缸夾緊雖然克服了上述現(xiàn)象，但存在成本高的問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種夾緊力均勻，成本低廉的切割硅片用夾具 的夾緊裝置。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明一種切割硅片用夾具的夾緊裝置，包括固定塊、夾 緊塊、第一夾緊構(gòu)件、第二夾緊構(gòu)件，所述夾緊塊可活動(dòng)的設(shè)置在所述固定塊內(nèi)，所述第一 夾緊構(gòu)件一端縱向穿過所述固定塊一端，并與所述固定塊螺紋連接成一體；所述第二夾緊 構(gòu)件一端橫向插入所述固定塊另一端，并與所述固定塊螺紋連接；所述第二夾緊構(gòu)件一端 的凸緣與所述夾緊塊一端的凹槽相配合，且所述凸緣外周面與所述凹槽的內(nèi)周面間隙配合。上述一種切割硅片用夾具的夾緊裝置，其中，所述凹槽底面與所述凸緣的端面之 間設(shè)有滾珠。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)以下有益效果1、由于本發(fā)明包括固定架、設(shè)置在所述固定架上的夾緊裝置，所述夾緊裝置包括 固定塊、夾緊塊、第一夾緊構(gòu)件、第二夾緊構(gòu)件，夾緊時(shí)，將夾緊裝置移到適當(dāng)位置，將第一 夾緊構(gòu)件擰緊，通過第一夾緊構(gòu)件的端面壓緊在固定架上，將夾緊裝置定位；再擰動(dòng)第二夾 緊構(gòu)件，通過第二夾緊構(gòu)件推動(dòng)夾緊塊，將硅晶板夾緊；拆卸時(shí)，只要將第二夾緊構(gòu)件反向 擰動(dòng)，將夾緊塊向后移動(dòng)，將硅晶板松開即可，因此，本發(fā)明使用比較方便，且夾緊由人工操 作，夾緊力均勻，避免將硅晶片夾壞；且當(dāng)單個(gè)夾緊裝置損壞后，可個(gè)別更換，大大降低了成 本；另外，本發(fā)明由少數(shù)零部件組成，成本低廉。2、由于所述凹槽底面與所述凸緣的端面之間設(shè)有滾珠，當(dāng)?shù)诙A緊構(gòu)件轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)， 第二夾緊構(gòu)件與夾緊塊的摩擦為滾動(dòng)摩擦，摩擦力較小，避免第二夾緊構(gòu)件及夾緊塊的損 壞，從而，延長了夾具的使用壽命。

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。[0010]圖2是本發(fā)明固定塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。如圖所示，為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明一種切割硅片用夾具，包括固定塊21、 夾緊塊22、第一夾緊構(gòu)件23、第二夾緊構(gòu)件M，第一夾緊構(gòu)件23為桿件，桿件的外周面上 設(shè)有外螺紋；固定塊21為整體構(gòu)件，固定塊21表面上設(shè)有第一槽211，該第一槽211與固 定架相連，固定塊21 —端設(shè)有安裝夾緊塊22的通道212及安裝第二夾緊構(gòu)件M的橫向 螺紋孔214、通道212與螺紋孔214相通，固定塊21的另一端設(shè)有安裝第一夾緊構(gòu)件23的 縱向通孔213，縱向通孔213的內(nèi)周面上設(shè)有內(nèi)螺紋；第二夾緊構(gòu)件M為桿件，該桿件外周 面上設(shè)有外螺紋，桿件的一端設(shè)有凸緣Ml ；夾緊塊22為長方形塊狀構(gòu)件，夾緊塊22的一 端設(shè)有凹槽221，所述夾緊塊22設(shè)置在所述固定塊21內(nèi)，夾緊塊22與固定塊21可活動(dòng)連 接，所述第一夾緊構(gòu)件23 —端穿過所述固定塊21 —端的縱向通孔213，并與所述固定塊21 螺紋連接成一體；所述第二夾緊構(gòu)件M—端插入所述固定塊21的螺紋孔內(nèi)，并與所述固定 塊螺紋連接；所述第二夾緊構(gòu)件M —端的凸緣241與所述夾緊塊22 —端的凹槽221相配 合，且所述凸緣241外周面與所述凹槽221的內(nèi)周面間隙配合。本發(fā)明使用比較方便，且夾 緊由人工操作，夾緊力均勻，避免將硅晶片夾壞；且當(dāng)單個(gè)夾緊裝置損壞后，可個(gè)別更換，大 大降低了成本；另外，本發(fā)明由少數(shù)零部件組成，成本低廉。為了延長本發(fā)明的使用壽命，可在所述凹槽221底面與所述凸緣Ml的端面之間 設(shè)有滾珠25，由于所述凹槽221底面與所述凸緣Ml的端面之間設(shè)有滾珠25，當(dāng)?shù)诙A緊 構(gòu)件M轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第二夾緊構(gòu)件M與夾緊塊22的摩擦為滾動(dòng)摩擦，摩擦力較小，避免第二夾 緊構(gòu)件M及夾緊塊22的損壞，從而，延長了夾具的使用壽命。夾緊時(shí)，將固定塊21移到適當(dāng)位置，將第一夾緊構(gòu)件23擰緊，通過第一夾緊構(gòu)件 23的端面壓緊在固定架上，將夾緊裝置定位；再擰動(dòng)第二夾緊構(gòu)件M，通過第二夾緊構(gòu)件 24推動(dòng)夾緊塊22，將硅晶板夾緊；拆卸時(shí)，只要將第二夾緊構(gòu)件M反向擰動(dòng)，將夾緊塊22 向后移動(dòng)，將硅晶板松開即可，綜上所述，本發(fā)明具有夾緊力均勻，成本低廉、安裝方便、靈活且結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點(diǎn)。這里本發(fā)明的描述和應(yīng)用是說明性的，并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實(shí)施例 中，因此，本發(fā)明不受本實(shí)施例的限制，任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均在本發(fā)明保護(hù) 的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種切割硅片用夾具的夾緊裝置，其特征在于，包括固定塊、夾緊塊、第一夾緊構(gòu)件、 第二夾緊構(gòu)件，所述夾緊塊可活動(dòng)的設(shè)置在所述固定塊內(nèi)，所述第一夾緊構(gòu)件一端縱向穿 過所述固定塊一端，并與所述固定塊螺紋連接成一體；所述第二夾緊構(gòu)件一端橫向插入所 述固定塊另一端，并與所述固定塊螺紋連接；所述第二夾緊構(gòu)件一端的凸緣與所述夾緊塊 一端的凹槽相配合，且所述凸緣外周面與所述凹槽的內(nèi)周面間隙配合。
2.如權(quán)利要求1所述一種切割硅片用夾具的夾緊裝置，其特征在于，所述凹槽底面與 所述凸緣的端面之間設(shè)有滾珠。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種切割硅片用夾具的夾緊裝置，包括固定塊、夾緊塊、第一夾緊構(gòu)件、第二夾緊構(gòu)件，夾緊塊可活動(dòng)的設(shè)置在所述固定塊內(nèi)，第一夾緊構(gòu)件一端縱向穿過固定塊一端，并與固定塊螺紋連接成一體；第二夾緊構(gòu)件一端橫向插入所述固定塊另一端，并與固定塊螺紋連接；第二夾緊構(gòu)件一端的凸緣與所述夾緊塊一端的凹槽相配合，且凸緣外周面與凹槽的內(nèi)周面間隙配合，本夾具使用比較方便，且夾緊由人工操作，夾緊力均勻，避免將硅晶片夾壞；且當(dāng)單個(gè)夾緊裝置損壞后，可個(gè)別更換，大大降低了成本。
文檔編號(hào)B28D7/04GK201863309SQ20102057683
公開日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2010年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月25日
發(fā)明者聶金根 申請(qǐng)人:鎮(zhèn)江市港南電子有限公司