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      線切方機進線出線裝置的制作方法

      文檔序號:1872485閱讀:194來源:國知局
      專利名稱:線切方機進線出線裝置的制作方法
      技術領域
      本實用新型涉及晶硅加工設備技術領域,特別涉及一種線切方機進線出線裝置。
      背景技術
      線切方機是晶硅加工的關鍵設備之一。與傳統(tǒng)的鋸帶式切方機相比較,線切方機極大地提高了晶硅的加工效率。在切割晶硅的過程中,金剛石切割線做高速直線往復運動,以保證線切方機較高的加工效率和加工性能。然而,現(xiàn)有的線切方機進線出線裝置結構較為復雜,致使金剛石切割線的收線速度與送線速度可能不一致,進而導致金剛石切割線斷線或切割事故發(fā)生。

      發(fā)明內容有鑒于此,有必要提供一種結構簡單且能保證金剛石切割線的收線速度與送線速度一致的線切方機進線出線裝置。一種線切方機進線出線裝置,其包括機座板、第一繞線機構組、第二繞線機構組及張カ檢測設備。第一繞線機構組、第二繞線機構組及張カ檢測設備固定在機座板上,張カ檢測設備位于第一繞線機構組、第二繞線機構組之間,且張力檢測設備靠近機座板的上邊緣。第一繞線機構組包括三個第一導線輪、ー個第一排線桿、ー個第一繞線輪、ー個第一張カ臂、兩個第一定位輪,第一繞線輪安裝在機座板上且靠近機座板的下邊緣,在機座板上的位于第一繞線輪的左上方的位置安裝有第一排線桿,第一排線桿上安裝有ー個第一導線輪,且該第一導線輪與機座板面平行,第一排線桿上還安裝有ー個第一定位輪,且該第一定位輪與機座板面垂直,在機座板面上位于第一排線桿上的第一定位輪的正上方位置由下至上依次安裝有另ー個第一定位輪及第ニ個第一導線輪,第一張カ臂安裝在該另ー個第一定位輪及第ニ個第一導線輪之間,且靠近張カ檢測設備,第一張カ臂上安裝有第三個第一導線輪,該第二個第一導線輪、第三個第一導線輪與機座板面平行;第二繞線機構組包括三個第ニ導線輪、ー個第二排線桿、ー個第二繞線輪、ー個第二張カ臂、兩個第二定位輪,第二繞線機構組安裝在機座板上的結構與第一繞線機構組相同,其中在機座板面上位于第二排線桿 上的第二定位輪的正上方的位置,由下至上依次安裝有另ー個第二定位輪及第ニ個第二導線輪,且該第二個第二導線輪靠近張カ檢測設備。利用本實用新型提供的線切方機進線出線裝置,第一繞線機構組、第二繞線機構組及張カ檢測設備固定在機座板上,張カ檢測設備位于第一繞線機構組、第二繞線機構組之間,且張力檢測設備靠近機座板的上邊緣,第一繞線機構組、第二繞線機構組中各元件簡單合理有序的安裝在機座板上,并通過張カ檢測設備檢測金剛石切割線的張カ及控制系統(tǒng)已存儲的張カ及時調整第一繞線機構組、第二繞線機構組的收線、送線速度,如此可保證金剛石切割線的收線速度與送線速度一致。


      附圖I是ー較佳實施方式的線切方機進線出線裝置的結構示意圖。[0009]圖中線切方機進線出線裝置10、第一繞線機構組11、第一導線輪111、第一排線桿112、第一繞線輪113、第一張カ臂114、第一定位輪115、第二繞線機構組12、第二導線輪121、第二排線桿122、第二繞線輪123、第二張カ臂124、第二定位輪125、張カ檢測設備13、機座板1具體實施方式
      如圖I所示的線切方機進線出線裝置10包括第一繞線機構組11、第二繞線機構組12、張カ檢測設備13及機座板14。第一繞線機構組11、第二繞線機構組12及張カ檢測設備13固定在機座板14上,張カ檢測設備13位于第一繞線機構組11、第二繞線機構組12之間,且張カ檢測設備13靠近機座板14的上邊緣。第一繞線機構組11包括三個第一導線輪111、ー個第一排線桿112、ー個第一繞線輪113、ー個第一張カ臂114、兩個第一定位輪115。第一繞線輪113安裝在機座板14上且靠近機座板14的下邊緣,在機座板14上位于第一繞線輪113的左上方位置安裝有第一排線桿112,第一排線桿112上安裝有ー個第一導線輪111,且該第一導線輪111與機座板面 平行,第一排線桿112上還安裝有ー個第一定位輪115,且該第一定位輪115與機座板面垂直,在機座板14上第一定位輪115的正上方由下至上依次安裝有另ー個第一定位輪115及第二個第一導線輪111,第一張カ臂114安裝在該另ー個第一定位輪115及第ニ個第一導線輪111之間,且靠近張カ檢測設備13,第一張カ臂114上安裝有第三個第一導線輪111,該第二個第一導線輪111、第三個第一導線輪111與機座板平行。第二繞線機構組12包括三個第二導線輪121、ー個第二排線桿122、ー個第二繞線輪123、ー個第二張カ臂124、兩個第二定位輪125。第二繞線機構組12安裝在機座板14上的結構與第一繞線機構組11相同。其中,在機座板上位于第二排線桿122上的第二定位輪125的正上方的位置,由下至上依次安裝有另ー個第二定位輪125及第ニ個第二導線輪121,且第二個第二導線輪121靠近張カ檢測設備13。以下描述線切方機進線出線裝置10的收線與送線過程第二繞線輪123按照線切方機控制系統(tǒng)發(fā)出的指令做放線旋轉運動,第二排線桿122的移動調整軸按照與第二繞線輪123的旋轉運動相匹配的速度做放線移動,與此同時,第一繞線輪113根據(jù)系統(tǒng)指令做收線旋轉運動,第一排線桿112的移動調整軸按照與第一繞線輪113的旋轉運動相匹配關系做收線移動。在收線和放線的過程中,張カ檢測設備13對金剛石切割線的張カ值進行瞬時檢測。當送線速度和收線速度發(fā)生變化時,例如,當收線速度大于送線速度時,金剛石切割線收線端的張カ值小于前ー時刻的張カ值,張カ檢測設備13根據(jù)變化的張カ值向控制系統(tǒng)發(fā)回反饋信息,控制系統(tǒng)根據(jù)反饋信息對第一張カ臂114、第二張カ臂124及第一繞線輪113、第二繞線輪123做出對應的調整,使第一張カ臂114、第二張カ臂124的擺幅減少,第一繞線輪113、第二繞線輪123的轉速增加,當收線速度小于送線速度時,金剛石切割線收線端的張カ值増大,張カ檢測設備13根據(jù)收線端張カ值的變化向控制系統(tǒng)發(fā)回反饋信息,控制系統(tǒng)根據(jù)反饋信息對第一張カ臂114、第二張カ臂124及第一繞線輪113、第二繞線輪123做出對應的調整,使第一張カ臂114、第二張カ臂124的擺幅增加,第一繞線輪113、第二繞線輪123的轉速減少。利用本實用新型提供的線切方機進線出線裝置10,第一繞線機構組11、第二繞線機構組12及張カ檢測設備13固定在機座板14上,張カ檢測設備13位于第一繞線機構組11、第二繞線機構組12之間,且張カ檢測設備13靠近機座板14的上邊緣,第一繞線機構組
      11、第二繞線機構組12中各元件簡單合理有序的安裝在機座板14上,并通過張カ檢測設備 13檢測金剛石切割線的張力及控制系統(tǒng)已存儲的張力及時調整第一繞線機構組11、第二繞線機構組13的收線、送線速度,如此可保證金剛石切割線的收線速度與送線速度一致。
      權利要求1.一種線切方機進線出線裝置,其特征在于該線切方機進線出線裝置包括機座板、第一繞線機構組、第二繞線機構組及張カ檢測設備; 第一繞線機構組、第二繞線機構組及張カ檢測設備固定在機座板上,張カ檢測設備位于第一繞線機構組、第二繞線機構組之間,且張力檢測設備靠近機座板的上邊緣; 第一繞線機構組包括三個第一導線輪、ー個第一排線桿、ー個第一繞線輪、ー個第一張カ臂、兩個第一定位輪,第一繞線輪安裝在機座板上且靠近機座板的下邊緣,在機座板上的位于第一繞線輪的左上方的位置安裝有第一排線桿,第一排線桿上安裝有ー個第一導線輪,且該第一導線輪與機座板面平行,第一排線桿上還安裝有ー個第一定位輪,且該第一定位輪與機座板面垂直,在機座板面上位于第一排線桿上的第一定位輪的正上方位置由下至上依次安裝有另ー個第一定位輪及第ニ個第一導線輪,第一張カ臂安裝在該另ー個第一定位輪及第ニ個第一導線輪之間,且靠近張カ檢測設備,第一張カ臂上安裝有第三個第一導線輪,該第二個第一導線輪、第三個第一導線輪與機座板面平行; 第二繞線機構組包括第二導線輪、第二排線桿、第二繞線輪、第二張カ臂、兩個第二定位輪,第二繞線機構組安裝在機座板上的結構與第一繞線機構組相同,其中在機座板面上位于第二排線桿上的第二定位輪的正上方的位置,由下至上依次安裝有另ー個第二定位輪及第ニ個第二導線輪,且該第二個第二導線輪靠近張カ檢測設備。
      專利摘要一種線切方機進線出線裝置,其包括機座板、第一繞線機構組、第二繞線機構組及張力檢測設備。第一繞線機構組、第二繞線機構組及張力檢測設備固定在機座板上,張力檢測設備位于第一繞線機構組、第二繞線機構組之間,且張力檢測設備靠近機座板的上邊緣。第一繞線機構組、第二繞線機構組中各元件簡單合理有序的安裝在機座板上,并通過張力檢測設備檢測到的金剛石切割線的張力值及控制系統(tǒng)已存儲的張力值及時調整第一繞線機構組、第二繞線機構組的收線、送線速度,如此可保證金剛石切割線的收線速度與送線速度一致。
      文檔編號B28D5/04GK202428574SQ20112050683
      公開日2012年9月12日 申請日期2011年12月8日 優(yōu)先權日2011年12月8日
      發(fā)明者周凱平, 康鋒, 狄壽剛 申請人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司
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