專利名稱：具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸及線切方機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶硅切割設(shè)備，特別涉及ー種具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸及線切方機(jī)。
背景技術(shù)：
線切方機(jī)作為晶硅加工的關(guān)鍵設(shè)備，它極大地提高了晶硅的加工效率。線切方機(jī)在切割晶硅時(shí)，主軸和導(dǎo)線輪做高速旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)金剛石切割線做高速直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，最終保證了線切方機(jī)較高的加工性能。線切方機(jī)在工作過(guò)程中，含有磨料的切削液噴淋到金剛石鋼線上，當(dāng)鋼線做高速直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)吋，附著在鋼線上的磨料形成鋸牙對(duì)エ件進(jìn)行切割?；诰Ч杼厥獾奈锢硇阅芤约熬€切方機(jī)特有的加工方式，含有磨料、晶硅粉末的切割液會(huì)濺入主軸軸承，進(jìn)而造成主軸軸承磨損，旋轉(zhuǎn)精度降低。發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，有必要提供ー種具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸。還有必要提供一種線切方機(jī)。ー種具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸，其包括機(jī)座板、軸承座、軸承、主軸、軸頭、鎖緊螺母、軸承壓蓋、氣路端蓋、水路夾道。軸承座固定在機(jī)座板的固定孔中，且軸承座的兩端從固定孔中伸出，軸承安裝在軸承座內(nèi)。主軸的一端與軸頭的一端固定連接。軸頭外圓表面上設(shè)置環(huán)形定位部，且環(huán)形定位部靠近軸頭與主軸連接的一端。軸頭的另一端穿過(guò)軸承并安裝鎖緊螺母，以使環(huán)形定位部、鎖緊螺母分別與軸承的內(nèi)圈的兩端部相抵接。軸承壓蓋固定在軸承座的一端，氣路端蓋固定在軸承座的另一端，且軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承的外圈的兩端相抵接，其中，軸承壓蓋套在鎖緊螺母上，氣路端蓋套在環(huán)形定位部上。水路夾道套裝在軸承座上，且靠近氣路端蓋并與機(jī)座板固定連接。優(yōu)選的，氣路端蓋的內(nèi)圓周面有兩個(gè)環(huán)形槽，靠近軸承側(cè)的環(huán)形槽為氣路通道，另一環(huán)形槽內(nèi)裝有氣路密封圈；氣路端蓋的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)氣口和出氣ロ。優(yōu)選的，水路夾道內(nèi)圓周面有三個(gè)環(huán)形槽，中間為冷卻水道，前后兩個(gè)環(huán)形槽內(nèi)各裝有ー個(gè)水路密封圏；水路夾道的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)水口和出水ロ。優(yōu)選的，軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承座固定方式為螺釘固連。一種線切方機(jī)，其包括機(jī)座板、軸承座、軸承、主軸、軸頭、鎖緊螺母、軸承壓蓋、氣路端蓋、水路夾道、導(dǎo)線輪。軸承座固定在機(jī)座板的固定孔中，且軸承座的兩端從固定孔中伸出，軸承安裝在軸承座內(nèi)。主軸的一端與軸頭的一端固定連接，主軸上安裝導(dǎo)線輪。軸頭外圓表面上設(shè)置環(huán)形定位部，且環(huán)形定位部靠近軸頭與主軸連接的一端。軸頭的另一端穿過(guò)軸承并安裝鎖緊螺母，以使環(huán)形定位部、鎖緊螺母分別與軸承的內(nèi)圈的兩端部相抵接。軸承壓蓋固定在軸承座的一端，氣路端蓋固定在軸承座的另一端，且軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承的外圈的兩端相抵接，其中，軸承壓蓋與鎖緊螺母套接，氣路端蓋與環(huán)形定位部套接。水路夾道套裝在軸承座上，且靠近氣路端蓋并與機(jī)座板固定連接。優(yōu)選的，氣路端蓋的內(nèi)圓周面有兩個(gè)環(huán)形槽，靠近軸承側(cè)的環(huán)形槽為氣路通道，另一環(huán)形槽內(nèi)裝有氣路密封圈；氣路端蓋的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)氣口和出氣ロ。優(yōu)選的，水路夾道內(nèi)圓周面有三個(gè)環(huán)形槽，中間為冷卻水道，前后兩個(gè)環(huán)形槽內(nèi)各裝有ー個(gè)水路密封圏；水路夾道的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)水口和出水ロ。優(yōu)選的，軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承座固定方式為螺釘固連。本實(shí)用新型提供的具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸及線切方機(jī)，主軸的一端與軸頭的一端固定連接，主軸上安裝導(dǎo)線輪，通過(guò)環(huán)形定位部、鎖緊螺母分別與軸承的內(nèi)圈的兩端部相抵接的形式及軸承壓蓋固定在軸承座的一端，氣路端蓋固定在軸承座的另一端，且軸承壓蓋、氣路端蓋與 軸承的外圈的兩端相抵接的形式將軸頭與軸承固定、軸承與軸承座固定，利用氣路端蓋中的壓縮空氣帶走濺入主軸軸頭圓周面上的切割液，利用裝在軸承座上的水路夾道中的冷卻水帶走主軸軸承因高速旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的大部分熱量,避免了主軸軸承磨損及旋轉(zhuǎn)精度降低的情況發(fā)生。


附圖I是ー較佳實(shí)施方式的具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖2是圖I中具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸的應(yīng)用示意圖。圖中具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸10、機(jī)座板11、固定孔111、軸承座12、軸承13、內(nèi)圈131、外圈132、主軸14、軸頭15、環(huán)形定位部151、鎖緊螺母16、軸承壓蓋17、氣路端蓋18、環(huán)形槽181、氣路密封圈182、進(jìn)氣ロ 183、出氣ロ 184、水路夾道19、環(huán)形槽191、水路密封圈192、進(jìn)水口 193、出水ロ 19具體實(shí)施方式
請(qǐng)同時(shí)參看圖1，具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸10包括機(jī)座板11、軸承座12、軸承13、主軸14、軸頭15、鎖緊螺母16、軸承壓蓋17、氣路端蓋18、水路夾道19。軸承座12固定在機(jī)座板11的固定孔111中，且軸承座12的兩端從固定孔111中伸出，軸承13安裝在軸承座12內(nèi)。主軸14的一端與軸頭15的一端固定連接。軸頭15外圓表面上設(shè)置環(huán)形定位部151,且環(huán)形定位部151靠近軸頭15與主軸14連接的一端。軸頭15的另一端穿過(guò)軸承13并安裝鎖緊螺母16，以使環(huán)形定位部151、鎖緊螺母16分別與軸承13的內(nèi)圈131的兩端部相抵接。軸承壓蓋17固定在軸承座13的一端，氣路端蓋18固定在軸承座13的另一端，且軸承壓蓋17、氣路端蓋18與軸承13的外圈132的兩端相抵接，其中，軸承壓蓋17套在鎖緊螺母16上，氣路端蓋18套在環(huán)形定位部151上。在本實(shí)施方式中，氣路端蓋18的內(nèi)圓周面有兩個(gè)環(huán)形槽181，靠近軸承13側(cè)的環(huán)形槽為氣路通道，另ー環(huán)形槽內(nèi)裝有氣路密封圈182 ;氣路端蓋18的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)氣ロ 183和出氣ロ 184 ;軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承座固定方式為螺釘固連。水路夾道19套裝在軸承座13上，且靠近氣路端蓋18并與機(jī)座板11固定連接。在本實(shí)施方式中，水路夾道19內(nèi)圓周面有三個(gè)環(huán)形槽191，中間為冷卻水道，前后兩個(gè)環(huán)形槽內(nèi)各裝有ー個(gè)水路密封圈192，水路夾道19的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)水口 193和出水ロ 194。上述具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸10應(yīng)用于線切方機(jī)中，以下描述具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸10實(shí)現(xiàn)除污、冷卻的過(guò)程，請(qǐng)同時(shí)參看圖2 具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸10上安裝導(dǎo)線輪20，導(dǎo)線輪20的個(gè)數(shù)可以通過(guò)實(shí)際生產(chǎn)需求設(shè)置多個(gè)，主軸14在高速旋轉(zhuǎn)吋，具有一定壓カ的壓縮空氣持續(xù)地從進(jìn)氣ロ 183吹入氣路端蓋18，帶走濺入軸頭15圓周面上的切割液后從環(huán)形槽氣道的排氣ロ 184吹出，從而有效地避免了含有磨料、晶硅粉末的切割液濺入軸承13，最終為主軸14持續(xù)順暢地工作提供可靠保障，此外在工作中，具有一定壓カ的冷卻水持續(xù)地從進(jìn)水ロ 193流入水路夾道19，帶走軸承13因高速旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的大部分熱量后從環(huán)形槽水道的出水ロ 194流出，進(jìn)而為主軸14高精度地旋轉(zhuǎn)創(chuàng)造有利條件。 本實(shí)用新型提供的具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸10不但避免主軸軸承磨損及旋轉(zhuǎn)精度降低的情況發(fā)生，而且裝配形式及零件結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)単。
權(quán)利要求1.ー種具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸，其特征在于其包括機(jī)座板、軸承座、軸承、主軸、軸頭、鎖緊螺母、軸承壓蓋、氣路端蓋、水路夾道；軸承座固定在機(jī)座板的固定孔中，且軸承座的兩端從固定孔中伸出，軸承安裝在軸承座內(nèi)；主軸的一端與軸頭的一端固定連接；軸頭外圓表面上設(shè)置環(huán)形定位部，且環(huán)形定位部靠近軸頭與主軸連接的一端；軸頭的另一端穿過(guò)軸承并安裝鎖緊螺母，以使環(huán)形定位部、鎖緊螺母分別與軸承的內(nèi)圈的兩端部相抵接；軸承壓蓋固定在軸承座的一端，氣路端蓋固定在軸承座的另一端，且軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承的外圈的兩端相抵接，其中，軸承壓蓋套在鎖緊螺母上，氣路端蓋套在環(huán)形定位部上；水路夾道套裝在軸承座上，且靠近氣路端蓋并與機(jī)座板固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸，其特征在于氣路端蓋的內(nèi)圓周面有兩個(gè)環(huán)形槽，靠近軸承側(cè)的環(huán)形槽為氣路通道，另ー環(huán)形槽內(nèi)裝有氣路密封圈；氣路端蓋的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)氣口和出氣ロ。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸，其特征在于水路夾道內(nèi)圓周面有三個(gè)環(huán)形槽，中間為冷卻水道，前后兩個(gè)環(huán)形槽內(nèi)各裝有ー個(gè)水路密封圈；水路夾道的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)水口和出水ロ。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸，其特征在于軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承座固定方式為螺釘固連。
5.一種線切方機(jī)，其特征在于其包括機(jī)座板、軸承座、軸承、主軸、軸頭、鎖緊螺母、軸承壓蓋、氣路端蓋、水路夾道、導(dǎo)線輪；軸承座固定在機(jī)座板的固定孔中，且軸承座的兩端從固定孔中伸出，軸承安裝在軸承座內(nèi)；主軸的一端與軸頭的一端固定連接，主軸上安裝導(dǎo)線輪；軸頭外圓表面上設(shè)置環(huán)形定位部，且環(huán)形定位部靠近軸頭與主軸連接的一端；軸頭的另一端穿過(guò)軸承并安裝鎖緊螺母，以使環(huán)形定位部、鎖緊螺母分別與軸承的內(nèi)圈的兩端部相抵接；軸承壓蓋固定在軸承座的一端，氣路端蓋固定在軸承座的另一端，且軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承的外圈的兩端相抵接，其中，軸承壓蓋與鎖緊螺母套接，氣路端蓋與環(huán)形定位部套接；水路夾道套裝在軸承座上，且靠近氣路端蓋并與機(jī)座板固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線切方機(jī)，其特征在于氣路端蓋的內(nèi)圓周面有兩個(gè)環(huán)形槽，靠近軸承側(cè)的環(huán)形槽為氣路通道，另ー環(huán)形槽內(nèi)裝有氣路密封圈；氣路端蓋的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)氣口和出氣ロ。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線切方機(jī)，其特征在于水路夾道內(nèi)圓周面有三個(gè)環(huán)形槽，中間為冷卻水道，前后兩個(gè)環(huán)形槽內(nèi)各裝有ー個(gè)水路密封圈；水路夾道的外圓周面上開(kāi)有進(jìn)水口和出水ロ。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線切方機(jī)，其特征在于軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承座固定方式為螺釘固連。
專利摘要一種具有除污冷卻結(jié)構(gòu)的線切方機(jī)主軸，包括機(jī)座板、軸承座、軸承、主軸、軸頭、鎖緊螺母、軸承壓蓋、氣路端蓋、水路夾道；軸承座固定在機(jī)座板的固定孔中，且軸承座的兩端從固定孔中伸出，軸承安裝在軸承座內(nèi)；主軸的一端與軸頭的一端固定連接；軸頭外圓表面上設(shè)置環(huán)形定位部，且環(huán)形定位部靠近軸頭與主軸連接的一端；軸頭的另一端穿過(guò)軸承并安裝鎖緊螺母；軸承壓蓋固定在軸承座的一端，氣路端蓋固定在軸承座的另一端，且軸承壓蓋、氣路端蓋與軸承的外圈的兩端相抵接，其中，軸承壓蓋套在鎖緊螺母上，氣路端蓋套在環(huán)形定位部上；水路夾道套裝在軸承座上，且靠近氣路端蓋并與機(jī)座板固定連接。本實(shí)用新型還提供了一種線切方機(jī)。
文檔編號(hào)B28D5/04GK202428571SQ20112050683
公開(kāi)日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2011年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月8日
發(fā)明者周凱平, 康鋒, 狄壽剛 申請(qǐng)人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司