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      硅棒的多線切割裝置的制作方法

      文檔序號(hào):1980891閱讀:444來源:國(guó)知局
      專利名稱:硅棒的多線切割裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種硅晶體的切割技術(shù),特別是硅棒的多線切割裝置。
      背景技術(shù)
      中國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局于2010年8月18日公告的、公告號(hào)為CN201552683U的專利申請(qǐng),公開了一種硅棒的多線切割裝置,該裝置能對(duì)切割線精確定位,解決了切割時(shí)切割不均、廢片的現(xiàn)象,但該裝置忽略了切割鋼線上的刃料在高速運(yùn)轉(zhuǎn)的過程中會(huì)與硅棒碰撞兒產(chǎn)生飛 散,此時(shí),刃料會(huì)在空氣中蔓延,不但影響了空氣質(zhì)量,對(duì)人體健康產(chǎn)生危害,還使得刃料敷在硅片表面,降低了硅片的光滑度,同時(shí)也使得硅片線痕不良。

      實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種能解決鋼線載著刃料高速碰撞后分散的硅棒的多線切割裝置。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的硅棒的多線切割裝置,包括兩個(gè)平行設(shè)置的傳動(dòng)輥、纏繞在傳動(dòng)輥外的切割線、置于切割線上方的工作臺(tái)以及給切割線定位的導(dǎo)向臺(tái),其特征是工作臺(tái)側(cè)邊設(shè)有與切割線相平行的刃料擋塊。為了使切割線定位,導(dǎo)向臺(tái)上開有至少兩個(gè)導(dǎo)向槽,切割線進(jìn)刀時(shí)位于所述導(dǎo)向槽內(nèi)。為了有效的阻擋砂漿,所述刃料擋塊呈半包圍狀。本實(shí)用新型得到的硅棒的多線切割裝置增設(shè)了刃料擋塊,使得砂漿不會(huì)飛散,改善了空氣質(zhì)量,降低了硅片的表面粗糙度、線痕不良的問題,且該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉。

      圖I是實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖中傳動(dòng)輥I、切割線2、工作臺(tái)3、導(dǎo)向臺(tái)4、導(dǎo)向槽41、刃料擋塊5、硅棒6。
      具體實(shí)施方式

      以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。實(shí)施例如圖I所示,本實(shí)施列提供的硅棒的多線切割裝置,包括兩個(gè)平行設(shè)置的傳動(dòng)輥I、纏繞在傳動(dòng)輥I外的切割線2、置于切割線2上方的工作臺(tái)3以及給切割線2定位的導(dǎo)向臺(tái)4,在工作臺(tái)3下設(shè)有與之相粘貼的硅棒6,導(dǎo)向臺(tái)4粘貼在硅棒6上,工作臺(tái)3側(cè)邊設(shè)有與切割線2相平行的刃料擋塊5 ;導(dǎo)向臺(tái)4上開有至少兩個(gè)導(dǎo)向槽41,切割線2進(jìn)刀時(shí)位于所述導(dǎo)向槽41內(nèi);所述刃料擋塊5呈半包圍狀。下面就本實(shí)施例的具體工作過程作進(jìn)一步詳解將硅棒6粘接在工作臺(tái)3下,再將導(dǎo)向臺(tái)4粘貼在硅棒6下方,此時(shí),開動(dòng)多線切割裝置,工作臺(tái)3即會(huì)帶動(dòng)硅棒6沿垂直方向運(yùn)動(dòng)并與置于傳動(dòng)輥I外的數(shù)條切割線2切割,在切割的過程中,附著在切割線2上的切 割刃料就會(huì)飛散并被刃料擋塊5阻擋。
      權(quán)利要求1.一種硅棒的多線切割裝置,包括兩個(gè)平行設(shè)置的傳動(dòng)輥(I)、纏繞在傳動(dòng)輥(I)外的切割線(2)、置于切割線(2)上方的工作臺(tái)(3)以及給切割線(2)定位的導(dǎo)向臺(tái)(4),其特征是工作臺(tái)(3)側(cè)邊設(shè)有與切割線(2)相平行的刃料擋塊(5)。
      2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅棒的多線切割裝置,其特征是導(dǎo)向臺(tái)(4)上開有至少兩個(gè)導(dǎo)向槽(41),切割線(2)進(jìn)刀時(shí)位于所述導(dǎo)向槽(41)內(nèi)。
      3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的硅棒的多線切割裝置,其特征是所述刃料擋塊(5)呈半包圍狀。
      專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅棒的多線切割裝置,包括兩個(gè)平行設(shè)置的傳動(dòng)輥、纏繞在傳動(dòng)輥外的切割線、置于切割線上方的工作臺(tái)以及連接在工作臺(tái)下方的導(dǎo)向臺(tái),其特征是工作臺(tái)側(cè)邊設(shè)有與切割線相平行的刃料擋塊,為了使切割線定位,導(dǎo)向臺(tái)上開有至少兩個(gè)導(dǎo)向槽,切割線進(jìn)刀時(shí)位于所述導(dǎo)向槽內(nèi),為了有效的阻擋砂漿,所述刃料擋塊呈半包圍狀。本實(shí)用新型得到的硅棒的多線切割裝置,增設(shè)了刃料擋塊,使得砂漿不會(huì)飛散,改善了空氣質(zhì)量,降低了硅片的表面粗糙度、線痕不良的問題,且該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉。
      文檔編號(hào)B28D5/04GK202412494SQ20112057528
      公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
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