專利名稱：堇青石質(zhì)燒結(jié)體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適合用作超精密鏡或者超精密鏡基材的堇青石質(zhì)燒結(jié)體。
背景技術(shù)：
近來(lái)，由于半導(dǎo)體的高集成化、非球面透鏡的高精密化等，因此對(duì)這些半導(dǎo)體、非球面透鏡模具的制造裝置、測(cè)定裝置，要求有高的形狀尺寸精度、形狀尺寸精度的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性。
在這些超精密裝置中，作為激光、極紫外線反射用的基準(zhǔn)鏡、定位用鏡而需要精密性的鏡，這些越來(lái)越需要同時(shí)具有超精密性與形狀的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性。
作為像這樣的鏡所使用的以往的材料，已知有零膨脹玻璃。該零膨脹玻璃可以研磨精加工成平均表面粗糙度(Ra)為Inm以下的非常平滑的面。但是，零膨脹玻璃的彈性模量(楊氏模量)為較低的50 90GPa，因此自重變形、受到加速度時(shí)的變形成為問(wèn)題。而且， 如非專利文獻(xiàn)I所示，已知零膨脹玻璃材料顯示出非常大的經(jīng)時(shí)變化，在形狀的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定 性上也存在問(wèn)題。
另一方面，作為本發(fā)明的作為對(duì)象的以堇青石為主要成分的堇青石質(zhì)燒結(jié)體，在專利文獻(xiàn)I以及專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)有如下致密質(zhì)堇青石低膨脹燒結(jié)體，使其含有O. 3 8 質(zhì)量％或者O. 01 10質(zhì)量％的稀土類元素氧化物。但是，這些燒結(jié)體為含有數(shù)％孔隙率的燒結(jié)體，無(wú)論如何不可以作為鏡用基材來(lái)使用，而且其熱膨脹系數(shù)也不十分小。
在專利文獻(xiàn)3中，公開(kāi)有可以使用作為基臺(tái)位置測(cè)定用鏡的含有80質(zhì)量％以上堇青石的低熱膨脹黑色陶瓷，優(yōu)選其最大孔徑為5μπ 以下。實(shí)際上，在實(shí)施例中測(cè)定了數(shù)μ m 的最大孔徑。但是，如果存在這樣大的孔隙就不能得到像Ralnm以下的非常平滑的研磨精加工面。而且，在專利文獻(xiàn)3中同時(shí)使添加有I 10質(zhì)量％的Y203、Yb2O3等的稀土類氧化物作為硅酸鹽(RE2O3 · Si02/RE為稀土類元素)、二硅酸鹽(RE2O3 · 2Si02)的結(jié)晶相析出，這樣，在堇青石和其以外的結(jié)晶相混合的燒結(jié)體中，由于結(jié)晶的硬度、化學(xué)穩(wěn)定性的不同，導(dǎo)致在精密研磨的微小的研磨速度上產(chǎn)生差異從而產(chǎn)生微小的凹凸，因而難以得到像Ralnm 以下的平滑的精加工面。
在專利文獻(xiàn)4中，同樣公開(kāi)有可以使用作為基臺(tái)位置測(cè)定用鏡的含有80質(zhì)量％以上堇青石的致密質(zhì)低熱膨脹陶瓷。該專利文獻(xiàn)4中雖然沒(méi)有記載有關(guān)同時(shí)添加有I 20 質(zhì)量％的Y203、Yb2O3等的稀土類氧化物是否形成硅酸鹽、二硅酸鹽結(jié)晶，但是其最大孔徑為 5 μ m以下，另外也在實(shí)施例中觀察有最小為O. 7 μ m的孔徑。產(chǎn)生這樣的孔隙是由于未能充分調(diào)整作為堇青石的主要成分的Si02、MgO及Al2O3的比例。如果存在如上所述的孔隙，就不能得到像Ralnm以下的非常平滑的研磨精加工面。
在專利文獻(xiàn)5 7中，公開(kāi)有由低熱膨脹陶瓷形成的位置測(cè)定用鏡、天體望遠(yuǎn)鏡用鏡。這些文獻(xiàn)涉及的低熱膨脹陶瓷，其特征為，由從硅鋁酸鋰、磷酸鋯、堇青石中選擇I種以上的第I材料，和從碳化硅、氮化硅、賽隆(Sialon)、氧化鋁、氧化鋯、莫來(lái)石、鋯石、氮化鋁、 硅酸鈣、B4C中選擇I種以上的第2材料復(fù)合形成的復(fù)合材料構(gòu)成，并且其平均表面粗糙度(Ra)為1Onm以下。
在這些文獻(xiàn)中，尤其β -鋰霞石與碳化硅的復(fù)合材料為好。但是，如這些文獻(xiàn)所記載，在將硬度大不相同的2種以上材質(zhì)混合的復(fù)合材料中，在精密研磨的研磨速度上會(huì)產(chǎn)生微小的差異從而產(chǎn)生微小的凹凸，因而難以得到像平均表面粗糙度(Ra) Inm以下的平滑的精加工面。實(shí)際上，在這些文獻(xiàn)中只可以得到Ra為6 1Onm非常粗糙的研磨面。
而且，這樣，在熱膨脹系數(shù)大不相同的2種結(jié)晶粒子混合的多結(jié)晶體中，存在由于以在材料燒結(jié)中產(chǎn)生的粒子間熱膨脹差為起因的剩余應(yīng)力殘留在燒結(jié)體中，因此容易產(chǎn)生經(jīng)時(shí)的形狀變化，尤其是在受到數(shù)十。C的溫度循環(huán)時(shí)會(huì)產(chǎn)生大的形狀變化的問(wèn)題。
專利文獻(xiàn)1:日本國(guó)特公昭58 - 15461號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 :日本國(guó)特開(kāi)昭57 - 38371號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3 :日本國(guó)特開(kāi)平11 - 343168號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)4 :日本國(guó)特開(kāi)平11 - 209171號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)5 :日本國(guó)特許3946132號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)6 :日本國(guó)特開(kāi)2005 - 234338號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)7 :日本國(guó)特許4460325號(hào)公報(bào)
非專利文獻(xiàn)1:Meteologia21，49 - 57 (1985)發(fā)明內(nèi)容
如上所述，由于至今為止還沒(méi)有同時(shí)具有低熱膨脹性、尺寸的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性以及高剛性(高彈性模量)和可以實(shí)施在平均表面粗糙度(Ra) Inm以下的精密研磨精加工的精密研磨性材料，因此也未能制造出同時(shí)具有這些性能的超精密鏡。
鑒于這些事情，本發(fā)明的課題是大幅度提高具有低熱膨脹性、尺寸的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性以及高剛性(高彈性模量)的堇青石質(zhì)燒結(jié)體的精密研磨特性。
發(fā)明者銳意研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)通過(guò)由特定成分及成分比得到的堇青石質(zhì)燒結(jié)體可以解決所述課題，從而完成了本發(fā)明。
S卩，本發(fā)明涉及一種堇青石質(zhì)燒結(jié)體，其以堇青石為主要成分，不含有其他結(jié)晶相，含有用氧化物換算I 8質(zhì)量％的鑭(La)、鈰(Ce)、釤(Sm)、釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺(Er)、 鐿(Yb)、釔(Y)的一種以上，其特征為，其主要成分的質(zhì)量比在3. 85 ≤ Si02/Mg04. 60、 2. 50 ≤(Al203/Mg0 ( 2. 70的范圍，其精密研磨面的平均表面粗糙度(Ra)為Inm以下。
這樣，在本發(fā)明的堇青石質(zhì)燒結(jié)體中，因?yàn)榻Y(jié)晶相為堇青石單相，所以可以避免不同結(jié)晶粒子之間研磨特性的差異所造成的凹凸。通常，堇青石以外的剩余部分作為無(wú)定形相，沿著堇青石粒子的粒界以膜狀存在。但是，如果其無(wú)定形相的量過(guò)多時(shí)容易以島狀殘留，在精密研磨時(shí)容易造成凹部，所以不優(yōu)選。
因此，鑭(La)、鈰(Ce)、釤(Sm)、釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺(Er)、鐿(Yb)、釔(Y)的一種以上的量用氧化物換算為I 8質(zhì)量％。而且，優(yōu)選堇青石結(jié)晶量為整體的85質(zhì)量％以上。
而且，通過(guò)所述那樣限定，為堇青石主要成分的Si02、Mg0以及Al2O3的質(zhì)量比可以發(fā)揮所期望的性能。
當(dāng)燒結(jié)體中無(wú)定形相的機(jī)械化學(xué)研磨速率與堇青石大不相同時(shí)，由于在精密研磨時(shí)容易產(chǎn)生凹凸，因此該無(wú)定形相的化學(xué)耐腐蝕性需要與堇青石結(jié)晶同等高。通過(guò)將鑭(La)、鈰(Ce)、釤(Sm)、釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺(Er)、鐿(Yb)、釔(Y)的化合物作為燒結(jié)助劑使用，容易生成接近堇青石結(jié)晶的化學(xué)耐腐蝕性的無(wú)定形相。尤其是，鑭(La)，鈰(Ce)氧化物的使用對(duì)于精密研磨性優(yōu)選。
根據(jù)本發(fā)明，可以使具有低熱膨脹·高剛性(高彈性模量)、尺寸的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的堇青石質(zhì)燒結(jié)體的精密研磨特性大幅度提高。由此，可以制造超精密鏡面的平均表面粗糙度在Inm以下的非常平滑的面。


圖1表示作為本發(fā)明例的表I的試料No. 16 的表面粗糙度的測(cè)定結(jié)果。
圖2表示作為比較例的表I的試料No. 23的表面粗糙度的測(cè)定結(jié)果。
圖3表示構(gòu)成接合盒型鏡的加強(qiáng)筋體的外觀。
圖4表示構(gòu)成接合盒型鏡的蓋的外觀。
圖5表示根據(jù)本發(fā)明而得到的接合盒型鏡的外觀。
圖6表示根據(jù)表I的試料No. 28的組成配合的接合盒型鏡的平面度鳥(niǎo)瞰圖。
具體實(shí)施方式
在本發(fā)明中，堇青石的結(jié)晶相是指如下結(jié)晶相，除純凈的六方晶系堇青石結(jié)晶以外，雖然由X射線衍射使其具有六方晶系堇青石結(jié)晶的衍射峰，但是也含有由其他元素的固溶使晶格常數(shù)變化的結(jié)晶相。另外，不含有其他的結(jié)晶相是指，在燒結(jié)體粉末X射線衍射的通常測(cè)定條件中，雖然說(shuō)不能確認(rèn)堇青石結(jié)晶以外的衍射峰，但是由于X射線衍射法中的噪聲、無(wú)定形相的衍射線等使基線的一些凹凸難以被避免。因此，在本發(fā)明中所述的“不含有其他的結(jié)晶相”是指，像堇青石以外的峰的高度對(duì)于堇青石的最大峰高度為3%以下的狀態(tài)。
鑭(La)、鈰(Ce)、釤(Sm)、釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺(Er)、鐿(Yb)、釔(Y)的一種以上作為非晶質(zhì)，或者存在于堇青石質(zhì)結(jié)晶粒子的粒界中，或者僅少量固溶在堇青石質(zhì)結(jié)晶中。因鑭(La)、鈰(Ce)、釤(Sm)、釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺(Er)、鐿(Yb)、釔(Y)的一種以上的量用氧化物換算小于I質(zhì)量％時(shí)，燒結(jié)性顯著降低，密度難以增加從而產(chǎn)生很多的孔隙，所以不優(yōu)選。 另一方面，使其量超過(guò)8質(zhì)量％時(shí)，容易產(chǎn)生鑭(La)、鈰(Ce)、釤(Sm)、釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺 (Er)、鐿(Yb)、釔(Y)的硅酸鹽、二硅酸鹽的結(jié)晶，所以也不優(yōu)選。另外，在即使不產(chǎn)生這些結(jié)晶時(shí)，由于含有這些元素的無(wú)定形相的增加使熱膨脹系數(shù)變大，或容易使精密研磨時(shí)的凹凸形成，所以也不優(yōu)選。更優(yōu)選這些量用氧化物換算為2 6質(zhì)量％。
SiO2與MgO的質(zhì)量比為3. 85 > Si02/Mg0時(shí)，導(dǎo)致鎂橄欖石、鑭(La)、鈰(Ce)、釤 (Sm)、釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺(Er)、鐿(Yb)、釔(Y)氧化物的二硅酸鹽的結(jié)晶相析出，從而在精密研磨中容易出現(xiàn)凹凸，所以不優(yōu)選。另一方面，為Si02/Mg0 > 4. 60時(shí)，導(dǎo)致彈性模量變小到小于130MPa。而且，因?yàn)槿菀咨煞接⑹慕Y(jié)晶相，所以從精密研磨的觀點(diǎn)來(lái)看也不優(yōu)選。優(yōu)選范圍為 4. 00 ( Si02/Mg0 ^ 4. 40,更優(yōu)選為 4. 00 ( Si02/Mg0 彡 4. 20。
由于Al2O3與MgO的質(zhì)量比在Al203/Mg0 > 2. 70時(shí)，Al2O3變得相對(duì)剩余，因此Al2O3 的數(shù)十 數(shù)百nm微小結(jié)晶粒被混入堇青石結(jié)晶中或粒界中?；烊爰{米級(jí)的Al2O3微小晶粒的堇青石粒子使精密研磨性變壞，使其在精密研磨的時(shí)候產(chǎn)生數(shù)μ m徑的研磨殘余，因此導(dǎo)致平均表面粗糙度大于lnm，所以不優(yōu)選。而且，Al2O3更加剩余時(shí)則會(huì)產(chǎn)生莫來(lái)石結(jié)晶。 在精密研磨時(shí)莫來(lái)石結(jié)晶的產(chǎn)生也會(huì)使凹凸容易出現(xiàn)，所以不優(yōu)選。
Al203/Mg0 < 2. 50時(shí)，平均表面粗糙度雖然沒(méi)有過(guò)于惡化，但是會(huì)產(chǎn)生數(shù)十μ m徑到數(shù)百μπι徑肉眼可見(jiàn)大小的、數(shù)百nm深的凹處，所以不優(yōu)選。該現(xiàn)象可以認(rèn)為由于Al元素量的減少，而產(chǎn)生肉眼可見(jiàn)的Al少的區(qū)域，導(dǎo)致該部分形成容易進(jìn)行化學(xué)或者機(jī)械研磨的物質(zhì)。而且，在上述質(zhì)量比極端小的情況下，產(chǎn)生堇青石以外的鑭(La)、鈰(Ce)、釤(Sm)、 釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺(Er)、鐿(Yb)、釔(Y)氧化物的二硅酸鹽、鎂橄欖石·方英石等，所以不管在精密研磨方面還是熱膨脹方面均不優(yōu)選。優(yōu)選范圍為2. 55 ( Al203/Mg0 ( 2. 70，更優(yōu)選為 2. 55 ( Al203/Mg0 彡 2. 65。
作為本發(fā)明的原料粉末，可以使用作為MgO源的氧化鎂、滑石、電熔堇青石、合成堇青石、氫氧化鎂、碳酸鎂、氧化鎂尖晶石等。從大型形狀、復(fù)雜形狀的物體的燒結(jié)性方面來(lái)看，電熔堇青石、合成堇青石粉末等最適合作為原料粉末。作為ai203、SiO2源，除上述的滑石、電熔堇青石、合成堇青石以外，還可以適合使用微粒氧化鋁粉末、結(jié)晶質(zhì)二氧化硅粉末、 非晶質(zhì)二氧化硅粉末等。作為鑭(La)、鈰(Ce)、釤(Sm)、釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺(Er)、鐿(Yb)、 釔(Y)源的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽的粉末最適合作為原料粉末。粉末的平均粒徑從其分散性的觀點(diǎn)來(lái)看優(yōu)選O.1 5 μ m的微細(xì)粒徑。
作為燒結(jié)法雖然可以適用熱壓法、HIP法、氣氛加壓燒結(jié)法、常壓燒結(jié)法，但是為了減小精密研磨時(shí)的平均表面粗糙度，需要盡可能減少燒結(jié)體中的孔隙，因此在最終熱處理中需要進(jìn)行HIP法·氣氛加壓燒結(jié)法等加壓氣體氣氛下的熱處理。
關(guān)于燒結(jié)體的彈性模量(楊氏模量)，為了減小自重變形或加速度引起的 變形，因此優(yōu)選130GPa以上。
如果考慮鏡的熱變形，希望熱膨脹系數(shù)盡可能小，在室溫(20°C 25°C)中，優(yōu)選0.2X10■ 6/K以下，更優(yōu)選0.05X10 _ 6/κ以下。另外，熱膨脹系數(shù)的測(cè)定由于熱膨脹非常小，因此根據(jù)日本國(guó)JIS (日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn))R3251 (根據(jù)低熱膨脹玻璃的激光干涉法的線熱膨脹系數(shù)測(cè)定方法)進(jìn)行測(cè)定。
因?yàn)樾螤畛叽绲慕?jīng)時(shí)穩(wěn)定性為非常重要的因素，所以換算成I年的長(zhǎng)度尺寸的經(jīng)時(shí)變化優(yōu)選用IOOmm長(zhǎng)度換算為IOnm以下。更優(yōu)選5nm以下。由于這些經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的測(cè)定也必須測(cè)定非常小的尺寸變化，所以需要精密的測(cè)定方法，用使用了塊規(guī)形狀的長(zhǎng)樣本的激光干涉法等進(jìn)行測(cè)定。
本發(fā)明的堇青石燒結(jié)體可以適合作為超精密鏡使用。此時(shí)，作為鏡的形狀除實(shí)心的平板形狀·棱柱形狀以外，可以適用加強(qiáng)筋形狀或?qū)⑸w接合在加強(qiáng)筋形狀上的盒形狀。而且，由于本發(fā)明涉及的堇青石質(zhì)燒結(jié)體也可以進(jìn)行螺釘、復(fù)雜形狀的加工，因此也可以制造將鏡與微動(dòng)機(jī)構(gòu)組裝后的鏡托一體化的鏡系統(tǒng)。作為鏡面可以適用于平面、球面、非球面的形狀。
另外，在加速度大的基臺(tái)使用的鏡或在宇宙空間所使用的鏡必須進(jìn)行輕量化，此時(shí)，厚度薄的加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)可有效適用。而且，為了防止自重變形等的變形，那么將蓋接合的盒結(jié)構(gòu)可有效發(fā)揮作用。如此，所制造的作為超輕量加強(qiáng)筋接合型鏡，優(yōu)選為其表觀比重在1.5g/cm3以下,更優(yōu)選1. Og/cm3以下。
在本發(fā)明的堇青石質(zhì)燒結(jié)體中，即使在所述那樣的加強(qiáng)筋體中，也不受加強(qiáng)筋形狀的影響，可以將平面度λ/10(λ是O. 63 μπι為測(cè)定裝置的激光波長(zhǎng))的平坦鏡面進(jìn)行研磨精加工。
本發(fā)明的堇青石質(zhì)燒結(jié)體可以通過(guò)由二氧化硅、二氧化鈰、金剛石磨粒進(jìn)行研磨、 拋光的精密研磨。但是，二氧化硅磨粒與本發(fā)明的堇青石質(zhì)燒結(jié)體的機(jī)械化學(xué)研磨速率非常高，由于研磨處所不同容易產(chǎn)生研磨速率差，所以需要注意。因此，優(yōu)選在本發(fā)明的堇青石質(zhì)燒結(jié)體的精密研磨中主要使用二氧化鈰以及金剛石的磨粒。但是，本發(fā)明的堇青石質(zhì)燒結(jié)體在只是金剛石的研磨時(shí)容易產(chǎn)生研磨條痕，而且由于研磨時(shí)的殘留應(yīng)力容易使變質(zhì)相殘留，因此優(yōu)選同時(shí)使用由二氧化鈰引起的機(jī)械化學(xué)效應(yīng)與金剛石研磨。根據(jù)這樣的研磨方法，可以得到無(wú)殘留應(yīng)力，且更精密的研磨面。
以下，根據(jù)本實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明。
(實(shí)施例1)
作為原料粉體，調(diào)整合成堇青石(平均粒徑2. 5 μ m)、氧化鎂(平均粒徑O. 2 μ m)、 二氧化硅粉末(平均粒徑O. 7 μ m)、氧化鋁粉末(平均粒徑O. 3 μ m)的量從而成為具有規(guī)定的Al203/Mg0比以及Si02/Mg0比的堇青石,使用作為燒結(jié)助劑的氧化鑭(平均粒徑1.1 μ m)、 氧化鋪(平均粒徑O. 7 μ m)、氧化衫(平均粒徑O. 8 μ m)、氧化禮(平均粒徑1. 2 μ m)、氧化鏑 (平均粒徑2. 5 μ m)、氧化鉺(平均粒徑1. 4 μ m)、氧化鐿(平均粒徑1. O μ m)、氧化乾(平均粒徑O. 8 μ m)、鋰輝石(平均粒徑2. 5 μ m)。另外，合成堇青石為粉碎使用如下顆粒，用理論組成混合氧化鎂、二氧化硅、氧化鋁粉末，然后在1420°C進(jìn)行10小時(shí)反應(yīng)而堇青石化的顆粒。
這些原料粉末按能夠成為表I所示的組成調(diào)和，用外摻法加入樹(shù)脂膠粘劑3質(zhì)量份，以水作為溶劑 在氧化鋁罐磨機(jī)中進(jìn)行24小時(shí)混合。將該釉漿干燥并進(jìn)行造粒，然后在等靜壓150MPa下成形。將所得到的成形體在空氣中升溫至500°C從而將樹(shù)脂粘接劑進(jìn)行脫脂。然后，將這些脫脂體在氬氣氛中用氣壓180MPa、最高溫度1360°C進(jìn)行燒結(jié)。
測(cè)定所得到燒結(jié)體的室溫(20 25°C)的熱膨脹系數(shù)、以及彈性模量(楊氏模量)， 而且用(pl00x20mm厚的樣本實(shí)施精密研磨，用非接觸掃描型白色干涉法測(cè)定其平均表面粗糙度(Ra)。精密研磨為用平均粒徑I y m的二氧化鈰釉漿進(jìn)行中度精加工后，用平均粒徑 O. 5 μ m的金剛石釉漿進(jìn)行最終精加工。
另外，由于室溫的熱膨脹系數(shù)測(cè)定需要精密的測(cè)定，因此根據(jù)低膨脹玻璃的熱膨脹測(cè)定的JIS (日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn))-R3251 (雙光路邁克爾遜型激光干涉方式)進(jìn)行測(cè)定。
(表I)
權(quán)利要求
1.一種堇青石質(zhì)燒結(jié)體，其為以堇青石為主要成分，不含有其他結(jié)晶相，含有用氧化物換算I 8質(zhì)量％的La、Ce、Sm、Gd、Dy、Er、Yb、Y的一種以上，其特征為，其主要成分的質(zhì)量比在3. 85 ( Si02/Mg0 ( 4. 60,2. 50 ( Al203/Mg0 ( 2. 70的范圍，其精密研磨面的平均表面粗糙度Ra為Inm以下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堇青石質(zhì)燒結(jié)體，其特征為，精密研磨面的平均表面粗糙度Ra為O. 5nm以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堇青石質(zhì)燒結(jié)體，其特征為，20 25°C時(shí)熱膨脹系數(shù)的絕對(duì)值為0.2X10 _6/°C以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堇青石質(zhì)燒結(jié)體,其特征為，彈性模量為130GPa以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堇青石質(zhì)燒結(jié)體，其特征為，I年的長(zhǎng)度尺寸經(jīng)時(shí)變化用IOOmm長(zhǎng)度換算時(shí)為IOnm以下。
全文摘要
本發(fā)明提供一種堇青石質(zhì)燒結(jié)體，具有低熱膨脹性、尺寸的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性以及高剛性(高彈性模量)，其精密研磨特性可大幅度提高。該堇青石質(zhì)燒結(jié)體以堇青石為主要成分，不含有其他結(jié)晶相，含有用氧化物換算1～8質(zhì)量%的鑭(La)、鈰(Ce)、釤(Sm)、釓(Gd)、鏑(Dy)、鉺(Er)、鐿(Yb)、釔(Y)的一種以上。其主要成分的質(zhì)量比在3.85≤SiO2/MgO≤4.60、2.50≤Al2O3/MgO≤2.70的范圍，其精密研磨面的平均表面粗糙度(Ra)為1nm以下。
文檔編號(hào)C04B35/195GK103025679SQ20118003627
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2011年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月21日
發(fā)明者菅原潤(rùn) 申請(qǐng)人:黑崎播磨株式會(huì)社