專利名稱:晶體毛坯的切割方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種晶體毛坯的處理方法,尤其涉及一種大尺寸藍(lán)寶石晶體毛坯的切割方法。
背景技術(shù):
無色藍(lán)寶石(sapphire)分子式為a-Al2O3,由三個(gè)氧原子和兩個(gè)招原子以共價(jià)鍵形式結(jié)合而成,其晶體結(jié)構(gòu)為六方晶體結(jié)構(gòu),藍(lán)寶石硬度很高(莫氏硬度9級(jí)),僅次于金剛石,它常被應(yīng)用的切面有A-Plane、C-Plane和R-Plane。藍(lán)寶石晶體是一種集優(yōu)良光學(xué)性能、物理性能和化學(xué)性能的獨(dú)特結(jié)合體,其優(yōu)良的性能使藍(lán)寶石晶體成為現(xiàn)代工業(yè)重要基礎(chǔ)材料,除被軍用紅外裝置、導(dǎo)彈、潛艇、衛(wèi)星空間技術(shù)、探測和高功率強(qiáng)激光等尖端科技廣泛應(yīng)用外,它還為微電子、光電子、半導(dǎo)體、光通信、信息顯示、精密機(jī)械、國防軍事及國內(nèi)外重大科學(xué)工程等眾多熱電領(lǐng)域技術(shù)發(fā)展尤其是藍(lán)(白)光LED照明產(chǎn)業(yè)提供了窗口材料。目前采用泡生法、提拉法等方法已可以生長出直徑在300mm以上的大尺寸藍(lán)寶石晶體,但由于藍(lán)寶石晶體硬度很高,如何才能快速、精確完成藍(lán)寶石晶體毛坯的加工處理便成為值得關(guān)注的問題。目前普遍采用的藍(lán)寶石晶體毛坯切割方式通常包括內(nèi)、外圓切割法、帶鋸切割和金剛線的直線進(jìn)給切割方式。內(nèi)、外圓切割法使用刀口邊緣鑲有金剛石顆粒的金屬圓片來切割晶體,切割得到的晶體尺寸精度不高,平整度較差,且不能連續(xù)切割,切割效率低;帶鋸切割法以邊緣渡金剛砂的金屬鋸條進(jìn)行切割,這種切割方式的不足在于切割效率低,切割出的晶體表面質(zhì)量較差,特別是針對(duì)大尺寸的藍(lán)寶石晶體,而且承載金剛砂的金屬基材容易出現(xiàn)斷裂的現(xiàn)象,鋸帶使用周期短,需要經(jīng)常進(jìn)行更換;而金剛線的直線進(jìn)給切割方式利用金剛線的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體的切割,其是將藍(lán)寶石晶體毛坯置于金剛線的上方,待金剛線高速運(yùn)行時(shí),迫使藍(lán)寶石晶體毛坯壓迫金剛線,經(jīng)由該高速運(yùn)行的金剛線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯的弧面進(jìn)行摩擦而開始直線式切割作業(yè),當(dāng)金剛線由藍(lán)寶石晶體毛坯一側(cè)切割至另一側(cè)時(shí),即將藍(lán)寶石晶體毛坯切割為藍(lán)寶石晶片,這種金剛線的直線進(jìn)給切割方式雖然提高了切割后的晶體的表面質(zhì)量,但是,由于圓柱體的藍(lán)寶石晶體在切割至一半時(shí),與剛開始切割時(shí)相比,金剛線與藍(lán)寶石晶體毛坯由于為線接觸方式,其接觸面最大,金剛線受到的運(yùn)行阻力最大,存在冷卻效果不好,切割過程中會(huì)產(chǎn)生大量熱量,同時(shí),切割至一半時(shí),金剛線行程最大,切割緩慢,從而造成切割效率低的問題。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決以上現(xiàn)有技術(shù)中藍(lán)寶石晶體毛坯在切割處理過程中所存在的問題,本發(fā)明提供了一種晶體毛坯的切割方法,包括晶錠C面的切割、晶棒端面的切割、以及籽晶的加工,不僅能提聞晶體毛還的切割效率、質(zhì)量和切割精確度,還可以有效利用余料,提聞晶體毛坯的利用率,降低加工成本。本發(fā)明所提供的技術(shù)方案為一種晶體毛坯的切割方法,包括以下步驟
確定藍(lán)寶石晶體毛坯的切割位置,并劃標(biāo)記線做好切割位置標(biāo)記;將藍(lán)寶石晶體毛坯固定安裝在切割工作臺(tái)上,并調(diào)整金剛線與藍(lán)寶石晶體毛坯的垂直高度,使金剛線對(duì)準(zhǔn)并壓在藍(lán)寶石晶體毛坯的標(biāo)記線上,并保證金剛線進(jìn)給所形成的平面與藍(lán)寶石晶體毛坯上的標(biāo)記線切割后形成的切割平面重合;打開冷卻液閥門,通過冷卻液對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行冷卻,利用金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割,其中,所述搖擺式切割方式為藍(lán)寶石晶體毛坯保持固定不動(dòng),金剛線沿垂直于藍(lán)寶石晶體毛坯放置的方向進(jìn)給運(yùn)行,且金剛線在其進(jìn)給所形成的平面內(nèi)進(jìn)行搖擺,而與藍(lán)寶石晶體毛坯形成不同位置的切割接觸點(diǎn),以在不同位置的切割接觸點(diǎn)處連續(xù)切割藍(lán)寶石晶體毛坯。進(jìn)一步的,所述將所述藍(lán)寶石晶體毛坯固定安裝在切割工作臺(tái)上的步驟為藍(lán)寶石晶體毛坯采用AB膠或者Q膠粘貼在工件板上,再將工件板固定在切割機(jī)上。
進(jìn)一步的,所述的晶體毛坯的切割方法還包括在切割完成后,取下切割部分材料,所述的取下切割部分材料的步驟為取下藍(lán)寶石晶體毛坯切割后的余料及粘貼在其上的工件板,放入烘箱內(nèi)進(jìn)行加熱脫膠處理,脫膠后取下切割好的晶體。進(jìn)一步的,金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割時(shí),所述金剛線的線速度為600 1000m/min,所述金剛線的線進(jìn)給量為I 4mm/min。進(jìn)一步的,金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割時(shí),所述金剛線采用回線的進(jìn)給方式,其中,進(jìn)線量600 1000m,回線量400 800m。進(jìn)一步的,金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割時(shí),所述金剛線各處張力均勻分布,其張力為25 40N。進(jìn)一步的,金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割時(shí),所述金剛線搖擺角度為3 6°,搖擺頻率為每分鐘10 30次。進(jìn)一步的,所述金剛線的直徑為O. 25 O. 35mm。進(jìn)一步的,所述冷卻液中切削液與水的體積配比為I : (15 30)。本發(fā)明的晶體毛坯的切割方法可用于晶錠C面的切割、晶棒端面的切割、或籽晶的加工。本發(fā)明晶體毛坯的切割方法具有以下有益效果(I)本發(fā)明選用金剛線的搖擺式切割方式對(duì)晶體毛坯進(jìn)行切割,與傳統(tǒng)的金剛線直線式切割方式相比,金剛線與晶體毛坯由傳統(tǒng)的線接觸變?yōu)辄c(diǎn)接觸,不僅能有效排除切割過程中產(chǎn)生的大量熱量,而且能提高切割的效率。(2)采用金剛線的搖擺式切割方式線切割晶體毛坯,晶體表面具有較好的平坦度,晶體毛坯在切割過程為連續(xù)切割過程,金剛線處于擺動(dòng)狀態(tài),晶體處于固定狀態(tài),避免了晶體切割面出現(xiàn)較大偏差,具有較好的平坦度。(3)金剛線采用回線的進(jìn)給方式,能最大限度的利用金剛線,降低成本。(4)晶體毛坯的固定采用AB膠或Q膠進(jìn)行粘貼固定,脫膠時(shí)只需進(jìn)行加熱皆可,不會(huì)對(duì)晶體造成損壞。(5)切割工藝簡單,操作方便。
圖I為金剛線對(duì)晶體毛坯的搖擺式切割方式的示意圖;圖2為本發(fā)明晶體毛坯的切割方法的操作流程圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的實(shí)施例要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。下面僅以大尺寸藍(lán)寶石晶體為例,當(dāng)然可以理解的是,本實(shí)施例中的晶體毛坯的切割方法還可適用于其他類型的寶石。為了解決現(xiàn)有技術(shù)中,藍(lán)寶石晶體毛坯尤其是直徑300mm以上的大尺寸藍(lán)寶石晶體毛坯在采用內(nèi)、外圓切割法、帶鋸切割和金剛線的直線進(jìn)給切割方式進(jìn)行切割時(shí)所存在的晶體尺寸精度不高、平整度較差、不能連續(xù)切割、切割效率低、切割產(chǎn)生大量熱量等問題,本發(fā)明提供了一種藍(lán)寶石晶體毛坯的切割方法,尤其適用于大尺寸藍(lán)寶石晶體毛坯的切害I],包括晶淀C面的切割、晶棒端面的切割以及桿晶的加工,不僅能提聞晶體毛還的切割效率、質(zhì)量和切割精確度,還可以有效利用余料,提高晶體毛坯的利用率,降低加工成本。本發(fā)明晶體毛坯的切割方法是采用金剛線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行線切割,與傳統(tǒng)的金剛線直線進(jìn)給切割方式或帶鋸切割方式相比,本發(fā)明的改進(jìn)之處在于,本發(fā)明晶體毛坯的切割方法是通過金剛線搖擺式切割方式對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割。如圖I所示為金剛線的搖擺式切割方式的示意圖。如圖I所示,搖擺式切割方式的操作為藍(lán)寶石晶體毛坯I保持固定不動(dòng),金剛線2沿垂直于藍(lán)寶石晶體毛坯I放置的方向進(jìn)給運(yùn)行,且金剛線2在其進(jìn)給所形成的平面內(nèi)以一定搖擺角度α進(jìn)行搖擺(如圖中虛線和箭頭方向所示),而與藍(lán)寶石晶體毛坯I形成不同位置的切割接觸點(diǎn)(圖中僅畫出三個(gè)切割接觸點(diǎn)a、b、c),使得金剛線2與藍(lán)寶石晶體毛坯I實(shí)現(xiàn)點(diǎn)接觸(此處的點(diǎn)接觸,在切割進(jìn)行至一半時(shí),也可以理解為,與金剛線直線進(jìn)給方式相比較而言,金剛線2與藍(lán)寶石晶體毛坯I之間接觸面小很多),從而使得金剛線2在不同位置的切割接觸點(diǎn)位置處、沿其進(jìn)給方向連續(xù)切割藍(lán)寶石晶體毛坯。本發(fā)明選用金剛線的搖擺式切割方式切割工藝簡單,操作方便,與傳統(tǒng)的金剛線直線式切割方式相比,金剛線與藍(lán)寶石晶體毛坯由傳統(tǒng)的線接觸變?yōu)辄c(diǎn)接觸(或者,金剛線2與藍(lán)寶石晶體毛坯I之間接觸面小很多),不僅能有效排除切割過程中產(chǎn)生的大量熱量,而且能提高切割的效率;同時(shí),采用金剛線的搖擺式切割方式線切割晶體毛坯,晶體表面具有較好的平坦度,晶體毛坯在切割過程為連續(xù)切割過程,金剛線處于擺動(dòng)狀態(tài),晶體處于固定狀態(tài),避免了晶體切割面出現(xiàn)較大偏差,具有較好的平坦度。圖2為本發(fā)明大尺寸藍(lán)寶石晶體毛坯的操作流程圖。如圖2所示,本發(fā)明晶體毛坯的切割方法具體操作步驟為步驟101、確定藍(lán)寶石晶體毛坯的切割位置,并劃標(biāo)記線做好切割位置標(biāo)記;步驟102、將藍(lán)寶石晶體毛坯固定安裝在切割工作臺(tái)上,并調(diào)整金剛線與藍(lán)寶石晶體毛坯的垂直高度,使金剛線對(duì)準(zhǔn)并壓在藍(lán)寶石晶體毛坯的標(biāo)記線上,并保證金剛線進(jìn)給 所形成的平面與藍(lán)寶石晶體毛坯上的標(biāo)記線切割后形成的切割平面重合;步驟103、打開冷卻液閥門,通過冷卻液對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行冷卻,利用金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割;步驟104、取下切割部分材料。以下通過具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明晶體毛坯的切割方法進(jìn)行詳細(xì)介紹,并確定采用本發(fā)明切割方法在藍(lán)寶石晶錠的切割、晶棒的切割以及籽晶的加工中的優(yōu)選切割參數(shù),以保證晶體毛還在切割效率提聞的同時(shí),晶體的尺寸精度聞,平整度好,提聞晶體表面質(zhì)量。實(shí)施例I 85Kg藍(lán)寶石晶錠的切割,具體操作過程如下(I)選用直徑為O. 25 O. 35mm的金剛線,調(diào)節(jié)切割機(jī)上安裝金剛線的線輪、張緊輪、導(dǎo)向輪,保證金剛線各處張力均勻分布。(2)配制冷卻液冷卻液優(yōu)選藍(lán)寶石專用切削液,以切削液與水I : (15 30)的體積配比進(jìn)行配制。(3)確定藍(lán)寶石晶錠的待切割區(qū)域先粗切出藍(lán)寶石晶錠的C面,通過觀察生長成型的藍(lán)寶石晶錠表面,初步確定C向,并用記號(hào)筆劃出標(biāo)記線做好切割位置標(biāo)記,確定待切割區(qū)域。(4)安裝固定藍(lán)寶石晶體毛坯將標(biāo)記后的藍(lán)寶石晶錠用AB膠(雙組份膠)或Q膠粘貼在工件板上,再將工件板固定在切割機(jī)的切割工作臺(tái)上,通過切割機(jī)的夾具夾緊藍(lán)寶石晶錠,調(diào)整夾具與金剛線的垂直高度,并使金剛線對(duì)準(zhǔn)恰好壓在標(biāo)記線上,并保證金剛線進(jìn)給所形成的平面與藍(lán)寶石晶錠上的標(biāo)記線切割后形成的切割平面(C面)重合。(5)設(shè)定切割參數(shù),包括金剛線的線速度、線進(jìn)給量、線張力、回線量、搖擺角度和搖擺頻率等參數(shù),其中,金剛線的線速度600 1000m/min,線進(jìn)給量I 4mm/min進(jìn)進(jìn)線量600 1000m,回線量400 800m ;金剛線張力25 40N ;搖擺角度3 6度,搖擺頻率每分鐘10-30次。(6)打開冷卻液閥門,通過冷卻液對(duì)藍(lán)寶石晶錠進(jìn)行冷卻,按設(shè)定的切割參數(shù)采用金剛線的搖擺式切割方式切割藍(lán)寶石晶錠,直至切割完畢。(7)切割完成后,將工件板及粘貼在其上的藍(lán)寶石晶錠放入烘箱中進(jìn)行加熱脫膠處理,脫膠后即可取下切割后的晶錠。實(shí)施例2藍(lán)寶石晶棒端面的切割,具體操作過程如下(I)選用直徑為O. 25 O. 35mm的金剛線,調(diào)節(jié)切割機(jī)上安裝金剛線的線輪、張緊輪、導(dǎo)向輪,保證金剛線各處張力均勻分布。(2)配制冷卻液冷卻液優(yōu)選藍(lán)寶石專用切削液,以切削液與水I : (15 30)的體積比例進(jìn)行配制。(3)確定藍(lán)寶石晶棒待切割端面觀察套棒后晶棒內(nèi)部質(zhì)量,確定晶棒的可利用區(qū)域,用記號(hào)筆標(biāo)記切割位置,確定待切割端面。(4)安裝固定藍(lán)寶石晶棒將標(biāo)記后的藍(lán)寶石晶錠用AB膠(雙組份膠)或Q膠粘貼在工件板上,再將工件板固定在切割機(jī)的切割工作臺(tái)上,通過切割機(jī)的夾具夾緊藍(lán)寶石晶錠,調(diào)整夾具與金剛線的垂直高度,并使金剛線對(duì)準(zhǔn)恰好壓在標(biāo)記線上,并保證金剛線進(jìn)給所形成的平面與晶棒上的標(biāo)記線切割后形成的切割平面(切割端面)重合。(5)設(shè)定切割參數(shù),包括金剛線的線速度、線進(jìn)給量、線張力、回線量、搖擺角度和搖擺頻率等參數(shù),其中,
金剛線的線速度600 1000m/min,線進(jìn)給量I 4mm/min ;進(jìn)線量6OO 1000m,回線量400 8OOm ;金剛線張力25 40N;搖擺角度3 6度,搖擺頻率每分鐘10 30次。(6)打開冷卻液閥門,通過冷卻液對(duì)晶棒進(jìn)行冷卻,按設(shè)定的切割參數(shù)采用金剛線的搖擺式切割方式切割晶棒,直至切割完畢。(7)切割完成后,將工件板及粘貼在其上的晶棒放入烘箱中進(jìn)行加熱脫膠處理,脫膠后即可取下切割后的晶棒。實(shí)施例3上述實(shí)施例中的監(jiān)寶石晶淀或晶棒切割后的晶體余料可用于加工桿晶,提聞晶體利用率,降低加工成本。籽晶的加工的具體操作過程如下(I)選用直徑為O. 25 O. 35mm的金剛線,調(diào)節(jié)切割機(jī)上安裝金剛線的線輪、張緊輪、導(dǎo)向輪,保證金剛線各處張力均勻分布。(2)配制冷卻液冷卻液優(yōu)選藍(lán)寶石專用切削液,以切削液與水I : (15 30)的體積比例進(jìn)行配制。(3)確定籽晶待切割端面確定待切割籽晶的寬度,用記號(hào)筆在晶體余料上劃標(biāo)記線標(biāo)記切割位置,確定待切割端面。(4)安裝固定帶切割余料將藍(lán)寶石晶體切割后的余料采用AB膠或Q膠粘貼在工件板上,然后將工件板固定在切割機(jī)上,切割機(jī)夾具加緊工件板,并調(diào)節(jié)夾具與金剛線的垂直位置,使金剛線對(duì)準(zhǔn)并恰好壓在標(biāo)記線上,并保證金剛線進(jìn)給所形成的平面與晶棒上的標(biāo)記線切割后形成的切割平面(切割端面)重合。(5)設(shè)定切割參數(shù),包括金剛線的線速度、線進(jìn)給量、線張力、回線量、搖擺角度和搖擺頻率等參數(shù),其中,金剛線的線速度600 1000m/min,線進(jìn)給量I 4mm/min ;進(jìn)線量600 1000m,回線量400 800m ;金剛線張力25 40N,搖擺角度3 6度,搖擺頻率每分鐘10 30次。(6)打開冷卻液閥門,通過冷卻液對(duì)切割后的晶體余料進(jìn)行冷卻,按設(shè)定的切割參數(shù)采用金剛線的搖擺式切割方式切割晶體余料,直至切割完畢。(7)切割完成后,將工件板及粘貼在其上的晶體余料放入烘箱中進(jìn)行加熱脫膠處理,脫膠后即可取下加工好的籽晶。以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下,還可以作出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種晶體毛坯的切割方法,其特征在于,包括以下步驟 確定藍(lán)寶石晶體毛坯的切割位置,并劃標(biāo)記線做好切割位置標(biāo)記; 將藍(lán)寶石晶體毛坯固定安裝在切割工作臺(tái)上,并調(diào)整金剛線與藍(lán)寶石晶體毛坯的垂直高度; 通過冷卻液對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行冷卻,利用金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶體毛坯的切割方法,其特征在于,所述搖擺式切割方式為藍(lán)寶石晶體毛坯保持固定不動(dòng),金剛線沿垂直于藍(lán)寶石晶體毛坯放置的方向進(jìn)給運(yùn)行,且金剛線在其進(jìn)給所形成的平面內(nèi)進(jìn)行搖擺,而與藍(lán)寶石晶體毛坯形成不同位置的切割接觸點(diǎn),以在不同位置的切割接觸點(diǎn)位置處連續(xù)切割藍(lán)寶石晶體毛坯。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的晶體毛坯的切割方法,其特征在于,所述將藍(lán)寶石晶體毛坯固定安裝在切割工作臺(tái)上的步驟為 藍(lán)寶石晶體毛坯采用AB膠或者Q膠粘貼在工件板上,再將工件板固定在切割機(jī)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體毛坯的切割方法,其特征在于,所述的切割方法還包括切割完成后,取下藍(lán)寶石晶體毛坯切割后的晶體余料及粘貼在其上的工件板,放入烘箱內(nèi)進(jìn)行加熱脫膠處理,脫膠后取下切割好的晶體。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的晶體毛坯的切割方法,其特征在于金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割時(shí),所述金剛線的線速度為600 1000m/min,線進(jìn)給量為I 4mm/min。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的晶體毛坯的切割方法,其特征在于,金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割時(shí),所述金剛線采用回線的進(jìn)給方式,其中,進(jìn)線量600 1000m,回線量400 800m。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的晶體毛坯的切割方法,其特征在于,金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割時(shí),所述金剛線各處張力均勻分布,其張力為25 40N。
8.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的晶體毛坯的切割方法,其特征在于,金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割時(shí),所述金剛線的搖擺角度為3 6度,搖擺頻率為每分鐘10 30次。
9.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的晶體毛坯的切割方法,其特征在于所述金剛線的直徑為 O. 25 O. 35mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的晶體毛坯的切割方法,其特征在于所述冷卻液中切削液與水的體積配比為I : (15 30)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種晶體毛坯的切割方法,首先,確定藍(lán)寶石晶體毛坯的切割位置,并劃標(biāo)記線做好切割位置標(biāo)記;然后,將藍(lán)寶石晶體毛坯固定安裝在切割工作臺(tái)上,并調(diào)整金剛線與藍(lán)寶石晶體毛坯的垂直高度;然后,通過冷卻液對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行冷卻,利用金剛線以搖擺式切割方式沿標(biāo)記線對(duì)藍(lán)寶石晶體毛坯進(jìn)行切割;最后,取下切割部分材料。本發(fā)明的切割方法選用金剛線的搖擺式切割方式,不僅能提高晶體毛坯的切割效率、質(zhì)量和切割精確度,還可以有效利用余料,提高晶體毛坯的利用率,降低加工成本。
文檔編號(hào)B28D5/04GK102632555SQ20121002611
公開日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2012年2月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月7日
發(fā)明者孫永超, 拾康, 田野, 談佳華, 陳翼 申請(qǐng)人:徐州協(xié)鑫光電科技有限公司