一種晶體倒邊機的倒筒的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種定位非常方便、并可提高密封效果的晶體倒邊機的倒筒，包括：由具有球形面內(nèi)腔的上、下半球體通過固定連接機構(gòu)對合而成的倒筒體，上、下半球體的頂部分別設(shè)置有相互平行的夾持平臺，上、下半球體的對合面上分別設(shè)置有相互錯開的外伸出凸臺和內(nèi)伸出凸臺，形成臺階狀，內(nèi)伸出凸臺的外側(cè)面和外伸出凸臺的內(nèi)側(cè)面為相互配合的導(dǎo)向錐面，內(nèi)伸出凸臺的頂面與上半球體的端面上分別開設(shè)有半圓形的第一環(huán)形密封槽，該對第一環(huán)形密封槽中設(shè)置有第一密封圈，外伸出凸臺的頂面與下半球體的端面上分別開設(shè)有半圓形的第二環(huán)形密封槽，該對第二環(huán)形密封槽中設(shè)置有第二密封圈。該倒筒主要用于對晶體的研磨倒邊。
【專利說明】一種晶體倒邊機的倒筒

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及到一種用于半導(dǎo)體行業(yè)的晶體倒邊機，尤其涉及到一種晶體倒邊機的倒筒。

【背景技術(shù)】
[0002]目前的晶體倒邊機的倒筒，其結(jié)構(gòu)通常包括:由具有球形面內(nèi)腔的上、下半球體通過安裝法蘭和相配合的固定連接件對合而成的倒筒體，所述上、下半球體的頂部分別設(shè)置有相互平行的夾持平臺，上、下半球體的端面即對合面上分別開設(shè)有半圓形的環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中設(shè)置有密封圈。這種倒筒在安裝時，上、下半球體的定位非常困難，很容易錯位，從而影響到安裝精度；此外，由于上、下半球體之間只安裝了一道密封圈，密封效果較差，在長期使用過程中，經(jīng)常發(fā)生研磨液滲漏的現(xiàn)象，影響研磨效果。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是:提供一種定位非常方便、并可提高密封效果的晶體倒邊機的倒筒。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案為:一種晶體倒邊機的倒筒，包括:由具有球形面內(nèi)腔的上、下半球體通過固定連接機構(gòu)對合而成的倒筒體，上、下半球體的頂部分別設(shè)置有相互平行的夾持平臺，上、下半球體的對合面上分別設(shè)置有相互錯開的夕卜伸出凸臺和內(nèi)伸出凸臺，使得上、下球體的對合面均形成臺階狀，內(nèi)伸出凸臺的外側(cè)面和外伸出凸臺的內(nèi)側(cè)面為相互配合的導(dǎo)向錐面，內(nèi)伸出凸臺的頂面與上半球體的端面上分別開設(shè)有半圓形的第一環(huán)形密封槽，該對第一環(huán)形密封槽中設(shè)置有第一密封圈，外伸出凸臺的頂面與下半球體的端面上分別開設(shè)有半圓形的第二環(huán)形密封槽，該對第二環(huán)形密封槽中設(shè)置有第二密封圈。
[0005]作為一種優(yōu)選方案，在所述的晶體倒邊機的倒筒中，所述的固定連接機構(gòu)包括:分別設(shè)置在上、下半球體沿口的安裝法蘭，這一對安裝法蘭上開設(shè)若干對相配合的固定通孔，這若干對固定通孔中分別穿設(shè)有固定螺栓，固定螺栓穿出固定通孔后擰設(shè)有固定螺母。
[0006]作為一種優(yōu)選方案，在所述的晶體倒邊機的倒筒中，所述的固定通孔沿周向均勻布置在相應(yīng)的安裝法蘭上。
[0007]作為一種優(yōu)選方案，在所述的晶體倒邊機的倒筒中，所述的夾持平臺上還分別設(shè)置有定位凸臺。
[0008]本實用新型的有益效果是:由于本實用新型在上、下半球體的對合面上設(shè)置了相互錯開的外伸出凸臺和內(nèi)伸出凸臺，并且，內(nèi)伸出凸臺的外側(cè)面和外伸出凸臺的內(nèi)側(cè)面為相互配合的導(dǎo)向錐面，使得上、下半球體的安裝定位非常方便，提高了上、下半球體的安裝精度；此外，由于在上、下半球體的對合面之間設(shè)置了不在同一平面上的第一密封圈和第二密封圈，而且，內(nèi)、外伸出凸臺的導(dǎo)向錐面也起到了密封作用，從而大大提高了密封效果。另夕卜，設(shè)置在夾持平臺上的定位凸臺可使得整個倒筒的加裝定位更加精準(zhǔn)方便。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型所述晶體倒邊機的倒筒的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2是圖1中A部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖1至圖2中的附圖標(biāo)記為:1、上半球體，11、上夾持平臺，111、上定位凸臺，12、上安裝法蘭，13、外伸出凸臺，131、內(nèi)外面，2、下半球體，21、下夾持平臺，211、下定位凸臺，22、下安裝法蘭，23、內(nèi)伸出凸臺，231、外側(cè)面，3、第一密封圈，4、第二密封圈，5、固定螺栓，6、固定螺母。

【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖，詳細(xì)描述本實用新型所述的一種晶體倒邊機的倒筒的具體實施方案:
[0013]如圖1所示，本實用新型所述的一種晶體倒邊機的倒筒，包括:由具有球形面內(nèi)腔的上、下半球體I和2通過作為固定連接機構(gòu)的上、下安裝法蘭12和22以及若干對固定螺栓5和固定螺母6對合而成的倒筒體，其中，上安裝法蘭12安裝在上半球體I的沿口，下安裝法蘭22安裝在下半球體2的沿口，上、下安裝法蘭12和22上沿著周向均勻開設(shè)有若干對相互對應(yīng)貫通的固定通孔，每對固定通孔中穿設(shè)有固定螺栓5，固定螺栓5穿出固定通孔后，擰設(shè)有固定螺母6 ;所述上半球體I的頂部設(shè)置有上夾持平臺11，所述下半球體2的頂部設(shè)置有與上夾持平臺11相平行的下夾持平臺21，所述上、下半球體I和2的對合面上分別設(shè)置有相互錯開的外伸出凸臺13和內(nèi)伸出凸臺23，使得上、下球體I和2的對合面均形成臺階狀，內(nèi)伸出凸臺23的外側(cè)面231和外伸出凸臺13的內(nèi)側(cè)面131為相互配合的導(dǎo)向錐面，內(nèi)伸出凸臺23的頂面與上半球體I的端面上分別開設(shè)有半圓形的第一環(huán)形密封槽，該對第一環(huán)形密封槽中設(shè)置有第一密封圈3，外伸出凸臺13的頂面與下半球體2的端面上分別開設(shè)有半圓形的第二環(huán)形密封槽，該對第二環(huán)形密封槽中設(shè)置有第二密封圈4 ;在本實施例中，所述的上夾持平臺11上設(shè)置有上定位凸臺111，所述的下夾持平臺21上設(shè)置有下定位凸臺211。
[0014]本實用新型的安裝非常方便，只需將上、下半球體I和2對合在一起，然后通過若干對由固定螺栓5和固定螺母6組成的固定連接件固定在一起。
[0015]綜上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用來限定本實用新型實施的范圍，凡依本實用新型權(quán)利要求范圍所述的形狀、構(gòu)造、特征及精神所作的均等變化與修飾，均應(yīng)包括在本實用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶體倒邊機的倒筒，包括:由具有球形面內(nèi)腔的上、下半球體通過固定連接機構(gòu)對合而成的倒筒體，上、下半球體的頂部分別設(shè)置有相互平行的夾持平臺，其特征在于:所述上、下半球體的對合面上分別設(shè)置有相互錯開的外伸出凸臺和內(nèi)伸出凸臺，使得上、下球體的對合面均形成臺階狀，內(nèi)伸出凸臺的外側(cè)面和外伸出凸臺的內(nèi)側(cè)面為相互配合的導(dǎo)向錐面，內(nèi)伸出凸臺的頂面與上半球體的端面上分別開設(shè)有半圓形的第一環(huán)形密封槽，該對第一環(huán)形密封槽中設(shè)置有第一密封圈，外伸出凸臺的頂面與下半球體的端面上分別開設(shè)有半圓形的第二環(huán)形密封槽，該對第二環(huán)形密封槽中設(shè)置有第二密封圈。
2.如權(quán)利要求1所述的晶體倒邊機的倒筒，其特征在于，所述的固定連接機構(gòu)包括:分別設(shè)置在上、下半球體沿口的安裝法蘭，這一對安裝法蘭上開設(shè)若干對相配合的固定通孔，這若干對固定通孔中分別穿設(shè)有固定螺栓，固定螺栓穿出固定通孔后擰設(shè)有固定螺母。
3.如權(quán)利要求2所述的晶體倒邊機的倒筒，其特征在于，所述的固定通孔沿周向均勻布置在相應(yīng)的安裝法蘭上。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的晶體倒邊機的倒筒，其特征在于，所述的夾持平臺上還分別設(shè)置有定位凸臺。
【文檔編號】H01L21/67GK204144226SQ201420577827
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年10月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月8日
【發(fā)明者】戚林 申請人:江蘇中科晶元信息材料有限公司