專(zhuān)利名稱(chēng)：晶錠線切割裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將硅單晶促切割加工成硅片的多線切割機(jī)，特別是一種晶錠線切割裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體，晶體類(lèi)別的太陽(yáng)能電池向的硅片基本上都是由以硅為原料鑄造的單晶體和多晶體所制造的，為了將拉出的晶棒或是鑄造出的多晶錠加工成硅片形狀，其主要加工方法是將一根切割線繞在上面切有等間隔切割槽的導(dǎo)輪上，以控制切割線的方向，然后一面讓切割線雙向高速移動(dòng)，一面將晶錠壓在線上，通過(guò)多線切割方式得到很薄的硅片，這樣一次切割就能得到大量的硅片。一共有兩種切割方式，一種是在切割硅片時(shí)，將液體砂漿噴在線上，以取得切割能力，還有一種方法是，使用切割線表面固著有金剛砂粒的金剛線，然 后讓切割線高速移動(dòng)來(lái)切割。這兩種方式區(qū)別很大。在上述線切割設(shè)備中加上搖動(dòng)機(jī)構(gòu)，就能成為提高切斷效率的線切割。一般說(shuō)來(lái)，搖動(dòng)軸中心和表面附有很多線槽的切割線導(dǎo)輪中心都設(shè)在一個(gè)水平面上。這樣，隨著搖動(dòng)角度的變化，晶錠切斷部的切割線高度也經(jīng)常變化，會(huì)發(fā)生切割線和晶錠分離的狀態(tài)。而切割線不接觸晶錠的話(huà)，切割就無(wú)法進(jìn)行，這樣會(huì)導(dǎo)致切斷效率變低。另外，雖然將停止時(shí)間變長(zhǎng)的話(huà)，也可以使切斷效率比原來(lái)的方式要高，但是，如果在同樣角度進(jìn)行切割的話(huà)，會(huì)導(dǎo)致切削無(wú)法排出，切斷效率反而會(huì)降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種當(dāng)線搖動(dòng)時(shí)、使切割線的上下移動(dòng)降到最低、提高切割效率的晶錠線切割裝置及其使用方法。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明晶錠線切割裝置，包括線切割搖動(dòng)部；切割線導(dǎo)輪，所述切割線導(dǎo)輪設(shè)置在所述線切割搖動(dòng)部上，所述線切割導(dǎo)輪的數(shù)量為兩個(gè)，在所述切割線導(dǎo)輪的表面附有多個(gè)線槽；切割線，所述切割線卡在所述線槽內(nèi)，所述切割線連接在兩個(gè)所述線切割導(dǎo)輪之間；所述切割線的搖動(dòng)軸中心和晶錠切斷部處于同一水平面上。本發(fā)明晶錠線切割裝置將切割線的搖動(dòng)部分上所設(shè)置的表面附有很多線槽的切割線導(dǎo)輪進(jìn)行重新布置，切割線的搖動(dòng)軸中心和晶錠切斷部處于同一水平。這樣，搖動(dòng)時(shí)切割線的上下移動(dòng)就會(huì)消失，能夠保持長(zhǎng)時(shí)間和晶錠接觸，能夠提高切斷效率；同時(shí)，就算縮短停止時(shí)間，切斷效率也不會(huì)降低，切屑也能更有效地排出，也能夠更有效地提高切斷效率。


圖IA為現(xiàn)有技術(shù)線切割裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖IB為現(xiàn)有技術(shù)線切割裝置晶錠切割部局部放大圖；圖2A為本發(fā)明晶錠線切割裝置結(jié)構(gòu)示意圖2B為本發(fā)明晶錠線切割裝置晶錠切割部局部放大圖；本發(fā)明晶錠線切割裝置附圖中附圖標(biāo)記說(shuō)明I-線切割搖動(dòng)部 2-切割線導(dǎo)輪 3-切割線
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明晶錠線切割裝置及其使用方法作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。如圖I、圖2所示，本發(fā)明晶錠線切割裝置，包括線切割搖動(dòng)部I以及兩個(gè)設(shè)置在線切割搖動(dòng)部I上的線切割導(dǎo)輪2，在切割線導(dǎo)輪2的表面附有多個(gè)線槽(圖中未示出)，切割線3卡在線槽(圖中未示出)內(nèi)，連接在兩個(gè)線切割導(dǎo)輪之間。將切割線3的搖動(dòng)軸中心設(shè)置在于晶錠切斷部處于同一水平面上。
搖動(dòng)角度為±5°，搖動(dòng)速度每分鐘300°，土5°的位置上停止時(shí)間為I秒的情況下，合計(jì)10°的搖動(dòng)要2秒，停止時(shí)間±5°的位置上一共為2秒。按照原來(lái)的構(gòu)造，在搖動(dòng)角度最大時(shí)，晶錠和切割線才有接觸，也就會(huì)說(shuō)只有在±5°停止時(shí)間為2秒的時(shí)候才進(jìn)行切斷，而采用本發(fā)明的構(gòu)造，因?yàn)樵趽u動(dòng)過(guò)程中切割線不會(huì)上下移動(dòng)，所以能夠長(zhǎng)時(shí)間和晶錠進(jìn)行接觸，也就是說(shuō)，有4秒鐘的切斷時(shí)間，按這樣的條件，切斷效率就變成了原來(lái)的2倍。本發(fā)明晶錠線切割裝置將切割線的搖動(dòng)部分上所設(shè)置的表面附有很多線槽的切割線導(dǎo)輪進(jìn)行重新布置，切割線的搖動(dòng)軸中心和晶錠切斷部處于同一水平。這樣，搖動(dòng)時(shí)切割線的上下移動(dòng)就會(huì)消失，能夠保持長(zhǎng)時(shí)間和晶錠接觸，能夠提高切斷效率；同時(shí)，就算縮短停止時(shí)間，切斷效率也不會(huì)降低，切屑也能更有效地排出，也能夠更有效地提高切斷效率。以上已對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于實(shí)施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請(qǐng)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.晶錠線切割裝置，其特征在于，包括 線切割搖動(dòng)部； 切割線導(dǎo)輪，所述切割線導(dǎo)輪設(shè)置在所述線切割搖動(dòng)部上，所述線切割導(dǎo)輪的數(shù)量為兩個(gè)，在所述切割線導(dǎo)輪的表面附有多個(gè)線槽； 切割線，所述切割線卡在所述線槽內(nèi)，所述切割線連接在兩個(gè)所述線切割導(dǎo)輪之間； 所述切割線的搖動(dòng)軸中心和晶錠切斷部處于同一水平面上。
全文摘要
本發(fā)明涉及晶錠線切割裝置，包括線切割搖動(dòng)部；切割線導(dǎo)輪，所述切割線導(dǎo)輪設(shè)置在所述線切割搖動(dòng)部上，所述線切割導(dǎo)輪的數(shù)量為兩個(gè)，在所述切割線導(dǎo)輪的表面附有多個(gè)線槽；切割線，所述切割線卡在所述線槽內(nèi)，所述切割線連接在兩個(gè)所述線切割導(dǎo)輪之間；所述切割線的搖動(dòng)軸中心和晶錠切斷部處于同一水平面上。本發(fā)明晶錠線切割裝置將切割線的搖動(dòng)部分上所設(shè)置的表面附有很多線槽的切割線導(dǎo)輪進(jìn)行重新布置，切割線的搖動(dòng)軸中心和晶錠切斷部處于同一水平。這樣，搖動(dòng)時(shí)切割線的上下移動(dòng)就會(huì)消失，能夠保持長(zhǎng)時(shí)間和晶錠接觸，能夠提高切斷效率；同時(shí)，就算縮短停止時(shí)間，切斷效率也不會(huì)降低，切屑也能更有效地排出，能夠更有效地提高切斷效率。
文檔編號(hào)B28D5/04GK102922612SQ20121047370
公開(kāi)日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2012年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月21日
發(fā)明者郡司拓, 賀賢漢 申請(qǐng)人:上海漢虹精密機(jī)械有限公司