晶棒線切割裝置的制造方法
【專利摘要】晶棒線切割裝置，包括機(jī)架、晶棒夾具和切割輥，晶棒夾具包括相對(duì)設(shè)置的帶有旋轉(zhuǎn)軸的兩夾持塊，兩旋轉(zhuǎn)軸中的其中一個(gè)連接有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，另一個(gè)通過軸承座固定在機(jī)架上，晶棒的兩端粘接在兩夾持塊內(nèi)，金剛線纏繞于切割輥上，切割輥位于所述晶棒夾具的正上方，金剛線的走線方向與晶棒的軸向方向相對(duì)垂直，切割輥的一端通過軸承座連接切割電機(jī)，切割電機(jī)與旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)向相反，切割輥的上端連接有氣缸，氣缸的活塞桿通過連接架與切割輥連接，本實(shí)用新型設(shè)有電動(dòng)切割輥旋轉(zhuǎn)的切割電機(jī)和帶動(dòng)晶棒旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，兩電機(jī)轉(zhuǎn)向相反，加快了晶棒切片的速度，減小了金剛線與晶棒的接觸面積，極大地提高了切片的效率具有切割效率高、經(jīng)濟(jì)效益好的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】
晶棒線切割裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，特別是涉及一種晶棒線切割裝置?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]半導(dǎo)體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的日趨激烈，降低能耗、節(jié)省成本、提升良率成為技術(shù)發(fā)展的核心，晶棒的切割通常采用線切割方式，即將藍(lán)寶石晶棒置于金剛線的上方，晶棒緩緩下壓高速運(yùn)轉(zhuǎn)的金剛線，經(jīng)摩擦切割完成晶棒的切片操作，當(dāng)呈圓柱體的晶棒被切割到一半的時(shí)候，相較剛開始切割的時(shí)候，此時(shí)的金剛線與晶棒的接觸面最大，金剛線運(yùn)行中所受到的運(yùn)行阻力也就越大，加之藍(lán)寶石晶棒硬度較大，僅此于金剛石，因此直線切割的過程緩慢，不利于提高生產(chǎn)效率。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種晶棒線切割裝置，其加快了晶片切割的速度，保證了切割的質(zhì)量，具有經(jīng)濟(jì)效益好的特點(diǎn)。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是:晶棒線切割裝置，包括機(jī)架、晶棒夾具和切割輥，晶棒夾具包括相對(duì)設(shè)置的帶有旋轉(zhuǎn)軸的兩夾持塊，兩旋轉(zhuǎn)軸中的其中一個(gè)連接有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，另一個(gè)通過軸承座固定在機(jī)架上，晶棒的兩端粘接在兩夾持塊內(nèi)，金剛線纏繞于切割輥上，切割輥位于所述晶棒夾具的正上方，金剛線的走線方向與晶棒的軸向方向相對(duì)垂直，切割輯的一端通過軸承座連接切割電機(jī)，所述切割電機(jī)與旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)向相反，切割輥的上端連接有氣缸，氣缸的活塞桿通過連接架與切割輥連接，切割輥的內(nèi)部設(shè)置有壓力傳感器，所述的壓力傳感器與控制器電連接，控制器設(shè)置在機(jī)架的一側(cè)，氣缸的輸入端連接所述控制器。
[0005]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型設(shè)有電動(dòng)切割輥旋轉(zhuǎn)的切割電機(jī)和帶動(dòng)晶棒旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，兩電機(jī)轉(zhuǎn)向相反，加快了晶棒切片的速度，減小了金剛線與晶棒的接觸面積，極大地提高了切片的效率，采用控制器可以根據(jù)切割輥上的壓力傳感器傳來的數(shù)據(jù)對(duì)于氣缸的控制，從而合理的進(jìn)行下壓切割，保證切割輥上金剛線的張力在一個(gè)合適的范圍之內(nèi)，保證切割的質(zhì)量，而且不易斷線，本實(shí)用新型具有切割效率高、經(jīng)濟(jì)效益好的優(yōu)點(diǎn)?！靖綀D說明】
[0006]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0007]圖2為圖1的k向視圖。圖中:
[0008]1.氣缸，2.連接架，3.金剛線，4.切割輥，5.夾持塊，6.晶棒，7.壓力傳感器，8.切割電機(jī)，9.旋轉(zhuǎn)電機(jī)，10.機(jī)架?！揪唧w實(shí)施方式】
[0009]下面通過具體實(shí)施例進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
[0010]如圖1-2所示:晶棒線切割裝置，包括機(jī)架10、晶棒夾具和切割輥4，晶棒夾具包括相對(duì)設(shè)置的帶有旋轉(zhuǎn)軸的兩夾持塊5,兩旋轉(zhuǎn)軸中的其中一個(gè)連接有旋轉(zhuǎn)電機(jī)9,另一個(gè)通過軸承座固定在機(jī)架10上，晶棒6的兩端粘接在兩夾持塊5內(nèi)，消除了對(duì)藍(lán)寶石晶棒兩側(cè)的擠壓力，晶棒6在切割過程中不會(huì)出現(xiàn)斜切現(xiàn)象，降低截口損失;金剛線3纏繞于切割輥4上， 切割輥4位于所述晶棒夾具的正上方，金剛線3的走線方向與晶棒6的軸向方向相對(duì)垂直，切割輥4的一端通過軸承座連接切割電機(jī)8，所述切割電機(jī)8與旋轉(zhuǎn)電機(jī)9的轉(zhuǎn)向相反，本實(shí)用新型加快了晶棒6切片的速度，極大地提高了切片的效率，切割輥4的上端連接有氣缸1，氣缸1的活塞桿通過連接架2與切割輥4連接，切割輥4的內(nèi)部設(shè)置有壓力傳感器7,所述的壓力傳感器7與控制器電連接，控制器設(shè)置在機(jī)架的一側(cè)，氣缸1的輸入端連接所述控制器，采用控制器可以根據(jù)切割輥4上的壓力傳感器7傳來的數(shù)據(jù)對(duì)于氣缸1的控制，從而合理的進(jìn)行下壓切割，保證切割輥4上金剛線3的張力在一個(gè)合適的范圍之內(nèi)，保證切割的質(zhì)量，而且不易斷線，本實(shí)用新型具有切割效率高、經(jīng)濟(jì)效益好的優(yōu)點(diǎn)。[〇〇11]除說明書所述技術(shù)特征外，均為本專業(yè)技術(shù)人員已知技術(shù)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.晶棒線切割裝置，包括機(jī)架(10)、晶棒夾具和切割輥(4)，晶棒夾具包括相對(duì)設(shè)置的 帶有旋轉(zhuǎn)軸的兩夾持塊(5)，兩旋轉(zhuǎn)軸中的其中一個(gè)連接有旋轉(zhuǎn)電機(jī)(9)，另一個(gè)通過軸承 座固定在機(jī)架(10)上，晶棒(6)的兩端粘接在兩夾持塊(5)內(nèi)，金剛線(3)纏繞于切割輥(4) 上，切割輥(4)位于所述晶棒夾具的正上方，金剛線(3)的走線方向與晶棒(6)的軸向方向相 對(duì)垂直，切割輥(4 )的一端通過軸承座連接切割電機(jī)(8 )，所述切割電機(jī)(8 )與旋轉(zhuǎn)電機(jī)(9 ) 的轉(zhuǎn)向相反，切割輥(4 )的上端連接有氣缸(1 )，氣缸(1)的活塞桿通過連接架(2 )與切割輥 (4)連接，切割輥(4)的內(nèi)部設(shè)置有壓力傳感器(7)，所述的壓力傳感器(7)與控制器電連接， 控制器設(shè)置在機(jī)架(10)的一側(cè)，氣缸(1)的輸入端連接所述控制器。
【文檔編號(hào)】B28D5/04GK205588497SQ201620401631
【公開日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月3日
【發(fā)明人】朱寧, 劉增偉, 江博文
【申請(qǐng)人】元鴻（山東）光電材料有限公司