激光準(zhǔn)同步掃描方法和系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種激光準(zhǔn)同步掃描方法和系統(tǒng)。所述方法包括：吸附固定預(yù)貼附的玻璃封裝體，通過激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以加熱所述玻璃封裝體中的玻璃料并檢測當(dāng)前的玻璃料溫度；判斷所述玻璃料溫度是否達到融化溫度，若否，則遞增所述激光的功率。所述系統(tǒng)包括：吸附平臺、激光發(fā)生器和高溫計；所述吸附平臺用于吸附固定預(yù)貼附的玻璃封裝體；所述激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以加熱所述玻璃封裝體中的玻璃料，并由所述高溫計檢測當(dāng)前的玻璃料溫度；所述高溫計判斷玻璃料溫度是否達到融化溫度，若否，則控制所述激光發(fā)生器遞增所述激光的功率。采用本發(fā)明能避免重復(fù)加熱而產(chǎn)生過大應(yīng)力進而導(dǎo)致過大翹曲。
【專利說明】激光準(zhǔn)同步掃描方法和系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種激光準(zhǔn)同步掃描方法和系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的激光掃描方式是對玻璃封裝體中的玻璃料進行周線型掃描，即將激光從玻璃封裝體上表面垂直照射到玻璃料上進行加熱，由于玻璃料在玻璃封裝體中繞成一圈以使于加熱融化后密封玻璃封裝體，因此，激光發(fā)生器所發(fā)射的激光將以設(shè)定的功率通過對玻璃料按照一定的順序以某一點作為起始點進行周線掃描，以實現(xiàn)玻璃料的激光準(zhǔn)同步掃描。
[0003]然而，這一玻璃料的激光準(zhǔn)同步掃描過程中，由于掃描的起始點與終止點是部分重合的，這將使得激光掃描之后起始點和終止點之間的重合部分因為重復(fù)加熱而產(chǎn)生過大的應(yīng)力，進而隨著激光掃描的逐步加熱使得應(yīng)力產(chǎn)生的翹曲逐漸累加于重合部分產(chǎn)生過大翹曲而失效。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，有必要針對激光準(zhǔn)同步掃描中起始點和終止點的重合部分由于重復(fù)加熱而產(chǎn)生過大應(yīng)力進而導(dǎo)致過大翹曲的技術(shù)問題，提供一種能避免重復(fù)加熱而產(chǎn)生過大應(yīng)力進而導(dǎo)致過大翹曲的激光準(zhǔn)同步掃描方法。
[0005]此外，還有必要提供一種能避免重復(fù)加熱而產(chǎn)生過大應(yīng)力進而導(dǎo)致過大翹曲的激光準(zhǔn)同步掃描系統(tǒng)。
[0006]一種激光準(zhǔn)同步掃描方法，包括如下步驟:
[0007]吸附固定預(yù)貼附的玻璃封裝體，
[0008]通過激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以加熱所述玻璃封裝體中的玻璃料并檢測當(dāng)前的玻璃料溫度；
[0009]判斷所述玻璃料溫度是否達到融化溫度，若否，則遞增所述激光的功率。
[0010]在其中一個實施例中，所述通過激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光加熱所述玻璃封裝體中的玻璃料并檢測當(dāng)前的玻璃料溫度的步驟之前，所述方法還包括:
[0011]將所述吸附固定的玻璃封裝體運動至所述激光發(fā)生器的激光焦距位置。
[0012]在其中一個實施例中，所述方法還包括:
[0013]判斷到所述玻璃料溫度達到融化溫度，則通過控制所述激光的功率使所述玻璃料溫度在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)穩(wěn)定于所述融化溫度。
[0014]在其中一個實施例中，所述通過控制所述激光的功率使所述玻璃料溫度在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)穩(wěn)定于所述融化溫度的步驟之后，所述方法還包括:
[0015]根據(jù)預(yù)設(shè)的功率降低曲線降低所述激光發(fā)生器中激光的功率。
[0016]在其中一個實施例中，所述遞增所述激光的功率的步驟為:
[0017]根據(jù)預(yù)設(shè)的功率遞增曲線遞增所述激光發(fā)生器中激光的功率 。[0018]一種激光準(zhǔn)同步掃描系統(tǒng)，包括吸附平臺、激光發(fā)生器和高溫計；
[0019]所述吸附平臺用于吸附固定預(yù)貼附的玻璃封裝體；
[0020]所述激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以加熱所述玻璃封裝體中的玻璃料，并由所述高溫計檢測當(dāng)前的玻璃料溫度；
[0021]所述高溫計判斷玻璃料溫度是否達到融化溫度，若否，則控制所述激光發(fā)生器遞增所述激光的功率。
[0022]在其中一個實施例中，所述系統(tǒng)還包括:
[0023]升降平臺，用于將所述吸附固定的玻璃封裝體運動至所述激光發(fā)生器的激光焦距位置。
[0024]在其中一個實施例中，所述高溫計還用于判斷到所述玻璃料溫度達到融化溫度時通過控制激光的功率使所述玻璃料溫度在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)穩(wěn)定于所述融化溫度。
[0025]在其中一個實施例中，所述激光發(fā)生器根據(jù)預(yù)設(shè)的功率降低曲線降低激光的功率。
[0026]在其中一個實施例中，所述高溫計根據(jù)預(yù)設(shè)的功率遞增曲線遞增所述激光發(fā)生器中激光的功率。
[0027]上述激光準(zhǔn)同步掃描方法和系統(tǒng)中，將玻璃封裝體吸附固定之后，將通過激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以對玻璃封裝體中的玻璃料進行加熱，實時檢測并反饋當(dāng)前的玻璃料溫度，此時，判斷檢測得到的當(dāng)前的玻璃料溫度是否已經(jīng)達到了融化溫度，若否，則逐漸遞增加熱玻璃料 的激光的功率，由于對玻璃料進行加熱的激光的功率是逐漸由小到大進行遞增的，并且根據(jù)實時反饋的玻璃料溫度控制激光功率的遞增，因此，不會使得大功率的激光對玻璃封裝體中的玻璃料進行照射和加熱，避免了玻璃料的重復(fù)加熱，相應(yīng)的，也不會由于玻璃料的重復(fù)加熱而產(chǎn)生過大應(yīng)力和過大翹曲。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1為一個實施例中激光準(zhǔn)同步掃描方法的流程圖；
[0029]圖2為一個實施例中預(yù)先設(shè)置的功率遞增曲線；
[0030]圖3為一個實施例中預(yù)先設(shè)置的功率降低曲線；
[0031]圖4為一個實施例中激光準(zhǔn)同步掃描系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0032]如圖1所示，在一個實施例中，一種激光準(zhǔn)同步掃描方法，包括如下步驟:
[0033]步驟S110，吸附固定預(yù)貼合的玻璃封裝體。
[0034]本實施例中，玻璃封裝體包括完成對位的上玻璃基板和下玻璃基板、放置于上玻璃基板和下玻璃基板之間的玻璃料，其中，玻璃料將圍繞上玻璃基板和下玻璃基板的邊緣放置。
[0035]先對密封室進行抽真空處理以保證激光準(zhǔn)同步過程的良品率，然后將預(yù)貼合的玻璃封裝體放置于密封室中的吸附平臺上，通過設(shè)置于吸附平臺四周的氣缸帶動推桿對預(yù)貼合的玻璃封裝體進行吸附固定。
[0036]步驟S130，通過激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以加熱玻璃封裝體中的玻璃料并檢測當(dāng)前的玻璃料溫度。
[0037]本實施例中，對激光發(fā)生器通過輸入激光掃描速度、掃描路徑以及加熱最終溫度等參數(shù)進行參數(shù)設(shè)置，例如，激光掃描速度可以是2米/秒，掃描路徑將是與玻璃封裝體中玻璃料的放置相關(guān)的，加熱最終溫度可為450攝氏度。
[0038]通過設(shè)置的參數(shù)控制激光發(fā)生器對玻璃封裝體中的玻璃料進行掃描，為使得玻璃料逐步進行加熱，此時，激光發(fā)生器中激光的初始功率將是一個較低的功率，并隨著時間的遞增而逐步遞增。
[0039]進一步的，將激光發(fā)生器和用于實現(xiàn)當(dāng)前玻璃料溫度檢測的高溫計是同軸運動的，以使得高溫計能夠檢測激光發(fā)生器當(dāng)前所照射加熱的玻璃料對應(yīng)的玻璃料溫度，進而實時反饋激光發(fā)生器當(dāng)前的玻璃料加熱狀況。
[0040]在一個實施例中，上述步驟S130之前，該方法還包括:
[0041]將吸附固定的玻璃封裝體運動至激光發(fā)生器的激光焦距位置。
[0042]本實施例中，吸附固定貼合的玻璃封裝體之后，還將對吸附固定的玻璃封裝體進行位置調(diào)整，以使得調(diào)整后玻璃封裝體所在的位置即為激光焦距位置。具體的，帶動玻璃封裝體進行升降運動至激光發(fā)生器的激光焦距位置。
[0043]步驟S150，判斷玻璃料溫度是否達到融化溫度，若否，則進入步驟S170，若是，則進入步驟S190。
[0044]本實施例中，融化溫度為玻璃料的融化溫度，例如，該融化溫度可以是450攝氏度。玻璃料升溫至融化溫度時將融化，以通過融化的玻璃料對玻璃封裝體進行密封。
[0045]判斷檢測得到的玻璃料溫度是否已經(jīng)達到了融化溫度，若否，則說明仍然需要根據(jù)檢測得到的玻璃料溫度提高激光的功率，以對玻璃料進行持續(xù)加熱，直至玻璃料溫度達到融化溫度，若是，則說明玻璃料正在融化，因此，不需要再提高激光的功率以進一步帶動玻璃料溫度的遞增，只需要使得玻璃料溫度在這一融化溫度穩(wěn)定若干秒即可，以使得玻璃料完全融化。
[0046]步驟S170，遞增激光的功率。
[0047]本實施例中，判斷到玻璃料溫度尚未達到融化溫度時，將繼續(xù)進行激光功率的逐步遞增。
[0048]在一個實施例中，上述步驟S170的具體過程為:根據(jù)預(yù)設(shè)的功率遞增曲線遞增激光發(fā)生器中激光的功率。
[0049]本實施例中，如圖2示，玻璃料溫度尚未達到融化溫度時，將按照預(yù)先設(shè)置的功率遞增曲線逐步遞增激光發(fā)生器中激光的功率(P)，進而使得激光發(fā)生器中激光的功率是隨著時間(t)逐步遞增的。
[0050]步驟S190，通過控制激光的功率使玻璃料溫度在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)容穩(wěn)定于融化溫度。
[0051]本實施例中，隨著激光的功率，玻璃料溫度也逐步驟遞增直至達到玻璃料的融化溫度，進而將玻璃料溫度穩(wěn)定于融化溫度若干時間，以使得玻璃料融化，并密封玻璃封裝體。在優(yōu)選的實施例中，該時間為3秒~5秒。
[0052]上述激光準(zhǔn)同步掃描中，玻璃封裝體中玻璃料將是進行準(zhǔn)同步加熱的，并隨著激光功率的遞增玻璃料的溫度也逐步遞增，進而使得玻璃封裝體不因持續(xù)的高功率加熱而產(chǎn)生過大的應(yīng)力和翹曲，并且對激光的功率所進行的逐步遞增與現(xiàn)有技術(shù)中采用的恒定高功率相比較，大大地減少了能量的耗費。
[0053]在另一個實施例中，上述步驟S190之后，該方法還包括:
[0054]根據(jù)預(yù)設(shè)的功率降低曲線降低激光發(fā)生器中激光的功率。
[0055]本實施例中，將玻璃料保持于融化溫度若干時間之后，如圖3所示，將根據(jù)預(yù)設(shè)的功率降低曲線逐步降低激光發(fā)生器中激光的功率(P)，以使得激光發(fā)生器中激光的功率隨著時間(t)逐步遞減，進而完成對玻璃料所進行的激光準(zhǔn)同步掃描。
[0056]如圖4所示，在一個實施例中，一種激光準(zhǔn)同步掃描系統(tǒng)，包括吸附平臺110、激光發(fā)生器130和高溫計150。
[0057]吸附平臺110，用于吸附固定預(yù)貼附的玻璃封裝體。
[0058]本實施例中，玻璃封裝體包括完成對位的上玻璃基板和下玻璃基板、放置于上玻璃基板和下玻璃基板之間的玻璃料，其中，玻璃料將圍繞上玻璃基板和下玻璃基板的邊緣放置。
[0059]先對密封室190進行抽真空處理以保證激光準(zhǔn)同步過程的良品率，然后將預(yù)貼合的玻璃封裝體放置于密封室190中的吸附平臺110上，通過設(shè)置于吸附平臺110四周的氣缸帶動推桿111對預(yù)貼合的玻璃封裝體進行吸附固定。
[0060]在另一個實施例中，上述系統(tǒng)還包括升降平臺170。升降平臺170用于將吸附固定的玻璃封裝體運動至激光發(fā)生器的激光焦距位置。
[0061]本實施例中，吸附固定貼合的玻璃封裝體之后，升降平臺170還將對吸附固定的玻璃封裝體進行位置調(diào)整，以使得調(diào)整后玻璃封裝體所在的位置即為激光焦距位置。具體的，升降平臺170帶動玻璃封裝體進行升降運動至激光發(fā)生器的激光焦距位置。
[0062]激光發(fā)生器130沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以加熱玻璃封裝體中的玻璃料，并由高溫計150檢測當(dāng)前的玻璃料溫度。
[0063]本實施例中，激光發(fā)生器130和高溫計150安裝于龍門基臺120上。對激光發(fā)生器130通過輸入激光掃描速度、掃描路徑以及加熱最終溫度等參數(shù)進行參數(shù)設(shè)置，例如，激光掃描速度可以是2米/秒，掃描路徑將是與玻璃封裝體中玻璃料的放置相關(guān)的，加熱最終溫度可為450攝氏度。
[0064]通過設(shè)置的參數(shù)控制激光發(fā)生器130對玻璃封裝體中的玻璃料進行掃描，為使得玻璃料逐步進行加熱，此時，激光發(fā)生器130中激光的初始功率將是一個較低的功率，并隨著時間的遞增而逐步遞增。
[0065]進一步的，將激光發(fā)生器130和用于實現(xiàn)當(dāng)前玻璃料溫度檢測的高溫計150是同軸運動的，以使得高溫計150能夠檢測激光發(fā)生器130當(dāng)前所照射加熱的玻璃料對應(yīng)的玻璃料溫度，進而實時反饋激光發(fā)生器130當(dāng)前的玻璃料加熱狀況。
[0066]高溫計150判斷玻璃料溫度是否達到融化溫度，若否，則控制激光發(fā)生器130遞增激光的功率，若是，則通過控制激光的功率使玻璃料溫度在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)穩(wěn)定于融化溫度。
[0067]本實施例中，融化溫度為玻璃料的融化溫度，例如，該融化溫度可以是450攝氏度。玻璃料升溫至融化溫度時將融化，以通過融化的玻璃料對玻璃封裝體進行密封。
[0068]高溫計150判斷檢測得到的玻璃料溫度是否已經(jīng)達到了融化溫度，若否，則說明仍然需要根據(jù)檢測得到的玻璃料溫度提高激光的功率，以對玻璃料進行持續(xù)加熱，直至玻璃料溫度達到融化溫度，若是，則說明玻璃料正在融化，因此，不需要再提高激光的功率以進一步帶動玻璃料溫度的遞增，只需要使得玻璃料溫度在這一融化溫度穩(wěn)定若干秒即可，以使得玻璃料完全融化。
[0069]隨著激光的功率，玻璃料溫度也逐步驟遞增直至達到玻璃料的融化溫度，進而激光發(fā)生器130將玻璃料溫度穩(wěn)定于融化溫度若干時間，以使得玻璃料融化，并密封玻璃封裝體。在優(yōu)選的實施例中，該時間為3秒~5秒。
[0070]上述激光準(zhǔn)同步掃描中，玻璃封裝體中玻璃料將是進行準(zhǔn)同步加熱的，并隨著激光功率的遞增玻璃料的溫度也逐步遞增，進而使得玻璃封裝體不因持續(xù)的高功率加熱而產(chǎn)生過大的應(yīng)力和翹曲，并且對激光的功率所進行的逐步遞增與現(xiàn)有技術(shù)中采用的恒定高功率相比較，大大地減少了能量的耗費。
[0071] 在另一個實施例中，激光發(fā)生器130將根據(jù)預(yù)設(shè)的功率降低曲線降低激光的功率。
[0072]本實施例中，玻璃料溫度尚未達到融化溫度時，激光發(fā)生器130將按照預(yù)先設(shè)置的功率遞增曲線逐步遞增激光發(fā)生器中激光的功率，進而使得激光發(fā)生器130中激光的功率是隨著時間逐步遞增的。
[0073]在另一個實施例中，高溫計150根據(jù)預(yù)設(shè)的功率遞增曲線遞增激光發(fā)生器130中激光的功率。
[0074]本實施例中，將玻璃料保持于融化溫度若干時間之后，將根據(jù)預(yù)設(shè)的功率降低曲線逐步降低激光發(fā)生器130中激光的功率，以使得激光發(fā)生器130中激光的功率隨著時間逐步遞減，進而完成對玻璃料所進行的激光準(zhǔn)同步掃描。
[0075]上述激光準(zhǔn)同步掃描方法和系統(tǒng)中，將玻璃封裝體吸附固定之后，將通過激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以對玻璃封裝體中的玻璃料進行加熱，實時檢測并反饋當(dāng)前的玻璃料溫度，此時，判斷檢測得到的當(dāng)前的玻璃料溫度是否已經(jīng)達到了融化溫度，若否，則逐漸遞增加熱玻璃料的激光的功率，由于對玻璃料進行加熱的激光的功率是逐漸由小到大進行遞增的，并且根據(jù)實時反饋的玻璃料溫度控制激光功率的遞增，因此，不會使得大功率的激光對玻璃封裝體中的玻璃料進行照射和加熱，避免了玻璃料的重復(fù)加熱，相應(yīng)的，也不會由于玻璃料的重復(fù)加熱而產(chǎn)生過大應(yīng)力和過大翹曲。
[0076]以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種激光準(zhǔn)同步掃描方法，包括如下步驟: 吸附固定預(yù)貼附的玻璃封裝體， 通過激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以加熱所述玻璃封裝體中的玻璃料并檢測當(dāng)前的玻璃料溫度； 判斷所述玻璃料溫度是否達到融化溫度，若否，則遞增所述激光的功率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述通過激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光加熱所述玻璃封裝體中的玻璃料并檢測當(dāng)前的玻璃料溫度的步驟之前，所述方法還包括: 將所述吸附固定的玻璃封裝體運動至所述激光發(fā)生器的激光焦距位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括: 判斷到所述玻璃料溫度達到融化溫度，則通過控制所述激光的功率使所述玻璃料溫度在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)穩(wěn)定于所述融化溫度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述通過控制所述激光的功率使所述玻璃料溫度在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)穩(wěn)定于所述融化溫度的步驟之后，所述方法還包括: 根據(jù)預(yù)設(shè)的功率降低曲線降低所述激光發(fā)生器中激光的功率。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述遞增所述激光的功率的步驟為: 根據(jù)預(yù)設(shè)的功率遞增曲線遞增所述激光發(fā)生器中激光的功率。
6.一種激光準(zhǔn)同步掃描系統(tǒng)，其特征在于，包括吸附平臺、激光發(fā)生器和高溫計； 所述吸附平臺用于吸附固定預(yù)貼附的玻璃封裝體； 所述激光發(fā)生器沿預(yù)設(shè)的掃描路徑發(fā)射激光，以加熱所述玻璃封裝體中的玻璃料，并由所述高溫計檢測當(dāng)前的玻璃料溫度； 所述高溫計判斷玻璃料溫度是否達到融化溫度，若否，則控制所述激光發(fā)生器遞增所述激光的功率。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括: 升降平臺，用于將所述吸附固定的玻璃封裝體運動至所述激光發(fā)生器的激光焦距位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述高溫計還用于判斷到所述玻璃料溫度達到融化溫度時通過控制激光的功率使所述玻璃料溫度在預(yù)設(shè)的時間內(nèi)穩(wěn)定于所述融化溫度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述激光發(fā)生器根據(jù)預(yù)設(shè)的功率降低曲線降低激光的功率。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述高溫計根據(jù)預(yù)設(shè)的功率遞增曲線遞增所述激光發(fā)生器中激光的功率。
【文檔編號】C03B23/203GK103482857SQ201310464675
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2013年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月30日
【發(fā)明者】葛軍鋒, 張建華, 付奎 申請人:上海大學(xué)