專利名稱：：用于熒光測(cè)量的激光掃描裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及對(duì)位于試樣載片上并用兩種不同的熒光染料處理的熒光樣本成像和/或測(cè)量的激光掃描裝置及相應(yīng)的方法。在此情況，此激光掃描裝置包括馬達(dá)可驅(qū)動(dòng)的樣本桌，該樣本桌具有用于樣本平面中試樣載片的接受器；至少一個(gè)激光器和第一光學(xué)系統(tǒng)，該第一光學(xué)系統(tǒng)用于提供至少彼此平行且平行此平面延伸的兩個(gè)不同波長(zhǎng)的激光束；掃描器裝置包括一掃描頭，該掃描器頭平行此平面地在一個(gè)移動(dòng)方向上前后移動(dòng)，該掃描器頭還包括將激光束折射到樣本的光學(xué)折射元件和將激光束聚焦到平面中的樣本的物鏡。激光掃描裝置另外包括用于將由激光束觸發(fā)的發(fā)射光束群射到樣本上，并由物鏡和折射元件折射到基本上平行于平面的方向的第二光學(xué)系統(tǒng)；和兩個(gè)檢測(cè)來自樣本的不同波長(zhǎng)的發(fā)射光束群的檢測(cè)器。
背景技術(shù)：
：傳統(tǒng)的光學(xué)掃描顯微鏡長(zhǎng)期用于成像位于試樣載片上的熒光樣本。共焦光學(xué)掃描顯微鏡常常由于分辨率的改善而越來越多地被使用。例如從GB2184321A可獲知此類顯微鏡。此顯微鏡將激光源的光沿著一條光路導(dǎo)向，以便用聚焦的光束掃描位于顯微鏡的物件平面的樣本。由樣本發(fā)射的熒光束為了隔離(descreening)或去掃描(descanning)的目的通過同一光路返回，借助分光鏡子與激勵(lì)光束分開并在檢測(cè)器前的共焦開口處成像。由此，從樣本的熒光形成一映像，而不必為了觸發(fā)能夠投射到檢測(cè)器的熒光而將光直接射向樣本。許多市場(chǎng)上可購(gòu)得的顯微鏡是基于此設(shè)計(jì)，并具有光束分裂器或?yàn)V波器以將由樣本發(fā)射的光分解成具有不同波長(zhǎng)范圍的光束。這也允許使用兩種熒光染料并用兩個(gè)不同檢測(cè)器測(cè)量它們的發(fā)射光。然而，將具有不同波長(zhǎng)的兩個(gè)激勵(lì)光束導(dǎo)向同一掃描點(diǎn)的所有共焦掃描系統(tǒng)具有缺點(diǎn)，即兩個(gè)發(fā)射信號(hào)只在頻譜上區(qū)分。因而，使用的染料的吸收和/或熒光發(fā)射譜常常是交疊的，不可能(尤其在強(qiáng)度上有相當(dāng)大的差別的情況下)可靠地在數(shù)量上區(qū)分它們。所以具有第一熒光頻譜的映像和具有不同類型激勵(lì)光束的第二映像不能相繼地以耗時(shí)方式產(chǎn)生，因而建議提供至少兩個(gè)不同方向激勵(lì)光束的掃描顯微鏡和"掃描裝置"。例如，US5,304,810揭示了此類型的顯微鏡，它用兩個(gè)或多個(gè)彼此空間上分開的照明光束產(chǎn)生空間上彼此分開的兩個(gè)或多個(gè)照明點(diǎn)，并用這些照明點(diǎn)同時(shí)掃描樣本?？臻g上彼此分開并作為結(jié)果同時(shí)產(chǎn)生的熒光發(fā)射光束群根據(jù)它們各自的掃描位置借助于定向到這些空間上彼此分開的照明點(diǎn)的各個(gè)檢測(cè)器進(jìn)行測(cè)量。US6,628,385Bl也揭示了這種類型的顯微鏡，它借助于兩個(gè)激勵(lì)激光器產(chǎn)生在樣本上的兩個(gè)分開的光點(diǎn)。在此情況，兩個(gè)激勵(lì)光束以稍為不同的角度穿透到在45。鏡子中的開口，并射到物鏡元件。這就提供了在樣本上彼此分開的兩個(gè)光點(diǎn)，在每個(gè)光點(diǎn)產(chǎn)生一個(gè)發(fā)射光束群。最終的兩個(gè)發(fā)射光束群在45°鏡子上被反射，并射到次級(jí)透鏡，在次級(jí)透鏡后光束群直接地或經(jīng)第二次折射后分別到達(dá)兩個(gè)檢測(cè)器的一個(gè)。此外，如分光濾波器或棱鏡的光學(xué)分離元件能放置在作為光電倍增器配置的檢測(cè)器之前。安排在45°鏡子和物鏡元件之間的掃描或柵極系統(tǒng)可用于掃描樣本。WO02/059677A1揭示了用于在用熒光染料處理的樣本上或樣本中激勵(lì)和測(cè)量熒光的光學(xué)系統(tǒng)。此系統(tǒng)至少包括一個(gè)用于激勵(lì)所使用的熒光染料的激光器；一個(gè)用于折射在樣本方向上的激光的鏡子；一個(gè)用于將來自激光器的光折射到在一個(gè)坐標(biāo)系統(tǒng)(在此情況是笛卡爾坐標(biāo))的Y方向上的鏡子；用于將在樣本上的激光的第一聚焦點(diǎn)成像的光學(xué)系統(tǒng)；一個(gè)包括鏡子和光學(xué)系統(tǒng)并能沿Y方向移動(dòng)的掃描元件；一個(gè)能沿坐標(biāo)系統(tǒng)的X和Z方向移動(dòng)以便將樣本相對(duì)于第一聚焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的樣本桌；一個(gè)用于將由樣本發(fā)射的光在第二聚焦點(diǎn)中的孔膜上成像的光學(xué)結(jié)構(gòu)；和用于測(cè)量穿過孔膜的光的強(qiáng)度的檢測(cè)器。此外，這些用于高靈敏度地掃描以規(guī)則樣式(作為陣列方式)排列的樣本的己知顯微鏡能夠掃描光學(xué)顯微的整個(gè)標(biāo)準(zhǔn)試樣載片以進(jìn)行光一光學(xué)顯微和令人滿意地以中介分辨率進(jìn)行操作。然而應(yīng)該記住，若分辨率增加，如諸如顏色通道之間的動(dòng)態(tài)位移的附帶效應(yīng)是顯而易見的。例如作為結(jié)果，紅色和綠色通道的成像點(diǎn)不再精確地一個(gè)在另一個(gè)之上。相對(duì)位移隨著成像的延伸可在顏色通道之間動(dòng)態(tài)改變。此外，此位移主要取決于在聚焦點(diǎn)上樣本的位置精確度。為了這些原因，相對(duì)位移可使用軟件采用追溯方法加以修正，但有很大困難。如果兩個(gè)顏色通道不僅在色譜上還在空間上彼此分開，激勵(lì)激光器的兩個(gè)聚焦點(diǎn)必須在樣本上彼此分開。這樣做的唯一途徑是使兩個(gè)激光器的聚焦激光束以彼此有一角度地射向掃描物鏡，此角度很小但很重要。通常知道，以特定角度射到物鏡的所有光束聚焦在聚焦平面中的同一點(diǎn)。因而，在物鏡前的特定入射角在所有情況對(duì)應(yīng)于在物鏡后的特定位置。在這方向，激光束是否在物鏡的中心或在物鏡孔的其他部分區(qū)域射向物鏡就不重要了；因而在一個(gè)且同一個(gè)聚焦點(diǎn)聚焦不受影響。然而在物鏡后的光束角度是不同的；光束則從不同方向會(huì)聚在聚焦點(diǎn)。在精確的聚焦點(diǎn)中這就沒有差別，但在稍為偏下或稍為偏上的平面中確有差別。在這種情況，光束以作為此角度函數(shù)的不同的速度偏離精確的聚焦點(diǎn)。這樣，如果根據(jù)這些要求兩個(gè)激光束在樣本上空間上彼此分開地且在聚焦平面上聚焦，且如果這些激光束在它們射到掃描物鏡時(shí)彼此形成一個(gè)角度，這就不可避免地意味著，至少兩個(gè)激光束的一個(gè)在射到鏡子元件之前不再精確地平行于掃描軸的延伸。如果掃描器頭移動(dòng)，激光束射到物鏡的點(diǎn)改變。光束仍在同一聚焦點(diǎn)但以不同角度折射。在聚焦平面之外按照以前所說根據(jù)掃描器頭在X方向的不同位置并根據(jù)本平面在Z方向?qū)_聚焦平面的偏離而得到不同的位置。后者的偏離可完全超出實(shí)際的裝置的容差范圍，且不能象隨機(jī)容差所希望的那樣加以控制。雖然所述的影響本身是小的，它們?cè)谑纠慕Y(jié)構(gòu)中清晰可辨地在5pm分辨率之下。所述影響能導(dǎo)致兩個(gè)檢測(cè)通道的成像不在整個(gè)成像范圍內(nèi)相同，且導(dǎo)致偏差的范圍以不可控的方式在成像中變化。很小結(jié)構(gòu)的數(shù)量上的測(cè)量是作為不可能實(shí)現(xiàn)或至少是虛假的結(jié)果。此外，當(dāng)局部改變顏色條紋時(shí)，誤差是可辨別的。文獻(xiàn)DE19707227Al揭示了用于激勵(lì)和檢測(cè)發(fā)射光的光掃描設(shè)備。該掃描設(shè)備包括一個(gè)光發(fā)生元件；折射元件；成像元件；用于檢測(cè)的確認(rèn)元件。為了在保持高分辨率情況下最小化掃描時(shí)間，光掃描設(shè)備還具有分離元件，用于將原始光束群分離成至少兩個(gè)最終光束群。分離元件包括楔形分光雙鏡子。原始光束群在楔形的兩個(gè)表面反射因而分離。另選地，兩個(gè)楔形雙鏡子形成除單個(gè)原始光束群之外的四個(gè)最終光束群。以此方式可能同時(shí)掃描一樣本，從而減少掃描時(shí)間。文獻(xiàn)EP04卯510A揭示了用望遠(yuǎn)鏡的傳感器排列，以便將視覺場(chǎng)的光相對(duì)于檢測(cè)器對(duì)準(zhǔn)。具有兩個(gè)不平行表面的楔形光束分離器在具有兩個(gè)檢測(cè)器的檢測(cè)排列的方向上反射光。在此情況，光束分離器的一個(gè)表面體現(xiàn)為分光層而另一表面作為鏡子實(shí)現(xiàn)。分光層反射光一波長(zhǎng)范圍的光束群，且允許第二波長(zhǎng)范圍的光束群通過。第二波長(zhǎng)范圍的光隨后在鏡子表面反射。以此方式，兩個(gè)不同波長(zhǎng)范圍但有同一視覺場(chǎng)的兩個(gè)光束群射向在光檢測(cè)器排列的單個(gè)聚焦平面中兩個(gè)不同的區(qū)域。從單個(gè)視覺場(chǎng)出發(fā)基于兩個(gè)不同波長(zhǎng)范圍的分離形成兩個(gè)不同成像。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供再一種激光掃描裝置，用于成像和/或測(cè)量位于試樣載片上并用兩個(gè)不同熒光染料處理的熒光樣本。根據(jù)第一方面，本發(fā)明的目的由按照如下所揭示特征而提出的一種激光掃描裝置實(shí)現(xiàn)，該激光掃描裝置用于成像和/或測(cè)量位于試樣載片上并用兩個(gè)不同熒光染料處理的熒光樣本，所述裝置包括(a)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣本桌，具有用于在樣本平面中的試樣載片的容器；(b)至少一個(gè)激光器和第一光學(xué)系統(tǒng)，用于提供不同波長(zhǎng)彼此平行且平行此平面延伸的兩個(gè)激光束；(c)掃描裝置，包括掃描器頭，所述掃描器頭可平行此平面并在運(yùn)動(dòng)方向前后移動(dòng)且具有用于將所述激光束折射到所述樣本的光學(xué)折射元件；(d)—物鏡，用于將所述激光束聚焦到所述平面中的樣本上；(e)第二光學(xué)系統(tǒng)，用于向檢測(cè)器傳送由在所述樣本上的所述激光束觸發(fā)并由所述物鏡和在基本上平行于所述平面的方向的折射元件折射的發(fā)射光束群；和(f)兩個(gè)檢測(cè)器，用于檢測(cè)來自所述樣本的不同波長(zhǎng)的所述發(fā)射光束群。根據(jù)本發(fā)明的激光掃描裝置的特征在于，所述光學(xué)折射元件包括帶有彼此以中間夾角安排的前面和背面分光表面的楔形分光鏡，所述楔形分光鏡以那樣方式調(diào)節(jié)，使得所述兩個(gè)激光束每個(gè)在所述表面的一個(gè)上反射，且所述楔形分光鏡通過中間夾角引起兩個(gè)最終聚焦點(diǎn)的空間分離，而所述兩個(gè)發(fā)射光束群導(dǎo)入所述檢測(cè)器方向。根據(jù)第二方面，本發(fā)明的目的由按照如下所揭示特征而提出的一種方法實(shí)現(xiàn)，該方法用于成像和測(cè)量位于試樣載片并用兩個(gè)不同熒光染料處理的熒光樣本，該方法包括下列步驟(a)提供馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣本桌，所述樣本桌帶有用于在一樣本平面中的試樣載片的容器；(b)用至少一個(gè)激光器和第一光學(xué)系統(tǒng)提供兩個(gè)不同波長(zhǎng)、彼此平行且平行此平面延伸的激光束；(c)用包括一掃描器頭的掃描器裝置的光學(xué)折射元件將所述激光束折射到所述樣本，所述掃描器頭可以平行于此平面并在移動(dòng)方向往復(fù)移動(dòng)；(d)用物鏡將所述激光束聚焦到所述平面中的樣本上；(e)用第二光學(xué)系統(tǒng)將由在所述樣本上的激光束觸發(fā)并由所述第一物鏡和在基本上平行于所述平面的方向中的折射元件折射的發(fā)射光束群傳送到檢測(cè)器；和(f)使用兩個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)來自所述樣本的不同波長(zhǎng)的所述發(fā)射光束群。根據(jù)本發(fā)明的方法其特征在于所用的所述光學(xué)折射元件是帶有彼此成中間夾角安排的前面和背面分光表面的楔形分光鏡，所述楔形分光鏡以那樣方式調(diào)節(jié)，使得所述兩個(gè)激光束每個(gè)在所述表面的一個(gè)上反射，且所述楔形分光鏡通過中間夾角引起兩個(gè)最終聚焦點(diǎn)的空間分離，而所述兩個(gè)發(fā)射光束群導(dǎo)入所述檢測(cè)器的方向。按照本發(fā)明的其它較佳特征將反映在相關(guān)權(quán)利要求中。按照本發(fā)明的激光掃描裝置的優(yōu)點(diǎn)包括一使用按本發(fā)明的激光掃描裝置記錄的紅/綠成像不論其高分辨率幾乎相同或能夠通過簡(jiǎn)單的X/Y校正(線性移位)對(duì)整個(gè)成像做成相同。一本發(fā)明使用的帶有彼此以一個(gè)中間夾角布置的前面和背面分光表面的楔形分光鏡子允許在空間上同時(shí)分離的點(diǎn)以激勵(lì)在樣本上的熒光，以及分離兩個(gè)導(dǎo)向檢測(cè)器方向的發(fā)射光束群。一按本發(fā)明使用的五鏡子(pentamirror)安排校正了掃描器頭圍繞以正確角度沿伸到掃描軸的軸的擺動(dòng)，所以最終聚焦點(diǎn)不改變它們?cè)跇颖酒矫嫔系漠?dāng)前位置。一按本發(fā)明使用的逆向振蕩器補(bǔ)償快速移動(dòng)掃描器頭的移動(dòng)脈沖，使得這些脈沖不被發(fā)送到激光掃描裝置。一按本發(fā)明使用且放置在光學(xué)主面和由兩個(gè)掃描激光束確定的掃描或屏蔽面中的線性編碼器(測(cè)量棒)允許非常精確地檢測(cè)掃描器頭的即時(shí)位置，并精確地算回到當(dāng)前聚焦點(diǎn)的位置。下面將基于概圖描述按本發(fā)明的激光掃描裝置，這些概圖并不限制本發(fā)明的范圍，且圖示了較佳實(shí)施例的例子。在圖中圖1是穿過兩個(gè)試樣載片盒和在試樣載片從樣本盒傳送到物件時(shí)放在載片盒前的物件桌的部分垂直截面圖2是穿過試樣載片盒的部分水平截面和在試驗(yàn)試樣載片從試驗(yàn)物件盒傳送到物件桌時(shí)放置在載片盒之前的物件桌的平面視圖3示出帶有打開的試驗(yàn)物件盒的試樣載片盒的垂直視圖，其中-圖3A是從物件桌觀看的兩個(gè)試樣載片盒的插入側(cè)面的正視圖，和圖3B是朝物件桌觀看兩個(gè)試樣載片盒的垂直截面；圖4示出穿過物件桌以及其橫向擺動(dòng)設(shè)備的部分垂直截面，其中-圖4A示出朝試樣載片盒觀看并帶有以雙向方式保持在關(guān)閉的物件桌中的試樣載片的物件桌。圖4B示出背向試樣載片盒看、在移走試樣載片之后或插入試樣載片之前，打開的物件桌；圖5是穿過物件桌及其高度調(diào)節(jié)設(shè)備及縱向擺設(shè)備的部分垂直截面；圖6是帶有按第一實(shí)施例的掃描器頭的激光掃描裝置基本光學(xué)元件原理圖7是掃描器頭的原理圖，其中圖7A示出掃描器頭的第二實(shí)施例，和圖7B示出掃描器頭的第三實(shí)施例；圖8是穿過激光掃描裝置的部分水平截面，該裝置帶有基本光學(xué)元件、具有掃描器頭的掃描裝置和帶有試樣載片盒的物件桌；圖9是穿過帶有相關(guān)聯(lián)的位移傳感器的激光掃描裝置掃描器頭的部分水平截面；圖10是用于掃描器頭的位移傳感器和在掃描期間作為X/t圖的非線性運(yùn)動(dòng)的概圖，X/t圖參照不同的時(shí)間段(At1;At2)根據(jù)在X軸上象素?cái)?shù)目(AX)的位置檢測(cè)從一個(gè)物件發(fā)射的熒光；圖11示出具有用于光一光學(xué)顯微的標(biāo)準(zhǔn)試樣載片樣式并專門包括光一穩(wěn)定試驗(yàn)結(jié)構(gòu)的試驗(yàn)試樣載片；和圖12是穿過用于調(diào)節(jié)聚焦線的偏心設(shè)備的垂直截面。具體實(shí)施例方式圖1是穿過兩個(gè)試樣載片盒和在試樣載片從樣本盒傳送到物件桌期間放在載片盒前的物件桌的部分垂直截面。這兩個(gè)試樣載片盒形成根據(jù)本發(fā)明的激光掃描裝置1的一部分，用于成像和/或測(cè)量位于試樣載片上并用熒光染料處理的熒光樣本。此激光掃描裝置包括確定樣本平面49的樣本桌2和用于將試樣載片從儲(chǔ)存單元4移到樣本桌2并移回去的裝有馬達(dá)的傳輸設(shè)備3。在此情況，儲(chǔ)存單元4包括一對(duì)應(yīng)的用于樣本試樣載片8的樣本部分7，后者至少具有一個(gè)相應(yīng)的軸承點(diǎn)6，并在激光掃描裝置l操作期間可接入到傳輸設(shè)備3，儲(chǔ)存單元還包括用于試驗(yàn)試樣載片10的試驗(yàn)部分9。在此按本發(fā)明的激光掃描儀裝置中，試驗(yàn)部分9與樣本部分7分開配置，作為試驗(yàn)部分盒9'，后者剛性地連接到激光掃描裝置l，用于一個(gè)或多個(gè)試驗(yàn)試樣載片10。結(jié)果，當(dāng)激光掃描裝置1在操作時(shí)儲(chǔ)存在試驗(yàn)部分9的試驗(yàn)試樣載片10不是手動(dòng)地存取。這具有優(yōu)點(diǎn)，即總能提供合適的試驗(yàn)試樣載片而沒有此類試驗(yàn)試樣載片IO弄臟或甚至由于操作員的不當(dāng)操作而損壞的危險(xiǎn)。在這里情況示出的試驗(yàn)部分盒9'包括一打開的插入側(cè)面15。在這種情況圖示的實(shí)施例中，樣本部分7是在試驗(yàn)部分9上軸向地布置，且儲(chǔ)存單元4的試驗(yàn)部分9剛性地連結(jié)到儲(chǔ)存單元4的調(diào)節(jié)板11，后者可相對(duì)于激光掃描裝置1的樣本桌2移動(dòng)。在此情況，儲(chǔ)存單元4的調(diào)節(jié)板11基本上相對(duì)于樣本桌2的樣本平面49垂直地可移動(dòng)。因此任何希望的試樣載片8，10可被帶到由樣本桌2確定的樣本平面49的水平上，并提供到樣本桌2的線性傳輸。與圖l中此視圖不同，調(diào)節(jié)板還可以是固定的，因而提供激光掃描裝置l和試驗(yàn)部分盒9'之間為不可移動(dòng)的連結(jié)。在這樣情況，若任何希望的試樣載片8，10從樣本部分盒7'或試驗(yàn)部分盒9'直線地傳輸?shù)綐颖咀?，則樣本桌2必須相對(duì)于試驗(yàn)部分盒9'移動(dòng)。還可能用調(diào)節(jié)板一起分發(fā)，并將試驗(yàn)部分盒9'在任何位置以那樣方式固定到激光掃描裝置1，以至于在激光掃描裝置l操作時(shí)將儲(chǔ)存在手動(dòng)不可達(dá)到的試驗(yàn)部分9的試驗(yàn)試樣載片IO遞交給操作員。又一個(gè)另選方案(未示出)包括使已經(jīng)位于樣本桌2的樣本平面49中試驗(yàn)試樣載片10在此樣本平面49中相對(duì)靜止的樣本桌2移動(dòng)，相對(duì)于靜止的試驗(yàn)部分盒9'移動(dòng)在樣本平面49中的樣本桌2或互相移動(dòng)樣本桌2和試驗(yàn)部分盒9'。所有這些情況允許任何希望的試樣載片8，10從盒7'，9'之一取出并放到樣本桌2上的直線移動(dòng)；在此情況，盒7'，9'和樣本桌2可彼此相關(guān)地幾乎可取任何希望的位置。然而較佳的是使樣本桌2的樣本平面49基本上水平地排列，樣本桌2在其上帶有試樣載片8，10。然而，樣本桌2還可以安排在上面，使得使用的試樣載片8，IO安排在樣本桌的下方。在原理上樣本平面49的任何其他希望的空間位置也是可以想象的，雖然不是最好的。按在圖1中示出的第一實(shí)施例的激光掃描裝置l較佳地包括機(jī)箱5，被配置成能從外面插入到激光掃描裝置1的機(jī)箱5的盒7'的樣本部分7，用于大量的樣本試樣載片8。樣本部分7較佳地可雙向地安裝在儲(chǔ)存單元4的調(diào)節(jié)板11上。在所示的實(shí)施例中，插入的燕尾槽連接結(jié)構(gòu)將樣本部分盒7，連結(jié)到在此情況可垂直移動(dòng)的調(diào)節(jié)板11。因此，樣本部分盒7'可(手動(dòng)或由機(jī)器人)被手柄42抓住，并在基本垂直方向上降低到相箱5，并插入到調(diào)節(jié)板ll的燕尾槽。因?yàn)樵诖饲闆r兩個(gè)盒7'，9'一個(gè)在另一個(gè)之上地垂直布置，用螺絲安全地?cái)Q到調(diào)節(jié)板11上的試驗(yàn)部分盒9'最好恰恰是對(duì)插入到燕尾槽43的樣本部分盒7'較低的止動(dòng)點(diǎn)。在樣本部分盒7'和/或在試驗(yàn)部分盒9'中的支承點(diǎn)6被配置成接收具有基本上用于光學(xué)顯微的標(biāo)準(zhǔn)試樣載片尺寸的試樣載片。較佳地，這些支承點(diǎn)6由支承輻板12彼此分開，使得這些試樣載片中的每個(gè)基于2個(gè)支承輻板12上，而每個(gè)軸承輻板基本上在試樣載片8，IO的整個(gè)長(zhǎng)度上延伸。其垂直截面在圖1中示出的樣本桌2被配置成借助軸驅(qū)動(dòng)84可移動(dòng)用于傳送樣本試樣載片8或試驗(yàn)試樣載片10，驅(qū)動(dòng)軸84安置在用于此類試樣載片8，10的儲(chǔ)存單元4之前的支架83上。樣本桌2的容器34最好包括互相相反的凹槽35用于接收樣本試樣載片8或試驗(yàn)試樣載片10的兩個(gè)縱向邊緣14。在此情況樣本平面49較佳地基本上水平布置。為了以卡鉗的方式在基本上垂直于試樣載片的表面的方向上夾緊試樣載片8，10，樣本桌2包括兩個(gè)靜止的輻板36和一個(gè)夾板37，后者能有彈性地移向這些輻板36，并具有兩個(gè)直立的側(cè)壁38，它與輻板36的低邊緣一起確定凹槽35的開口寬度(也見圖4)。較佳地，控制器40監(jiān)視或操縱驅(qū)動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)器84的馬達(dá)87。結(jié)果，控制器40控制樣本桌2的移動(dòng)。圖2是穿過圖1中示出的試樣載片盒的部分水平截面和在試驗(yàn)試樣載片從試驗(yàn)物件盒傳送到物件桌時(shí)放置在所述試樣載片盒之前的物件桌平面視圖。在此情況示出的試驗(yàn)部分盒9'包括一打開的插入側(cè)面15，它在寬度中至少部分地被相應(yīng)的折板16覆蓋，后者基本上延伸到盒9'的整個(gè)堆疊高度，并能單獨(dú)地轉(zhuǎn)動(dòng)打開。在此情況折板16轉(zhuǎn)動(dòng)移開，從而允許所示的試驗(yàn)試樣載片從試驗(yàn)部分盒9'的插入側(cè)面15移出而在此過程中不受轉(zhuǎn)動(dòng)移開的折板16阻礙。在試驗(yàn)部分盒9'的情況，此轉(zhuǎn)動(dòng)移開的折板16形成聯(lián)鎖嚙合的一部分，這防止在激光掃描裝置1在操作時(shí)儲(chǔ)存在試驗(yàn)部分9的試驗(yàn)試樣載片10對(duì)操作員可手動(dòng)存取。在樣本部分盒7'的情況，轉(zhuǎn)動(dòng)移開折板16在合攏時(shí)允許處理(例如旋轉(zhuǎn)或擺動(dòng))裝有至少一個(gè)樣本試樣載片8的盒7'，而沒有這些試樣載片掉出來的危險(xiǎn)。較佳地，樣本部分盒7，和試驗(yàn)部分盒9，都具有鎖定板20，但至少樣本部分盒7'在與插入側(cè)面15相對(duì)的側(cè)面具有鎖定板，它基本延伸整個(gè)堆疊高度，并覆蓋此側(cè)面的寬度部分。尤其在處理樣本部分盒7，期間，此鎖定板20防止試樣載片在另一側(cè)面掉出。較佳地，在每個(gè)盒7'，9，能單獨(dú)旋轉(zhuǎn)移開的折板16可旋轉(zhuǎn)地固定在盒7'，9'的側(cè)向布置的相應(yīng)軸17上。能單獨(dú)旋轉(zhuǎn)移開的折板16每個(gè)包括較佳地基本上延伸到盒7'，9'的整個(gè)堆疊高度的斜板18。為了松開盒7，，9，之一的插入側(cè)面15，最好由可旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的偏心滾輪對(duì)著相應(yīng)的盒7'，9'壓這些旋轉(zhuǎn)移開的折板16。變化的方法(未示出)包括使用橫桿、頂桿或滑板移動(dòng)該旋轉(zhuǎn)移動(dòng)開的折板16。所以試樣載片8，10基本上沒有間隙地放置在盒7'，9，中，這些支承點(diǎn)6的每一個(gè)較佳地包括一個(gè)接觸彈簧13，它彈性地作用在插入的試樣載片的縱向邊緣14。此外，彈性壓力將試樣載片8，IO反方向縱向邊緣14保持在由對(duì)應(yīng)的盒7'，9'確定的位置，并適用于確定對(duì)坐標(biāo)系統(tǒng)的原點(diǎn)的參照。同樣，樣本桌2最好裝有以滾輪方式的可移動(dòng)接觸部件39(見圖2)，后者也將此縱向邊緣14固定在確定的位置，從而再次提供對(duì)坐標(biāo)系統(tǒng)的原點(diǎn)的參照。至少樣本部分盒7'最好在相對(duì)插入側(cè)面15的一個(gè)角上包括基本上延伸到整個(gè)堆疊高度的控制開口21，用于確定在特定支承點(diǎn)6中存在或不存在試樣載片。特定支承點(diǎn)6存在或不存在試樣載片8，IO可使用不同的方法和設(shè)備確定。因此例如(見圖2)基本上水平延伸的光束23或控制設(shè)備22的光柵能傾斜地導(dǎo)向通過盒7'，9'，只要控制開口21對(duì)這些光束23是可滲透的。光束23被出現(xiàn)在儲(chǔ)存區(qū)6中的試樣載片8，IO的折射、散射或弱化能容易地使用光敏傳感器確定。雖然圖2示出"切割角"形式的控制開口21，光束23也能通過插入側(cè)面15發(fā)射到盒7'，9'，并射到對(duì)面未切開側(cè)面的傳感器；相對(duì)于試樣載片傳送方向傾斜方向和/或附加折射鏡(均未示出)同樣允許檢測(cè)在其盒中的試樣載片，即使樣本桌2已經(jīng)關(guān)上。例如用于確定在兩個(gè)盒7'，9'的一個(gè)特定支承點(diǎn)存在或不存在試樣載片的更多的變化方法基于電容近似跡象的基礎(chǔ)上。較佳地，激光掃描裝置1的傳輸設(shè)備3包括出料滑塊31，它被配置或基本上平行于樣本平面49通過與盒7，，9'的插入側(cè)面15相對(duì)的側(cè)面動(dòng)作，并用于將樣本試樣載片8或試驗(yàn)試樣載片10從其支承點(diǎn)6并從插入側(cè)面15送出到樣本桌2。此傳輸設(shè)備3較佳地還包括一進(jìn)料滑塊32，它配置成用于將樣本試樣載片8或試驗(yàn)試樣載片10送出樣本桌2并通過插入側(cè)面送入到盒7'，9'之一中的儲(chǔ)存區(qū)域6。尤其較佳地，進(jìn)料滑塊32包括能向上旋轉(zhuǎn)并因而取道插入樣本桌2的試樣載片8，10移去的可繞軸旋轉(zhuǎn)的折板33，沒有此折板33，樣本桌能繞軸47擺動(dòng)，觸及試樣載片。因此，此折板能經(jīng)由試樣載片8，10移動(dòng)，并下降到所述試樣載片之后，在其上面試樣載片能被折板33抓住，并拖出樣本桌2。折板33的向上旋轉(zhuǎn)允許樣本桌2和插入其中的試樣載片8，10移動(dòng)到掃描器裝置72的位置。因此折板33繞著擺動(dòng)軸47的向上旋轉(zhuǎn)允許樣本桌2的自由移動(dòng)，沒有折板33能夠進(jìn)入到與插入的試樣載片8，IO的接觸。較佳的，用于可移動(dòng)調(diào)節(jié)板11的驅(qū)動(dòng)器11，用于出料滑塊31的驅(qū)動(dòng)器和用于進(jìn)料滑塊32的驅(qū)動(dòng)器每個(gè)都是電馬達(dá)，它們由控制器40控制和監(jiān)視。在圖2中示出的樣本桌2為了以?shī)A緊方式固定試樣載片包括接觸部件39，它能以基本平行于試樣載片表面的方向移向試樣載片的至少一個(gè)縱向邊緣14，并彈性地限定容器34的開口寬度。在此情況，能移向試樣載片的至少一個(gè)縱向邊緣的接觸部件39較佳地被配置成每個(gè)具有基本上垂直軸線的滾輪。較佳地，控制器40監(jiān)視或操縱驅(qū)動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)器84的馬達(dá)87。結(jié)果，控制器40控制樣本桌2的運(yùn)動(dòng)。圖3示出帶有打開的試驗(yàn)物件盒的試樣載片盒的垂直視圖。圖3A在此情況是從物件桌觀看兩個(gè)試樣載片盒的插入側(cè)面的正視圖。能在右手側(cè)看到垂直可移動(dòng)的調(diào)節(jié)板ll，且它的可移動(dòng)方向由雙頭的箭頭標(biāo)出。樣本部分7布置在試驗(yàn)部分9的上面，在此情況帶有8個(gè)停留在支承點(diǎn)6的試樣載片8的樣本部分盒7'在試驗(yàn)部分盒9'的上方被軸向固定到在此情況的兩個(gè)試驗(yàn)試樣載片10。樣本部分盒7'的旋轉(zhuǎn)移去的折板16是關(guān)閉的，而試驗(yàn)部分盒9'的旋轉(zhuǎn)移去的折板16是打開的，且釋放試驗(yàn)部分盒9'的插入側(cè)面的基本上整個(gè)寬度。試驗(yàn)部分盒9'的旋轉(zhuǎn)移去折板16的旋轉(zhuǎn)移去在此情況是由壓在此折板的傾斜平面18上的偏心滾輪19完成的。偏心滾輪19較佳地安排在至少靠近由樣本桌2確定的樣本平面48，使得不管儲(chǔ)存單元4的垂直位移正確的折板16總是被旋轉(zhuǎn)移去。可以清楚地看到，試驗(yàn)部分盒9'的接觸彈簧如何彈性地壓在試驗(yàn)試樣載片10的一個(gè)側(cè)邊14上。圖3B是朝兩個(gè)相同物件桌觀看的試樣載片盒的垂直截面。在左手側(cè)可看到垂直可移動(dòng)的調(diào)節(jié)板11，它的可移動(dòng)方向由雙頭箭頭標(biāo)出。樣本部分盒7'經(jīng)由調(diào)節(jié)板11的燕尾槽43滑動(dòng)，并在此情況被試驗(yàn)部分盒9'保持在調(diào)節(jié)板ll上的不變位置。在此情況的試驗(yàn)部分盒9'旋緊到調(diào)節(jié)板ll上。樣本部分盒7'和試驗(yàn)部分盒9'的接觸彈簧13在此情況能在試樣載片堆疊的右手方清楚地看到。圖4示出穿過物件桌2以及其橫向擺動(dòng)設(shè)備或擺動(dòng)機(jī)構(gòu)79的垂直視圖，擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的偏心輪80和單邊的絞鏈銷81。此擺動(dòng)機(jī)構(gòu)79用作將樣本或試樣載片8，10相對(duì)于在掃描平面76中延伸的聚焦線101(見圖5)來定向。第一物鏡57的焦點(diǎn)和激光掃描裝置1的掃描器頭50的移動(dòng)方向75確定了此聚焦線101。此聚焦線101本身與掃描器頭50的光學(xué)折射元件56—起確定了掃描平面76。因此掃描平面76由掃描器頭50的移動(dòng)方向75和掃描器頭的光學(xué)折射元件56確定。在此情況此掃描平面76基本上垂直于樣本平面49地站立。聚焦線101由掃描器頭50的移動(dòng)方向75和掃描器物鏡57的聚焦點(diǎn)65確定，并在該裝置被正確地調(diào)節(jié)時(shí)落在樣本平面49上。絞鏈銷81能被配置成實(shí)際的軸(未示出)。然而較佳的是由鋼彈簧104形成有效的絞鏈銷81。此鋼彈簧104擰到樣本桌2上，或較佳地借助相應(yīng)的卡箍105擰到支承部分103。此鋼彈簧104引起對(duì)偏心輪80的力，因此提供一簡(jiǎn)單的無間隙的、用于樣本桌2的支承部分的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)。圖4A示出朝試樣載片盒7'，9'觀看的激光掃描裝置1的物件桌2，帶有雙向(即兩個(gè)方向)保存在關(guān)閉的物件桌2中的試樣載片8。樣本桌2包括帶有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)偏心輪80和單向絞鏈銷81的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)79，該擺動(dòng)機(jī)構(gòu)79能用于相對(duì)于聚焦線101定向試樣載片8，IO或樣本。圖12是穿過此類偏心設(shè)備的較佳實(shí)施例的一個(gè)截面。此聚焦線IOI較佳地落入樣本平面以及掃描器頭用其光學(xué)折射元件56和它的移動(dòng)方向75確定的掃描平面上。在此情況，掃描平面76較佳地垂直于樣本平面49地站立(也見圖5)。最好是馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的偏心輪80能用于校正試樣載片8，10或樣本桌2的橫向傾斜，使得掃描器裝置72的聚焦線101精確地落入樣本平面49。較佳地，樣本平面49基本上水平地安排。樣本桌2的容器34包括兩個(gè)相對(duì)立的凹槽35(見圖4B)用于接受示出的樣本試樣載片8或試驗(yàn)試樣載片10(未示出)的兩條縱向邊緣。為以?shī)A緊方式在基本上垂直于試樣載片的表面方向固定試樣載片8，10，樣本桌2最好包括帶兩個(gè)靜止輻板36的支承部分103。此外，樣本桌2包括能彈性地移向這兩個(gè)輻板36并具有兩個(gè)直立側(cè)壁38的夾板37。這些側(cè)壁38與輻板36的下邊緣一起限定了凹槽35的開口寬度?？梢频膴A板37由彈簧30相對(duì)于樣本桌2的支承部分103地彈性支撐，使得這些彈簧30將可移動(dòng)夾板37的兩個(gè)直立側(cè)壁彈性地壓向試樣載片8的下側(cè)。結(jié)果，最好具有至少接近用于光學(xué)顯微的玻璃試樣載片的質(zhì)量的樣本試樣載片或試驗(yàn)試樣載片10以?shī)A緊方式在垂直方向保持在樣本桌2中。為了以?shī)A緊方式在基本上平行于試樣載片的表面的方向固定試樣載片8，10，樣本桌2包括能移向試樣載片8的縱向邊緣14的至少一個(gè)并彈性地限定容器34的開口寬度的接觸部件39。這些能移向試樣載片8的縱向邊緣14的至少一個(gè)的接觸部件39較佳地配置成滾輪，每個(gè)具有基本上垂直的軸。滾輪39對(duì)面的凹槽35確定了樣本試樣載片8或試驗(yàn)試樣載片10的止點(diǎn)，這適用于確定激光掃描裝置1的坐標(biāo)系統(tǒng)的軸線。如圖示在此情況下傾入凹口98的是凹坑打孔器88，它在樣本桌2和儲(chǔ)存單元4關(guān)閉時(shí)刺入樣本桌，并用此刺入從支承部分103的輻板36拉出夾板37和側(cè)壁38。圖4B示出從試樣載片盒7',9'背向看到的物件桌2，在移去試樣載片8，10之后或插入試樣載片之前物件桌2是打開的。由于此時(shí)在樣本桌上沒有試樣載片8，10，象滾輪的接觸部件39在其極端位置。一旦試樣載片8，IO插入到樣本桌2，象滾輪的接觸部件39頂著彈簧元件的壓力從此極端位置移開。在此情況也可以清楚地看到凹坑打孔器88如何沖擊斜面89，使得樣本桌2的可移動(dòng)夾板37如何向下拉了一些，從而便于將試樣載片8，10插入到樣本桌2的容器34中。圖5是穿過物件桌和其高度調(diào)節(jié)設(shè)備及縱向擺動(dòng)設(shè)備的部分垂直截面。由樣本桌2確定的樣本平面49能在基本上Z方向(在此情況是垂直方向)上調(diào)節(jié)，其中直線地固定到支承架83的直線可移動(dòng)的樣本桌2與此支承架83—起放置在馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的偏心輪106，且可在樞軸上轉(zhuǎn)動(dòng)地固定到框架82的一個(gè)側(cè)面。圖12是穿過此類偏心設(shè)備的較佳實(shí)施例的截面。若偏心輪106作一些轉(zhuǎn)動(dòng)，支承架83與樣本桌一起上升或下降。此移動(dòng)允許將樣本桌2的平面，即樣本平面49，被帶到與儲(chǔ)存單元4的樣本部分盒7'或試驗(yàn)部分盒9'中的支承點(diǎn)6的平面相對(duì)應(yīng)，從而允許在這些盒7'，9'中的一個(gè)和樣本桌之間進(jìn)行直線傳輸。較佳地，對(duì)應(yīng)的盒通過可移動(dòng)的調(diào)節(jié)板11的移動(dòng)在Z方向中提供，使得只需要對(duì)樣本桌支承架83的偏心輪106進(jìn)行可能的精細(xì)的匹配調(diào)整。較佳地是馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的偏心輪106能用于校正試樣載片8，10或樣本桌2的縱向傾斜，使得掃描器裝置72的聚焦線101精確地落在樣本平面49中。事實(shí)上，縱向傾斜的校正也與垂直位移，即沿Z軸位移同時(shí)發(fā)生。為了此類試樣載片傳輸?shù)哪康?，樣本?最好在基本上水平Y(jié)方向拉得盡可能靠近儲(chǔ)存單元4。當(dāng)樣本桌2拉近到儲(chǔ)存單元4時(shí)，凹坑打孔器88刺入樣本桌2，從而降低樣本桌2的容器34的支撐架，以便接收試樣載片結(jié)果，準(zhǔn)備好樣本桌2來接收試樣載片8，10。較佳地借助安裝在支承架83的軸驅(qū)動(dòng)器84沿著線性滑槽85進(jìn)行拉近動(dòng)作。軸驅(qū)動(dòng)器84通過柔性耦合器86連結(jié)到馬達(dá)87，使得即使樣本平面49對(duì)水平面有一小的傾斜角也能在基本上Y方向上進(jìn)行樣本桌的精確的直線導(dǎo)引。樣本桌2采用偏心輪80的可調(diào)節(jié)性的主要目的是將樣本平面49相對(duì)于由掃描器頭50確定的聚焦線101對(duì)準(zhǔn)，在激光掃描裝置1的X方向(在此情況垂直于拉的平面)振動(dòng)。此掃描器頭50在X方向以及在分離板99的上側(cè)面很快地運(yùn)動(dòng)。此分離板具有掃描開口90。較佳地，掃描器頭50埋入到此掃描開口90，使得從那里發(fā)出的光束以很短距離射到樣本，且使得掃描器頭50能盡可能有效地接收來自樣本的熒光發(fā)射，并將其轉(zhuǎn)送到檢測(cè)器61或到多個(gè)檢測(cè)器61，61'。圖6是帶有按第一實(shí)施例的掃描器頭50的激光掃描裝置1的基本光學(xué)元件的原理圖。用于成像和/或測(cè)量位于試樣載片并用兩個(gè)不同熒光染料處理的熒光樣本的激光掃描裝置1包括帶有用于樣本平面49中的樣本試樣載片10的容器的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣本桌2。第一激光器51和第二激光器52以及第一光學(xué)系統(tǒng)53提供兩個(gè)不同波長(zhǎng)互相平行取向并平行此平面49延伸的激光束54，55。掃描器裝置72包括能平行于此平面49前后移動(dòng)的掃描器頭50，并具有用于將激光束54，55折射到樣本的光學(xué)折射元件56。第一物鏡57將激光束54，55聚焦到平面49的樣本上。此第一物鏡57具有最好平行于樣本平面49安排的主平面107。第二光學(xué)系統(tǒng)58將由在樣本上激光束54，55觸發(fā)并由第一物鏡57和折射元件56在基本上平行于平面49的方向上折射的發(fā)射光束群59，60引導(dǎo)到檢測(cè)器61，61'。兩個(gè)此類型的檢測(cè)器61，61'檢測(cè)來自樣本的不同波長(zhǎng)的發(fā)射光束群59，60。膜48的開口較佳地具有比聚焦的發(fā)射光束群50，60更大的直徑，雖然它們也能基本上對(duì)應(yīng)于聚焦的發(fā)射光束群50，60的大?。贿@將提供共焦激光掃描裝置1。按本發(fā)明的激光掃描裝置1的光學(xué)折射元件56包括帶有安排成彼此夾角為P的前和后分光表面63，64的楔形雙光鏡子62。在此情況，楔形分光鏡子62以那樣方式調(diào)節(jié)，使得兩個(gè)激光束54，55各自在表面63，64的一個(gè)表面處反射。在此情況，楔形分光鏡子62通過夾角(3使得兩個(gè)最終聚焦65在空間上分離，并使兩個(gè)發(fā)射光束群59，60在檢測(cè)器61，61'的方向引導(dǎo)。兩個(gè)最終聚焦點(diǎn)65，65'在樣本平面49上彼此以距離5分開排列。在圖6中示出的此第一實(shí)施例中，光學(xué)折射元件56是楔形分光鏡子62。在此情況較佳地，楔形分光鏡子62的背后分光表面64被配置成反射第一激光束54，而前面的分光表面63用于反射第二激光束55和兩個(gè)發(fā)射光束群59，60。第二光學(xué)系統(tǒng)58包括本來已知的元件，諸如將進(jìn)入的發(fā)射光束群59，60聚焦到對(duì)應(yīng)點(diǎn)的第二物鏡57'。第二光學(xué)系統(tǒng)58另外包括一膜48，它的開口最好基本上大于穿過這些開口的聚焦的發(fā)射光束群59，60。按照特定的較佳實(shí)施例，激光掃描裝置1是基于非共焦成像原理。據(jù)此，這些聚焦的發(fā)射光束群50，60每個(gè)射到檢測(cè)器61，61'的一個(gè)，后者測(cè)量相應(yīng)的發(fā)射光束群59，60的強(qiáng)度。此第二物鏡57'可配置成色差透鏡或簡(jiǎn)單的透鏡。圖7示出根據(jù)本發(fā)明的激光掃描裝置的掃描器頭的原理圖。在此情況，圖7A示出掃描器頭50的第二實(shí)施例，其中光學(xué)折射元件56被配置成帶有一楔形分光鏡子62和簡(jiǎn)單鏡子67的五鏡子排列66。如前在第一實(shí)施例中(見圖6)楔形分光鏡子62的背后分光表面64配置成反射第一激光束54，而前面分光表面63用于反射第二激光束55和兩個(gè)發(fā)射光束群59，60。圖7B示出掃描器頭50的第三實(shí)施例，其中光學(xué)折射元件56同樣配置成帶有一個(gè)楔形分光鏡子62和一個(gè)簡(jiǎn)單鏡子67的五鏡子排列66。與第二實(shí)施例(見圖7A)相反，分光鏡子62和簡(jiǎn)單鏡子67的排列是相反的。在此情況，楔形分光鏡子62的背后分光表面64被配置成反射第一激光束54，而其前面分光表面63用于反射第二激光束55和兩個(gè)發(fā)射光束群59，60。在掃描器頭的另外的替換實(shí)施例中(未示出)，光學(xué)折射元件56也配置成帶有一楔形分光鏡子62和一簡(jiǎn)單鏡子67的五鏡子排列66。在此情況，楔形分光鏡子62的背后分光表面64被配置成反射第一激光束54和兩個(gè)發(fā)射光束群50，60，而其前面的分光表面63用于反射第二激光束55。根據(jù)又一個(gè)替換實(shí)施例(未示出)，光學(xué)折射元件56也配置成五鏡子排列66。與本質(zhì)上類似的圖7A示出的實(shí)施例相反，用占據(jù)前表面63位置的一簡(jiǎn)單分光鏡子代替楔形分光鏡子62。第二簡(jiǎn)單分光鏡子或全鏡子(fullrairror)占據(jù)楔形分光鏡子62的背后表面64的位置。第二簡(jiǎn)單分光鏡子或全鏡子與第一簡(jiǎn)單分光鏡子成相應(yīng)的夾角。五鏡子排列66的反射和透射特性的這些變化基本上也應(yīng)用到帶有基本上排列成45。角的簡(jiǎn)單鏡子的實(shí)施例中。不言自明，剛描述過的各實(shí)施例及其組合能按需交換使用。然而還偏向于按圖6的第一實(shí)施例，其中光學(xué)折射元件56被配置成分光鏡子62;或偏向按圖7A的第二實(shí)施例，其中光學(xué)折射元件56被配置成帶有一楔形分光鏡子62和一簡(jiǎn)單鏡子67的五鏡子排列66。對(duì)所有五鏡子排列66，最好前表面63和簡(jiǎn)單鏡子67夾有22.5°的角度。圖8是穿過激光掃描裝置1的部分水平截面，該裝置帶有包括用于提供激勵(lì)光的第一光學(xué)系統(tǒng)53，用于檢測(cè)觸發(fā)的樣本的熒光發(fā)射的第二光學(xué)系統(tǒng)58的基本光學(xué)元件；具有掃描器頭50的掃描器裝置72;和具有包含試樣載片盒7，9，的儲(chǔ)存單元4的物件桌2。較佳地，所有基本光學(xué)元件和掃描器裝置72安排在共同的分離平板99上，且樣本桌2安排在分離板99之下(見圖5)。第一光學(xué)系統(tǒng)53的基本光學(xué)元件安排在機(jī)箱5中并至少包括第一激光器51和可選的第二激光器52;用于從一個(gè)或多個(gè)激光器51，52發(fā)射的激光束54,55的過濾器輪(filterwheel)97;和用于在平行于X軸的方向折射來自激光器51，52的激光束54，55的若干分光鏡62和簡(jiǎn)單鏡子67。第二光學(xué)系統(tǒng)58的基本光學(xué)元件安排在同一機(jī)箱5內(nèi)，并包括一個(gè)或多個(gè)檢測(cè)器61，61';過濾器輪97;和在用于從樣本發(fā)射的發(fā)射光束群59，60的所述檢測(cè)器之前的膜48;以及用于將發(fā)射光束群59，60從平行于X方向的方向折射到檢測(cè)器61，61'方向的若干分光鏡子62和簡(jiǎn)單鏡子67。掃描器裝置72包括一驅(qū)動(dòng)器71，掃描器頭50和較佳的還有具有與掃描器頭50相等或至少等價(jià)的質(zhì)量的用于脈沖補(bǔ)償?shù)哪嫦蛘袷幤?3。掃描器頭和逆向振蕩器借助于連桿70，70'連接到驅(qū)動(dòng)器71.且每個(gè)固定到精確的直線導(dǎo)槽(未示出)。驅(qū)動(dòng)器71引起掃描器頭50在運(yùn)動(dòng)方向75上快速的往復(fù)運(yùn)動(dòng)(見實(shí)線雙頭箭頭)，這同時(shí)確定發(fā)掃描軸線75。在此情況，逆向振蕩器73總是完成反向運(yùn)動(dòng)，從而不管掃描器頭50的高速掃描速度允許分離板99，即流逝光拋錨裝置l作為整體穩(wěn)固。掃描軸75平行于X軸或與其精確地重合。掃描器頭50包括如配置成分光鏡子62的光學(xué)折射元件56。折射元件56能配置成全鏡子、棱鏡、五棱鏡、五鏡子配置、或這里所列元件的組合。此折射元件56—方面將第一光學(xué)系統(tǒng)53的激光束54，55引導(dǎo)到在樣本桌2上的樣本，另一方面將由樣本發(fā)射的發(fā)射光束群59，60引導(dǎo)到第二光學(xué)系統(tǒng)58的方向。垂直于X軸和掃描軸線75，安排在分離板99之下的樣本桌2的運(yùn)動(dòng)方向在Y軸方向延伸。帶著儲(chǔ)存在樣本部分盒的樣本試樣載片8和儲(chǔ)存在試驗(yàn)部分盒9'的試驗(yàn)試樣載品10的儲(chǔ)存單元4較佳地安排在分離板99之外的區(qū)域。在這些盒7'，9'的特定支承點(diǎn)6中是否存在試樣載片8，IO較佳地借助控制設(shè)備22校驗(yàn)。此控制設(shè)備較佳地包括用于這些控制目的穿過控制開口21的光束23。較佳地，激光掃描裝置1具有帶風(fēng)扇25、有活性炭過濾器27的空氣進(jìn)口26、和空氣出口28的通風(fēng)裝置24，以減少在儲(chǔ)存在樣本部分盒7'中的樣本上或樣本中的熒光染料的臭氧污染。尤其較佳的，通風(fēng)系統(tǒng)24包括附加的機(jī)箱29，后者主要圍繞帶有樣本試樣載片8的樣本部分7。此附加機(jī)箱29較佳地安排在激光掃描裝置1的機(jī)箱5之中，并配置成旋轉(zhuǎn)打開，至少基本上是封閉(closedoff)區(qū)域。在此情況尤其較佳的是通風(fēng)裝置24容納在附加機(jī)箱29中，并獨(dú)立于激光掃描裝置1的通風(fēng)裝置。例如，服務(wù)專家能打開此附加機(jī)箱29，并必要時(shí)插入或替代在試驗(yàn)部分盒9'中的一個(gè)或多個(gè)試驗(yàn)試樣載片，這在其他情況是不可存取的。較佳地，此附加機(jī)箱29配置成使得它可以從分離板99旋轉(zhuǎn)打開，并具有進(jìn)料開口100，通過此開口相應(yīng)的試樣載片8，10能傳送到樣本桌2或傳送到盒7'，9'。較佳地，樣本部分7在儲(chǔ)存單元4的試驗(yàn)部分9之上軸向排列，并與附加機(jī)箱29或至少與附加機(jī)箱的一部分一起旋轉(zhuǎn)打開(為服務(wù)專家打開)。如果在樣本桌2和儲(chǔ)存單元4之間傳送期間樣本試樣載片8變得擁擠或破損，操作員可移除損壞的樣本試樣載片8而不必提供對(duì)試驗(yàn)試樣載片10的存取。尤其較佳的是服務(wù)專家將一個(gè)或多個(gè)試驗(yàn)試樣載片10單獨(dú)地輕輕放入樣本部分盒7'，并將此樣本部分盒7'以通常方式插入到激光掃描裝置1。較佳地通過輸入服務(wù)專家的個(gè)人識(shí)別號(hào)(PIN)或通過輸入用于服務(wù)專家的編碼激活在激光掃描裝置1的控制器40中的相應(yīng)編程的固件。一旦以此方式激活，固件使激光掃描裝置1的控制器40能控制這些試驗(yàn)試樣載片10的每一個(gè)從樣本部分盒7'到樣本桌2，并進(jìn)一步到試驗(yàn)部分盒9'的支承點(diǎn)6的自動(dòng)傳送。按照此尤其較佳的方法，任何進(jìn)到試驗(yàn)部分盒9'的人工干預(yù)是不可能的。只有在特定緊急情況并使用合適的工具，服務(wù)專家才能抽出較佳的密封在附加機(jī)箱29中的試驗(yàn)試樣載片10。較佳地，根據(jù)本發(fā)明的激光掃描裝置1的控制器40配置成控制基于試驗(yàn)試樣載片10完成的自動(dòng)的內(nèi)部?jī)x器校驗(yàn)。較佳地，樣本桌2被配置成可被馬達(dá)驅(qū)動(dòng)向上移動(dòng)到恰好在儲(chǔ)存單元4之前，且其位置和運(yùn)動(dòng)由控制器40控制。同樣方法也可應(yīng)用到用來選擇要檢驗(yàn)的試樣載片8，10的儲(chǔ)存單元4的調(diào)節(jié)板11，和應(yīng)用到用于旋轉(zhuǎn)打開折板16的可旋轉(zhuǎn)偏心滾輪19。此外，較佳的是出料滑塊31也配置成馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，用于將試樣載片8，10傳送到樣本桌2，以便自動(dòng)選擇和提供在樣本桌2上的樣本試樣載片8或試驗(yàn)試樣載片10，且滑塊的位置和運(yùn)動(dòng)也由控制器40控制。同樣方法也可應(yīng)用到進(jìn)料滑塊32，用于在所述儲(chǔ)存單元返回到樣本部分盒7'或試驗(yàn)部分盒9'的支承點(diǎn)6時(shí)將試樣載片8，10傳送到儲(chǔ)存單元4。圖9是穿過帶有相關(guān)聯(lián)的位移傳感器91的激光掃描裝置1的掃描器頭50的局部水平截面。直線導(dǎo)槽68被固定在框架82上，在導(dǎo)槽上安排了掃描器頭50，使其在X方向移動(dòng)并埋入到掃描開口90中。在此情況，X軸與掃描器頭50的運(yùn)動(dòng)方向75重合，此運(yùn)動(dòng)方向75與被折射到安排在掃描器頭50之下的樣本(未示出)的第一和第二激光束54，55—起確定一掃描平面76。此掃描平面76較佳地垂直于樣本平面49站立。掃描器頭50包括一測(cè)量棒77，它安排成離開激光掃描裝置1的固定的線性測(cè)量系統(tǒng)78，并在此掃描平面76中。樣本桌2最好配置成可在笛卡兒坐標(biāo)系統(tǒng)的Y方向與X軸75成正確角度地作直線運(yùn)動(dòng)。帶有所有其光學(xué)元件、緊固裝置、測(cè)量棒77和一部分直線導(dǎo)槽的掃描器頭具有質(zhì)量中心74。此質(zhì)量中心74安排在掃描器頭50的運(yùn)動(dòng)方向上帶有連桿嚙合點(diǎn)69的線上，該直線將掃描器頭50的連桿70連結(jié)到驅(qū)動(dòng)器71。例如，此連桿嚙合點(diǎn)69能配置成一個(gè)軸線，然而較佳的是將該連桿嚙合點(diǎn)配置成柔性樞軸。圖10是用于掃描器頭50的位移傳感器91和在掃描期間作為X/t圖的非線性運(yùn)動(dòng)的概圖。此X/t圖為根據(jù)X軸上的位置檢測(cè)象素(AX)指向不同的時(shí)間段(At1;。位移傳感器信號(hào)92粗略地對(duì)應(yīng)于一正弦曲線，它在掃描器頭50的掃描線的極端點(diǎn)(端點(diǎn))處具有其峰值。由于在這些端點(diǎn)掃描方向的轉(zhuǎn)換和作為結(jié)果運(yùn)動(dòng)慢下來，與掃描器頭的最大速度相比，為了經(jīng)過同樣的距離(AX)在這些轉(zhuǎn)換點(diǎn)附近掃描器頭需要更長(zhǎng)的時(shí)間(At2)，掃描器頭的最大速度能夠在轉(zhuǎn)換之間的中心位置達(dá)到，其中在短得多的時(shí)間(At,)通過同樣的距離(AX)。象素(AX)和對(duì)應(yīng)位置及時(shí)間點(diǎn)彼此相關(guān)，并被賦予在此時(shí)間點(diǎn)上測(cè)量的強(qiáng)度。然后所有測(cè)量的象素的和隨后的產(chǎn)生一個(gè)二維圖。在樣本平面49中這些象素的位置與在此位置測(cè)量的熒光強(qiáng)度的強(qiáng)度值的相關(guān)性結(jié)合象素的大小最終確定激光掃描裝置1的分辨率。圖il示出具有用于光學(xué)顯微的標(biāo)準(zhǔn)試樣載片的樣式并專門包括基本上光-穩(wěn)定試驗(yàn)結(jié)構(gòu)41的試驗(yàn)試樣載片10。術(shù)語(yǔ)"基本上光-穩(wěn)定"描述這樣的試驗(yàn)結(jié)構(gòu)，所述的試驗(yàn)結(jié)構(gòu)在正常使用期間，即在試驗(yàn)時(shí)期常常發(fā)生的放射性輻照下，不受到可測(cè)量的損壞。用激光束54，54幾分鐘甚至幾小時(shí)地輻照試驗(yàn)試樣載片IO，或?qū)⒃囼?yàn)試樣載片IO相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間地放在未受保護(hù)的地方(如曝露在環(huán)境光照中)不被描述為"正常使用"。下表1提供用于光學(xué)顯微的最常見玻璃試樣載片的概況:<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>在圖ll示出的示例試驗(yàn)試樣載片IO具有面，該面具有75mm的長(zhǎng)度A，25mm的寬度B和lram的厚度C。面的一半A/2是暗光處理的(如借助研磨)。另一半具有較佳的寬度或幅度D為20mm的線性圖樣。線性圖樣最好是由借助掩膜產(chǎn)生的蒸汽沉積的鉻層組成。大寫的字母E、F、G標(biāo)記每毫米線對(duì)的比率數(shù)(lp/mm)而小寫字母l，m，n，o標(biāo)記密度，如下所示E=50lp/mm;F=100lp/mm;G=10lp/mm;1=0.5mm;m=2mm;n=lmm;0=7mm。所有這些試驗(yàn)結(jié)構(gòu)41較佳地只是基本上光穩(wěn)定的和非熒光的。圖12是穿過偏心設(shè)備80，106的垂直截面，該偏心設(shè)備用于相對(duì)于在樣本桌2上的樣本平面49調(diào)節(jié)由掃描器頭50確定的聚焦線101。較佳地每個(gè)偏心設(shè)備80，106是馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的，并包括含有豎立外環(huán)108，可轉(zhuǎn)動(dòng)的內(nèi)環(huán)109及若干滾動(dòng)體或滾珠110的滾珠軸承。較佳地，此類的滾珠軸承還包括一罩子，為了清楚起見這在圖12中被略去。該特別較佳的滾珠軸承的可轉(zhuǎn)動(dòng)的內(nèi)環(huán)109具有偏心的空腔lll，其中固定-馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)軸112，以致不能相對(duì)于內(nèi)環(huán)109轉(zhuǎn)動(dòng)。如果以靜止和可轉(zhuǎn)動(dòng)方式固定到支承架(未示出)的驅(qū)動(dòng)軸112轉(zhuǎn)動(dòng)一特定角度，固定到移動(dòng)組件的豎立的外環(huán)108升起或下降。上升或下降由偏心量(eccentricmass)113確定，偏心量確定從驅(qū)動(dòng)軸112的中心到滾珠軸承的轉(zhuǎn)動(dòng)中心114的距離，這由此兩個(gè)中心的即時(shí)的互相布局并且由驅(qū)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)方向而定。這些偏心布置80，106的優(yōu)點(diǎn)包括便于幾乎無級(jí)，無摩擦的高度調(diào)節(jié)的事實(shí)。很清楚，較小的偏心量113允許偏心設(shè)備80，106的較低的最大可調(diào)節(jié)性，但增加了此可調(diào)節(jié)的精細(xì)程度。外環(huán)108可不動(dòng)地固定到要移動(dòng)的設(shè)備83，103;然而這并非絕對(duì)必要，所以外環(huán)108也能相對(duì)于要移動(dòng)的設(shè)備83，103可動(dòng)地安排。偏心量113能以任何希望的空間方向安排，使得它不一定確定如圖12所示的水平偏移。按本發(fā)明的激光掃描裝置l是為成像和測(cè)量二維對(duì)象設(shè)計(jì)的。因而，靈敏度較準(zhǔn)也必須精確地應(yīng)用對(duì)這些"平的"物件。然而不能產(chǎn)生或很困難地產(chǎn)生在很長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)既是光穩(wěn)定的又是抗化學(xué)變化的二維熒光樣本。另一方面能測(cè)量向三維延伸的物件。然而由于在那樣三維物件上測(cè)量的強(qiáng)度明顯地依賴于激光掃描裝置的域的深度，并依賴于在焦點(diǎn)中的相對(duì)定位(即在Z方向)，這類的三維物件不直接適用于校準(zhǔn)信號(hào)強(qiáng)度或靈敏度。然而存在材料102"稱為松散材料(bulkmaterial)"，例如嵌入到塑料材料或涂料玻璃(d叩edglass)的熒光染料，它們基本上是光穩(wěn)定的和抗化學(xué)變化的。激光掃描裝置1的樣本桌2存儲(chǔ)單元的空間定向?qū)嶋H上是任意的。同樣也應(yīng)用到借助逆向振蕩器73很好平衡或脈沖補(bǔ)償?shù)膾呙柩b置72。樣本桌2的樣本平面49也能基本水平的但掛在上面(hangingoverhead)地安排。然而，分別按圖1和2和4到7的樣本桌的靜止的安排是較佳的。按本發(fā)明的激光掃描裝置1的同樣特征或元件均用同樣的附圖標(biāo)記，即使這些元件在所有情況沒有詳細(xì)描述。還要揭示的是根據(jù)本發(fā)明為了成像和/或測(cè)量位于試樣載片并用熒光染料處理的熒光樣本，操作此類激光的掃描裝置1的方法。此方法的特征在于所使用的光學(xué)折射元件56是帶有以彼此夾角(3布置的前面和后面分光表面63，64的楔形分光鏡子62，楔形分光鏡62以那樣方式調(diào)節(jié)，使得兩個(gè)激光束54，55每個(gè)在表面63，64的一個(gè)反射，且楔形分光鏡62通過面之間夾角[3導(dǎo)致兩個(gè)最終聚焦點(diǎn)65空間分開，并導(dǎo)致兩個(gè)發(fā)射光束群59，60空間分離，導(dǎo)向檢測(cè)器61，61'的方向。此方法較佳地使用配置成帶有楔形分光鏡62和簡(jiǎn)單鏡子67的五鏡子排列66，此五鏡子排列66以那樣的方法校正掃描器頭50圍繞與掃描軸75成直角延伸的Y軸的擺動(dòng)，使得最終的諸聚焦65不改變它們?cè)跇颖酒矫?9中的當(dāng)前位置。尤其較佳的是，掃描器頭50用其光學(xué)折射元件56和它的運(yùn)動(dòng)方向75確定一掃描平面76，該平面垂直于樣本平面49站立，掃描器頭50在X軸75中的偏移由離開激光掃描裝置1的線性測(cè)量系統(tǒng)78并在此掃描或屏蔽平面76上的測(cè)量棒77測(cè)量。此測(cè)量棒77較佳地安排在掃描或屏蔽平面76中，或至少在此掃描平面76的鄰近處。此測(cè)量棒77還較佳地安排在第一物鏡57(見圖6和7)的主平面107，或至少在此主平面107的鄰近處。按照本發(fā)明為了成像和/或測(cè)量位于試樣載片并用熒光染料處理的熒光樣本操作此類激光掃描裝置1的方法允許在成像和/或測(cè)量位于試樣載片并用兩種不同熒光染料處理的熒光樣本時(shí)有2.或更好的名義極限分辨率。較佳的是從一個(gè)組選擇的儀器校核，該組包括完成強(qiáng)度和靈敏度試驗(yàn)，完成串?dāng)_、分辨率和動(dòng)態(tài)測(cè)量，完成激光噪聲和強(qiáng)度測(cè)量，和濾波器阻塞和濾波器傳輸校驗(yàn)，以及光學(xué)組件的調(diào)節(jié)、幾何成像參數(shù)以及成像取向的校驗(yàn)。幾何成象參數(shù)的例子包括扭曲的放大，査明和參數(shù)化。兩個(gè)或多個(gè)激勵(lì)通道和/或檢測(cè)通道的疊加也能校驗(yàn)。此外，激光掃描裝置l能夠控制自動(dòng)聚焦功能。較佳地，用至少一個(gè)試驗(yàn)試樣載片IO在沒有熒光物質(zhì)情況下完成靈敏度校驗(yàn)，該試樣載片至少大致上具有用于光學(xué)顯微的標(biāo)準(zhǔn)試樣載片的圖樣，且專門包括基本上光-穩(wěn)定的試驗(yàn)結(jié)構(gòu)41。另外或除了在沒有熒光物質(zhì)情況下在基本上二維試驗(yàn)結(jié)構(gòu)41上的上述靈敏度校驗(yàn)以外，也能在三維熒光試驗(yàn)結(jié)構(gòu)上完成強(qiáng)度測(cè)量。取代在XY方向，即在平行于樣本平面49的方向中的常規(guī)掃描或常規(guī)被掃描的域，掃描可以通過掃描在樣本平面49上基本上垂直站立的域在XZ方向(Z分布)中完成。直接測(cè)量的Z分布將測(cè)量的強(qiáng)度表示成Z坐標(biāo)的函數(shù)(PI(Z))。取代此Z分布計(jì)算對(duì)應(yīng)強(qiáng)度的第一偏差(dl=dl(z)/dz)，從而再次提供二維強(qiáng)度分布。第一偏差的最大值是由激光掃描裝置1在樣本的表面處測(cè)量的強(qiáng)度測(cè)量值。適于此校準(zhǔn)過程的材料能102與在同樣試驗(yàn)試樣載片10上或在分別的試驗(yàn)試樣載片上的蒸汽-沉積的線性圖樣一起安排。這些平的三維材料102較佳地具有平行于樣本平面49從2X2mm到10X10mm的范圍，并具有從約0.1到2mm的厚度，較佳的是約lmm的厚度(見圖ll)。本領(lǐng)域技術(shù)人員熟悉作為光學(xué)元件的分光鏡的功能，該元件對(duì)一部分波長(zhǎng)譜是可透過的，而反射該波長(zhǎng)譜的另一部分。因而本領(lǐng)域技術(shù)人員在此情況稱之為波長(zhǎng)選擇的透射和反射。此外，已知有那樣的激光器，它們能發(fā)射不同波長(zhǎng)的光，而另一些(即混合激光器)，它們將一個(gè)二極管激光器腔(如紅的，635nm)和固態(tài)激光器腔(如綠的，532nra)包括在一個(gè)機(jī)殼內(nèi)。本領(lǐng)域技術(shù)人員明白，從本文的描述或本發(fā)明的所描述的實(shí)施例得出的各種組合或改變形成本專利范圍的一部分。附圖標(biāo)記I.激光掃描裝置3.傳輸設(shè)備5.機(jī)箱7.樣本部分8.樣本試樣載片9'.試驗(yàn)部分盒II.可移動(dòng)的調(diào)節(jié)板13.接觸彈簧15.插入側(cè)面17.軸線2.樣本桌4.儲(chǔ)存單元6.支承點(diǎn)7'.樣本部分盒9.試驗(yàn)部分10.試驗(yàn)試樣載片12.支承輻板14.試樣載片的縱向邊緣16.旋轉(zhuǎn)打開折板18.斜板19.偏心滾輪20.鎖定板21.控制開口22.控制設(shè)備23.光束24.通風(fēng)裝置25.風(fēng)扇26.空氣進(jìn)氣口27.活性炭過濾器28.空氣出氣口29.附加的機(jī)箱30.彈簧31.出料滑塊32.進(jìn)料滑塊33.樞轉(zhuǎn)折板34容器35.相對(duì)的凹槽36.靜止的輻板37.可移動(dòng)的夾板38.豎立的側(cè)壁39.可移動(dòng)的接觸部件40.控制器41.光-穩(wěn)定的試驗(yàn)結(jié)構(gòu)42,手柄43.燕尾槽44.11的驅(qū)動(dòng)器45.31的驅(qū)動(dòng)器46.32的驅(qū)動(dòng)器47.33的擺動(dòng)軸線48.膜49.平面，樣本平面50.掃描器頭51.第一激光器52.第二激光器53.第一光學(xué)系統(tǒng)54.第一激光束55.第二激光束56.光學(xué)折射元件57.第一物鏡57，.第二物鏡58.第二光學(xué)系統(tǒng)59.第一發(fā)射光束群60.第二發(fā)射光束群61.第一檢測(cè)器61，第二檢測(cè)器62.分光鏡63.前表面64.背后表面65.最終聚焦點(diǎn)66.五鏡子排列67.簡(jiǎn)單鏡子68.直線導(dǎo)槽69，69'連桿嚙合點(diǎn)70，70'連桿71.驅(qū)動(dòng)器72.掃描器裝置73.逆向振蕩器74.質(zhì)量中心75.運(yùn)動(dòng)X軸線、掃描軸線的方向76.掃描平面77觀!j量棒78.線性測(cè)量系統(tǒng)79擺動(dòng)機(jī)構(gòu)80.偏心，偏心設(shè)備81鉸鏈銷82.框架83支承架84.軸驅(qū)動(dòng)器85直線導(dǎo)槽86.稱合器87馬達(dá)88.凹坑打孔器89斜面90.掃描開口91位移傳感器92.位移傳感器信號(hào)97過濾器輪98.凹口99分離板100進(jìn)料開口101聚焦線102無光澤材料1032的支承部分104鋼彈簧105卡箍106偏心，偏心設(shè)備107物鏡57的主平簡(jiǎn)外環(huán)109內(nèi)環(huán)110滾動(dòng)體，滾珠111偏心空腔112驅(qū)動(dòng)器軸113偏心量114滾珠軸承的轉(zhuǎn)動(dòng)中心權(quán)利要求1.一種用于成像和/或測(cè)量位于試樣載片上并用兩種不同的熒光染料處理的熒光樣本的激光掃描裝置(1)，包括(a)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣本桌(2)，具有用于在樣本平面(49)中的試樣載片(8，10)的容器(34)；(b)至少一個(gè)激光器(51，52)和第一光學(xué)系統(tǒng)(53)，用于提供不同波長(zhǎng)、彼此平行且與該平面(49)平行延伸的兩個(gè)激光束(54，55)(c)掃描裝置(72)，包括掃描器頭(50)，所述掃描器頭平行于該平面(49)并在運(yùn)動(dòng)方向(75)前后可移動(dòng)且具有用于將所述激光束(54，55)折射到所述樣本的光學(xué)折射元件(56)；(d)第一物鏡(57)，用于將所述激光束(54，55)聚焦到所述平面(49)中的樣本上；(e)第二光學(xué)系統(tǒng)(58)，用于向檢測(cè)器(61，61’)傳送由在所述樣本上的所述激光束(54，55)觸發(fā)并由所述第一物鏡(57)和在基本上平行于所述平面(49)的方向的折射元件(56)折射的發(fā)射光束群(59，60)和(f)兩個(gè)檢測(cè)器(61，61’)，用于檢測(cè)來自所述樣本的不同波長(zhǎng)的所述發(fā)射光束群(59，60)，其中，所述光學(xué)折射元件(56)包括帶有彼此以中間夾角(β)設(shè)置的前面和背面分光表面(63，64)的楔形分光鏡(62)，所述楔形分光鏡(62)以這樣一種方式調(diào)節(jié)，即，使得所述兩個(gè)激光束(54，55)各自在所述表面(63，64)的一個(gè)上反射，且所述楔形分光鏡(62)通過中間夾角(β)引起兩個(gè)最終聚焦點(diǎn)(65)的空間分離，而所述兩個(gè)發(fā)射光束群(59，60)導(dǎo)入所述檢測(cè)器(61，61’)的方向。2.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述光學(xué)折射元件(56)是楔形分光鏡(62)，或配置成帶有一個(gè)楔形分光鏡(62)和一個(gè)簡(jiǎn)單鏡子(67)的五鏡子排列(66)。3.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述楔形分光鏡(62)的所述背面分光表面(64)配置成反射所述第一激光束(54)，而其所述前面分光表面(63)用于反射所述第二激光束(55)和所述兩個(gè)發(fā)射光束群(59，60)。4.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述楔形分光鏡(62)的所述背面分光表面(64)配置成反射所述第一激光束(54)和所述第一發(fā)射光束群(59)，而其所述前面分光表面(63)用于反射所述第二激光束(55)和所述第二發(fā)射光束群(60)。5.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述掃描器頭(50)可置換地固定在一個(gè)直線導(dǎo)槽(68)上，所述導(dǎo)槽確定所述掃描器頭(50)的運(yùn)動(dòng)方向，并具有通過連桿(70)連接到所述掃描裝置(72)的驅(qū)動(dòng)器(71)的連桿嚙合點(diǎn)(69)。6.如權(quán)利要求5的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述掃描器頭(50)的所述連桿嚙合點(diǎn)(69)被安排在運(yùn)動(dòng)方向(75)上并與所述掃描器頭(50)的質(zhì)量中心(74)成一直線。7.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述掃描器頭(50)用其光學(xué)折射元件(56)和運(yùn)動(dòng)方向(75)確定一掃描平面(76)，所述掃描器頭(50)包括安排成離開所述激光掃描裝置(1)的線性測(cè)量系統(tǒng)(78)并在該掃描平面(76)中的測(cè)量棒(77)。8.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述掃描器頭(50)包括安排成至少在所述第一物鏡(57)的主平面(107)的鄰近處的測(cè)量棒(77)。9.如權(quán)利要求i的激光掃描裝置(O，其特征在于，所述掃描器裝置(72)包括逆向振蕩器(73)，所述逆向振蕩器(73)可置換地固定在直線導(dǎo)槽上并具有通過連桿(70)連接到所述掃描器裝置(72)的驅(qū)動(dòng)器(71)的連桿嚙合點(diǎn)(69')。10.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述樣本平面(49)基本水平地布置。11.如權(quán)利要求6的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述掃描器頭(5)的所述運(yùn)動(dòng)方向(75)確定X軸線或掃描軸線，且所述樣本桌(2)在與其成直角的笛卡爾坐標(biāo)系統(tǒng)的Y方向上可直線運(yùn)動(dòng)。12.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述樣本桌(2)包括帶有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的偏心輪(80)和單邊鉸鏈銷(81)的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)(79)，所述擺動(dòng)機(jī)構(gòu)(79)允許試樣載片(8，10)或樣本相對(duì)于聚焦線(101)取向。13.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述激光掃描裝置(1)包括一框架(82)和一支承架(83)，在所述支承架上所述樣本桌(2)借助軸驅(qū)動(dòng)器(84)在Y方向可直線移動(dòng)，該支承架(83)樞轉(zhuǎn)地固定在裝有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的偏心輪(80)的框架(82)上，所述偏心輪由框架(82)攜帶，并用于在基本垂直的Z方向上調(diào)節(jié)所述樣本桌，即，所述樣本平面(49)的容器(34)。14.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，為了傳送樣本試樣載片(8)或試驗(yàn)試樣載片(10)的目的，所述樣本桌(2)安排成能夠向上移動(dòng)到恰恰在用于此類試樣載片(8，10)的儲(chǔ)存單元(4)的前面。15.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述樣本桌(2)的容器(34)包括兩個(gè)相對(duì)的凹槽(35)，用于接收樣本試樣載片(8)或試驗(yàn)試樣載片(10)的兩個(gè)縱向邊緣(14)。16.如權(quán)利要求15的激光掃描裝置(1)，其特征在于，為了以?shī)A緊方式在基本垂直于所述試樣載片表面的方向固定試樣載片(8，10)，所述樣本桌(2)包括兩個(gè)靜止的輻板(36)和一個(gè)夾板(37)，所述夾板能彈性地移向這些輻板(36)并具有兩個(gè)豎立的側(cè)壁(38)，所述側(cè)壁與輻板(36)的下邊緣一起限定了所述凹槽(35)的開口寬度。17.如權(quán)利要求15的激光掃描裝置(1)，其特征在于，為了以?shī)A緊方式在基本平行于所述試樣載片表面的方向固定試樣載片(8，10)，所述樣本桌(2)包括接觸部件(39),所述接觸部件可移向所述試樣載片的至少一個(gè)縱向邊緣(14)，并彈性地限定所述容器(34)的開口寬度。18.如權(quán)利要求17的激光掃描裝置(1)，其特征在于，能移向所述試樣載片的至少一個(gè)縱向邊緣(14)的接觸部件(39)被配置成每個(gè)具有基本垂直軸線的滾輪。19.如權(quán)利要求14的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述儲(chǔ)存單元(4)包括一相應(yīng)的樣本部分(7)，所述樣本部分具有至少一個(gè)對(duì)應(yīng)的支承點(diǎn)(6)，且在所述激光掃描裝置(1)的操作期間接入到用于樣本試樣載片(8)的傳輸設(shè)備(3)，儲(chǔ)存單元還包括用于試驗(yàn)試樣載片(10)的試驗(yàn)部分(9)，所述試驗(yàn)部分(9)被構(gòu)造成與樣本部分(7)分離并且構(gòu)成試驗(yàn)部分盒(9')，所述試驗(yàn)部分盒剛性地連接到所述激光掃描裝置(1)，用于一個(gè)或多個(gè)試驗(yàn)試樣載片(10)，結(jié)果儲(chǔ)存在試驗(yàn)部分(9)的一試驗(yàn)試樣載片(10)在所述激光掃描裝置(1)操作時(shí)不能為操作員所手工得到。20.如權(quán)利要求1的激光掃描裝置(1)，其特征在于，所述激光掃描裝置(1)包括一控制器(40)，所述控制器配置成用于控制基于試驗(yàn)試樣載片(10)完成的自動(dòng)的內(nèi)部?jī)x器校驗(yàn)。21.—種為成像和/或測(cè)量位于試樣載片并用兩種不同熒光染料處理的熒光樣本而操作激光掃描裝置(1)的方法，所述方法包括下列步驟(a)提供馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣本桌(2)，所述樣本桌帶有用于在一樣本平面(49)中的試樣載片(8，10)的容器(34);(b)用至少一個(gè)激光器(51，52)和第一光學(xué)系統(tǒng)(53)提供兩個(gè)不同波長(zhǎng)、彼此平行且與該平面(49)平行延伸的激光束(54，55);(c)用包括一掃描器頭(50)的掃描器裝置(72)的光學(xué)折射元件(56)，將所述激光束(54，55)折射到所述樣本，所述掃描器頭可平行于該平面(49)并在移動(dòng)方向(75)往復(fù)移動(dòng)；(d)用第一物鏡(57)將所述激光束(54，55)聚焦到所述平面(49)中的樣本上；(e)用第二光學(xué)系統(tǒng)(58)將由在所述樣本上的激光束(54，55)觸發(fā)并由所述第一物鏡(57)和在基本上平行于所述平面(49)的方向中的折射元件(56)折射的發(fā)射光束群(59，60)傳送到檢測(cè)器(61，61，)；和(f)使用兩個(gè)檢測(cè)器(61，61')檢測(cè)來自所述樣本的不同波長(zhǎng)的所述發(fā)射光束群(59，60)。其中，所用的所述光學(xué)折射元件(56)是帶有彼此成中間夾角(P)設(shè)置的前面和背面分光表面(63，64)的楔形分光鏡(62)，所述楔形分光鏡(62)以這樣一種方式調(diào)節(jié)，S卩，使得所述兩個(gè)激光束(54，55)各自在所述表面(63，64)的一個(gè)上反射，且所述楔形分光鏡(62)通過中間夾角((3)引起兩個(gè)最終聚焦點(diǎn)(65)的空間分離，而所述兩個(gè)發(fā)射光束群(59，60)導(dǎo)入所述檢測(cè)器(61，61，)的方向。22.如權(quán)利要求21的方法，其特征在于，使用配置成帶有一楔形分光鏡(62)和一簡(jiǎn)單鏡子(67)的五鏡子排列(66)的光學(xué)折射元件(56)，這種五鏡子排列(66)以這樣一種方式校正掃描器頭(50)圍繞在所述掃描軸(75)的直角方向延伸的Y軸的擺動(dòng)，g卩，使得最終的聚焦點(diǎn)(65)不改變它們?cè)谒鰳颖酒矫?49)中的當(dāng)前位置。23.如權(quán)利要求21的方法，其特征在于，所述掃描器頭(50)用其光學(xué)折射元件(56)和移動(dòng)方向(75)確定一掃描平面(76)，所述掃描器頭(50)在X軸(75)中的偏移用一測(cè)量棒(77)測(cè)量，所述測(cè)量棒設(shè)置成在該掃描平面(76)中離開所述激光掃描裝置(1)的線性測(cè)量系統(tǒng)(78)。24.如權(quán)利要求21的方法，其特征在于，所述掃描器頭(50)在X軸(75)中的偏移用一測(cè)量棒(77)測(cè)量，所述測(cè)量棒設(shè)置成至少在所述第一物鏡(57)的主平面(107)的鄰近。25.如權(quán)利要求21的方法，其特征在于，成像和/或測(cè)量位于試樣載片且用兩種不同的熒光染料處理的熒光樣本期間的名義極限分辨率是2.5pm或更好。全文摘要本發(fā)明涉及用于成像和/或測(cè)量位于試樣載片(8)并用兩個(gè)不同熒光染料處理的熒光樣本的激光掃描裝置(1)，并還涉及相應(yīng)的方法。激光掃描裝置(1)包括一馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣本桌(2)、至少一個(gè)激光器(51，52)和第一光學(xué)系統(tǒng)(53)、掃描器裝置(72)和將激光束(54，55)聚焦在平面(49)的樣本上的第一物鏡(57)。激光掃描裝置(1)還包括用于將由樣本上的激光束(54，55)觸發(fā)并由第一物鏡(57)和折射元件(56)在基本上平行該平面(49)的方向中折射的發(fā)射光束群(59，60)傳送到檢測(cè)器(61，61’)的第二光學(xué)系統(tǒng)(58)，還包括兩個(gè)用于檢測(cè)來自那些樣本的不同波長(zhǎng)的發(fā)射光束群(59，60)的檢測(cè)器(61，61’)。文檔編號(hào)H04N1/04GK101419335SQ200810169139公開日2009年4月29日申請(qǐng)日期2008年10月22日優(yōu)先權(quán)日2007年10月22日發(fā)明者A·厄爾巴切,A·杰夫洛爾,G·溫澤爾,H·杰波斯特洛瑟申請(qǐng)人:泰肯貿(mào)易股份公司