專利名稱：具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及硅片加工領(lǐng)域，具體是一種具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機。
背景技術(shù)：
多線切割技術(shù)是目前比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù)，被世界范圍內(nèi)絕大多數(shù)硅片生產(chǎn)廠家所采用。其原理是將一根極細(xì)的鋼線相互平行的纏繞在兩個或多個導(dǎo)線輪上形成一個水平的切割線網(wǎng)(鋼線間的距離由導(dǎo)線輪槽距決定)，切割時導(dǎo)線輪帶動線網(wǎng)做高速運動，噴砂嘴持續(xù)不斷地向線網(wǎng)噴射含有磨料的研磨漿液(通常為PEG及SiC的混合液)，同時工件臺以工藝要求的速度以垂直于線網(wǎng)的方向朝著線網(wǎng)運動，線網(wǎng)將磨料帶入待加工工件區(qū)域?qū)ぜM(jìn)行磨銷，將硅塊等硬脆材料切割成數(shù)以千計的薄片。在整個切割過程中，線網(wǎng)的帶砂能力及平整度對硅片的質(zhì)量及成品率起著重要的作用。在實際切割過程中，隨著切割的進(jìn)行，會產(chǎn)生導(dǎo)向條殘渣，碎硅屑，金屬顆粒等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)如果附著在鋼線上將影響鋼線的帶砂能力，鋼線進(jìn)入硅塊后，由于帶砂不足及雜質(zhì)的影響容易使硅片產(chǎn)生線痕等不良品，同時若雜質(zhì)混同砂漿團聚在硅片表面也不利于硅片表面的清潔；若雜質(zhì)附著在導(dǎo)線輪上，極易引起鋼線的跳線，嚴(yán)重的甚至斷線，影響硅片切割質(zhì)量及成品率。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供了具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，解決了以往的兩導(dǎo)輪多線切割機在進(jìn)行切割時，鋼線上常常附著雜質(zhì)，影響鋼線的帶砂能力，進(jìn)而可能導(dǎo)致硅片產(chǎn)生線痕，同時還可能引起鋼線的跳線，嚴(yán)重的甚至斷線，影響硅片切割質(zhì)量及成品率的問題。
本實用新型為解決技術(shù)問題主要通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，包括輸入機構(gòu)、切割機構(gòu)、若干砂漿噴管以及若干第一噴吹管，所述砂漿噴管和第一噴吹管上設(shè)有若干噴孔，所述輸入機構(gòu)位于切割機構(gòu)的上方，所述輸入機構(gòu)包括依次固定連接的工作臺、工件架以及工件板，所述切割機構(gòu)包括兩個導(dǎo)輪和若干鋼線，兩個導(dǎo)輪的中心軸線相互平行，導(dǎo)輪上設(shè)有若干相互平行的線槽，鋼線通過線槽相互平行地纏繞在兩個導(dǎo)輪上，所述砂漿噴管和第一噴吹管位于導(dǎo)輪的上方。工件板用于固定待切割的硅片，工作臺帶動硅片向下運動進(jìn)行切割；導(dǎo)輪與鋼線組成一個高速運行的切割帶，同時砂漿噴管將研磨漿液噴在鋼線上，當(dāng)硅片進(jìn)入切割帶后，被高速運行的切割帶切割成數(shù)以千計的薄片；第一噴吹管可采用壓縮空氣噴吹的方式，對鋼線上的殘渣進(jìn)行噴吹清潔，確保鋼線的帶砂能力。進(jìn)一步地，作為優(yōu)選方案，本實用新型還包括收集槽，所述收集槽位于兩個導(dǎo)輪之間，且收集槽位于輸入機構(gòu)的正下方。在切割的過程中，會產(chǎn)生碎硅片等殘渣，用收集槽收集該殘渣后，能夠避免其過多地附著在鋼線上。[0007]進(jìn)一步地，所述兩個導(dǎo)輪的內(nèi)外側(cè)分別設(shè)有內(nèi)擋板和外擋板。內(nèi)擋板和外擋板能夠阻擋一部分碎屑，防止其飛濺。更進(jìn)一步地，所述外擋板與導(dǎo)輪之間設(shè)有至少一根第二噴吹管。第二噴吹管能夠?qū)摼€上的碎硅屑吹掉，減少鋼線上附著的殘渣。所述第二噴吹管的中心軸線與導(dǎo)輪的中心軸線相互平行。作為優(yōu)選方案，本實用新型還包括至少一根第三噴吹管，所述第三噴吹管位于兩個導(dǎo)輪之間，且位于導(dǎo)輪的中心軸線以下。第三噴吹管是為了進(jìn)一步減小鋼線上的殘渣附著，提升鋼線的帶砂能力。所述第三噴吹管的中心軸線與導(dǎo)輪的中心軸線相互平行。所述砂漿噴管垂直于鋼線，且砂漿噴管的長度等于或大于導(dǎo)輪的寬度。所述第一噴吹管與砂漿噴管平行。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點和有益效果:( I)本實用新型通過設(shè)置第一噴吹管，實時地將鋼線上的碎硅屑等殘渣吹掉，避免殘渣影響鋼線的帶砂能力，進(jìn)而保證了硅片切割的質(zhì)量，同時通過增設(shè)第二噴吹管、第三噴吹管，進(jìn)一步提高清潔能力，確保鋼線上的殘渣被徹底吹干凈。(2)本實用新型通過設(shè)置收集槽，將硅片切割過程中產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行收集，防止碎屑散落或附著在鋼線上，進(jìn)而減小殘渣對硅片切割的影響。(3)本實用新 型的第一噴水管、第二噴吹管及第三噴吹管還能對鋼線起到一定的冷卻降溫作用，保證切割質(zhì)量。

圖1為本實用新型的實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型的實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型的實施例3的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型的實施例4的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型的實施例5的立體圖；圖6為本實用新型的實施例5的主視圖。
具體實施方式
下面結(jié)合實施例對本實用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明，但本實用新型的實施方式不限于此。實施例1:如圖1所示，本實施例包括輸入機構(gòu)、切割機構(gòu)、若干砂漿噴管5以及若干第一噴吹管8,砂衆(zhòng)噴管5和第一噴吹管8上設(shè)有若干噴孔,輸入機構(gòu)位于切割機構(gòu)的上方，輸入機構(gòu)包括依次固定連接的工作臺1、工件架2以及工件板3，切割機構(gòu)包括兩個導(dǎo)輪9和若干鋼線11，兩個導(dǎo)輪9的中心軸線相互平行，導(dǎo)輪9上設(shè)有若干相互平行的線槽，鋼線11通過線槽相互平行地纏繞在兩個導(dǎo)輪9上，砂漿噴管5和第一噴吹管8位于導(dǎo)輪9的上方。作為優(yōu)選，本實施例的砂漿噴管5垂直于鋼線11，且砂漿噴管5的長度等于或大于導(dǎo)輪9的寬度。[0028]另外，作為優(yōu)選，本實施例的第一噴吹管8與砂漿噴管5平行。本實施例的工作原理:導(dǎo)輪9帶動鋼線11高速運行，形成切割網(wǎng)，工作臺I帶動待切割的硅片4向下運動并逐漸與切割網(wǎng)接觸，切割網(wǎng)將硅片4切割成數(shù)以千計的薄片，在切割過程中，砂漿噴管5不斷地將漿液噴在鋼線11上，而第一噴吹管8不斷地將鋼線上可能攜帶的碎屑等殘渣吹掉，保證鋼線11的帶砂能力。實施例2:如圖2所示，本實施例與實施例1基本相同，不同的地方是，本實施例在兩個導(dǎo)輪9之間增設(shè)收集槽10，且使收集槽10位于輸入機構(gòu)的正下方，硅片切割產(chǎn)生的碎屑就直接進(jìn)入到收集槽10內(nèi)。實施例3:如圖3所示，為了防止硅片碎屑飛濺，本實施例在實施例2的基礎(chǔ)上，在兩個導(dǎo)輪9的內(nèi)外側(cè)分別設(shè)置內(nèi)擋板6和外擋板7。實施例4:如圖4所示，為了獲得更好的清潔效果，本實施例在實施例3的基礎(chǔ)上，在外擋板7與導(dǎo)輪9之間設(shè)置至少一根第二噴吹管12，而作為優(yōu)選，本實施例在外擋板7與導(dǎo)輪9之間設(shè)置一根第二噴吹管12即可；另外，為使噴吹效果更好，使第二噴吹管12的中心軸線與導(dǎo)輪9的中心軸線相互平行。實施例5:如圖5及圖6所示，本實施例還包括至少一根第三噴吹管13，作為優(yōu)選， 本實施例在兩個導(dǎo)輪9之間設(shè)置兩根第三噴吹管13，且位于導(dǎo)輪9的中心軸線以下。作為優(yōu)選，本實施例的第三噴吹管13的中心軸線與導(dǎo)輪9的中心軸線相互平行。以上實施例中提到的噴液管的數(shù)量以及位置關(guān)系可根據(jù)需要而定，以能夠符合生產(chǎn)要求為準(zhǔn)；同時，以上所述的噴吹管的數(shù)量也以能夠符合生產(chǎn)要求為準(zhǔn)，而具體位置關(guān)系，比如是在鋼線內(nèi)側(cè)還是外側(cè)、距導(dǎo)輪或鋼線的距離是多少，這些可根據(jù)需要而定，只要能實現(xiàn)本發(fā)明的目的即可。
權(quán)利要求1.具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，其特征在于:包括輸入機構(gòu)、切割機構(gòu)、若干砂漿噴管(5)以及若干第一噴吹管(8)，所述砂漿噴管(5)和第一噴吹管(8)上設(shè)有若干噴孔，所述輸入機構(gòu)位于切割機構(gòu)的上方，所述輸入機構(gòu)包括依次固定連接的工作臺(I)、工件架(2 )以及工件板(3 )，所述切割機構(gòu)包括兩個導(dǎo)輪(9 )和若干鋼線(11)，兩個導(dǎo)輪(9 )的中心軸線相互平行，導(dǎo)輪(9)上設(shè)有若干相互平行的線槽，鋼線(11)通過線槽相互平行地纏繞在兩個導(dǎo)輪(9)上，所述砂漿噴管(5)和第一噴吹管(8)位于導(dǎo)輪(9)的上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，其特征在于:還包括收集槽(10)，所述收集槽(10)位于兩個導(dǎo)輪(9)之間，且收集槽(10)位于輸入機構(gòu)的正下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，其特征在于:所述兩個導(dǎo)輪(9)的內(nèi)外側(cè)分別設(shè)有內(nèi)擋板(6)和外擋板(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，其特征在于:所述外擋板(7)與導(dǎo)輪(9)之間設(shè)有至少一根第二噴吹管(12)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，其特征在于:所述第二噴吹管(12)的中心軸線與導(dǎo)輪(9)的中心軸線相互平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，其特征在于:還包括至少一根第三噴吹管(13)，所述第三噴吹管(13)位于兩個導(dǎo)輪(9)之間，且位于導(dǎo)輪(9)的中心軸線以下。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，其特征在于:所述第三噴吹管(13)的中心軸線與導(dǎo)輪(9)的中心軸線相互平行。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，其特征在于:所述砂漿噴管(5)垂直于鋼線(11)，且砂漿噴管(5)的長度等于或大于導(dǎo)輪(9)的寬度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，其特征在于:所述第一噴吹管(8)與砂漿噴管(5)平行。
專利摘要本實用新型公開了具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，包括輸入機構(gòu)、切割機構(gòu)、若干砂漿噴管以及若干第一噴吹管，砂漿噴管和第一噴吹管上設(shè)有若干噴孔，輸入機構(gòu)位于切割機構(gòu)的上方，輸入機構(gòu)包括依次固定連接的工作臺、工件架以及工件板，切割機構(gòu)包括兩個導(dǎo)輪和若干鋼線，兩個導(dǎo)輪的中心軸線相互平行，導(dǎo)輪上設(shè)有若干相互平行的線槽，鋼線通過線槽相互平行地纏繞在兩個導(dǎo)輪上，砂漿噴管和第一噴吹管位于導(dǎo)輪的上方。本實用新型采用上述結(jié)構(gòu)，能保證鋼線的帶砂能力，防止引起鋼線的跳線甚至斷線，避免影響硅片切割質(zhì)量及成品率。
文檔編號B28D7/02GK203092804SQ201320149718
公開日2013年7月31日 申請日期2013年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月29日
發(fā)明者劉興翀, 張凱, 陳博, 孟奔, 林洪峰, 張鳳鳴 申請人:天威新能源控股有限公司