一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，包括：支架、爐體、底座、驅(qū)動裝置、氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)。爐體安置在支架上且其內(nèi)部中空形成爐膛，爐膛內(nèi)壁設(shè)有加熱層，加熱層之外設(shè)有保溫層；底座置于爐體的正下方，底座上依次設(shè)有保溫層、加熱層以及主軸，主軸的上端連接有托盤；驅(qū)動裝置連接底座和主軸，驅(qū)動主軸旋轉(zhuǎn)以及驅(qū)動底座沿支架垂向滑動；氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括設(shè)置于爐體上的進氣通道和出氣通道，進氣通道上設(shè)有壓力、流量調(diào)節(jié)器；溫度控制系統(tǒng)包括多個分散設(shè)置于爐膛內(nèi)壁的熱電偶以及控制器。本實用新型可對直徑600-700mm的石英玻璃進行精密退火，并制備結(jié)構(gòu)濃度不同的石英玻璃，同時退火后應(yīng)力雙折射值達Ⅰ-Ⅱ類的要求。
【專利說明】一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種玻璃退火爐，特別是涉及一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐。
【背景技術(shù)】
[0002]石英玻璃以其高純、高的透光性以及低的熱膨脹性等一系列優(yōu)良的理化性能成為一種重要的基礎(chǔ)材料，其廣泛應(yīng)用于微電子、光纖通訊、激光、傳感技術(shù)等高新【技術(shù)領(lǐng)域】。
[0003]石英玻璃內(nèi)部的羥基含量、氧空位等都是影響石英玻璃關(guān)鍵性能(如光學(xué)均勻性、激光損傷閾值、紫外紅外光譜特性等)的重要因素。隨著大尺寸石英玻璃應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，對控制不同羥基含量、氧空位等結(jié)構(gòu)狀態(tài)的石英玻璃的需求越來越多。但是，目前國內(nèi)外熔制石英玻璃的工藝主要有四種，由其工藝決定的內(nèi)部羥基、氧空位等狀態(tài)基本一致。
[0004]同時，隨著各領(lǐng)域技術(shù)的飛速發(fā)展，對石英玻璃的直徑由100-500mm擴大到600-700_，如此大尺寸的石英玻璃中應(yīng)力的存在會影響石英玻璃的光學(xué)均勻性、表面面形穩(wěn)定性等。
[0005]目前，國內(nèi)外尚無一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，能夠?qū)χ睆?00-700_的大尺寸石英玻璃進行精密退火，還能獲得不同羥基含量、氧空位等結(jié)構(gòu)狀態(tài)的石英玻璃。
實用新型內(nèi)容
[0006]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種大尺寸石英玻璃精密氣氛退火爐，本實用新型可對直徑600-700_的大尺寸石英玻璃進行精密退火，并制備結(jié)構(gòu)濃度不同的石英玻璃，使退火后的石英玻璃應(yīng)力雙折射值達1-1I類的要求。
[0007]為了實現(xiàn)上述技術(shù)目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0008]一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，該退火爐包括:支架、爐體、底座、驅(qū)動裝置、氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)以及溫度控制系統(tǒng)；其中，
[0009]所述爐體安置在所述支架上，且所述爐體內(nèi)部中空以形成爐膛，所述爐膛內(nèi)壁設(shè)置有加熱層，所述加熱層與所述爐膛內(nèi)壁之間設(shè)置有保溫層；
[0010]所述底座安置于所述爐體的正下方，且滑動連接于所述支架，所述底座上依次鋪設(shè)有保溫層和加熱層，所述底座上還設(shè)置有主軸，所述主軸穿過所述底座以及所述底座上的保溫層和加熱層，所述主軸的上端連接有托盤；
[0011]所述驅(qū)動裝置分別連接所述底座、所述主軸，用于驅(qū)動所述底座沿著所述支架垂向滑動以及驅(qū)動所述主軸旋轉(zhuǎn)；
[0012]所述氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括進氣通道、出氣通道以及壓力、流量調(diào)節(jié)器；所述進氣通道、出氣通道設(shè)置于所述爐體上，所述壓力與流量調(diào)節(jié)器設(shè)置于所述進氣通道上；
[0013]所述溫度控制系統(tǒng)包括多個熱電偶以及控制器，所述多個熱電偶分散地設(shè)置于所述爐膛內(nèi)壁，所述控制器與所述多個熱電偶以及所述加熱層連接。[0014]進一步地，所述爐膛為圓筒狀，且所述爐膛的內(nèi)徑為800-900mm。
[0015]進一步地，所述托盤上設(shè)置有用于使石英玻璃豎直錯位放置的樣品架。
[0016]進一步地，所述樣品架包括底板以及設(shè)置在底板上的多條平行的隔板，且所述隔板之間形成用于固定石英玻璃的槽。
[0017]進一步地，所述托盤與所述底座上加熱層的距離為5_8mm，所述托盤的材質(zhì)為耐高溫材料。
[0018]進一步地，所述出氣通道與所述進氣通道相對設(shè)置，其中，所述進氣通道與所述出氣通道不在同一水平上，且所述出氣通道與所述進氣通道之間的縱向距離為150-250mm，進氣通道與底座的縱向距離為15_50mm。
[0019]進一步地，所述加熱層內(nèi)包括多片所述纖維爐材，且所述纖維爐材內(nèi)設(shè)置有“S型”排布的電爐絲。
[0020]進一步地，所述底座上的加熱層為圓柱狀，且其直徑與所述爐膛內(nèi)壁的直徑一致。
[0021]進一步地，所述支架的側(cè)部設(shè)置有導(dǎo)軌，所述底座與所述導(dǎo)軌滑動連接。
[0022]進一步地，所述驅(qū)動裝置包括第一驅(qū)動裝置和第二驅(qū)動裝置；其中，
[0023]所述第一驅(qū)動裝置包括升降電機、齒輪以及鏈條，其中，所述升降電機安置于所述支架上，所述升降電機連接所述齒輪，所述齒輪設(shè)置在所述支架上，所述齒輪通過所述鏈條與所述底座連接，用于驅(qū)動所述底座沿著所述支架上的導(dǎo)軌垂向滑動。
[0024]所述第二驅(qū)動裝置包括減速電機以及與所述減速電機連接的變向齒輪；其中，所述減速電機設(shè)置在所述底盤的下方，所述變向齒輪連接所述主軸，用于驅(qū)動所述主軸旋轉(zhuǎn)。
[0025]本實用新型的有益效果是:
[0026](I)本實用新型采用的氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)可以向爐膛內(nèi)通入不同氣體，以調(diào)節(jié)石英玻璃內(nèi)部的羥基含量、氧空位等結(jié)構(gòu)狀態(tài)，實現(xiàn)不同應(yīng)用要求的、特殊性能石英玻璃樣品的制備，同時可滿足退火后應(yīng)力雙折射值達1-1I類的要求。
[0027](2)本實用新型提供的爐體的爐膛內(nèi)徑為800-900mm，可對直徑為600_700mm的石英玻璃進行氣氛退火，且通過精密的溫度控制系統(tǒng)，使爐膛內(nèi)的最高溫度可達1400°C且爐膛內(nèi)各點溫度差為0.5°C，從而能夠?qū)?00-700_的大尺寸石英玻璃進行精密退火，消除石英玻璃中的應(yīng)力，使石英玻璃各部分結(jié)構(gòu)趨于一致，以提高光學(xué)均勻性。
[0028](3)本實用新型提供托盤以及托盤上設(shè)置的多條規(guī)格不同樣品架可將多塊石英玻璃豎直錯位放置，增大了石英玻璃與氣體的接觸面積，更好地實現(xiàn)對石英玻璃內(nèi)部結(jié)構(gòu)的控制。
[0029](4)本實用新型提供的驅(qū)動裝置，一方面驅(qū)動底座沿著支架縱向滑動，從而方便放置樣品或者取出樣品；另一方面驅(qū)動所述底座上的主軸轉(zhuǎn)動，從而帶動托盤以及托盤上的石英玻璃做圓周運動，從而使石英玻璃受熱均勻。
[0030]上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]圖1是本實用新型提供的一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖2為本實用新型提供的一實施例示意圖。
【具體實施方式】
[0033]為更進一步闡述本實用新型為達成預(yù)定實用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本實用新型提出的一種大尺寸石英玻璃精密氣氛退火爐其【具體實施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細說明如后。在下述說明中，不同的“一實施例”或“實施例”指的不一定是同一實施例。此外，一或多個實施例中的特定特征、結(jié)構(gòu)、或特點可由任何合適形式組合。
[0034]本實用新型的一個實施例提供了一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，如圖1所示，該退火爐包括支架1、爐體2、底座3、驅(qū)動裝置、氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)以及溫度控制系統(tǒng)。其中，爐體2安置在支架I的上端，爐體2內(nèi)部中空以形成爐膛21，爐膛21的內(nèi)壁上設(shè)置有加熱層212，加熱層212外還設(shè)置有保溫層211。底座3置于爐體2的正下方且與支架I側(cè)部設(shè)置的導(dǎo)軌11滑動連接，使底座3可以沿著導(dǎo)軌11垂向滑動以打開或者關(guān)閉爐膛21，從而方便放置或者取出樣品；底座3上設(shè)置有加熱層34和保溫層33，保溫層33設(shè)置于加熱層34的下部，底座3上還設(shè)置有主軸31，且主軸31的上端依次穿過底座3以及底座3上的保溫層33、加熱層34 ;主軸31的上端設(shè)置有用于放置石英玻璃的托盤32。驅(qū)動裝置分別連接底座3、主軸31，用于驅(qū)動底座3沿著支架I上的導(dǎo)軌11垂向滑動以方便取放樣品，還驅(qū)動底座3上的主軸31旋轉(zhuǎn)，以使托盤32上的石英玻璃受熱均勻。氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括與爐膛21相通的進氣通道51、出氣通道54、壓力流量調(diào)節(jié)器(如圖1中的壓力表53以及流量計52)，其中進氣通道51設(shè)置在爐體I的一側(cè)，出氣通道54設(shè)置在爐體I的另一側(cè)，進氣通道51用于連接進氣管道，以向爐膛21輸入氣體，出氣通道54連接出氣管道，用于將爐膛21內(nèi)的氣體輸出，且進氣通道51和出氣通道54上分別設(shè)置有閥門，用于實現(xiàn)爐膛21封閉和通氣兩種功能；進氣通道51上設(shè)置有耐高溫密封法蘭，法蘭采用硅膠密封圈密封，法蘭內(nèi)設(shè)置壓力表53，可實測爐膛21壓力，流量計52安裝在進氣通道51上用于精密控制輸入爐體I內(nèi)氣體的流量。溫度控制系統(tǒng)包括多個分散地設(shè)置在于爐膛21內(nèi)壁的熱電偶以及控制器，控制器設(shè)置在爐體2附近放置的電控柜(未示出)內(nèi)，控制器與多個熱電偶以及爐膛21內(nèi)壁的加熱層212、底座3上的加熱層34連接；其中，熱電偶用于測量爐膛21內(nèi)壁各處的溫度，并將實測溫度反饋給控制器，控制器根據(jù)設(shè)定的溫度與測試的溫度做比較并自動對爐膛內(nèi)的加熱層34以及底座3上的加熱層34調(diào)溫，使其達到指定溫度，通過溫度控制系統(tǒng)爐膛21內(nèi)的溫度最高可達1400°C，且爐膛21內(nèi)各點溫度差不大于0.5°C，滿足爐膛21內(nèi)石英玻璃受熱均勻的要求。
[0035]作為本實用新型的一優(yōu)選實施例，托盤32上設(shè)置有用于使石英玻璃豎直放置的樣品架，且樣品架包括底板以及設(shè)置在底板上的多條平行的隔板321，隔板321之間形成用于固定石英玻璃的槽，退火時，將石英玻璃錯位放置在槽內(nèi)即可。作為優(yōu)選，隔板321的規(guī)格、以及隔板321之間的距離不一致，使其可以放置不同規(guī)格尺寸的石英玻璃，以使石英玻璃豎直錯位放置。通過本實施例提供的樣品架可使多塊石英玻璃豎直錯位擺放，這樣不僅可以增加石英玻璃與氣體的接觸面積，更好地實現(xiàn)對石英玻璃內(nèi)部結(jié)構(gòu)的控制，還可以使石英玻璃受熱均勻。[0036]作為本實用新型的一優(yōu)選實施例，爐膛21為圓筒狀，且爐膛21的內(nèi)徑為800-900_，使其可以對直徑為600-700_的石英玻璃進行精密氣氛退火，以填補了大尺寸
石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐的空白。
[0037]作為本實用新型的一優(yōu)選實施例，托盤32與底盤3上的加熱層33的距離為5-8_，托盤32以及主軸31的材質(zhì)為耐高溫材料；本實施例中，主軸31的材質(zhì)優(yōu)選為陶瓷，托盤32的材質(zhì)優(yōu)選為碳化硅、石英玻璃復(fù)合材料。
[0038]作為本實用新型的一優(yōu)選實施例，爐膛21內(nèi)壁上的加熱層212以及底座上的加熱層34內(nèi)部都包含多片纖維爐材，且每片纖維爐材內(nèi)設(shè)置有“S型”排布的電爐絲，本實施例中，纖維爐材選用高級莫來石纖維制作，其集耐火以及保溫性能為一體，保溫性能好、散熱少。并且，底座3上的加熱層34為圓柱狀，其直徑與爐膛21內(nèi)壁的直徑一致，底座3上保溫層33的直徑與爐膛21內(nèi)壁上保溫層211的外徑相同，使得底座3上的加熱層34與爐膛21內(nèi)壁的加熱層212緊密結(jié)合、底座3上的保溫層33與爐膛21內(nèi)壁的保溫層212緊密結(jié)合使得爐膛21的熱量很好地密封在爐膛21內(nèi)，而不會散發(fā)出去。
[0039]作為本實用新型的一優(yōu)選實施例，出氣通道54設(shè)置于爐體2 —側(cè)的靠近爐體2上端的位置，進氣通道51設(shè)置于爐體2的靠近底座3的位置處，且出氣通道54與進氣通道51之間的縱向距離優(yōu)選為150-250mm，所述進氣通道51的直徑為50mm，且進氣通道51與底座的距離優(yōu)選為15-50mm。通過該設(shè)計，使爐膛21內(nèi)的氣流穩(wěn)定，且可精密調(diào)節(jié)氣體流量，便于調(diào)節(jié)石英玻璃內(nèi)部的羥基含量、氧空位等結(jié)構(gòu)狀態(tài)，實現(xiàn)不同應(yīng)用要求的、特殊性能石英玻璃樣品的制備。
[0040]作為本實用新型的一優(yōu)選實施例，支架I優(yōu)選4個，其分別用于支承爐體2下側(cè)的四角，每個支架I的側(cè)部都設(shè)有導(dǎo)軌11，導(dǎo)軌11與底座3滑動連接，具體為，通過將滑塊嵌在導(dǎo)軌11內(nèi)，底座3與滑塊連接，使滑塊帶動底座3沿著導(dǎo)軌11垂向滑動。
[0041]作為本實用新型的一優(yōu)選實施例，驅(qū)動裝置包括第一驅(qū)動裝置和第二驅(qū)動裝置。其中，第一驅(qū)動裝置連接底座3，用于驅(qū)動底座3沿著支架I上的導(dǎo)軌11垂向滑動。第二驅(qū)動裝置連接主軸31，用于驅(qū)動主軸31轉(zhuǎn)動，使與主軸31連接的托盤32做圓周轉(zhuǎn)動，從而保證托盤32上的豎直放置在樣品架上的石英玻璃受熱均勻。
[0042]作為優(yōu)選，第一驅(qū)動裝置包括升降電機(未示出)、4條鏈條42以及8個齒輪41 ;升降電機優(yōu)選安置在支架I上，4個支架I的上端和下端分別設(shè)置有齒輪41，鏈條42通過支架I上端和下端的齒輪41。如圖2所示，圖2為4個支架的俯視圖，支承爐體I前側(cè)的兩個支架I上端的齒輪41通過第一軸43連接,支承爐體I后側(cè)的兩個支架I上端的齒輪41通過第二軸44連接，升降電機的輸出端連接第一軸43、第二軸44用于驅(qū)動4根支架I上的齒輪41轉(zhuǎn)動，從而帶動鏈條42傳動，使與鏈條42連接的底座3在鏈條42的帶動下做垂向滑動。并且，第一軸43和第二軸44通過同步軸45連接，以保證4條鏈條42同步驅(qū)動底座3垂向滑動。
[0043]第二驅(qū)動裝置包括減速電機43以及與所述減速電機43連接的變向齒輪44。其中，減速電機43設(shè)置于底座3的中心處下方，變向齒輪44連接主軸31，用于驅(qū)動主軸31旋轉(zhuǎn)，使托盤32以及托盤32上的石英玻璃做圓周運動。
[0044]作為本實用新型的一優(yōu)選實施例，支架I上還設(shè)置有行程開關(guān)(未示出)，行程開關(guān)的輸出端連接升降電機，行程開關(guān)可以設(shè)置成底座3上的保溫層33與爐膛21內(nèi)壁的保溫層211緊密結(jié)合時，行程開關(guān)發(fā)出信號使升降電機停下。
[0045]使用上述實施例提供的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐進行退火時，首先啟動升降電機使底座3沿著支架I上導(dǎo)軌11垂向下滑動至導(dǎo)軌11的最低點，將多塊待退火的大尺寸石英玻璃放置在托盤32上的樣品架上，再次啟動升降電機，通過齒輪41連接的鏈條42帶動底座3向上滑動，當?shù)鬃?上的保溫層33與爐膛21內(nèi)壁的保溫層211緊密結(jié)合時，則爐膛21完全閉合，通過行程開關(guān)控制關(guān)閉升降電機。啟動電機43，通過變向齒輪44驅(qū)動主軸31旋轉(zhuǎn)，同時帶動托盤32、樣品架一同做圓周運動，此時，通過進氣通道51開始緩慢通氣，氣體的流量由流量計52控制，并打開出氣通道54，通氣l-2h，待爐膛21內(nèi)部氣流穩(wěn)定后，開始加熱，升溫速率不可大于1.6-50C /min，待溫度穩(wěn)定在1000-1300°C (不同氣體的溫度不同)后，通過閥門先后關(guān)閉出氣通道54和進氣通道52，通過壓力表53讀數(shù)，保壓爐體內(nèi)氣體的壓力為0.1-0.5Pa，持續(xù)4-5h后，通過閥門開啟出氣通道54和入氣通道51，使得爐膛21內(nèi)部的氣體重新開始流動，精密控制流量為10-50sCCm，每24h保壓一次。保持溫度不變，持續(xù)5-25天后，以0.1-30C /min的速率降溫，待溫度低于300-500°C后，關(guān)閉流量計52、出氣通道54、總電源，待爐膛21內(nèi)的溫度自然冷卻至室溫，便完成了對大尺寸石英玻璃的精密氣氛調(diào)節(jié)退火。
[0046]利用該實施方法通氣后可獲得含相應(yīng)ppm的輕基含量〈lppm, 1-lOppm, 10_200ppm, 200-500ppm, 500-800ppm, 800-1000ppm, 1000_1200ppm，從而可以制備不同內(nèi)部結(jié)構(gòu)的大
尺寸石英玻璃，經(jīng)測試，制備的大尺寸的應(yīng)力雙折射值滿足1-1I類的要求。
[0047]綜上，本實用新型提供的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，不僅能夠?qū)?00-700_的大尺寸石英玻璃進行精密退火，消除石英玻璃中的應(yīng)力，使石英玻璃各部分結(jié)構(gòu)趨于一致，以提高光學(xué)均勻性，還能獲得不同羥基含量、氧空位等結(jié)構(gòu)狀態(tài)的石英玻璃，同時滿足退火后應(yīng)力雙折射值達1-1I類的要求。
[0048]以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，該退火爐包括:支架、爐體、底座、驅(qū)動裝置、氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)以及溫度控制系統(tǒng)；其中， 所述爐體安置在所述支架上，且所述爐體內(nèi)部中空以形成爐膛，所述爐膛內(nèi)壁設(shè)置有加熱層，所述加熱層與所述爐膛內(nèi)壁之間設(shè)置有保溫層； 所述底座安置于所述爐體的正下方，且滑動連接于所述支架，所述底座上依次鋪設(shè)有保溫層和加熱層，所述底座上還設(shè)置有主軸，所述主軸穿過所述底座以及所述底座上的保溫層和加熱層，所述主軸的上端連接有托盤； 所述驅(qū)動裝置分別連接所述底座、所述主軸，用于驅(qū)動所述底座沿著所述支架垂向滑動以及驅(qū)動所述主軸旋轉(zhuǎn)； 所述氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括進氣通道、出氣通道以及壓力、流量調(diào)節(jié)器；所述進氣通道、出氣通道設(shè)置于所述爐體上，所述壓力、流量調(diào)節(jié)器設(shè)置于所述進氣通道上； 所述溫度控制系統(tǒng)包括多個熱電偶以及控制器，所述多個熱電偶分散地設(shè)置于所述爐膛內(nèi)壁，所述控制器與所述多個熱電偶以及所述加熱層連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述爐膛為圓筒狀，且所述爐膛的內(nèi)徑為800-900mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述托盤上設(shè)置有用于使石英玻璃豎直錯位放置的樣品架。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述樣品架包括底板以及設(shè)置在底板上的多條平行的隔板，且所述隔板之間形成用于固定石英玻璃的槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述托盤與所述底座上加熱層的距離為5-8mm，所述托盤的材質(zhì)為耐高溫材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述出氣通道與所述進氣通道相對設(shè)置，其中，所述進氣通道與所述出氣通道不在同一水平上，且所述出氣通道與所述進氣通道之間的縱向距離為150-250mm，進氣通道與底座的縱向距離為 15-50mmo
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述加熱層內(nèi)包括多片所述纖維爐材，且所述纖維爐材內(nèi)設(shè)置有“S型”排布的電爐絲。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述底座上的加熱層為圓柱狀，且其直徑與所述爐膛內(nèi)壁的直徑一致。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述支架的側(cè)部設(shè)置有導(dǎo)軌，所述底座與所述導(dǎo)軌滑動連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述驅(qū)動裝置包括第一驅(qū)動裝置和第二驅(qū)動裝置；其中， 所述第一驅(qū)動裝置包括升降電機、齒輪以及鏈條，其中，所述升降電機安置于所述支架上，所述升降電機連接所述齒輪，所述齒輪設(shè)置在所述支架上，所述齒輪通過所述鏈條與所述底座連接，用于驅(qū)動所述底座沿著所述支架上的導(dǎo)軌垂向滑動。 所述第二驅(qū)動裝置包括減速電機以及與所述減速電機連接的變向齒輪；其中，所述減速電機設(shè)置在所述底盤的下方，所述變向齒輪連接所述主軸，用于驅(qū)動所述主軸旋轉(zhuǎn)。
【文檔編號】C03B20/00GK203700168SQ201320868492
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月26日
【發(fā)明者】王慧, 向在奎, 聶蘭艦, 邵竹峰, 張昕, 王蕾 申請人:中國建筑材料科學(xué)研究總院