多線切割機(jī)及工作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種多線切割機(jī)，包括切割室和設(shè)在切割室兩側(cè)的砂漿噴管，該砂漿噴管設(shè)有三個(gè)，一個(gè)設(shè)在切割室的出線側(cè)，兩個(gè)設(shè)在切割室的入線側(cè)。本發(fā)明在傳統(tǒng)設(shè)備上增設(shè)入線側(cè)的砂漿噴管，就能降低因雜質(zhì)等進(jìn)入噴管堵塞噴嘴出現(xiàn)砂漿斷流的幾率；提高鋼線帶砂的物理效應(yīng)；符合工藝改進(jìn)提升效率的要求。本發(fā)明工藝結(jié)合砂漿噴管的改造，提高其砂的利用率；降低成本；提高切割效率。
【專利說明】多線切割機(jī)及工作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶片切割【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種多線切割機(jī)及工作方法。

【背景技術(shù)】
[0002]多線切割機(jī)主要以機(jī)械結(jié)構(gòu)為主，主要由切割室、收放線室、基臺(tái)、砂漿缸、配電室、氣壓倉等部分組成；如圖1所示，拉線張力控制采用磁粉離合器，張力調(diào)節(jié)使用帶減速的交流電機(jī)，還配有龐大的齒輪減速箱和鏈條齒輪傳輸機(jī)結(jié)構(gòu)，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)依靠砝碼配重，電控只要是繼電器和時(shí)間繼電器。
[0003]多線切割機(jī)切割晶片的優(yōu)點(diǎn)有:彎曲度(bow)小，翹曲度(Warp)小，平行度(Tarp)好，總厚度公差(TTV)小，片間切割損耗少，成品晶片表面損傷層淺，粗糙度小，切片加工出片率高，生產(chǎn)效率高等一系列優(yōu)點(diǎn)。因此，應(yīng)用多線切割機(jī)是發(fā)展規(guī)?；a(chǎn)和提高生產(chǎn)效率的必然選擇。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出一種多線切割機(jī)，效率高，結(jié)構(gòu)巧妙。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案:一種多線切割機(jī)，包括切割室和設(shè)在切割室兩側(cè)的砂漿噴管，該砂漿噴管設(shè)有三個(gè)，一個(gè)設(shè)在切割室的出線側(cè)，兩個(gè)設(shè)在切割室的入線側(cè)。
[0006]進(jìn)一步地，入線側(cè)的兩個(gè)所述砂漿噴管為并排設(shè)置。
[0007]進(jìn)一步地，入線側(cè)的兩個(gè)所述砂漿噴管為沿線運(yùn)動(dòng)方向前后并排設(shè)置。
[0008]進(jìn)一步地，所述砂漿噴管均為傾斜向下設(shè)置。
[0009]進(jìn)一步地，所述砂漿噴管均朝向切割室。
[0010]一種如上所述多線切割機(jī)的工作方法，包括以下過程:根據(jù)鋼線和碳化硅與懸浮液的綜合技術(shù)參數(shù)，核算出其切削指數(shù)；提升工作臺(tái)速，結(jié)合砂漿流量與線速，利用線性方程和微積分方程算出最佳匹配參數(shù)。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):在傳統(tǒng)設(shè)備上增設(shè)入線側(cè)的砂漿噴管，就能降低因雜質(zhì)等進(jìn)入噴管堵塞噴嘴出現(xiàn)砂漿斷流的幾率；提高鋼線帶砂的物理效應(yīng)；符合工藝改進(jìn)提升效率的要求。本發(fā)明工藝結(jié)合砂漿噴管的改造，提高其砂的利用率；降低成本；提高切割效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為現(xiàn)有多線切割機(jī)的結(jié)構(gòu)不意圖；
圖2為本發(fā)明多線切割機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，本部分的描述僅是示范性和解釋性，不應(yīng)對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍有任何的限制作用。
[0014]如圖2所示的一種多線切割機(jī)，包括切割室I和設(shè)在切割室I兩側(cè)的砂漿噴管，該砂漿噴管設(shè)有三個(gè)，一個(gè)砂漿噴管3設(shè)在切割室的出線側(cè)，兩個(gè)砂漿噴管2設(shè)在切割室的入線側(cè)。
[0015]入線側(cè)的兩個(gè)砂漿噴管2為并排設(shè)置，較優(yōu)的設(shè)置方式是將這兩個(gè)砂漿噴管2是沿線的運(yùn)動(dòng)方向前后并排設(shè)置，如圖2所示；這樣確保入線端砂漿量非常充足，相應(yīng)在切割時(shí)效率會(huì)更高。
[0016]切割室I兩側(cè)的砂漿噴管都為傾斜向下設(shè)置，并且均朝向切割室1，使得噴漿效果好。
[0017]本發(fā)明的原理為:太陽能硅片的線切割機(jī)機(jī)理就是機(jī)器導(dǎo)輪在高速運(yùn)轉(zhuǎn)中帶動(dòng)鋼線，從而由鋼線將聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂漿送到切割區(qū)，在鋼線的高速運(yùn)轉(zhuǎn)中與壓在線網(wǎng)上的工件連續(xù)發(fā)生摩擦完成切割的過程。
[0018]圖2中所示的為PV800多線切割機(jī)，原有砂漿流噴管如圖1所示，砂漿由切割室I上方砂漿系統(tǒng)管道，流入兩側(cè)砂漿噴管，然后經(jīng)噴管的窄噴嘴流到線網(wǎng)上，從而被鋼線帶入工件內(nèi)發(fā)生摩擦進(jìn)行切割。其中噴管的作用就是:控制砂漿流量與方向并將砂漿均勻的流向線網(wǎng)。其改造前，砂漿噴管如圖1。改造后的砂漿噴管如圖2所示。二者相比較，在工件的入線端測，添加一只噴管，即:入線測為雙噴管結(jié)構(gòu)，出線端為單噴管結(jié)構(gòu)。
[0019]采用本發(fā)明多線切割機(jī)，在工藝上，根據(jù)鋼線和SiC與懸浮液的綜合技術(shù)參數(shù)，核算出其切削指數(shù)。然后據(jù)此，提升工作臺(tái)速，結(jié)合砂漿流量與線速等，利用線性方程、微積分方程等算出幾種量的最佳匹配參數(shù)。從而實(shí)際試切找到現(xiàn)場不良控制點(diǎn)。做一定微調(diào)即可實(shí)現(xiàn)。
[0020]如PV800多線切割機(jī)，其控制系統(tǒng)采用西門子高端元器件，其控制系統(tǒng)相對(duì)較精細(xì)，其軟件部分也相應(yīng)更加優(yōu)化，張力系統(tǒng)上明顯優(yōu)于其他大多種類的線切機(jī)。在輔料各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)不變的條件下，通過改造砂漿噴管與工藝進(jìn)一步改進(jìn)，從而達(dá)到提升切割效率的目的。
[0021]相對(duì)于圖1所示切割機(jī)的工藝，本發(fā)明工藝結(jié)合砂漿噴管的改造，提高其砂的利用率；降低成本；提高切割效率。
[0022]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種多線切割機(jī)，包括切割室和設(shè)在切割室兩側(cè)的砂漿噴管，其特征在于:該砂漿噴管設(shè)有三個(gè)，一個(gè)設(shè)在切割室的出線側(cè)，兩個(gè)設(shè)在切割室的入線側(cè)。
2.如權(quán)利要求1所述多線切割機(jī)，其特征在于:入線側(cè)的兩個(gè)所述砂漿噴管為并排設(shè)置。
3.如權(quán)利要求2所述多線切割機(jī)，其特征在于:入線側(cè)的兩個(gè)所述砂漿噴管為沿線運(yùn)動(dòng)方向前后并排設(shè)置。
4.如權(quán)利要求1所述多線切割機(jī)，其特征在于:所述砂漿噴管均為傾斜向下設(shè)置。
5.如權(quán)利要求4所述多線切割機(jī)，其特征在于:所述砂漿噴管均朝向切割室。
6.一種如權(quán)利要求1所述多線切割機(jī)的工作方法，包括以下過程:根據(jù)鋼線和碳化硅與懸浮液的綜合技術(shù)參數(shù)，核算出其切削指數(shù)；提升工作臺(tái)速，結(jié)合砂漿流量與線速，利用線性方程和微積分方程算出最佳匹配參數(shù)。
【文檔編號(hào)】B28D7/00GK104441280SQ201410608482
【公開日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月4日
【發(fā)明者】劉耀峰 申請(qǐng)人:無錫榮能半導(dǎo)體材料有限公司