本實(shí)用新型涉及到硅晶加工設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及到一種多線切片機(jī)夾緊機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

切割硬脆材料，特別是切割硅晶片往往需要保證很高的精度。目前多采用金剛線切片機(jī)來(lái)加工硅材料，硅材料是通過(guò)粘接方式固定在毛玻璃板上，再通過(guò)連接板及裝夾機(jī)構(gòu)固定在滑座上，進(jìn)給機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)滑座及硅材料向下移動(dòng)并與切割線接觸，達(dá)到切割的目的。而目前夾緊機(jī)構(gòu)都是由油缸提供夾緊力，因?yàn)橛蛪簳?huì)產(chǎn)生波動(dòng)，對(duì)晶托的夾緊力不穩(wěn)定，并且夾緊裝置結(jié)構(gòu)性不好，晶托晃動(dòng)較大會(huì)影響切線精度。并且夾緊裝置結(jié)構(gòu)限制只能進(jìn)行軸向上料，軸向上料因?yàn)樾谐梯^大，上料困難，費(fèi)時(shí)費(fèi)工。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供了一種多線切片機(jī)夾緊機(jī)構(gòu)，采用倍力氣缸提供松開力，碟簧提供夾緊力，并且改善了夾緊部分的機(jī)械結(jié)構(gòu)，使夾緊力更大，夾緊穩(wěn)定，并且改變上料方式，實(shí)現(xiàn)側(cè)面上料，行程短。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，采用以下技術(shù)方案：

一種多線切片夾緊機(jī)構(gòu)，主要由倍力氣缸、夾具體、壓頭、夾緊桿、夾緊拉桿以及碟形彈簧構(gòu)成，夾緊拉桿下端兩側(cè)為迎合晶托的凹槽制作成凹形，夾緊拉桿上端與夾緊桿通過(guò)螺釘把成“T”字形結(jié)構(gòu)的拉桿，“T”字形的拉桿安裝在夾具體內(nèi)，夾緊拉桿的下端兩側(cè)凹形穿過(guò)夾具體，夾緊桿與夾具體之間安裝有碟形彈簧，夾具體上方安裝夾具上蓋，倍力氣缸安裝在夾具上蓋上，夾緊杠桿安裝在夾具體內(nèi)，夾緊杠桿與倍力氣缸的活塞桿連接，壓頭安裝在夾緊杠桿上且位于在夾緊桿的正上方。

所述的夾具體內(nèi)安裝若干個(gè)“T”字形拉桿，夾緊杠桿上安裝壓頭的數(shù)量與夾具體內(nèi)安裝“T”字形拉桿的數(shù)量相同。

本實(shí)用新型益效果：采用倍力氣缸提供更大的松開力，碟簧提供夾緊力，采用凹形槽連桿使晶托更加緊固可靠，避免在切割力的作用下，晶托產(chǎn)生偏差，保證了切割精度，并且改變上料方式，提高工作效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型具體實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1所示A-A示意圖；

如圖所示：1、夾具體；2、夾緊桿；3、夾緊拉桿；4、碟形彈簧；5、夾具上蓋；6、倍力氣缸；7、夾緊杠桿；8、壓頭；9、工件；10、沾料板；11、連接板；12、晶托；13、導(dǎo)向板；14、限位板；15、直線軸承；16、軸承外套。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例

結(jié)合圖1和圖2對(duì)實(shí)施例進(jìn)一步說(shuō)明，夾緊拉桿（3）下端兩側(cè)為迎合晶托的凹槽制作成凹形，夾緊拉桿（3）上端與夾緊桿（2）通過(guò)螺釘把成“T”字形結(jié)構(gòu)的拉桿，“T”字形的拉桿安裝在夾具體（1）內(nèi)，夾緊拉桿（3）的下端兩側(cè)凹形穿過(guò)夾具體（1），夾緊桿（2）與夾具體（1）之間安裝有碟形彈簧（4），夾具體（1）上方安裝夾具上蓋（5），倍力氣缸（6）安裝在夾具上蓋（5）上，夾緊杠桿（7）安裝在夾具體（1）內(nèi)，夾緊杠桿（7）與倍力氣缸（6）的活塞桿連接，壓頭（8）安裝在夾緊杠桿（7）上且位于在夾緊桿（2）的正上方。在實(shí)施過(guò)程中夾緊拉桿外設(shè)有直線軸承（15）以及軸承外套（16），直線軸承（15）以及軸承外套（16）在夾緊拉桿（3）與碟形彈簧（4）之間。

工件（9）用膠粘結(jié)在沾料板（10）上，沾料板（10）用膠與連接板（11）粘結(jié)，通過(guò)螺釘固定在晶托（12）上，晶托（12）上裝有導(dǎo)向板（13），將工件（1）及晶托（12）的組合件裝入夾緊桿（2）上，并推靠緊限位板（14），倍力氣缸（6）通過(guò)夾緊杠桿（7）帶動(dòng)壓頭（8）將夾緊桿壓下，隨即碟形彈簧（4）被壓縮，待導(dǎo)向板（13）裝入后，倍力氣缸（6）向上退回，碟形彈簧（4）復(fù)位，從而使夾緊桿（3）及其夾緊連桿（2）將晶托（12）夾緊。