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      一種單晶硅棒機(jī)械粘接設(shè)備的制作方法與工藝

      文檔序號:11731494閱讀:502來源:國知局
      本發(fā)明涉及單晶硅棒加工技術(shù)領(lǐng)域。

      背景技術(shù):
      單晶硅棒粘接工序是單晶開方前的一個準(zhǔn)備工序,主要工作就是將一根根單晶硅棒用膠粘接到開方機(jī)專用的圓形狀晶托上,必須保證單晶硅棒的中心軸線與晶托的中心軸線的誤差在允許的范圍內(nèi),才能保證開方機(jī)能正常的將單晶硅棒加工成單晶硅塊。由于單晶粘接工序?qū)θ藛T的要求較高,粘料工在粘接過程中需要憑借自己的工作經(jīng)驗(yàn)來進(jìn)行操作,有很大的幾率造成單晶出現(xiàn)外形情況,特別是臨界單晶和扭曲單晶,出現(xiàn)外形的幾率和單晶的長度也有很大的因素,而且粘料無法粘接500mm以上單晶。培養(yǎng)一名粘料人員最少需要半年時間,假如有人員辭職而沒有頂崗人員會對生產(chǎn)造成一定的影響。綜上所述,人工粘接單晶硅棒效率低、精度低,且生產(chǎn)過程中受人為因素影響很大,不能保證高效穩(wěn)定的持續(xù)生產(chǎn)。

      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
      本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種單晶硅棒機(jī)械粘接設(shè)備,提高了單晶硅棒粘接工序的加工效率和加工精度,同時降低對工人的要求,操作方便,保證后續(xù)開方工序的穩(wěn)定生產(chǎn)。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是:包括第一平板、第二平板、電磁吸盤、立柱、回轉(zhuǎn)臺、調(diào)整平臺、升降絲杠、底座,工作臺;工作臺的上表面設(shè)有調(diào)整平臺,調(diào)整平臺上面為回轉(zhuǎn)臺,回轉(zhuǎn)臺上面為底座,四根立柱和第一平板固定連接,四根立柱和第二平板滑動配合,第二平板的底面上設(shè)有電磁吸盤;升降絲杠能使第二平板升降下壓,升降絲杠和動力傳動機(jī)構(gòu)連接。作為優(yōu)選,本發(fā)明還設(shè)有壓力傳感器、能沿立柱升降的位移傳感器和控制器,所述動力傳動機(jī)構(gòu)為伺服電機(jī)傳動機(jī)構(gòu)。作為優(yōu)選,所述回轉(zhuǎn)臺為蝸桿蝸輪結(jié)構(gòu)。作為優(yōu)選,所述調(diào)整平臺為相互垂直的兩組直線導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)構(gòu)成,導(dǎo)軌兩側(cè)標(biāo)有刻度。作為優(yōu)選,回轉(zhuǎn)臺、調(diào)整平臺均設(shè)有電機(jī)傳動機(jī)構(gòu)。作為優(yōu)選,回轉(zhuǎn)臺、調(diào)整平臺均為手動機(jī)構(gòu),并設(shè)有位移顯示器,位移顯示器上顯示位移傳感器測量到的單晶硅棒的尺寸偏移量。作為優(yōu)選,所述位移傳感器固定在連接板上,連接板通過安裝在立柱上的直線軸承與立柱相連,實(shí)現(xiàn)所述位移傳感器上下移動。采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本發(fā)明通過各種傳感器、傳動機(jī)構(gòu)和調(diào)整平臺實(shí)現(xiàn)了準(zhǔn)確地將單晶硅棒和晶托調(diào)整至相同位置后機(jī)械粘接,加工效率和加工精度都得到了極大的提升,同時降低了對工人的要求,操作方便,保證了后續(xù)開方工序的穩(wěn)定生產(chǎn)。附圖說明圖1是本發(fā)明的一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:1-第一平板,2-第二平板,3-電磁吸盤,4-晶托,5-單晶硅棒,6-立柱,7-回轉(zhuǎn)臺,8-調(diào)整平臺,9-工作臺,10-升降絲杠,11-連接板,12-直線軸承,13-位移傳感器,14-底座,15-位移顯示器。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。需說明的是,附圖采用非常簡化的形式且使用非精準(zhǔn)的比例,僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。如圖1所示,為本發(fā)明一種單晶硅棒機(jī)械粘接設(shè)備的一個實(shí)施例,此設(shè)備包括第一平板1、第二平板2、電磁吸盤3、立柱6、回轉(zhuǎn)臺7、調(diào)整平臺8、升降絲杠10、底座14,工作臺9;工作臺9的上表面設(shè)有調(diào)整平臺8,調(diào)整平臺8上面為回轉(zhuǎn)臺7,回轉(zhuǎn)臺7上面為底座14,四根立柱6和第一平板1固定連接,四根立柱6和第二平板2滑動配合,第二平板2的底面上設(shè)有電磁吸盤3;升降絲杠10能使第二平板2升降下壓,升降絲杠10和動力傳動機(jī)構(gòu)連接。動力傳動機(jī)構(gòu)為伺服電機(jī)傳動機(jī)構(gòu),通過伺服電機(jī)可直接控制升降絲杠10實(shí)現(xiàn)上下移動,升降絲杠10帶動第二平板2、第二平板2底面上的電磁吸盤3和電磁吸盤3吸附的晶托4實(shí)現(xiàn)上下移動,升降距離可達(dá)到600mm。進(jìn)一步地,本實(shí)施例還設(shè)有壓力傳感器、能沿立柱6升降的位移傳感器13和控制器。位移傳感器13固定在連接板11上,連接板11通過安裝在立柱6上的直線軸承12與立柱6相連,實(shí)現(xiàn)位移傳感器13上下移動。進(jìn)一步地,回轉(zhuǎn)臺7為蝸桿蝸輪結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步地,調(diào)整平臺8為相互垂直的兩組直線導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)構(gòu)成,導(dǎo)軌兩側(cè)標(biāo)有刻度,通過調(diào)整平臺8來調(diào)整底座14的位置,以此實(shí)現(xiàn)單晶硅棒5的中心軸線與晶托4的中心軸線處于同一直線上。進(jìn)一步地,回轉(zhuǎn)臺7、調(diào)整平臺8均設(shè)有電機(jī)傳動機(jī)構(gòu),實(shí)現(xiàn)位移準(zhǔn)確移動。進(jìn)一步地,回轉(zhuǎn)臺7、調(diào)整平臺8還可以設(shè)為手動機(jī)構(gòu),減少電機(jī)部件,結(jié)構(gòu)簡單。設(shè)有位移顯示器15,位移顯示器15上顯示位移傳感器13測量到的單晶硅棒5的尺寸偏移量。采用上述技術(shù)方案后,本發(fā)明通過各種傳感器、傳動機(jī)構(gòu)和調(diào)整平臺實(shí)現(xiàn)了準(zhǔn)確地將單晶硅棒和晶托調(diào)整至相同位置后機(jī)械粘接,加工效率和加工精度都得到了極大的提升,同時降低了對工人的要求,操作方便,保證了后續(xù)開方工序的穩(wěn)定生產(chǎn)。
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