本發(fā)明屬于單晶硅棒加工設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種全自動(dòng)單晶硅棒滾磨加工一體設(shè)備。

背景技術(shù)：

硅單晶作為一種重要的半導(dǎo)體材料，具有良好的電學(xué)性能和熱穩(wěn)定性，自上世紀(jì)六十年代被人們所發(fā)現(xiàn)和利用后，就迅速替代鍺單晶成為半導(dǎo)體的主要材料。硅材料因其具有耐高溫和抗輻射性能較好，特別適宜制作大功率器件的特性而成為應(yīng)用最多的一種半導(dǎo)體材料，集成電路半導(dǎo)體器件大多數(shù)是用硅材料制造的。制備性能良好的硅單晶方法中，直拉法生長(zhǎng)硅單晶具有設(shè)備和工藝相對(duì)簡(jiǎn)單、容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。直拉單晶硅棒從單晶爐中拉制出來(lái)以后需要繼續(xù)進(jìn)行一系列工序，前期包括有截?cái)唷㈤_方、圓角研磨和平面研磨等機(jī)械加工；后續(xù)還需將硅棒粘膠后進(jìn)行切片、清洗、倒角、研磨、腐蝕和再清洗等；最后將硅片進(jìn)行制絨、擴(kuò)散、制結(jié)、鍍膜和燒結(jié)等工序后才能制造半導(dǎo)體器件或者用于光伏發(fā)電的太陽(yáng)能電池片。

目前，大部分國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商還是采用將通用磨床改制成外圓滾磨機(jī)床，這類機(jī)床對(duì)單晶硅棒的上料、對(duì)中、晶向檢測(cè)等工序都需要通過(guò)人工分多次完成，并且精度不是很高。目前市場(chǎng)上廣泛采用的單晶硅棒滾磨機(jī)具有以下缺點(diǎn)和不足：?jiǎn)尉Ч璋舻纳狭闲枰咳斯け显O(shè)備，放置在頭尾座夾緊工作臺(tái)中間；單晶硅棒和頭尾座夾緊工作臺(tái)的同軸度通過(guò)人工手動(dòng)敲打來(lái)對(duì)中，精度較低；單晶硅棒的晶向檢測(cè)不能集成在滾磨機(jī)上，需要將硅棒搬至另外機(jī)臺(tái)檢測(cè)，檢測(cè)完成后再放置在滾磨機(jī)上磨削V槽或者磨削平邊；單晶硅棒的加工尺寸局限性較大，通常只能加工單一固定的外圓和長(zhǎng)度尺寸的棒料；由通用機(jī)床改制而來(lái)的滾磨機(jī)自動(dòng)化程度低，加工能力較小，如想擴(kuò)大產(chǎn)能只能購(gòu)置更多的設(shè)備，但是效率又無(wú)法提高，并且同類產(chǎn)品的進(jìn)口設(shè)備價(jià)格昂貴。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是，克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種全自動(dòng)單晶硅棒滾磨加工一體設(shè)備。

為解決技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的解決方案是：

提供一種全自動(dòng)單晶硅棒滾磨加工一體設(shè)備，包括用于承載的大底架；該大底架呈長(zhǎng)條形，在其表面沿長(zhǎng)度方向設(shè)有兩條平行的主導(dǎo)軌；磨削工作臺(tái)組件活動(dòng)安裝在兩根主導(dǎo)軌上，由主驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)驅(qū)動(dòng)連接機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)沿主導(dǎo)軌的移動(dòng)；

在大底架的兩側(cè)共設(shè)有四個(gè)用于承載的平臺(tái)：兩個(gè)平臺(tái)位于大底架的中部且相對(duì)布置，其中一個(gè)承載粗磨動(dòng)力頭組件，另一個(gè)承載精磨動(dòng)力頭組件；另兩個(gè)平臺(tái)位于大底架的一端且相對(duì)布置，其中一個(gè)承載上料機(jī)械手組件，另一個(gè)承載對(duì)中機(jī)械手組件；在大底架上，還設(shè)有晶向檢測(cè)裝置和半徑檢測(cè)單元。

本發(fā)明中，還包括外罩鈑金組件，外罩鈑金組件整體呈倒置的U形結(jié)構(gòu)，其兩端固定在大底架上。

本發(fā)明中，所述磨削工作臺(tái)組件包括頭座、尾座、底座、夾緊氣缸、分度直驅(qū)電機(jī)和對(duì)刀傳感器組件；其中，底座活動(dòng)安裝于兩條主導(dǎo)軌上，其底部通過(guò)螺釘固定連接電機(jī)安裝座，主驅(qū)動(dòng)電機(jī)裝在電機(jī)安裝座上；所述驅(qū)動(dòng)連接機(jī)構(gòu)包括固定在大底架上的齒條，以及與齒條相互嚙合的齒輪；齒輪固定在主驅(qū)動(dòng)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上；頭座和尾座相對(duì)地安裝于底座的兩側(cè)，其對(duì)中線垂直于主導(dǎo)軌；底座下方設(shè)夾緊氣缸，用于驅(qū)動(dòng)頭座或尾座以調(diào)整相互間距；頭座或尾座上設(shè)有用于測(cè)量基準(zhǔn)的對(duì)刀傳感器組件和基準(zhǔn)塊，以及用于控制晶棒旋轉(zhuǎn)和角度位置的分度直驅(qū)電機(jī)。

本發(fā)明中，所述粗磨動(dòng)力頭組件包括粗磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座、水平進(jìn)給組件、水平移動(dòng)伺服電機(jī)、粗磨豎直導(dǎo)軌安裝座、豎直進(jìn)給組件、粗磨變頻電機(jī)、粗磨砂輪安裝座和粗磨砂輪組件；其中，水平進(jìn)給組件通過(guò)粗磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座固定在大底架上的平臺(tái)上，且安裝方向垂直于主導(dǎo)軌；水平移動(dòng)伺服電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)部件與水平進(jìn)給組件連接；豎直進(jìn)給組件通過(guò)粗磨豎直導(dǎo)軌安裝座固定在水平進(jìn)給組件上，粗磨變頻電機(jī)和粗磨砂輪安裝座固定在豎直進(jìn)給組件上，粗磨砂輪組件裝在粗磨砂輪安裝座上。

本發(fā)明中，所述精磨動(dòng)力頭組件包括精磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座、水平進(jìn)給組件、精磨豎直導(dǎo)軌安裝座、豎直進(jìn)給組件、水平移動(dòng)伺服電機(jī)、精磨變頻電機(jī)、精磨砂輪安裝座和精磨砂輪組件；其中，水平進(jìn)給組件通過(guò)精磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座固定在大底架上的平臺(tái)上，且安裝方向垂直于主導(dǎo)軌；水平移動(dòng)伺服電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)部件與水平進(jìn)給組件連接；豎直進(jìn)給組件通過(guò)精磨豎直導(dǎo)軌安裝座固定在水平進(jìn)給組件上，精磨變頻電機(jī)和精磨砂輪安裝座固定在豎直進(jìn)給組件上，精磨砂輪組件裝在精磨砂輪安裝座上。

本發(fā)明中，所述上料機(jī)械手組件包括送料機(jī)械手、導(dǎo)軌安裝座、伸縮氣缸組件和水平進(jìn)給組件；其中，上料機(jī)械手活動(dòng)安裝于導(dǎo)軌安裝座的導(dǎo)軌上，導(dǎo)軌安裝座固定在大底架的平臺(tái)上；伸縮氣缸組件通過(guò)水平進(jìn)給組件連接至導(dǎo)軌安裝座。

本發(fā)明中，所述對(duì)中機(jī)械手組件包括水平導(dǎo)軌安裝座、水平移動(dòng)組件、水平移動(dòng)伺服電機(jī)、對(duì)中豎直導(dǎo)軌安裝座、對(duì)中豎直進(jìn)給組件、豎直移動(dòng)電機(jī)和對(duì)中手抓；其中，水平移動(dòng)組件通過(guò)水平導(dǎo)軌安裝座固定在大底架上的平臺(tái)上，且安裝方向垂直于主導(dǎo)軌；水平移動(dòng)伺服電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)部件與水平移動(dòng)組件連接；對(duì)中豎直進(jìn)給組件通過(guò)對(duì)中豎直導(dǎo)軌安裝座固定在水平移動(dòng)組件上，豎直移動(dòng)電機(jī)和對(duì)中手抓固定在對(duì)中豎直進(jìn)給組件上。

本發(fā)明中，所述晶向檢測(cè)裝置包括龍門安裝架、激光測(cè)距傳感器組件、傳感器支架、升降氣缸組件及罩殼；其中，龍門安裝架具有能上下伸縮的支撐腿，橫跨主導(dǎo)軌且固定在大底架上；激光測(cè)距傳感器組件通過(guò)傳感器支架懸掛固定在龍門安裝架上；升降氣缸組件安裝在龍門安裝架上端且由罩殼保護(hù)。

本發(fā)明中，所述半徑檢測(cè)單元包括安裝底座、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、水平直線運(yùn)動(dòng)單元、支撐座和接觸式傳感器單元；其中，水平直線運(yùn)動(dòng)單元通過(guò)安裝底座安裝在大底架上；接觸式傳感器單元通過(guò)連接桿裝在支撐座上，支撐座則安裝在水平直線運(yùn)動(dòng)單元的導(dǎo)軌上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)于水平直線運(yùn)動(dòng)單元的一端。

本發(fā)明中，所述大底架上還設(shè)有供氣系統(tǒng)和供水系統(tǒng)和排水系統(tǒng)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

(1)該單晶硅棒滾磨一體機(jī)能加工外徑從2英寸到8英寸不等，長(zhǎng)度從50mm～1000mm的晶棒，大大提升了晶棒滾磨設(shè)備的加工范圍和加工能力；

(2)該單晶硅棒滾磨一體機(jī)通過(guò)對(duì)中機(jī)械手裝置實(shí)現(xiàn)硅棒的自動(dòng)對(duì)中，解決了現(xiàn)有晶棒滾磨設(shè)備中需要通過(guò)人工手動(dòng)敲打來(lái)對(duì)中且精度較低的問(wèn)題；

(3)該單晶硅棒滾磨一體機(jī)將晶向檢測(cè)裝置集成在滾磨機(jī)上，無(wú)需將硅棒搬至另外機(jī)臺(tái)檢測(cè)，并且可同時(shí)滿足100、110、111面三種規(guī)格的半導(dǎo)體晶棒；晶向檢測(cè)完后直接進(jìn)行磨削工序，大大減小工序間的時(shí)間，提高了加工效率，節(jié)約了人力和物流的成本；

(4)晶棒加工的磨削動(dòng)力頭分為精磨和粗磨動(dòng)力頭，粗磨動(dòng)力頭切削量大且速度快，精磨動(dòng)力頭加工表面光滑，能通過(guò)滿足不同的工藝需求；

(5)晶棒加工的磨削動(dòng)力頭的水平和豎直進(jìn)給、工作臺(tái)的移動(dòng)等均由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，且磨削動(dòng)力頭的水平和豎直進(jìn)給由高精度的滾珠絲桿傳動(dòng)，可保證足夠的加工精度；工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)由斜齒輪齒條傳動(dòng)，在保證進(jìn)給精度的同時(shí)，增大了抗彎抗振動(dòng)的能力；同時(shí)大底架、動(dòng)力頭安裝座均采用高剛度的部件，能保證設(shè)備長(zhǎng)久及穩(wěn)定的高精度運(yùn)行；

(6)密閉的鈑金罩殼能將設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的硅粉通過(guò)抽氣管道排出，又能顯著降低生產(chǎn)噪聲，有效減少加工污染和噪聲對(duì)車間環(huán)境的影響；

(7)設(shè)備加工時(shí)除消耗水、電、氣外，加工輔料僅有砂輪，相比單體加工設(shè)備無(wú)需砂漿、鋼線等，不產(chǎn)生有機(jī)物排放，廢棄物也更少，保護(hù)生態(tài)環(huán)境。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的外形示意圖；

圖2為本發(fā)明去除罩殼鈑金組件后的俯視圖；

圖3為本發(fā)明大底架示意圖；

圖4為本發(fā)明磨削工作臺(tái)組件示意圖；

圖5為本發(fā)明粗磨動(dòng)力頭示意圖；

圖6為本發(fā)明精磨動(dòng)力頭示意圖；

圖7為本發(fā)明上料機(jī)械手組件示意圖；

圖8為本發(fā)明對(duì)中機(jī)械手組件示意圖；

圖9為本發(fā)明晶向檢測(cè)裝置示意圖；

圖10為本發(fā)明半徑檢測(cè)單元示意圖。

附圖標(biāo)記為：100大底架；200磨削工作臺(tái)組件；300粗磨動(dòng)力頭組件；400精磨動(dòng)力頭組件；500上料機(jī)械手組件；600對(duì)中機(jī)械手組件；700晶向檢測(cè)裝置；800半徑檢測(cè)單元；900外罩鈑金組件；101大底架本體；102主導(dǎo)軌；103齒輪齒條組件；104主驅(qū)動(dòng)電機(jī)；105電機(jī)安裝座；201頭座；202尾座；203底座；204夾緊氣缸；205分度直驅(qū)電機(jī)；206對(duì)刀傳感器組件；301粗磨變頻電機(jī)；302粗磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座；303水平移動(dòng)伺服電機(jī)；304水平進(jìn)給組件；305粗磨豎直導(dǎo)軌安裝座；306豎直進(jìn)給組件；307粗磨砂輪安裝座；308粗磨砂輪組件；401精磨變頻電機(jī)；402精磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座,；403水平移動(dòng)伺服電機(jī)；404水平進(jìn)給組件；405精磨豎直導(dǎo)軌安裝座；406豎直進(jìn)給組件；407晶磨砂輪安裝座；408精磨砂輪組件；501送料機(jī)械手；502導(dǎo)軌安裝座；503伸縮氣缸組件；504水平進(jìn)給組件；601豎直移動(dòng)電機(jī)；602對(duì)中豎直導(dǎo)軌安裝座；603對(duì)中豎直進(jìn)給組件；604水平移動(dòng)伺服電機(jī)；605水平導(dǎo)軌安裝座；606水平移動(dòng)組件；607對(duì)中手抓；701龍門安裝架；702激光測(cè)距傳感器組件；703升降氣缸組件；801安裝底座；802驅(qū)動(dòng)電機(jī)；803水平直線運(yùn)動(dòng)單元；804支撐座；805接觸式傳感器單元。

具體實(shí)施方式

以下的實(shí)施例可以使本專業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員更全面的了解本發(fā)明，但不以任何方式限制本發(fā)明。

本發(fā)明所述全自動(dòng)單晶硅棒滾磨加工一體設(shè)備，包括用于承載的大底架100；大底架100呈長(zhǎng)條形，在其表面沿長(zhǎng)度方向設(shè)有兩條平行的主導(dǎo)軌102；磨削工作臺(tái)組件200活動(dòng)安裝在兩根主導(dǎo)軌102上，由主驅(qū)動(dòng)電機(jī)104通過(guò)驅(qū)動(dòng)連接機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)沿主導(dǎo)軌102的移動(dòng)；在大底架100的兩側(cè)共設(shè)有四個(gè)用于承載的平臺(tái)：兩個(gè)平臺(tái)位于大底架100的中部且相對(duì)布置，其中一個(gè)承載粗磨動(dòng)力頭組件300，另一個(gè)承載精磨動(dòng)力頭組件400；另兩個(gè)平臺(tái)位于大底架100的一端且相對(duì)布置，其中一個(gè)承載上料機(jī)械手組件500，另一個(gè)承載對(duì)中機(jī)械手組件600；在大底架上100還設(shè)有晶向檢測(cè)裝置700和半徑檢測(cè)單元800。

大底架本體101由Q235鋼板焊接而成，保證了大底架的強(qiáng)度和剛度；還包括一個(gè)整體呈倒置U形結(jié)構(gòu)的外罩鈑金組件900，其兩端固定在大底架100上，用于保護(hù)整個(gè)設(shè)備。大底架上還設(shè)有供氣系統(tǒng)、供水系統(tǒng)和排水系統(tǒng)。排水系統(tǒng)能有效地排出晶棒加工過(guò)程中混合有硅粉的冷卻水。

磨削工作臺(tái)組件200包括頭座201、尾座202、底座203、夾緊氣缸204、分度直驅(qū)電機(jī)205和對(duì)刀傳感器組件206；其中，底座203活動(dòng)安裝于兩條主導(dǎo)軌102上，其底部通過(guò)螺釘固定連接電機(jī)安裝座105，主驅(qū)動(dòng)電機(jī)104裝在電機(jī)安裝座105上；所述驅(qū)動(dòng)連接機(jī)構(gòu)是齒輪齒條組件103，包括固定在大底架100上的齒條，以及與齒條相互嚙合的齒輪；齒輪固定在主驅(qū)動(dòng)電機(jī)104的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上；頭座201和尾座202相對(duì)地安裝于底座203的兩側(cè)，其對(duì)中線垂直于主導(dǎo)軌102；頭座201在夾緊氣缸204的驅(qū)動(dòng)下向尾座202靠攏或遠(yuǎn)離，從而實(shí)現(xiàn)晶棒的夾緊和放松；頭座201前端兩側(cè)對(duì)稱安裝有對(duì)刀傳感器組件206和基準(zhǔn)塊，用于晶棒磨削前的測(cè)量基準(zhǔn)；頭座201另一端設(shè)有分度直驅(qū)電機(jī)205；頭座201和尾座202的回轉(zhuǎn)中心位于同一軸線上；頭座201和尾座202能夠安裝不同尺寸的萬(wàn)向夾頭，適用于不同尺寸的晶棒(2英寸～8英寸)；在晶棒夾緊時(shí)，通過(guò)分度直驅(qū)電機(jī)205精確控制晶棒旋轉(zhuǎn)和角度位置。主驅(qū)動(dòng)電機(jī)104帶動(dòng)齒輪沿著齒條運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)磨削工作臺(tái)組件200在兩條對(duì)稱的主導(dǎo)軌上行進(jìn)，從而平穩(wěn)并精確地移動(dòng)于底架上各工位之間；

粗磨動(dòng)力頭組件300包括粗磨變頻電機(jī)301、粗磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座302、水平移動(dòng)伺服電機(jī)303、水平進(jìn)給組件304、粗磨豎直導(dǎo)軌安裝座305、豎直進(jìn)給組件306、粗磨砂輪安裝座307和粗磨砂輪組件308；其中，水平進(jìn)給組件304通過(guò)粗磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座302固定在大底架100上的平臺(tái)上，且安裝方向垂直于主導(dǎo)軌102；水平移動(dòng)伺服電機(jī)303通過(guò)傳動(dòng)部件與水平進(jìn)給組件304連接；豎直進(jìn)給組件306通過(guò)粗磨豎直導(dǎo)軌安裝座305固定在水平進(jìn)給組件304上，粗磨變頻電機(jī)301和粗磨砂輪安裝座307固定在豎直進(jìn)給組件306上，粗磨砂輪組件308裝在粗磨砂輪安裝座307上。粗磨變頻電機(jī)301驅(qū)動(dòng)粗磨砂輪308旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)晶棒工件的磨削；粗磨砂輪308的顆粒度為100～200目，用于晶棒粗磨工序。

精磨動(dòng)力頭組件400包括精磨變頻電機(jī)401、精磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座402、水平移動(dòng)伺服電機(jī)403、水平進(jìn)給組件404、精磨豎直導(dǎo)軌安裝座405、豎直進(jìn)給組件406、精磨砂輪安裝座407和精磨砂輪組件408；其中，水平進(jìn)給組件404通過(guò)精磨進(jìn)給導(dǎo)軌安裝座402固定在大底架100上的平臺(tái)上，且安裝方向垂直于主導(dǎo)軌102；水平移動(dòng)伺服電機(jī)403通過(guò)傳動(dòng)部件與水平進(jìn)給組件404連接；豎直進(jìn)給組件406通過(guò)精磨豎直導(dǎo)軌安裝座405固定在水平進(jìn)給組件404上，精磨變頻電機(jī)401和精磨砂輪安裝座407固定在豎直進(jìn)給組件406上，精磨砂輪組件408裝在精磨砂輪安裝座407上。精磨變頻電機(jī)401驅(qū)動(dòng)精磨砂輪408旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)工件的磨削；所述精磨砂輪407的顆粒度為400～600目，用于晶棒精磨工序。

上料機(jī)械手組件500包括送料機(jī)械手501、導(dǎo)軌安裝座502、伸縮氣缸組件503和水平進(jìn)給組件504；其中，上料機(jī)械手501活動(dòng)安裝于導(dǎo)軌安裝座502的導(dǎo)軌上，導(dǎo)軌安裝座502固定在大底架100的平臺(tái)上；伸縮氣缸組件503通過(guò)水平進(jìn)給組件504連接至導(dǎo)軌安裝座502。上料機(jī)械手組件500用于將待加工的晶棒托起，并送入對(duì)中機(jī)械手600前。

對(duì)中機(jī)械手組件600包括水平導(dǎo)軌安裝座605、水平移動(dòng)組件606、水平移動(dòng)伺服電機(jī)604、對(duì)中豎直導(dǎo)軌安裝座602、對(duì)中豎直進(jìn)給組件603、豎直移動(dòng)電機(jī)601和對(duì)中手抓607；其中，水平移動(dòng)組件606通過(guò)水平導(dǎo)軌安裝座605固定在大底架100上的平臺(tái)上，且安裝方向垂直于主導(dǎo)軌102；水平移動(dòng)伺服電機(jī)604通過(guò)傳動(dòng)部件與水平移動(dòng)組件606連接；對(duì)中豎直進(jìn)給組件603通過(guò)對(duì)中豎直導(dǎo)軌安裝座602安裝座固定在水平移動(dòng)組件606上，豎直移動(dòng)電機(jī)601和對(duì)中手抓607固定在對(duì)中豎直進(jìn)給組件603上。上料機(jī)械手組件600的對(duì)中手抓607設(shè)計(jì)有兩個(gè)V型槽，大V型槽適用于尺寸大的硅棒(6～8英寸)，小V型槽適用于尺寸小的硅棒(2～4英寸)；對(duì)中機(jī)械手組件600將上料機(jī)械手組件500上的晶棒托起并夾緊，并通過(guò)水平移動(dòng)伺服電機(jī)604精確控制大小晶棒的位置，使其軸心線與磨削工作臺(tái)組件200的軸心線一致，實(shí)現(xiàn)晶棒對(duì)中。

晶向檢測(cè)裝置700包括龍門安裝架701、激光測(cè)距傳感器組件702、傳感器支架、升降氣缸組件703及罩殼；其中，龍門安裝架701具有能上下伸縮的支撐腿，橫跨主導(dǎo)軌102且固定在大底架100上；激光測(cè)距傳感器組件702通過(guò)傳感器支架懸掛固定在龍門安裝架701上；升降氣缸組件703安裝在龍門安裝架701上端且由罩殼保護(hù)。晶向檢測(cè)裝置700可通過(guò)激光測(cè)距傳感器組件702進(jìn)行非接觸檢測(cè)，從而確定晶棒的棱線位置。

所述半徑檢測(cè)單元800包括安裝底座801、驅(qū)動(dòng)電機(jī)802、水平直線運(yùn)動(dòng)單元803、支撐座804和接觸式傳感器單元805；其中，水平直線運(yùn)動(dòng)單元803通過(guò)安裝底座801安裝在大底架100上；接觸式傳感器單元805通過(guò)連接桿裝在支撐座804上，支撐座804則安裝在水平直線運(yùn)動(dòng)單元803的導(dǎo)軌上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)802設(shè)于水平直線運(yùn)動(dòng)單元803的一端。驅(qū)動(dòng)電機(jī)802驅(qū)動(dòng)水平直線運(yùn)動(dòng)單元，帶動(dòng)接觸式傳感器單元805運(yùn)動(dòng)，接觸晶棒后檢測(cè)晶棒半徑，一般沿晶棒軸線方向，檢測(cè)3到5個(gè)位置。