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      硅片線切割機(jī)的制作方法

      文檔序號:11033745閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種硅片線切割機(jī),其特征在于:包括

      升降機(jī)構(gòu),底面用于固定硅棒;

      至少兩根工作輥,表面繞有鋼線,所述鋼線的直徑為120-121um,工作輥轉(zhuǎn)動能夠帶動鋼線對硅棒進(jìn)行切割。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機(jī),其特征在于:所述鋼線的直徑為120um。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機(jī),其特征在于:硅棒安裝到升降機(jī)構(gòu)的底面后,所述硅棒的底面與切割該硅棒的鋼線之間具有傾斜角度。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片線切割機(jī),其特征在于:所述傾斜角度為0.5-1.5度。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片線切割機(jī),其特征在于:所述傾斜角度為1度。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機(jī),其特征在于:所述工作輥的數(shù)量為4個,并且4個工作輥的端面中心點(diǎn)之間的連線構(gòu)成一個矩形。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機(jī),其特征在于:所述工作輥的數(shù)量為2個。

      8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的硅片線切割機(jī),其特征在于:鋼線繞在工作輥上后形成的切割面的寬度使得切割面能夠切割在該寬度方向上并排的兩根硅棒。

      9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片線切割機(jī),其特征在于:所述硅片線切割機(jī)還包括能夠設(shè)置在升降機(jī)構(gòu)的底面與硅棒頂面之間的、具有傾斜表面的墊塊。

      10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅片線切割機(jī),其特征在于:所述墊塊具有多類,各類墊塊的表面的傾斜角度不同。

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