本實(shí)用新型涉及硅棒加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅棒開方機(jī)的線張力微調(diào)裝置。

背景技術(shù)：

單晶硅、多晶硅鑄錠后需要進(jìn)行開方切割，開方切割工藝中需要用到開方機(jī)對(duì)硅棒進(jìn)行精細(xì)切割，切割過程中切割線由于線張力不穩(wěn)定，很容易對(duì)加工件造成切割不準(zhǔn)確，影響切割質(zhì)量的情況。同時(shí)，切割線在高速切割的過程中也容易由于線張力不穩(wěn)定造成斷線。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型通過在開方機(jī)中設(shè)置帶有永磁體磁滯制動(dòng)器的線張力調(diào)節(jié)裝置，對(duì)切割線進(jìn)行線張力調(diào)節(jié)，從而使得開方機(jī)在硅棒切割過程中切割線獲得穩(wěn)定、可調(diào)的線張力，提高硅錠開方切割質(zhì)量。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，一種硅棒開方機(jī)的線張力微調(diào)裝置，所述開方機(jī)包括有機(jī)架、切割臺(tái)和若干切割線，支架上安裝有切割線輪，切割線經(jīng)過切割線輪后在切割臺(tái)上進(jìn)行切割，所述切割線輪與切割臺(tái)之間設(shè)有張力微調(diào)裝置，張力調(diào)節(jié)裝置包括有固定在機(jī)架上的支撐桿，支撐桿上設(shè)有若干固定安裝的永磁體磁滯制動(dòng)器，永磁體磁滯制動(dòng)器的轉(zhuǎn)軸上連接有固定輪，固定輪的兩側(cè)均設(shè)有與固定輪間隙配合的活動(dòng)壓輪，切割線穿過固定輪與活動(dòng)壓輪之間的間隙，支撐桿上安裝有可沿支撐桿軸向活動(dòng)的活動(dòng)套管，活動(dòng)壓輪通過中心軸固定安裝活動(dòng)套管上，活動(dòng)壓輪可繞中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，支撐桿上安裝有將活動(dòng)壓輪頂向固定輪的彈簧，彈簧固定連接有調(diào)節(jié)螺母，調(diào)節(jié)螺母安裝在支撐桿上，支撐桿上設(shè)有與調(diào)節(jié)螺母相匹配的螺紋。

永磁體磁滯制動(dòng)器包括有扭矩調(diào)節(jié)圈，扭矩調(diào)節(jié)圈上帶有刻度。

支撐桿上設(shè)有截面為方形的條形凹槽，活動(dòng)套管內(nèi)部設(shè)有與條形凹槽相匹配的方形凸起。

本實(shí)用新型的工作原理是：使用時(shí)，切割線經(jīng)切割線輪后穿過活動(dòng)壓輪和固定輪之間的間隙，然后對(duì)硅棒進(jìn)行切割。切割線帶動(dòng)活動(dòng)壓輪和固定輪轉(zhuǎn)動(dòng)，固定輪帶動(dòng)永磁體磁滯制動(dòng)器的轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，由于磁滯原理，永磁體磁滯制動(dòng)器產(chǎn)生扭矩，調(diào)整扭矩調(diào)節(jié)圈，可以使得固定壓輪獲得固定的、與轉(zhuǎn)速無關(guān)的扭矩控制，從而使切割線獲得穩(wěn)定的張力。旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺母，使彈簧頂緊或松開活動(dòng)套管，可以微調(diào)活動(dòng)壓輪和固定輪對(duì)切割線的作用力，進(jìn)一步微調(diào)切割線的張力。

本實(shí)用新型的有益效果是，采用一個(gè)永磁體磁滯制動(dòng)器與兩個(gè)活動(dòng)壓輪相配合，可以同時(shí)調(diào)節(jié)兩根切割線的線張力，節(jié)省了設(shè)備成本。本實(shí)用新型的硅棒開方機(jī)的線張力微調(diào)裝置，張力調(diào)節(jié)方便可靠，能夠提高切片效果，提高切片質(zhì)量。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是張力微調(diào)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是張力微調(diào)裝置半剖面示意圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1-3所示，一種硅棒開方機(jī)的線張力微調(diào)裝置，所述開方機(jī)包括有機(jī)架、切割臺(tái)1和若干切割線2，支架上安裝有切割線輪3，切割線2經(jīng)過切割線輪3后在切割臺(tái)1上對(duì)晶棒進(jìn)行切割，所述切割線輪3與切割臺(tái)1之間設(shè)有張力微調(diào)裝置，張力調(diào)節(jié)裝置包括有固定在機(jī)架上的支撐桿4，支撐桿4上設(shè)有固定安裝的永磁體磁滯制動(dòng)器5，永磁體磁滯制動(dòng)器5的轉(zhuǎn)軸上連接有固定輪6，固定輪6的兩側(cè)均設(shè)有與固定輪6間隙配合的活動(dòng)壓輪7，切割線2穿過固定輪6與活動(dòng)壓輪7之間的間隙，支撐桿4上安裝有可沿支撐桿軸向活動(dòng)的活動(dòng)套管8，活動(dòng)壓輪7通過中心軸9固定安裝活動(dòng)套管8上，活動(dòng)壓輪7可繞中心軸9轉(zhuǎn)動(dòng)，支撐桿4上安裝有將活動(dòng)壓輪7頂向固定輪6的彈簧10，彈簧10固定連接有調(diào)節(jié)螺母11，調(diào)節(jié)螺母11安裝在支撐桿4上，支撐桿4上設(shè)有與調(diào)節(jié)螺母11相匹配的螺紋。

永磁體磁滯制動(dòng)器5包括有扭矩調(diào)節(jié)圈，扭矩調(diào)節(jié)圈上帶有刻度。

支撐桿4上設(shè)有截面為方形的條形凹槽，活動(dòng)套管內(nèi)部設(shè)有與條形凹槽相匹配的方形凸起。

活動(dòng)壓輪7和固定輪6的大小可以根據(jù)開方切割需要進(jìn)行選擇,同時(shí)固定輪6的位置通過調(diào)節(jié)螺母11進(jìn)行調(diào)節(jié)。

使用時(shí)，切割線2經(jīng)切割線輪3后穿過活動(dòng)壓輪7和固定輪6之間的間隙，然后對(duì)硅棒進(jìn)行切割。切割線2帶動(dòng)活動(dòng)壓輪7和固定輪6轉(zhuǎn)動(dòng)，固定輪6帶動(dòng)永磁體磁滯制動(dòng)器5的轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，由于磁滯原理，永磁體磁滯制動(dòng)器產(chǎn)生扭矩，調(diào)整扭矩調(diào)節(jié)圈，可以使得固定壓輪獲得固定的、與轉(zhuǎn)速無關(guān)的扭矩控制，從而使切割線2獲得穩(wěn)定的張力。旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺母11，使彈簧10頂緊或松開活動(dòng)套管8，可以微調(diào)活動(dòng)壓輪7和固定輪6對(duì)切割線2的作用力，進(jìn)一步微調(diào)切割線2的張力。

以上詳細(xì)描述了本實(shí)用新型的較佳具體實(shí)施例，應(yīng)當(dāng)理解，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員無需創(chuàng)造性勞動(dòng)就可以根據(jù)本實(shí)用新型的構(gòu)思做出諸多修改和變化，因此，凡本技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員依本實(shí)用新型的構(gòu)思在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在由權(quán)利要求書所確定的保護(hù)范圍內(nèi)。