本發(fā)明涉及一種脆性基板的分割方法，特別涉及一種使用刀尖的滑動(dòng)的脆性基板的分割方法。

背景技術(shù)：

在平面顯示器面板或者太陽能電池面板等電氣設(shè)備的制造中，經(jīng)常需要分割脆性基板。在典型的分割方法中，首先，在脆性基板上形成裂紋線。在本說明書中，“裂紋線”指的是在脆性基板的厚度方向上局部發(fā)展的裂紋在脆性基板的表面上呈線狀延伸而成的線。接下來，進(jìn)行所謂的斷開工序。具體而言，通過對(duì)脆性基板施加應(yīng)力，使得裂紋線的裂紋在厚度方向上完全地發(fā)展。由此，可沿裂紋線分割脆性基板。

根據(jù)專利文獻(xiàn)1，劃線時(shí)在玻璃板的上表面上產(chǎn)生某種凹陷。在該專利文獻(xiàn)1中，將該凹陷稱作“劃線”。另外，在刻設(shè)該劃線的同時(shí)，產(chǎn)生從劃線向正下方方向延伸的裂紋。如該專利文獻(xiàn)1的技術(shù)所示，在以往的典型的技術(shù)中，在形成劃線的同時(shí)形成裂紋線。

根據(jù)專利文獻(xiàn)2提出有與上述典型的分割技術(shù)顯著不同的分割技術(shù)。根據(jù)該技術(shù)，首先，通過在脆性基板上刀尖的滑動(dòng)產(chǎn)生塑性變形，由此形成該專利文獻(xiàn)2中被稱作“劃線”的槽形狀。在本說明書中，之后，將該槽形狀稱作“溝槽線”。在形成溝槽線的時(shí)刻未在其下方形成裂紋。之后使裂紋沿溝槽線伸展，由此形成裂紋線。換句話說，與典型的技術(shù)不同，暫時(shí)形成不伴隨裂紋的溝槽線，之后沿溝槽線形成裂紋線。之后，沿裂紋線進(jìn)行通常的斷開工序。

如上述專利文獻(xiàn)2的技術(shù)那樣，在本說明書中，將積極地利用不伴隨裂紋的溝槽線的技術(shù)稱作“無裂紋劃刻技術(shù)”。在無裂紋劃刻技術(shù)中形成的溝槽線，與伴隨有同時(shí)形成裂紋的典型的劃線相比，能夠以更低負(fù)荷的刀尖的滑動(dòng)形成。負(fù)荷越小，施加于刀尖的損傷越小。由此，根據(jù)該分割技術(shù)，能夠延長刀尖的壽命。作為刀尖的結(jié)構(gòu)的一種，上述專利文獻(xiàn)2公開了具有三個(gè)面匯合的頂點(diǎn)、以及從此處延伸的棱線的結(jié)構(gòu)。具體而言，刀尖具有：頂面、第一側(cè)面以及第二側(cè)面所匯合的頂點(diǎn)，和第一側(cè)面以及第二側(cè)面所形成的棱線。作為將刀尖在脆性基板上滑動(dòng)的方向，公開了從頂面朝向棱線的第一方向和從棱線朝向頂面的第二方向。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平9－188534號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：國際公開第2015/151755號(hào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

上述刀尖并不局限于無裂紋劃刻技術(shù)，在伴隨有同時(shí)產(chǎn)生裂紋的典型的劃刻技術(shù)中也被廣泛地使用。在典型的劃刻技術(shù)中，刀尖的滑動(dòng)方向以上述第一方向?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)的方向。換言之，以使棱線為前側(cè)、使頂面為后側(cè)的方向作為標(biāo)準(zhǔn)。其原因是，這樣易于抑制對(duì)刀尖的損傷。另一方面，在無裂紋劃刻技術(shù)中，由于對(duì)刀尖的負(fù)荷較低，因此可抑制對(duì)刀尖的損傷，所以在上述第二方向上也非常具有實(shí)用性。而且，在無裂紋劃刻技術(shù)中，根據(jù)其用途，有可能特別優(yōu)選的是第二方向而并非第一方向。關(guān)于適合這種情況的刀尖的具體結(jié)構(gòu)，無裂紋劃刻技術(shù)的研究也剛開始不久，尚未進(jìn)行具體的研究。

用于工業(yè)目的的刀尖因其更換頻率相對(duì)較高，所以期望能夠容易地準(zhǔn)備。特別是，在選擇上述第二方向作為刀尖的滑動(dòng)方向的情況下，與選擇第一方向的情況相比，容易損傷刀尖。因此，容易縮短刀尖的壽命，與此相應(yīng)，刀尖的更換頻率容易變高。由此，進(jìn)一步希望能夠容易地準(zhǔn)備刀尖。

本發(fā)明是為了解決以上課題而完成，其目的在于提供一種脆性基板的分割方法，該脆性基板的分割方法在將具有三個(gè)面匯合的頂點(diǎn)的刀尖以其棱線作為后側(cè)滑動(dòng)的情況下，能夠容易地準(zhǔn)備刀尖，并且能夠確保刀尖的足夠的壽命。

解決技術(shù)問題的技術(shù)手段

本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的脆性基板的分割方法具有以下的工序a)至e)。

a)、準(zhǔn)備脆性基板，脆性基板具有一個(gè)面和與所述一個(gè)面垂直的方向上的厚度。

b)、準(zhǔn)備刀尖，刀尖具有第一面、第二面和第三面，第二面與第一面相鄰，第三面通過與第二面相鄰而形成棱線，并且第三面通過與第一面和第二面的每一個(gè)相鄰而形成頂點(diǎn)。棱線是未進(jìn)行倒角加工的棱線。

c)、使刀尖在脆性基板的一個(gè)面上向著從棱線朝向第一面的方向滑動(dòng)，從而通過所述脆性基板的塑性變形在脆性基板的一個(gè)面上形成具有槽形狀的溝槽線。溝槽線以獲得無裂紋狀態(tài)的方式形成，無裂紋狀態(tài)為在溝槽線的下方脆性基板在與溝槽線交叉的方向上連續(xù)性相連的狀態(tài)。

d)、在工序c)之后，通過使得所述脆性基板在所述厚度的方向上的第一裂紋沿所述溝槽線伸展，形成裂紋線。通過所述裂紋線斷開在所述溝槽線的下方所述脆性基板在與所述溝槽線交叉的方向上的連續(xù)性的連接。

e)、沿裂紋線分割脆性基板。

本發(fā)明的另一個(gè)方面所涉及的脆性基板的分割方法具有以下的工序a)至e)。

a)、準(zhǔn)備脆性基板，脆性基板具有一個(gè)面和與所述一個(gè)面垂直的方向上的厚度。

b)、準(zhǔn)備刀尖，刀尖具有第一面、第二面和第三面，第二面與第一面相鄰，第三面通過與第二面相鄰而形成棱線，并且第三面通過與第一面和第二面的每一個(gè)相鄰而形成頂點(diǎn)。刀尖在與棱線垂直的剖面上具有2μm以下的曲率半徑。

c)、使刀尖在脆性基板的一個(gè)面上向著從棱線朝向第一面的方向滑動(dòng)，從而通過所述脆性基板的塑性變形在脆性基板的一個(gè)面上形成具有槽形狀的溝槽線。溝槽線以獲得無裂紋狀態(tài)的方式形成，無裂紋狀態(tài)為在溝槽線的下方脆性基板在與溝槽線交叉的方向上連續(xù)性相連的狀態(tài)。

d)、在工序c)之后，通過使得脆性基板在厚度的方向上的第一裂紋沿溝槽線伸展，形成裂紋線。通過裂紋線斷開在溝槽線的下方脆性基板在與溝槽線交叉的方向上的連續(xù)性的連接。

e)、沿裂紋線分割脆性基板。

發(fā)明的技術(shù)效果

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的脆性基板的分割方法，刀尖的棱線為未進(jìn)行倒角加工的棱線。由此，與刀尖的棱線為有倒角加工的棱線情況相比，能夠容易地準(zhǔn)備刀尖。另外，通過使用無裂紋劃刻技術(shù)，能夠降低對(duì)刀尖的負(fù)荷。由此，能夠在進(jìn)行以棱線為后側(cè)的滑動(dòng)的同時(shí)，確保刀尖的足夠的壽命。

根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面所涉及的脆性基板的分割方法，刀尖在與棱線垂直的剖面上具有2μm以下的曲率半徑。這樣的曲率半徑僅通過在形成了形成棱線的一對(duì)面之后控制針對(duì)棱線的倒角加工，就可容易地獲得。由此，能夠容易地準(zhǔn)備刀尖。另外，通過使用無裂紋劃刻技術(shù)，能夠降低對(duì)刀尖的負(fù)荷。由此，能夠在進(jìn)行以棱線為后側(cè)的滑動(dòng)的同時(shí)，確保刀尖的足夠的壽命。

附圖說明

圖1是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式一中的脆性基板的分割方法所使用的切割器具的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖2是圖1的箭頭ii的視點(diǎn)下的概略俯視圖。

圖3是圖2的頂點(diǎn)附近的局部放大圖。

圖4是示意地表示用于計(jì)算垂直于圖3的棱線的剖面上的曲率半徑的表面輪廓的曲線圖。

圖5是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式一至五中的脆性基板的分割方法的構(gòu)成的流程圖。

圖6是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式一中的脆性基板的分割方法的第一工序的俯視圖。

圖7是沿著圖6的線vii－vii的概略端面圖。

圖8是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式一中的脆性基板的分割方法的第二工序的俯視圖。

圖9是沿著圖8的線ix－ix的概略端面圖。

圖10是概略地表示比較例一中的脆性基板的分割方法所使用的切割器具的結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖11是表示實(shí)施方式一的實(shí)施例中的脆性基板的分割形狀的側(cè)視圖。

圖12是表示比較例三中的脆性基板的分割形狀的側(cè)視圖。

圖13是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式二中的脆性基板的分割方法中的溝槽線的形成方法的構(gòu)成的流程圖。

圖14是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式三中的脆性基板的分割方法的第一工序的俯視圖。

圖15是沿著圖14的線xv－xv的概略端面圖。

圖16是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式三中的脆性基板的分割方法的第二工序的俯視圖。

圖17是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式三中的脆性基板的分割方法的第三工序的俯視圖。

圖18是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式四中的脆性基板的分割方法的第一工序的俯視圖。

圖19是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式四中的脆性基板的分割方法的第二工序的俯視圖。

圖20是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式五中的脆性基板的分割方法所使用的刀尖的結(jié)構(gòu)的剖面圖。

圖21是概略地表示本發(fā)明實(shí)施方式五中的脆性基板的分割方法所使用的輔助刀尖的結(jié)構(gòu)的剖面圖。

附圖標(biāo)記說明

ed邊緣；al輔助線；cl裂紋線；sd1頂面(第一面)；sd2側(cè)面(第二面)；sd3側(cè)面(第三面)；sf、sf1上表面(一個(gè)面)；pp頂點(diǎn)；tl溝槽線；ps棱線；cla輔助裂紋線；tla輔助溝槽線；4玻璃基板(脆性基板)；51刀尖；51a輔助刀尖。

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外，在以下的附圖中，對(duì)相同或者相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)注相同的參照編號(hào)，不再重復(fù)其說明。

＜實(shí)施方式一＞

(切割器具的結(jié)構(gòu))

參照?qǐng)D1以及圖2，首先針對(duì)本實(shí)施方式的玻璃基板4(脆性基板)的分割方法中的溝槽線的形成工序所使用的切割器具50的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。切割器具50具有刀尖51以及刀柄52。刀尖51通過固定于作為其保持部的刀柄52而被保持。

在刀尖51設(shè)有頂面sd1(第一面)和包圍頂面sd1的多個(gè)面。該多個(gè)面包含側(cè)面sd2(第二面)以及側(cè)面sd3(第三面)。頂面sd1、側(cè)面sd2以及sd3(第一至第三面)朝向互不相同的方向，并且相互相鄰。刀尖51具有頂面sd1、側(cè)面sd2以及sd3所匯合的頂點(diǎn)。通過該頂點(diǎn)pp構(gòu)成了刀尖51的突起部。此外，側(cè)面sd2以及sd3形成構(gòu)成刀尖51的側(cè)部的棱線ps。棱線ps從頂點(diǎn)pp呈線狀延伸，并且具有呈線狀延伸的凸出形狀。根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，刀尖51具有頂面sd1、側(cè)面sd2和側(cè)面sd3，該側(cè)面sd2與頂面sd1相鄰，該側(cè)面sd3通過與側(cè)面sd2相鄰從而形成棱線ps、并且通過分別與頂面sd1以及側(cè)面sd2相鄰從而形成頂點(diǎn)pp。

棱線ps是未進(jìn)行倒角加工的棱線。因此，刀尖51的棱線形成銳利的形狀。具體而言，刀尖51作為垂直于棱線ps的剖面上的曲率半徑(以下，也簡稱為“棱線ps的曲率半徑”)具有2μm以下的曲率半徑，優(yōu)選的是具有1μm以下的曲率半徑。以下針對(duì)該曲率半徑的測(cè)量方法的例子進(jìn)行說明。

參照?qǐng)D3，可根據(jù)測(cè)量線sr上的側(cè)面sd2以及sd3的表面輪廓的測(cè)量結(jié)果計(jì)算上述曲率半徑。測(cè)量線sr位于刀尖51中頂點(diǎn)pp附近對(duì)玻璃基板4實(shí)際的作用部分er內(nèi)。測(cè)量線sr在離開頂點(diǎn)pp的位置與棱線ps正交。作用部分er具有與棱線ps正交的方向上的尺寸l1、以及沿著棱線ps的方向上的尺寸l2。典型地，尺寸l1為30μm以上50μm以下，尺寸l2為10μm以上30μm以下。頂點(diǎn)pp與測(cè)量線sr的間隔ld是由于頂點(diǎn)pp的存在而對(duì)表面輪廓的影響充分變小的間隔，例如約為5μm。圖4是示意地表示測(cè)量線sr上的位置與高度h之間的關(guān)系的測(cè)量結(jié)果的表面輪廓。表面輪廓的測(cè)量例如可使用激光顯微鏡來進(jìn)行。通過對(duì)于所獲得的表面輪廓在棱線ps的位置適用圓rr，可計(jì)算出曲率半徑。

刀尖51優(yōu)選的是金剛石頭(diamondpoint)。即，出于能夠減小硬度以及表面粗糙度的觀點(diǎn)，優(yōu)選的是刀尖51由金剛石制作。更優(yōu)選的是刀尖51由單晶金剛石制作。更優(yōu)選的是，從晶體學(xué)上來說，頂面sd1是{001}面，側(cè)面sd2以及sd3分別是{111}面。在該情況下，側(cè)面sd2以及sd3雖然具有不同的朝向，在晶體學(xué)上是相互等價(jià)的結(jié)晶面。

另外，也可以使用非單晶金剛石，例如，可以使用通過cvd(chemicalvapordeposition：化學(xué)氣相沉積)法合成的多晶體金剛石。或者，也可以使用燒結(jié)金剛石，該燒結(jié)金剛石通過鐵元素等的結(jié)合材料使從微粒的石墨或非石墨狀碳以不含鐵元素等的結(jié)合材料而燒結(jié)的多晶體金剛石粒子結(jié)合而得到。

刀柄52沿軸方向ax延伸。刀尖51優(yōu)選的是以頂面sd1的法線方向大致沿著軸方向ax的方式安裝于刀柄52。

(玻璃基板的分割方法)

以下，參照?qǐng)D5所示的流程圖對(duì)玻璃基板4的分割方法進(jìn)行說明。

在步驟s10(圖5)中，準(zhǔn)備將被分割的玻璃基板4(圖1)。玻璃基板4具有上表面sf1(一個(gè)面)和與其相反的下表面sf2(另一個(gè)面)。在上表面sf1設(shè)有邊緣ed。在圖6所示的例子中，緣ed具有長方形形狀。玻璃基板4具有與上表面sf1垂直的厚度方向dt。此外，在步驟s20(圖5)中，準(zhǔn)備上述的、具有刀尖51的切割器具50(圖1以及圖2)。

參照?qǐng)D6，在步驟s30(圖5)中形成溝槽線tl。具體而言，進(jìn)行以下的工序。

首先，刀尖51(圖1)的頂點(diǎn)pp在位置n1被按壓于上表面sf1。由此，刀尖51與玻璃基板4接觸。位置n1優(yōu)選的是如圖示那樣從玻璃基板4的上表面sf1的緣ed離開。換言之，在刀尖51的滑動(dòng)開始時(shí)刻，避免刀尖51碰撞到玻璃基板4的上表面sf1的緣ed。

接下來，如上述那樣被按壓的刀尖51在玻璃基板4的上表面sf1上滑動(dòng)(參照?qǐng)D6的箭頭)。使刀尖51(圖1)在上表面sf1上向著從棱線ps到頂面sd1的方向滑動(dòng)。嚴(yán)格來說言，使刀尖51沿著將向著從棱線ps經(jīng)由頂點(diǎn)pp到頂面sd1的方向投影到上表面sf1上的方向db滑動(dòng)。方向db大致沿著將頂點(diǎn)pp附近的棱線ps的延伸方向投影到上表面sf1上的方向。在圖1中，方向db對(duì)應(yīng)于與將從刀尖51延伸的軸方向ax向上表面sf1上投影的方向相反的方向。由此，刀尖51被刀柄52在上表面sf1上推進(jìn)。

在玻璃基板4的上表面sf1上滑動(dòng)的刀尖51(圖1)的棱線ps以及頂面sd1分別與玻璃基板4的上表面sf1形成角度ag1以及角度ag2。優(yōu)選的是角度ag2比角度ag1小。

由于上述滑動(dòng)在上表面sf1上產(chǎn)生塑性變形。由此，在上表面sf1上形成具有槽形狀的溝槽線tl(圖7)。溝槽線tl優(yōu)選的是僅通過玻璃基板4的塑性變形產(chǎn)生，在該情況下，在玻璃基板4的上表面sf1上不會(huì)產(chǎn)生切削。為了避免切削，不過度增加刀尖51的負(fù)荷即可。由于沒有切削，能夠避免在上表面sf1上產(chǎn)生并不受歡迎的微小碎片。但是，若干的切削通常是可被允許的。

溝槽線tl的形成是通過在位置n1以及位置n3e之間使刀尖51從位置n1經(jīng)由位置n2向位置n3e滑動(dòng)而進(jìn)行的。位置n2離開玻璃基板4的上表面sf1的邊緣ed。位置n3e位于玻璃基板4的上表面sf1的邊緣ed。

溝槽線tl被形成為，可在溝槽線tl的下方獲得在玻璃基板4與溝槽線tl的延伸方向(圖6中的橫方向)交叉的方向dc(圖7)上連續(xù)地相連的狀態(tài)，即無裂紋狀態(tài)。在無裂紋狀態(tài)下，雖然形成了基于塑性變形的溝槽線tl，但未形成沿著其的裂紋。為了獲得適當(dāng)?shù)臒o裂紋狀態(tài)，將施加于刀尖51的負(fù)荷調(diào)整為，小到在溝槽線tl形成時(shí)刻不會(huì)產(chǎn)生裂紋的程度，并且大到產(chǎn)生塑性變形的程度，這種塑性變形會(huì)形成在后序的工序能夠產(chǎn)生裂紋的內(nèi)部應(yīng)力的狀態(tài)。

為了形成溝槽線tl而如上述那樣滑動(dòng)的刀尖51最終達(dá)到位置n3e。無裂紋狀態(tài)在刀尖51位于位置n2的時(shí)刻被維持，而且維持至刀尖51到達(dá)位置n3e的瞬間。若刀尖51到達(dá)位置n3e，則刀尖51的棱線ps(圖1)將玻璃基板4的上表面sf1的邊緣ed下切。

參照?qǐng)D8以及圖9，由于上述的下切，在位置n3e產(chǎn)生微小的破壞。以該破壞為起點(diǎn)，產(chǎn)生裂紋以將溝槽線tl附近的內(nèi)部應(yīng)力釋放。具體而言，厚度方向dt上的玻璃基板4的裂紋從位于玻璃基板4的上表面sf1的邊緣ed的位置n3e沿著溝槽線tl伸展(參照?qǐng)D8中的箭頭)。換言之，開始形成裂紋線cl。由此，作為步驟s50(圖5)，從位置n3e向位置n1形成裂紋線cl。

此外，為了更可靠地形成裂紋線cl，也可以使刀尖51從位置n2向位置n3e滑動(dòng)的速度比從位置n1到位置n2中的速度小。同樣，也可以使從位置n2到位置n3e中施加于刀尖51的負(fù)荷在維持無裂紋狀態(tài)的范圍內(nèi)比從位置n1到位置n2的負(fù)荷大。

通過裂紋線cl斷開在溝槽線tl的下方玻璃基板4在與溝槽線tl的延伸方向(圖8中的橫方向)交叉的方向dc(圖9)上的連續(xù)性的連接。這里“連續(xù)性的連接”換言之指的是未被裂紋阻斷的連接。此外，在如上述那樣斷開了連續(xù)性的連接的狀態(tài)下，也可以經(jīng)由裂紋線cl的裂紋使玻璃基板4的部分彼此接觸。另外，也可以在溝槽線tl的正下方殘留稍許的連續(xù)性的連接。

裂紋線cl(圖8)沿溝槽線tl(圖6)伸展的方向(圖8的箭頭)與溝槽線tl所形成的方向(圖6的箭頭)相反。為了在這樣的方向關(guān)系下使裂紋線cl產(chǎn)生，在為了形成溝槽線tl而使刀尖51向方向db(圖1)滑動(dòng)時(shí)，優(yōu)選的是角度ag2比角度ag1小。若不滿足該角度關(guān)系，則難以產(chǎn)生裂紋線cl。此外，若角度ag1以及角度ag2大致相同，則是否會(huì)產(chǎn)生裂紋線cl將容易變得不穩(wěn)定。

接下來，在步驟s60(圖5)中沿裂紋線cl分割玻璃基板4。即，進(jìn)行所謂的斷開工序。斷開工序可通過向玻璃基板4施加外力來進(jìn)行。例如，通過朝向玻璃基板4的上表面sf1上的裂紋線cl(圖9)在下表面sf2上按壓應(yīng)力施加部件(例如，被稱作“斷開桿”的部件)，由此向玻璃基板4施加張開裂紋線cl的裂紋那樣的應(yīng)力。另外，裂紋線cl在其形成時(shí)完全沿厚度方向dt行進(jìn)的情況下，裂紋線cl的形成與玻璃基板4的分割同時(shí)產(chǎn)生。

根據(jù)以上進(jìn)行玻璃基板4的分割。另外，上述裂紋線cl的形成工序與所謂的斷開工序在本質(zhì)上不同。斷開工序通過使已形成的裂紋在厚度方向上進(jìn)一步伸展而將基板完全分離。另一方面，裂紋線cl的形成工序?yàn)閹韽耐ㄟ^溝槽線tl的形成獲得的無裂紋狀態(tài)向具有裂紋的狀態(tài)的變化的工序。該變化被認(rèn)為是通過無裂紋狀態(tài)所具有的內(nèi)部應(yīng)力的釋放而產(chǎn)生的。

(比較例一)

參照?qǐng)D10，本比較例的刀尖59的頂點(diǎn)pp設(shè)置于四個(gè)面se1至se4匯合的位置。從頂點(diǎn)pp起設(shè)有四條棱線ps1至ps4。在該情況下，在圖6的工序中，可通過棱線ps1至ps4的任意一個(gè)下切玻璃基板4的上表面sf1的邊緣ed。由此，與本實(shí)施方式相同，具有易于可靠地形成裂紋線cl的優(yōu)點(diǎn)。另一方面，存在形成刀尖59需要較高的加工精度、由此導(dǎo)致其并不容易形成這一缺點(diǎn)。其原因是，在如本比較例那樣通過面se1至se4所匯合的位置而設(shè)置刀尖的頂點(diǎn)pp的情況下，需要以通過其中的三個(gè)面匯合的點(diǎn)的方式對(duì)準(zhǔn)剩下一個(gè)面的位置。

(比較例二)

在本比較例中，將刀尖51的滑動(dòng)方向設(shè)為與方向db(圖1)相反的方向。在該情況下，在圖6的工序中，由頂面sd1而并非棱線ps下切玻璃基板4的上表面sf1的邊緣ed。即，在下切時(shí)，相對(duì)于在上述本實(shí)施方式中由銳利的棱線ps發(fā)揮作用，在本比較例中，由平坦的頂面sd1發(fā)揮作用。因此，在本比較例中，作為裂紋線cl形成開始的契機(jī)的微小破壞變得難以產(chǎn)生。由此，難以可靠地形成裂紋線cl。

(實(shí)施例以及比較例三)

圖11是概略地表示本實(shí)施方式的實(shí)施例中的玻璃基板4的分割形狀的側(cè)視圖。圖12是概略地表示比較例三的玻璃基板4的分割形狀的側(cè)視圖。分割的玻璃基板4的厚度設(shè)為0.1mm。分割玻璃基板4而得的面(以下，也稱為“分割面”)與圖11以及圖12中的右邊對(duì)應(yīng)，基于通過激光顯微鏡獲得的表面輪廓強(qiáng)調(diào)地描繪了分割面的高度差。分割所使用的刀尖51的棱線ps(圖3)在實(shí)施例中是未進(jìn)行倒角加工的棱線，在比較例三中是有倒角的線。棱線ps的曲率半徑在實(shí)施例中是0.6μm，在比較例三中是3.9μm。

實(shí)施例的分割面與比較例三的分割面相比，相對(duì)于上表面sf1的直角度良好。此外，實(shí)施例的分割面與比較例三的分割面相比，平坦度良好。具體而言，分割面的高度差在實(shí)施例中是0.5μm，在比較例三中是2.3μm。這里，“高度差”指的是分割面的表面輪廓中的、最低位置與最高位置之差。如此，推測(cè)實(shí)施例與比較例三相比可獲得更好的分割面的原因是，由于棱線ps的曲率半徑較小，在形成溝槽線tl向玻璃基板4賦予的內(nèi)部應(yīng)力會(huì)更加集中于局部地進(jìn)行賦予。

(效果總結(jié))

根據(jù)本實(shí)施方式，能夠容易地準(zhǔn)備刀尖51。其第一個(gè)理由是因?yàn)?，與上述比較例一不同，刀尖51的頂點(diǎn)設(shè)為頂面sd1、側(cè)面sd2以及側(cè)面sd3的三個(gè)面匯合的位置。假設(shè)在通過超過三個(gè)的面匯合的位置設(shè)置刀尖的頂點(diǎn)的情況下，需要以通過三個(gè)面匯合的點(diǎn)的方式對(duì)準(zhǔn)剩下的面的位置。因此，需要較高的加工精度。與此相對(duì)，在通過三個(gè)面匯合的位置設(shè)置刀尖的頂點(diǎn)的情況下，無需這樣高的加工精度。第二個(gè)理由是因?yàn)?，刀?1的棱線ps是未進(jìn)行倒角加工的棱線。由此，與刀尖51的棱線ps是倒角加工的棱線的情況相比，能夠容易地準(zhǔn)備刀尖51。從其他觀點(diǎn)來看是因?yàn)?，刀?1在與棱線ps垂直的剖面上具有2μm以下、優(yōu)選的是1μm以下的曲率半徑。這樣的曲率半徑僅通過在形成棱線ps的一對(duì)面形成之后控制針對(duì)棱線ps的倒角加工，就可容易地獲得。由此，能夠容易地準(zhǔn)備刀尖51。

進(jìn)一步地，根據(jù)本實(shí)施方式，通過使用無裂紋劃刻技術(shù)，能夠降低對(duì)刀尖51的負(fù)荷。由此，能夠在進(jìn)行以頂面sd1為前側(cè)、以棱線ps為后側(cè)的滑動(dòng)的同時(shí)還確保刀尖51的足夠的壽命。

進(jìn)一步地，根據(jù)本實(shí)施方式，與進(jìn)行了針對(duì)棱線ps的倒角加工的比較例三相比，可獲得良好的分割面。具體而言，可獲得相對(duì)于上表面sf1的直角度良好的分割面。另外，可獲得平坦度良好的分割面。

進(jìn)一步地，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠更可靠地形成沿著溝槽線tl的裂紋線cl。其第一個(gè)理由是因?yàn)?，與上述比較例二不同，由為了形成溝槽線tl而滑動(dòng)的刀尖51的棱線ps將玻璃基板4的上表面sf1的邊緣ed下切。其第二個(gè)理由是因?yàn)?，這樣進(jìn)行下切的棱線ps未進(jìn)行倒角，或者因?yàn)榫哂?μm以下的曲率半徑，因此成為銳利的狀態(tài)。通過由銳利的棱線ps將玻璃基板4的上表面sf1的邊緣ed下切，能夠更可靠地形成裂紋線cl。

＜實(shí)施方式二＞

再次參照?qǐng)D6，在本實(shí)施方式中，在玻璃基板4的上表面sf1上的刀尖51所滑動(dòng)的位置供給潤滑劑。換言之，如圖13所示，形成溝槽線tl(圖6)的工序(圖5：步驟s30)包含供給潤滑劑的步驟s31、以及在供給了潤滑劑的位置使刀尖51滑動(dòng)的步驟s32。為了實(shí)施步驟s31，例如在刀柄52(圖1)設(shè)置潤滑劑供給部(未圖示)即可。此外，除此以外的結(jié)構(gòu)與上述實(shí)施方式一的結(jié)構(gòu)大致相同，因此不重復(fù)其說明。此外，步驟s31也能夠應(yīng)用于后述的實(shí)施方式三至五。

在本實(shí)施方式中，與實(shí)施方式一相同，選擇了方向db(圖1)作為刀尖51的行進(jìn)方向。在對(duì)刀尖51的負(fù)荷相同的條件下，向方向db的滑動(dòng)與向其相反方向的滑動(dòng)相比，對(duì)刀尖51的損傷容易變大。根據(jù)本實(shí)施方式，能夠有效地抑制該損傷。由此，能夠延長刀尖的壽命。

＜實(shí)施方式三＞

參照?qǐng)D14，在步驟s10(圖5)中，準(zhǔn)備與上述實(shí)施方式一相同的玻璃基板4。但是，在本實(shí)施方式中，在玻璃基板4的上表面sf1上設(shè)有輔助線al。參照?qǐng)D15，輔助線al具有輔助溝槽線tla和輔助裂紋線cla。輔助溝槽線tla具有槽形狀。輔助裂紋線cla通過厚度方向dt上的玻璃基板4的裂紋沿輔助溝槽線tla延伸而構(gòu)成。

在本實(shí)施方式中，輔助線al通過在玻璃基板4的上表面sf1同時(shí)形成輔助溝槽線tla以及輔助裂紋線cla的工序而設(shè)置。這樣的輔助線al可通過通常典型的劃線方法而形成。例如，如圖14的箭頭所示，這樣的輔助線al可通過刀尖攀上玻璃基板4的上表面sf1的邊緣ed、然后在上表面sf1上移動(dòng)而進(jìn)行。由于攀上時(shí)的沖擊，產(chǎn)生微小的裂紋，從而在形成輔助溝槽線tla時(shí)，能夠容易地同時(shí)形成輔助裂紋線cla。為了抑制對(duì)攀上時(shí)的刀尖以及玻璃基板4的損傷，優(yōu)選的是該刀尖與刀尖51的形狀不同，具有適合攀上的形狀。具體而言，刀尖優(yōu)選的是被保持為能夠轉(zhuǎn)動(dòng)(輪型)。換言之，優(yōu)選的是刀尖在玻璃基板4上轉(zhuǎn)動(dòng)而并非滑動(dòng)。此外，輔助線al的起點(diǎn)在圖14中是邊緣ed，但也可以離開邊緣ed。

接著，在步驟s20(圖5)中，準(zhǔn)備與實(shí)施方式一相同的刀尖51。此外，為了易于準(zhǔn)備上述輔助線al用的刀尖，也可以使用該刀尖51形成上述的輔助線al?；蛘?，也可以使用具有與刀尖51的形狀相同的形狀的刀尖形成上述的輔助線al。

參照?qǐng)D16，接下來在步驟s30(圖5)中形成溝槽線tl。具體而言，進(jìn)行以下的工序。

首先，進(jìn)行與實(shí)施方式一相同的動(dòng)作。具體而言，刀尖51(圖1)的頂點(diǎn)pp在位置n1被按壓于上表面sf1。接下來，使被按壓的刀尖51在玻璃基板4的上表面sf1上向方向db(圖1)滑動(dòng)(參照?qǐng)D16的箭頭)。由此，在上表面sf1上以無裂紋狀態(tài)形成溝槽線tl。

在本實(shí)施方式中，通過在位置n1以及位置n3a之間使刀尖51從位置n1經(jīng)由位置n2向位置n3a滑動(dòng)來進(jìn)行溝槽線tl的形成。位置n3a配置在輔助線al上。位置n2配置于位置n1與位置n3a之間。優(yōu)選的是刀尖51超過輔助線al上的位置n3a進(jìn)而滑動(dòng)至位置n4。位置n4優(yōu)選的是離開邊緣ed。

為了形成溝槽線tl，如上述那樣滑動(dòng)的刀尖51在位置n3a與輔助線al交叉。由此，刀尖51的棱線ps(圖1)也與輔助線al交叉。由于該交叉而在位置n3a產(chǎn)生微小的破壞。以該破壞為起點(diǎn)，產(chǎn)生裂紋以將溝槽線tl附近的內(nèi)部應(yīng)力釋放。具體而言，厚度方向dt上的玻璃基板4的裂紋從位于輔助線al上的位置n3a沿著溝槽線tl伸展(參照?qǐng)D17的箭頭)。換言之，裂紋線cl從通過刀尖51的棱線ps交叉的輔助線al沿溝槽線tl伸展。由此，作為步驟s50(圖5)，從位置n3a向位置n1形成裂紋線cl。形成裂紋線cl之后與實(shí)施方式一相同，通過裂紋線cl斷開在溝槽線tl的下方玻璃基板4與溝槽線tl交叉的方向上的連續(xù)性的連接。

刀尖51在到達(dá)位置n3a之后離開玻璃基板4。優(yōu)選的是，刀尖51在超過位置n3a而滑動(dòng)至位置n4之后離開玻璃基板4。

接下來，在步驟s60(圖5)中，與實(shí)施方式一相同，沿裂紋線cl使玻璃基板4分割。通過以上方式進(jìn)行本實(shí)施方式的玻璃基板4的分割方法。

根據(jù)本實(shí)施方式，與實(shí)施方式一相同，能夠更可靠地形成沿著溝槽線tl的裂紋線cl。其原因是，為了形成溝槽線tl而滑動(dòng)的刀尖51的棱線ps向設(shè)于玻璃基板4的上表面sf1的輔助線al、以及通過滑動(dòng)的刀尖51的頂點(diǎn)形成的溝槽線tl交叉的位置n3a(圖16)局部施加應(yīng)力。由于該應(yīng)力施加，能夠高可靠性地獲得成為裂紋線cl的形成開始的契機(jī)。除此之外，能夠獲得與實(shí)施方式一大致相同的效果。

＜實(shí)施方式四＞

在本實(shí)施方式中，與實(shí)施方式三不同，輔助線al(圖15以及圖16)所具有的輔助溝槽線tla以及輔助裂紋線cla分別由與在實(shí)施方式一中說明的溝槽線tl以及裂紋線cl的形成方法類似的方法形成。以下，具體地說明該方法。

首先，準(zhǔn)備用于輔助線al的形成的刀尖。該刀尖也可以與刀尖51(圖1以及圖2)相同。即，可以通過共同的刀尖51來進(jìn)行輔助線al的形成、以及在其之后形成的溝槽線tl的形成?；蛘撸鳛檩o助線al的形成所用的刀尖，也可以準(zhǔn)備區(qū)別于刀尖51的刀尖(以下，稱作“輔助刀尖”)。輔助刀尖也可以具有與刀尖51(圖1以及圖2)的形狀相同的形狀?；蛘?，輔助刀尖也可以具有與刀尖51的形狀不同的形狀。即使在輔助刀尖具有與刀尖51的形狀不同的形狀的情況下，輔助刀尖也具有形成頂點(diǎn)pp以及棱線ps的頂面sd1、側(cè)面sd2以及側(cè)面sd3的結(jié)構(gòu)，上述形狀的不同優(yōu)選的是基于這些結(jié)構(gòu)間的配置的不同。這里考慮到的刀尖的“形狀”是刀尖中的、頂點(diǎn)pp附近的部分，即對(duì)玻璃基板4的作用部分的形狀，離開該作用部分的部分的形狀通常并不重要。以下，為了避免冗長的說明，對(duì)于形成輔助線al所使用的刀尖的，有時(shí)不問其是刀尖51或者輔助刀尖，都簡稱為“刀尖”。

參照?qǐng)D18，接下來，通過與溝槽線tl的形成(圖6)類似的方法，以無裂紋狀態(tài)形成輔助溝槽線tla。參照?qǐng)D19，接下來，通過與沿著溝槽線tl的裂紋線cl的形成方法(圖8)類似的方法，形成沿著輔助溝槽線tla(圖18)的輔助溝槽線tla。根據(jù)以上而形成輔助線al(圖15)。

接下來，與實(shí)施方式三相同，在步驟s30以及s50(圖5)中，形成溝槽線tl(圖16)以及裂紋線cl(圖17)，在步驟s60(圖5)中，沿裂紋線cl將玻璃基板4分割。根據(jù)以上而進(jìn)行本實(shí)施方式的玻璃基板4的分割方法。

在本實(shí)施方式中，在形成溝槽線tl(圖16)的過程中施加于刀尖51的負(fù)荷比形成輔助溝槽線tla(圖18)的過程中施加于刀尖的負(fù)荷大。感覺本發(fā)明人的實(shí)驗(yàn)性的研究，通過如此在負(fù)荷中設(shè)置差異，能夠更可靠地產(chǎn)生裂紋線cl(圖17)。

優(yōu)選的是，形成溝槽線tl(圖16)時(shí)的角度ag2(圖1)比形成輔助溝槽線tla時(shí)的角度ag2(圖1)小。通過使用這樣的角度關(guān)系，特別是即使在輔助溝槽線tla的形成所用的刀尖為刀尖51、或者具有與刀尖51的形狀相同的形狀的輔助刀尖的情況下，也易于設(shè)置上述負(fù)荷的差異。其理由是，在刀尖的形狀相同的情況下，角度ag2越小，能夠以無裂紋狀態(tài)形成溝槽線tl(或者輔助溝槽線tla)的負(fù)荷越大。在形成溝槽線tl的過程中，若角度ag2過大，則難以同時(shí)兼顧以無裂紋狀態(tài)形成溝槽線tl、以及使用比形成輔助溝槽線tla時(shí)的負(fù)荷大的負(fù)荷。與此相對(duì)，在形成溝槽線tl(圖16)的過程中的角度ag2(圖1)比形成輔助溝槽線tla的過程中的角度ag2(圖1)小的情況下，在形成溝槽線tl中，易于使用比形成輔助溝槽線tla時(shí)的負(fù)荷大的負(fù)荷。由此，不再需要考慮對(duì)溝槽線tl所用的刀尖51應(yīng)用適合高負(fù)荷的刀尖設(shè)計(jì)、并且對(duì)輔助溝槽線tla所用的刀尖應(yīng)用適合低負(fù)荷的刀尖設(shè)計(jì)。由此，在形成輔助溝槽線tla中，能夠使用用于溝槽線tl的形成的刀尖51或者具有與其形狀相同的形狀的輔助刀尖。

在如上述那樣在角度ag2(圖1)中設(shè)置差異的情況下，作為用于形成輔助溝槽線tla的刀尖，優(yōu)選的是區(qū)別于用于形成溝槽線tl的刀尖51地準(zhǔn)備輔助刀尖。由此，能夠以刀尖51的角度ag2適合形成溝槽線tl的狀態(tài)固定刀尖51的姿勢(shì)。換言之，在輔助溝槽線tla的形成工序與溝槽線tl的形成工序之間，無需為了最好地適應(yīng)角度ag2的刀尖51的姿勢(shì)調(diào)整。

＜實(shí)施方式五＞

參照?qǐng)D20以及圖21，在本實(shí)施方式中，在形成溝槽線tl的過程中使用刀尖51，在形成輔助溝槽線tla的過程中，使用輔助刀尖51a作為在實(shí)施方式四中說明的輔助刀尖。刀尖51的形狀和輔助刀尖51a的形狀互不相同。例如，在頂點(diǎn)pp(參照?qǐng)D2)的附近，刀尖51以及輔助刀尖51a分別具有與棱線ps垂直的剖面上的棱線ps的角度ap以及apa，角度ap比角度apa大。此外，除此以外的結(jié)構(gòu)與上述實(shí)施方式四的結(jié)構(gòu)大致相同，因此不重復(fù)其說明。

根據(jù)本實(shí)施方式，在形成輔助溝槽線tla時(shí)和形成溝槽線tl時(shí)，使用具有不同的形狀的刀尖。由此，作為刀尖的形狀，在形成輔助溝槽線tla以及溝槽線tl的每一個(gè)的過程中，能夠使用適合相對(duì)較低的負(fù)荷的刀尖以及適合高負(fù)荷的刀尖。由此，在形成輔助溝槽線tla以及溝槽線tl時(shí)，能夠更可靠地獲得無裂紋狀態(tài)，并且，能夠更可靠地從輔助溝槽線tla以及溝槽線tl的每一個(gè)中產(chǎn)生輔助裂紋線cla以及裂紋線cl。

另外，在上述各實(shí)施方式中，雖然對(duì)上表面sf1的邊緣為長方形的情況進(jìn)行了圖示，但也可以使用其他形狀。此外，雖然對(duì)上表面sf1為平坦的情況進(jìn)行了說明，但上表面也可以彎曲。此外，雖然對(duì)溝槽線tl為直線狀的情況進(jìn)行了說明，但溝槽線tl也可以是曲線狀。雖然對(duì)使用玻璃基板4作為脆性基板的情況進(jìn)行了說明，但脆性基板也可以從玻璃以外的脆性材料中進(jìn)行制作，例如，可從陶瓷、硅、化合物半導(dǎo)體、藍(lán)寶石或者石英中進(jìn)行制作。