千米的絲線。未使用過的絲線230從供應(yīng)線圈134供應(yīng)至絲線導(dǎo)向器裝置210。此外，絲線管理單元130包括卷帶繞線管138，在所述卷帶繞線管138上重繞使用過的絲線240。絲線管理單元130可包括進(jìn)一步的裝置，諸如低慣性滑輪(未圖示)和用于絲線張力調(diào)整的張力臂(未圖示)。在一些實(shí)施方式中，在張力臂上提供數(shù)字編碼器。
[0059]每一絲線導(dǎo)向器圓筒112、114、116、118可連接至馬達(dá)單元10，諸如本文公開的(圖4中虛線圖示的馬達(dá)單元)。如圖4所圖示的實(shí)施方式中，兩個(gè)絲線導(dǎo)向器圓筒112、114直接由馬達(dá)單元10驅(qū)動(dòng)。
[0060]在操作期間，例如，在鋸切工藝期間，馬達(dá)單元10驅(qū)動(dòng)絲線導(dǎo)向器圓筒112、114，使得絲線導(dǎo)向器圓筒圍繞絲線導(dǎo)向器圓筒的縱軸旋轉(zhuǎn)。因此，絲線網(wǎng)200中的絲線被傳輸至絲線運(yùn)輸方向215、225上。
[0061]待鋸切的材料(例如，半導(dǎo)體材料塊306 (也稱為硅鑄錠))附接至固持器。舉例來說，塊306可安裝至圖4中未圖示的支撐機(jī)構(gòu)。為了鋸切塊306，朝向絲線網(wǎng)200降低塊306。絲線在絲線運(yùn)輸方向215、225上以相當(dāng)大的速度(例如，從10m/s至30m/s，具體介于15m/s和25m/s之間)運(yùn)輸。在絲線網(wǎng)200的工作區(qū)域220中，當(dāng)塊306經(jīng)擠壓抵靠絲線網(wǎng)200時(shí)，移動(dòng)絲線磨損半導(dǎo)體材料且因此將塊306鋸切成薄片。在半導(dǎo)體工業(yè)中，這類切片可(例如)用作晶片。與每次待鋸切的材料接觸的絲線網(wǎng)中絲線的總長(zhǎng)度可稱為有效絲線切割長(zhǎng)度。此外，待鋸切的材料降低至絲線網(wǎng)中的速度可稱為材料供應(yīng)速率。
[0062]圖5圖示根據(jù)實(shí)施方式的示例性非限制絲鋸裝置100的示意性頂視圖，所述絲鋸裝置100具有兩個(gè)絲線導(dǎo)向器圓筒112、114。未圖示待鋸切的物體，諸如如圖4中所圖示的塊306。絲線螺旋地圍繞絲線導(dǎo)向器圓筒112、114纏繞，且在兩個(gè)絲線導(dǎo)向器圓筒之間形成平行絲線的絲線網(wǎng)200(也稱為層)。絲線導(dǎo)向器圓筒112、114用合成樹脂層覆蓋且刻有槽，所述槽具有非常精確的幾何形狀和尺寸。槽之間的距離或槽的節(jié)距決定相鄰的兩串或兩行絲線之間的間距D1。這一距離Dl也決定絲鋸裝置切割的切片的最大厚度。晶片厚度可在60 μ m和220 μ m之間，而距離Dl則從180 μ m至400 μ m,具體地從300 μ m至360 μ m。根據(jù)實(shí)施方式的馬達(dá)單元10在絲線導(dǎo)向器圓筒112、114各自的軸20的端部21處直接連接至絲線導(dǎo)向器圓筒112、114。圖5中的絲鋸100在一個(gè)絲線導(dǎo)向器圓筒112、114處也配備僅一個(gè)馬達(dá)單元10。
[0063]圖4和圖5中的絲鋸裝置100僅視為根據(jù)實(shí)施方式的絲鋸裝置100的非限制性示例。其他示例可具有一個(gè)至四個(gè)絲線導(dǎo)向器圓筒112、114、116、118，且可具有一個(gè)至四個(gè)馬達(dá)單元10。在實(shí)施方式中，更高或更低數(shù)量的絲線導(dǎo)向器圓筒也可適用。
[0064]盡管上文針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式，然而可設(shè)計(jì)本發(fā)明的其他和進(jìn)一步的實(shí)施方式，而不脫離本發(fā)明的基本范圍，且本發(fā)明的范圍由隨附權(quán)利要求書決定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于絲鋸裝置的馬達(dá)單元(10)，所述馬達(dá)單元包含: 外殼(15), 可旋轉(zhuǎn)地提供于所述外殼(15)中的軸(20)， 具有定子(26)和轉(zhuǎn)子(27)的馬達(dá)(25)，所述定子固定至所述外殼(15)， 其中所述轉(zhuǎn)子(27)安裝至所述軸(20)且具有與所述軸相同的旋轉(zhuǎn)軸(A)，且其中所述軸和所述馬達(dá)(25)位于所述外殼(15)中。2.如權(quán)利要求1所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述馬達(dá)單元進(jìn)一步包含介于所述軸(20)和所述外殼(15)之間提供的至少一個(gè)滾動(dòng)軸承(30、32、34)。3.如權(quán)利要求1或2所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述外殼(15)包含用于使用冷卻劑冷卻所述至少一個(gè)滾動(dòng)軸承(30、32、34)的管道(38)。4.如前述任一權(quán)利要求所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述軸(20)包含用于使用冷卻劑內(nèi)部冷卻所述軸的至少一個(gè)通道(40)。5.如前述任一權(quán)利要求所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述馬達(dá)單元包含具有外環(huán)(33)的至少一個(gè)滾動(dòng)軸承(30、32、34)和多個(gè)滾動(dòng)元件(31)，其中所述滾動(dòng)元件與所述軸(20)直接機(jī)械接觸。6.如前述任一權(quán)利要求所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述可旋轉(zhuǎn)的軸(20)的至少一個(gè)端部(21)從所述外殼(15)中突出，且其中所述軸抵靠所述外殼使用空隙密封件(70)密封。7.如前述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述馬達(dá)(25)位于所述軸(20)的第一部分，且其中所述至少一個(gè)滾動(dòng)軸承(30、32、34)位于所述軸(20)的不同部分。8.如前述任一權(quán)利要求所述的馬達(dá)單元，其特征在于，至少兩個(gè)滾動(dòng)軸承(30、32、34)沿著不同于所述第一部分的所述軸(20)的一部分提供，所述轉(zhuǎn)子(27)安裝至所述第一部分。9.如前述任一權(quán)利要求所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述外殼(15)包含內(nèi)部部分(16)和外部部分(17)，且其中所述內(nèi)部部分沿著所述外部部分(17)的所述長(zhǎng)度的至少一部分突出，且其中用于冷卻劑的管道(38)提供于所述外殼(15)的所述內(nèi)部部分(16)的外部表面上。10.如前述任一權(quán)利要求所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述馬達(dá)單元進(jìn)一步包含鄰接于至少一個(gè)滾動(dòng)軸承(30、32、34)提供的至少一個(gè)振動(dòng)傳感器(50)。11.如權(quán)利要求10所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述馬達(dá)單元進(jìn)一步包含鄰接于至少一個(gè)滾動(dòng)軸承(30、32、34)提供的至少一個(gè)溫度傳感器(55)。12.如前述任一權(quán)利要求所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述馬達(dá)單元進(jìn)一步包含用于至少一個(gè)輥軸承(30、32、34)的涂油系統(tǒng)，所述涂油系統(tǒng)包括至少一個(gè)未使用過的油脂管道(82、84)和用于使用過的油脂的至少一個(gè)空間(86、88、90)。13.如權(quán)利要求1所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述馬達(dá)單元進(jìn)一步包含: 介于所述軸(20)和所述外殼(15)之間提供的至少一個(gè)滾動(dòng)軸承(30)，所述至少一個(gè)滾動(dòng)軸承(30)具有外環(huán)(33)和多個(gè)滾動(dòng)元件(31)，其中所述滾動(dòng)元件與所述軸(20)直接機(jī)械接觸， 用于使用冷卻劑冷卻所述至少一個(gè)滾動(dòng)軸承(30、32、34)的至少一個(gè)管道(38)，所述管道提供于所述外殼(15)中， 用于使用冷卻劑內(nèi)部冷卻所述軸(20)的至少一個(gè)通道(40)， 用于所述至少一個(gè)輥軸承(30、32、34)的涂油系統(tǒng)(80)，所述涂油系統(tǒng)(80)包括至少一個(gè)未使用過的油脂管道(82、84)和用于使用過的油脂的至少一個(gè)空間(86、88、90)。14.如權(quán)利要求13所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述可旋轉(zhuǎn)的軸(20)的至少一個(gè)端部(21)從所述外殼(15)中突出出來，且其中所述軸抵靠所述外殼使用空隙密封件(70)密封。15.如權(quán)利要求13或14所述的馬達(dá)單元，其特征在于，至少兩個(gè)滾動(dòng)軸承(30、32、34)沿著不同于所述第一部分的所述軸(20)的一部分提供，所述轉(zhuǎn)子(27)安裝至所述第一部分。16.如權(quán)利要求13至15所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述外殼(15)包含內(nèi)部部分(16)和外部部分(17)，且其中所述內(nèi)部部分沿著所述外部部分(17)的所述長(zhǎng)度的至少一部分突出，且其中用于冷卻劑的管道(38)提供于所述外殼(15)的所述內(nèi)部部分(16)的外部表面上。17.如前述任一權(quán)利要求所述的馬達(dá)單元，其特征在于，所述馬達(dá)(25)為扭矩馬達(dá)，適用于傳輸至少20Nm的扭矩。18.—種絲鋸裝置(100)，所述絲鋸裝置(100)包含權(quán)利要求1至17中任一項(xiàng)所述的馬達(dá)單元(10)。19.在絲鋸裝置(100)中對(duì)如權(quán)利要求1至17中任一項(xiàng)所述的馬達(dá)單元(10)的使用。20.如權(quán)利要求19所述的對(duì)馬達(dá)單元(10)的使用，其特征在于，所述絲鋸裝置(100)適用于鋸切硅、石英和藍(lán)寶石中的至少一個(gè)的塊，從而獲得多個(gè)晶片。
【專利摘要】本發(fā)明涉及用于絲鋸裝置的馬達(dá)單元、絲鋸裝置和馬達(dá)單元的使用。用于絲鋸裝置的馬達(dá)單元(10)包含外殼(15)、可旋轉(zhuǎn)地提供于所述外殼(15)中的軸(20)、具有定子(26)和轉(zhuǎn)子(27)的馬達(dá)(25)，其中所述定子固定至所述外殼(15)，且其中所述轉(zhuǎn)子(27)固定至所述軸(20)且具有與所述軸相同的旋轉(zhuǎn)軸(A)，且其中所述軸和所述馬達(dá)(25)位于所述外殼(15)中。進(jìn)一步來說，提出對(duì)這一馬達(dá)單元和包括這一馬達(dá)單元(10)的絲鋸裝置(100)的使用。
【IPC分類】B28D5/04
【公開號(hào)】CN104999575
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410323259
【發(fā)明人】A·米塔茲, A·施密特, C·O·布盧姆
【申請(qǐng)人】應(yīng)用材料瑞士有限責(zé)任公司
【公開日】2015年10月28日
【申請(qǐng)日】2014年7月8日
【公告號(hào)】CN204054378U, EP2937165A1