框架或升降塊；第1滑動導(dǎo)向， 安裝在所述第1驅(qū)動塊，以便隨著所述第1軌道移動；以及第2滑動導(dǎo)向，安裝在所述第2 驅(qū)動塊，以便隨著所述第2軌道移動。在此，在所述第1軌道及第2軌道上形成突出或槽溝， 以便向?qū)У?滑動導(dǎo)向及第2滑動導(dǎo)向移動較好。
[0029] 根據(jù)這種構(gòu)成，與升降塊的移動毫無關(guān)系的，在鋸絲的行進(jìn)方向上晶錠不需左右 并進(jìn)移動而可以擺動，而且通過一個驅(qū)動塊可以避免晶錠擺動及左右并進(jìn)移動，由此結(jié)構(gòu) 及控制變得簡易。
【附圖說明】
[0030] 圖1是采用根據(jù)本發(fā)明的晶錠擺動單位的線鋸整體構(gòu)成的示意正視圖。
[0031] 圖2是采用根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的線鋸的詳細(xì)正視圖。
[0032] 圖3是采用根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的線鋸側(cè)面圖。
[0033] 圖4是采用根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的線鋸部分截面圖。
[0034] 圖5是采用根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的線鋸平面圖。
[0035] 圖6是可以采用根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的一例，顯示滑動導(dǎo)向的斜視圖。
[0036] 圖7是可以采用根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的一例，顯示錠架的部分分離斜視圖。
[0037] 圖8是切開圖4的A-A線顯示的根據(jù)本發(fā)明的線鋸截面圖。
[0038] 圖9是在根據(jù)本發(fā)明的線鋸中，用于說明晶錠擺動的圖面，圖9的（a)是晶錠沿著 鋸絲向右側(cè)擺動的狀態(tài)截面圖，圖（b)是晶錠位于中央的狀態(tài)截面圖，以及圖（C)是晶錠沿 著鋸絲向左側(cè)擺動的狀態(tài)截面圖。
[0039] 圖10是通過根據(jù)本發(fā)明的第1驅(qū)動塊的定速控制，對于擺動角度顯示角速度變化 的圖形。
[0040] 圖11是根據(jù)晶錠切割點的變化，用于說明負(fù)載變化的概念圖。
[0041] 圖12是根據(jù)在鋸絲接觸的晶錠切割點的變化，顯示負(fù)載變化的圖形。
[0042] [附圖標(biāo)記說明]
[0043] I:晶錠 R1，R2:導(dǎo)輪
[0044] 1 :線鋸 3 :框架
[0045] 5:晶錠切斷單位 7 :晶錠升降單位
[0046] 9:晶錠擺動單位 31 :基座框架
[0047] 33 :支柱 35 :升降導(dǎo)軌
[0048] 37 :移送螺絲 39 :移送馬達(dá)
[0049] 51 :據(jù)絲 53 :據(jù)絲移送機(jī)構(gòu)
[0050] 71 :滑塊 73 :升降塊
[0051] 80 :擺動框架 82 :第1軌道
[0052] 85 :側(cè)臺面 86 :第2軌道
[0053] 100 :第1驅(qū)動塊 103 :第1滑動導(dǎo)向
[0054] 110:第2驅(qū)動塊 113:第2滑動導(dǎo)向
[0055] 120:錠架 121 :晶錠安裝器
[0056] 123 :旋轉(zhuǎn)臂 124 :第1樞軸軸
[0057] 125 :第2樞軸軸 140 :擺動馬達(dá)
[0058] 144 :小齒輪 146 :齒條
[0059] 160 :晶錠固定單位161 :工作板
[0060] 163 :虛擬梁
【具體實施方式】
[0061] 在采用根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的線鋸中，對術(shù)語的意義進(jìn)行說明。在根據(jù)本發(fā)明 的擺動單位的說明中使用的"切斷平面"是指，由鋸絲切斷晶錠的平面，與晶錠的切斷方向 平行，并垂直于鋸絲行進(jìn)方向的平面。而且關(guān)于根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的說明及顯示，晶錠 切斷方向是Z軸方向，鋸絲行進(jìn)方向是Y軸方向，以及垂直切斷平面的方向是X軸方向，而 且左邊或左側(cè)、或者右邊或右側(cè)是指在Y軸方向上的左邊或左側(cè)、或者右邊或右側(cè)，上面或 上側(cè)、或者下面或下側(cè)是指在Z軸方向上的上面或上側(cè)、或者下面或下側(cè)，前方或前面、或 者后方或后面是指在X軸方向上前方或前面、或者后方或后面。
[0062] 以下結(jié)合附圖，以根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，對線鋸進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0063] 圖1是采用根據(jù)本發(fā)明的晶錠擺動單位的線鋸整體構(gòu)成的示意正視圖。
[0064] 參照圖1，線鋸1包括在框架3上設(shè)置的切斷單位5、升降單位7及擺動單位9。在 此，除了所述擺動單位9和升降單位7以外，與公知的現(xiàn)有線鋸相互相同。
[0065] 所述切斷單位5包括導(dǎo)輪RUR2,鋸絲51及鋸絲移送機(jī)構(gòu)53。所述導(dǎo)輪RUR2是 由2個形成一對相互平行的設(shè)置在框架3上，并由馬達(dá)驅(qū)動。優(yōu)選地，在其外周面形成導(dǎo)溝 (未圖示）時，鋸絲51被圓滑地導(dǎo)向切斷區(qū)域。
[0066] 所述鋸絲移送機(jī)構(gòu)53包括送出卷筒11、導(dǎo)向滑輪13、張力滑輪15及卷取卷筒17。 如公知所示，在送出卷筒11卷繞長50~IOOkm的鋸絲51，通過馬達(dá)11-1從送出卷筒11解 下鋸絲51經(jīng)過多個導(dǎo)向滑輪13,經(jīng)過張力滑輪15,經(jīng)過附著有張力測定用稱重傳感器19 的導(dǎo)向滑輪，依序卷掛在導(dǎo)輪R1、R2的導(dǎo)溝上形成鋸絲列，在經(jīng)過多個導(dǎo)向滑輪13,通過附 著有稱重傳感器19的導(dǎo)向滑輪，經(jīng)過張力滑輪15'，鋸絲51卷繞在借馬達(dá)17-1旋轉(zhuǎn)的卷取 卷筒17上。而且，內(nèi)置張力臂21及編碼器的馬達(dá)20、20'振動張力滑輪15、15'，由此鋸絲 51以一定的張力卷繞在導(dǎo)輪R1、R2上。這種鋸絲移送機(jī)構(gòu)53是由控制單位（未圖示）控 制，用于切割晶錠I的鋸絲51在導(dǎo)輪R1、R2之間具有一定的張力以300~1200m/min的速 度向單方向或向雙方向往復(fù)行進(jìn)，接著向行進(jìn)的鋸絲51移送晶錠I，由此按相當(dāng)于鋸絲之 間間隔的厚度被切斷制作成晶片。
[0067] 所述鋸絲51可以使用碳含量0. 8~0. 9質(zhì)量％、直徑80~180ym的鋼琴鋼絲。 而且，在所述鋸絲51上，可以電鍍像金剛石一樣的研磨劑直接附著在鋸絲51，或與冷卻用 切割加工液一起以泥漿形態(tài)提供給鋸絲51。此時，所述切割加工液可以將水作為主成分，或 是可以混合其它本發(fā)明領(lǐng)域中公知的切割劑，且通過栗（未圖示）經(jīng)過具有電磁閥的管道 (未圖示）及噴嘴23提供給鋸絲51。
[0068] 圖2是采用根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的線鋸的詳細(xì)正視圖，而且圖3是采用根據(jù)本 發(fā)明的擺動單位的線鋸側(cè)面圖。
[0069] 參照圖2和圖3,框架3具備安裝導(dǎo)輪RUR2的基座框架31，和從所述基座框架31 以向上突出的形狀配置的支柱33。
[0070] 在所述基座框架31上，導(dǎo)輪RUR2的主軸53是由軸承55承軸。而且，在所述支 柱33上，向Z軸方向（晶錠的切斷方向）配置2個升降軌道35以便升降單位7移動，并為 了向移送螺絲37 (參照圖4)傳達(dá)動力，設(shè)置與減速器38連接的升降馬達(dá)39。在所述減速 器38的軸端安裝有驅(qū)動滑輪38a，并在移送螺絲37 (參照圖4)的軸端安裝有從動滑輪37a， 而且作為傳動手段在所述驅(qū)動滑輪38a和從動滑輪37a上圍繞著同步帶34。
[0071] 所述升降單位7包括滑動導(dǎo)向71、升降塊73及擺動框架80。為使所述滑動導(dǎo) 向71在升降軌道35上下移動，以4個為一組一體設(shè)置在升降塊73上，而且，為使升降塊 73向Z方向移動，移送螺絲37設(shè)置在升降塊73上。在此，所述滑動導(dǎo)向71可以夾在燕尾 (dovetail)槽而具有在升降軌道35上滑動的結(jié)構(gòu)，或是具有滾動軸承在升降軌道35上作 為無粘滑現(xiàn)象（Stickslide)地移動的軸承導(dǎo)向（參照圖6)，亦可以由本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域 中其它已公知使用的多種形狀、結(jié)構(gòu)或其組合構(gòu)成。
[0072] 所述擺動框架80是根據(jù)本發(fā)明的一較佳實施例，是用于說明并顯示擺動單位9， 顯然根據(jù)擺動單位9的構(gòu)成及結(jié)構(gòu)其形狀及結(jié)構(gòu)也可以采取多種變形，只是作為實施根據(jù) 本發(fā)明的擺動單位9的較佳實施例，擺動框架80在其下側(cè)設(shè)置擺動單位9,并開放以便形成 擺動空間，而且包括基本臺面81和側(cè)臺面85,整體上形成
截面形狀。
[0073] 所述基本臺面81是從升降塊73向前方曲折突出的形狀，在其底面向Y軸方向設(shè) 置兩個第1軌道82。而且，在所述基本臺面設(shè)置與減速器142連接的擺動馬達(dá)140,并在所 述減速器142的輸出端設(shè)置有小齒輪144。
[0074] 所述側(cè)臺面85是從升降塊73向下側(cè)突出延長的形狀，在其正面向Z軸方向設(shè)置 第2軌道86。如此在擺動框架80安裝擺動單位9,由控制單位（未圖示）驅(qū)動升降馬達(dá)39 時，通過移送螺絲37的旋轉(zhuǎn)及升降單位7的上下移動，擺動單位9也一起移動。
[0075] 圖4是采用根據(jù)本發(fā)明的擺動單位的線鋸部分截面圖。
[0076] 參照圖3及圖4,根據(jù)本發(fā)明觀點的擺動單位9包括：第1驅(qū)動塊110和第2驅(qū)動 塊110,向相互垂直的方向移動；錠架120,連接于所述第1驅(qū)動塊100及第2驅(qū)動塊110， 以便可以隨著第1驅(qū)動塊1〇〇和第2驅(qū)動塊110中至少一個的移動而擺動。而且，根據(jù)本 發(fā)明另一觀點的擺動單位9可以包括：第1驅(qū)動塊100,向平行鋸絲51行進(jìn)的方向移動；錠 架120,與所述第1驅(qū)動塊100以樞軸軸124連接；以及第2驅(qū)動塊11