，或是角形或其它多種形狀晶錠的情形。
[0092] 圖9是如圖8所示，在根據(jù)本發(fā)明的線鋸中，用于說明晶錠擺動的圖面，圖9的（a) 是晶錠沿著鋸絲向右側(cè)擺動的狀態(tài)截面圖，圖（b)是晶錠位于中央的狀態(tài)截面圖，以及圖 (c)是晶錠沿著鋸絲向左側(cè)擺動的狀態(tài)截面圖。
[0093] 參照圖9的（a)，第1驅(qū)動塊100從中央向左側(cè)移動時，第2驅(qū)動塊110 (參照圖4) 向上移動，第1樞軸軸124以旋轉(zhuǎn)中心01為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動，并與第1驅(qū)動塊100 -起 向左側(cè)進(jìn)行并進(jìn)運動，而且第2樞軸軸125也以旋轉(zhuǎn)中心02為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動，并與第2 驅(qū)動塊110 (參照圖4) 一起向上進(jìn)行并進(jìn)運動。此時，由于第1樞軸軸124和第2樞軸軸 125之間的距離￡保持一定，按相當(dāng)于第1樞軸軸124并進(jìn)運動距離的角度a，錠架120以 第1樞軸軸124為擺動中心軸向逆時針方向擺動。而且，根據(jù)錠架120的擺動，晶錠I也向 逆時針方向擺動，則根據(jù)晶錠I的擺動，邊改變晶錠I和鋸絲51的切割點C1，邊進(jìn)行晶錠I 的切割。此時，如上所述，因為在晶錠I的擺動中沒有Z方向上的升降塊73(參照圖4)移 動，第1樞軸軸124和第2樞軸軸125之間的距離t保持一定，且第1樞軸軸124和鋸絲51 之間的距離Z〇保持一定，因此在1次擺動中，從第1樞軸軸124到晶錠切割點的距離Z〇 作為擺動半徑，在晶錠I形成圓弧狀的切割剖面P。而且，晶錠I的切割點Cl向與第1驅(qū)動 塊100的移動方向，或第1樞軸軸124的并進(jìn)運動方向相同的方向，即向左側(cè)移動。
[0094] 另外，第1驅(qū)動塊100從左側(cè)向中央移動時，與上述的說明相反的進(jìn)行動作。艮口， 第2驅(qū)動塊110 (參照圖）向下移動，第1樞軸軸124進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動，并與第1驅(qū)動塊100 - 起從左側(cè)到中央向右側(cè)進(jìn)行并進(jìn)運動，而且第2樞軸軸125也進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動，并與第2驅(qū)動 塊11〇(參照圖4) 一起向下進(jìn)行并進(jìn)運動。而且，按相當(dāng)于第1樞軸軸124并進(jìn)運動距離 的角度，錠架120以第1樞軸軸124為擺動中心軸向順時針方向擺動。而且，根據(jù)錠架120 的擺動，晶錠I也向順時針方向擺動，則根據(jù)晶錠I的擺動，邊改變晶錠I和鋸絲51的切割 點，邊進(jìn)行晶錠I的切割。而且，在1次擺動中，從第1樞軸軸124到晶錠I切割點的距離 Z〇作為擺動半徑，在晶錠I形成圓弧狀的切割剖面P，且晶錠I的切割點向與第1驅(qū)動塊 100或第1樞軸軸124的并進(jìn)方向相同的方向，即向右側(cè)移動。
[0095] 參照圖9的（b)，第1樞軸軸124和第2樞軸軸125分別位于Z軸方向的其延長線 上的位置，晶錠I的切割點C〇也位于晶錠切割剖面的中央部。
[0096] 參照圖9的（c)，第1驅(qū)動塊100從中央部向右側(cè)移動時，第2驅(qū)動塊110 (參照 圖4)向上移動，第1樞軸軸124進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動，并與第1驅(qū)動塊100 -起從中央部向右側(cè) 進(jìn)行并進(jìn)運動，而且第2樞軸軸125也進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動，并與第2驅(qū)動塊110 (參照圖4) 一起 向上進(jìn)行并進(jìn)運動。而且，按相當(dāng)于第1樞軸軸124并進(jìn)運動距離的角度a，錠架120以 第1樞軸軸124為擺動中心軸向順時針放心擺動。而且，根據(jù)錠架120的擺動，晶錠I也向 順時針方向擺動，則根據(jù)晶錠I的擺動，邊改變晶錠I和鋸絲51的切割點C2,邊進(jìn)行晶錠I 的切割。而且，在1次擺動中，從第1樞軸軸124到晶錠I切割點C2的距離Z〇作為擺動 半徑，在晶錠I形成圓弧狀的切割剖面P，且晶錠I的切割點C2向與第1驅(qū)動塊100或第1 樞軸軸124的并進(jìn)運動方向相同的方向，即向右側(cè)移動。
[0097] 而且，第1驅(qū)動塊100從右側(cè)向中央部移動時，第2驅(qū)動塊110(參照圖4)向下移 動，第1樞軸軸124進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動，并與第1驅(qū)動塊100 -起從右側(cè)向中央部進(jìn)行并進(jìn)運動， 而且第2樞軸軸125也進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動，并與第2驅(qū)動塊110 (參照圖4) 一起向下進(jìn)行并進(jìn) 運動。而且，按相當(dāng)于第1樞軸軸124并進(jìn)運動距離的角度，錠架120以第1樞軸軸124為 擺動中心軸向逆時針方向擺動。而且，根據(jù)錠架120的擺動，晶錠I也向逆時針方向擺動， 則根據(jù)晶錠I的擺動，邊改變晶錠I和鋸絲51的接觸點，邊進(jìn)行晶錠I的切割。而且，在1 次擺動中，從第1樞軸軸124到晶錠I切割點的距離作為擺動半徑，在晶錠I形成圓弧狀的 切割剖面P，且晶錠I的切割點向與第1驅(qū)動塊100或第1樞軸軸124的并進(jìn)運動方向相同 的方向移動。
[0098] 如參照圖1至圖9的說明，在根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例中，擺動單位9是，錠架120 配置在第1驅(qū)動塊100和第2驅(qū)動塊110之間，第1驅(qū)動塊100和第2驅(qū)動塊110向相互垂 直的方向移動，以第1樞軸軸124和第2樞軸軸125為媒介錠架120與驅(qū)動塊100、110連 接，并根據(jù)第1樞軸軸124和第2樞軸軸125的旋轉(zhuǎn)運動及并進(jìn)運動，錠架120可以擺動， 只移動一個第1驅(qū)動塊100,即通過第1驅(qū)動塊100的擺動馬達(dá)140 -個的控制，可以擺動 晶錠I，同時在鋸絲51行進(jìn)方向上減小晶錠I的并進(jìn)移動，尤其是，第2樞軸軸125位于晶 錠I的中心時，在鋸絲51行進(jìn)方向上可以消除晶錠I的并進(jìn)移動。
[0099] 如上所述，根據(jù)本發(fā)明的擺動單位9為例，與在鋸絲51行進(jìn)方向上使晶錠I單純 地向左右進(jìn)行振子運動的現(xiàn)有擺動不同，在鋸絲的行進(jìn)方向（Y軸方向）上減小晶錠I的左 右移動，并允許上下移動來實現(xiàn)以接近點接觸的接觸長度可以切割晶錠I的擺動（以下稱 為"提升擺動（LIFT-UPswing)")。由根據(jù)本發(fā)明的擺動單位9實現(xiàn)的提升擺動是，根據(jù)晶 錠I切割點上的角速度變化及作用負(fù)載變化，減小晶錠I的移動，同時對晶錠I的切割優(yōu)化 更有利，以下結(jié)合附圖，進(jìn)行更詳細(xì)的說明。
[0100] 參照圖9,第1驅(qū)動塊100的移動距離是Sy，第2驅(qū)動塊110的移動距離是Sz，擺 動角度是a以及第1樞軸軸和第2樞軸軸125中心之間的距離是I時，第1驅(qū)動塊100移 動的距離如同下述數(shù)學(xué)式3。
[0101] [數(shù)學(xué)式3]
[0102]
[0103] 而且，第1驅(qū)動塊100移動時，第2驅(qū)動塊110所移動的距離Sz是.〖?（1 -cosa)0
[0104] 如上述美國專利第4, 646, 710號的揭示，利用數(shù)學(xué)式2,可以確定以接近點接觸的 切割剖面用于切割晶錠I的最大曲率半徑，而且已知晶錠I的大小時，在所述數(shù)學(xué)式3中， 可以確定第1樞軸軸和第2樞軸軸125中心之間的距離尤，進(jìn)而確定擺動角度時，可以確定 第1驅(qū)動塊100需要移動的距離。
[0105] 另一方面，第1驅(qū)動塊100的移動速度是V，晶錠I的旋轉(zhuǎn)速度，即擺動角速度為 ?時，第1驅(qū)動塊100的速度如同數(shù)學(xué)式4。
[0106] [數(shù)學(xué)式4]
[0107]
[0108] 在所述數(shù)學(xué)式4中，第1驅(qū)動塊100以一定的速度V移動時，晶錠I的旋轉(zhuǎn)速度， 即擺動角速度《是？ / ( ￡ *COSCl)。
[0109] 圖10是通過根據(jù)本發(fā)明的第1驅(qū)動塊的定速控制，對于擺動角度顯示角速度變化 的圖形。在圖10顯示的圖形是在數(shù)學(xué)式4中，第1驅(qū)動塊100的速度V是10mm/sec及第 1樞軸軸124和第2樞軸軸125中心之間的距離I是400mm時，顯示晶錠的擺動角速度《 分布。
[0110] 參照圖10,在所述數(shù)學(xué)式4可以看出，第1驅(qū)動塊100以一定的速度V移動時，晶 錠I的旋轉(zhuǎn)速度，即擺動角速度《跟余弦值成反比而變大。因此，根據(jù)本發(fā)明的擺動單位9 為例，將第1驅(qū)動塊100的速度V以數(shù)學(xué)式4的余弦值控制時，可將晶錠I的旋轉(zhuǎn)速度，SP 擺動角速度《保持一定。而且，考慮通過擺動馬達(dá)140(參照圖4)的第1驅(qū)動塊100的控 制時，自然地增加或減小第1驅(qū)動塊100的速度V較好。根據(jù)本發(fā)明的擺動單位9為例，根 據(jù)余弦值可將第1驅(qū)動塊100的速度V自然地增加或減小較好，尤其第1驅(qū)動塊100在Y 軸方向上隨著往復(fù)移動改變方向時，即在Y軸方向上在其左側(cè)末端或由右側(cè)末端能自然地 擺動晶錠I較好。
[0111] 另一方面，如圖9所示，通過根據(jù)本發(fā)明的擺動單位切割晶錠時，晶錠和鋸絲的切 割點CUCO、C2 (參照圖9)向第1驅(qū)動塊100移動的方向移動，并且從所述數(shù)學(xué)式4可以 看出，第1驅(qū)動塊100具有從中央越靠左側(cè)或右側(cè)，其擺動角速度co變大的速度剖面，因 此根據(jù)這種切割點的變化及速度剖面的晶錠切斷工序，對于晶錠I切割環(huán)境或工序條件變 化，更積極地有利于晶錠切斷工序的優(yōu)化，以下結(jié)合圖11和圖12進(jìn)行說明。
[0112] 圖11是根據(jù)晶錠切割點的位置，用于說明負(fù)載變化的概念圖，根據(jù)本發(fā)明切割晶 徒時，對于晶徒的切割點從中央向左側(cè)移動的狀態(tài)，圖9的（a)及（b)相互相同，在圖9的 (a)及（b)使用了相同意義的相同參照符號，只是為了便于說明及理解只顯示了其代表性 部件，如圖9(a)的晶錠用實線來表示，如圖9(b)的晶錠用虛線來表示。
[0113] 參照圖11，鋸絲51是由兩個導(dǎo)輪RUR2向?qū)?，并在其間以高速行進(jìn)，