多線切割設(shè)備晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及多線切割設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及多線切割設(shè)備晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，多線切割技術(shù)是世界上比較先進(jìn)的晶錠加工技術(shù)，其原理是通過一根高速運(yùn)動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對晶片等硬脆材料進(jìn)行摩擦，從而達(dá)到切割效果O
[0003]多線切割在進(jìn)行晶錠加工過程中，有些材料的晶錠需要按特定的晶向切割，這需要調(diào)整工件的切割晶向。傳統(tǒng)的晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)存在一些問題，如結(jié)構(gòu)復(fù)雜、調(diào)節(jié)精度低、剛性差等。
[0004]為保證晶錠切割質(zhì)量，亟需一種結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)整精度高、剛度好的晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是針對上述技術(shù)問題，提供結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)整精度高、剛度好的晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)，通過螺紋傳動和杠桿聯(lián)動，實(shí)現(xiàn)俯仰角度調(diào)節(jié);通過螺紋傳動和齒輪齒條嚙合，實(shí)現(xiàn)水平角度調(diào)節(jié)；兩個方向調(diào)節(jié)相互獨(dú)立，互不干涉，提高了調(diào)整機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性及調(diào)整精度，保證晶錠加工質(zhì)量。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)方案:
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供多線切割設(shè)備晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括上板，下板，設(shè)置在上板與下板之間的俯仰調(diào)整裝置，固定在上板下部的大齒輪，與大齒輪配合的水平調(diào)整裝置，連接在上板與下板之間的拉伸彈簧。
[0007]其中，大齒輪通過上轉(zhuǎn)軸、壓蓋與上板鉸接;大齒輪的下表面兩側(cè)設(shè)置有平行的大齒輪凸臺，下板的上表面兩側(cè)設(shè)置有平行的下板凸臺，大齒輪凸臺與下板凸臺通過下轉(zhuǎn)軸鉸接;俯仰調(diào)整裝置上的傳動板嵌入下板前端的長槽內(nèi)，水平調(diào)整裝置上的傳動齒條與大齒輪嚙合。
[0008]進(jìn)一步地，所述的俯仰調(diào)整裝置還包括傳動螺母、鎖母、下螺桿及小轉(zhuǎn)軸;傳動螺母安裝在上板前端設(shè)置的弧形槽內(nèi)，傳動螺母的外螺紋與鎖母螺紋連接，其內(nèi)螺紋與下螺桿上端的螺紋連接;下螺桿的下端通過小轉(zhuǎn)軸與傳動塊鉸接;上板、傳動螺母、下螺桿、小轉(zhuǎn)軸、傳動塊及下板形成杠桿，實(shí)現(xiàn)上板與下板聯(lián)動。
[0009]進(jìn)一步地，所述的水平調(diào)整裝置還包括支撐座、上螺桿，上螺桿固定在與支撐座螺紋連接上;傳動齒條右端的一端開有與上螺桿螺紋連接的通孔，其左端另一端的是齒條與大齒輪嚙合的齒條;傳動齒條的上端上側(cè)面設(shè)置有齒條凸起，齒條凸起限位在與上板上的滑動槽滑動連接內(nèi)，齒條凸起可以限制傳動齒條的調(diào)節(jié)范圍。
[0010]進(jìn)一步地，所述的上轉(zhuǎn)軸的下端通過螺釘固定在大齒輪中央，其上端與壓蓋通過螺釘固定。
[0011]進(jìn)一步地，所述的上板的中央設(shè)置有階梯孔，壓蓋嵌入上板的階梯孔內(nèi)。
[0012]進(jìn)一步地，所述的大齒輪下表面兩側(cè)的大齒輪凸臺與下板上表面兩側(cè)的下板凸臺的對應(yīng)位置設(shè)置有下板緊固孔;所述的大齒輪上端面與上板的對應(yīng)位置設(shè)置有上板緊固孔;下板緊固孔用于下板的鎖緊，上板緊固孔用于上板的鎖緊。
[0013]進(jìn)一步地，所述的鎖母緊貼上板下部，其環(huán)向設(shè)置有頂絲，以限制鎖母的軸向位移;所述的傳動螺母的下端為外六方形，人員調(diào)整操作方便。
[0014]進(jìn)一步地，所述的上螺桿的前端為外六方形，人員調(diào)整操作方便。
[0015]上述多線切割設(shè)備晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)使用方法，包括以下步驟:
SI，轉(zhuǎn)動傳動螺母，下螺桿上、下伸縮，傳動塊在下板的前端的長槽內(nèi)前、后移動，下板以下轉(zhuǎn)軸為中心俯仰轉(zhuǎn)動α度；
S2，調(diào)整至合理的俯仰角度后，使用螺釘將下板緊固孔鎖緊；
S3，轉(zhuǎn)動上螺桿，傳動齒條在上螺桿的旋轉(zhuǎn)帶動下前、后移動，傳動齒條帶動大齒輪旋轉(zhuǎn)，大齒輪帶動下方的俯仰調(diào)整裝置及下板一起水平轉(zhuǎn)動β度；
S4，調(diào)整至合理的水平角度后，使用螺釘將上板緊固孔鎖緊。
[00? 0]進(jìn)一步地，所述的俯仰轉(zhuǎn)動α、水平轉(zhuǎn)動β的調(diào)節(jié)范圍是±10。。
[0017]本發(fā)明有益效果:
本發(fā)明提供的多線切割設(shè)備晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)應(yīng)用于晶錠加工技術(shù)領(lǐng)域，通過螺紋傳動和杠桿聯(lián)動，實(shí)現(xiàn)俯仰角度調(diào)節(jié);通過螺紋傳動和齒輪齒條嚙合，實(shí)現(xiàn)水平角度調(diào)節(jié);兩個方向調(diào)節(jié)相互獨(dú)立，互不干涉，提高了調(diào)整機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性及調(diào)整精度，保證晶錠加工質(zhì)量。
【附圖說明】
[0018]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是圖1通過下螺桿的剖視圖；
圖3是本發(fā)明的左視半剖面圖；
圖4是本發(fā)明的仰視圖；
圖5是本發(fā)明之傳動塊結(jié)構(gòu)示意圖；
圖6是本發(fā)明之傳動塊與下板裝配關(guān)系示意圖；
圖7是圖1通過下轉(zhuǎn)軸的剖視圖。
[0019]其中:
1.上板;2.傳動螺母;3.鎖母;4.下螺桿;5.大齒輪;6.傳動塊;7.下板;8.下轉(zhuǎn)軸;9.拉伸彈簧；10.支撐座；11.上轉(zhuǎn)軸；12.壓蓋；13.上螺桿；14.傳動齒條；15.小轉(zhuǎn)軸；16.下板緊固孔;17.上板緊固孔;18.大齒輪凸臺；19.下板凸臺；20.鉸孔;21.長槽;22.齒條凸起。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對本發(fā)明的多線切割設(shè)備晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明:
圖1所示多線切割設(shè)備晶向調(diào)整機(jī)構(gòu)包括上板1，下板7，設(shè)置在上板I與下板7之間的俯仰調(diào)整裝置，固定在上板I下部的大齒輪5，與大齒輪5配合的水平調(diào)整裝置，連接在上板I與下板7之間的拉伸彈簧9。
[0021]其中，大齒輪5與上板I鉸接;大齒輪5的下端兩側(cè)設(shè)置有平行的大齒輪凸臺18，下板7的上部兩側(cè)設(shè)置有平行的下板凸臺19，大齒輪凸臺18與下板凸臺19通過下轉(zhuǎn)軸8鉸接；俯仰調(diào)整裝置上的傳動板6嵌入下板7前端的長槽21內(nèi)，水平調(diào)整裝置上的傳動齒條14與大齒輪5嚙合。
[0022]俯仰調(diào)整裝置還包括傳動螺母2、鎖母3、下螺桿4及小轉(zhuǎn)軸15;圖2是圖1通過下螺桿的剖視圖，傳動螺母2安裝在上板I前端設(shè)置的弧形槽內(nèi)，傳動螺母2的外螺紋與鎖母3螺紋連接，其內(nèi)螺紋與下螺桿4上端的螺紋連接；下螺桿4的下端通過小轉(zhuǎn)軸15與傳動塊6鉸接。
[0023]圖3是本發(fā)明的左視半剖面圖，上轉(zhuǎn)軸11的下端通過螺釘固定在大齒輪5中央，其上端與壓蓋12通過螺釘固定;上板I的中央設(shè)置有階梯孔，壓蓋12嵌入上板I的階梯孔內(nèi)；大齒輪5通過上轉(zhuǎn)軸11、壓蓋12與上板I鉸接。
[0024]圖4是本發(fā)明的仰視圖，水平調(diào)整裝置還包括支撐座10、上螺桿13。其中，支撐座10固定在上板I的下表面上、大齒輪5的一側(cè)，上螺桿13連接在支撐座10上;傳動齒條14右端與上螺桿13螺紋連接，其左端的齒條與大齒輪5嚙合。
[0025]圖5是本發(fā)明之傳動塊結(jié)構(gòu)示意圖，傳動塊6包括橫板及與其垂直的豎板，豎板上設(shè)置有鉸孔20，傳動塊6上橫板的尺寸與下板7上長槽21的尺寸配合設(shè)置。圖6是傳動塊6與下板7的裝配關(guān)系示意圖。
[0026]圖7是圖1通過下轉(zhuǎn)軸的剖視圖，傳動齒條14的上端設(shè)置有齒條凸起22，齒條凸起22限位在上板I上的滑動槽內(nèi)。
[0027]所述的大齒輪5下端兩側(cè)的大齒輪凸臺18與下板7上部兩側(cè)的下板凸臺19的對應(yīng)位置設(shè)置有下板緊固孔16;所述的大齒輪5上端面與上板I的對應(yīng)位置設(shè)置有上板緊固孔1