單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒?br>【專利摘要】本發(fā)明公開了一種單段硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒?，單段硅棒截?cái)鄼C(jī)包括：機(jī)座；硅棒輸送臺，設(shè)于所述機(jī)座的切割區(qū)，用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)所述硅棒沿著所述硅棒的軸向進(jìn)行輸送；單段切割設(shè)備，包括：移動(dòng)切割架，沿著所述硅棒輸送臺滑設(shè)于所述機(jī)座；單段線切割單元，設(shè)于所述移動(dòng)切割架且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺的上方，用于將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，先根據(jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，再通過單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割，使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長度，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，可滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
【專利說明】
單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒?br>技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及硅棒截?cái)嗉夹g(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒ā?br>【背景技術(shù)】
[0002]硅棒截?cái)嗉夹g(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的開方加工技術(shù)，它的原理是通過高速運(yùn)動(dòng)的金剛線對待加工工件(例如:硅棒、藍(lán)寶石、或其他半導(dǎo)體硬脆材料)進(jìn)行摩擦，切出方錠，從而達(dá)到切割目的。在對工件的切割過程中，金剛線通過導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在主線輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過工作臺的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給，在壓力栗的作用下，裝配在設(shè)備上的冷卻水自動(dòng)噴灑裝置將冷卻水噴灑至金剛線和工件的切削部位，由金剛線往復(fù)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生切削，以將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為多塊。線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割相比具有效率高、產(chǎn)能高、精度高等優(yōu)點(diǎn)。
[0003]但是，目前的硅棒截?cái)鄼C(jī)仍然存在不足，例如目前的硅棒截?cái)鄼C(jī)不能對硅棒的尺寸進(jìn)行控制，每次切割都是按照統(tǒng)一的切割尺寸，不能滿足不同尺寸的硅棒要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種可以將待切割的硅棒按照任意設(shè)定的尺寸進(jìn)行切割的單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒ā?br>[0005]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，包括:
[0006]機(jī)座；
[0007]硅棒輸送臺，設(shè)于所述機(jī)座的切割區(qū)，用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)所述硅棒沿著所述硅棒的軸向進(jìn)行輸送；
[0008]單段切割設(shè)備，包括:移動(dòng)切割架，沿著所述硅棒輸送臺滑設(shè)于所述機(jī)座;單段線切割單元，設(shè)于所述移動(dòng)切割架且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺的上方，用于將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。
[0009]本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，先根據(jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，再通過單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割，使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長度，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。并且，調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，可以滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
[0010]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，還包括:
[0011 ]上料機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述機(jī)座的上料區(qū)且鄰近于所述硅棒輸送臺，用于將待切割的所述硅棒從所述上料區(qū)輸送至所述切割區(qū)的所述硅棒輸送臺上。
[0012]本發(fā)明單段娃棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述上料機(jī)構(gòu)包括:
[0013]座體；
[0014]承載臺；以及
[0015]硅棒輸送單元，設(shè)于所述承載臺上，具有供承托所述硅棒的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件。
[0016]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，還包括:
[0017]軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述硅棒輸送臺上，用于將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0018]本發(fā)明單段娃棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述自動(dòng)軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括:
[0019]兩個(gè)調(diào)整墊塊，分別設(shè)于所述硅棒輸送臺首尾兩端，用于承托所述硅棒；
[0020]水平檢測單元，用于檢測兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的所述硅棒的水平度；以及
[0021]驅(qū)動(dòng)電機(jī)，與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián)，用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動(dòng)以確保將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0022]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述硅棒輸送臺包括用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)切割后的多個(gè)所述單晶硅區(qū)段沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件，所述滾輪組件根據(jù)切割的單晶硅區(qū)段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段，每一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對，每一個(gè)滾輪對包括有通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連的兩個(gè)滾輪，所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī)，每一個(gè)所述滾輪對對應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對共用一個(gè)所述電機(jī)。
[0023]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述單段線切割單元包括:
[0024]傳動(dòng)連接于一升降機(jī)構(gòu)的支架；以及
[0025]對稱設(shè)置于所述支架底部的兩個(gè)切線輪，兩個(gè)所述切線輪之間設(shè)有切割線。
[0026]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，還包括壓制件，所述壓制件包括可升降地設(shè)于所述支架上的升降塊以及對稱設(shè)于所述升降塊上的兩個(gè)用于壓制待切割的硅棒的壓制板。
[0027]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述單段切割設(shè)備上還配置有測距單元，用于測量所述移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺的滑移距離。
[0028]本發(fā)明還提供了一種應(yīng)用上述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒?，包?
[0029]將待切割的硅棒輸送至切割區(qū)的硅棒輸送臺上；
[0030]根據(jù)工件規(guī)格，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺滑移直至到達(dá)與所述工件規(guī)格對應(yīng)的位置；
[0031]下降單段線切割單元，將所述硅棒輸送臺上的所述硅棒進(jìn)行單段切割，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。
[0032]本發(fā)明的硅棒截?cái)喾椒ǎ雀鶕?jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，再通過單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割，使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長度，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。并且，調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，可以滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
【附圖說明】
[0033]圖1是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的立體圖。
[0034]圖2是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的較佳實(shí)施例的立體圖。
[0035]圖3是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的送料設(shè)備的側(cè)視圖。
[0036]圖4是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的軸線調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0037]圖5是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的側(cè)視圖。
[0038]圖6是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒輸送臺的側(cè)視圖。
[0039]圖7是應(yīng)用本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0040]以下由特定的具體實(shí)施例說明本發(fā)明的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0041]請參閱圖1至圖7。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。
[0042]參見圖1所示，圖1是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的立體圖。本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，包括:
[0043]機(jī)座10。
[0044]硅棒輸送臺20，設(shè)于機(jī)座10的切割區(qū)，用于承載待切割的硅棒90并驅(qū)動(dòng)硅棒90沿著硅棒90的軸向進(jìn)行輸送。
[0045]單段切割設(shè)備30包括:移動(dòng)切割架301，沿著硅棒輸送臺20滑設(shè)于機(jī)座10;單段線切割單元302，設(shè)于移動(dòng)切割架301且通過一升降機(jī)構(gòu)40可升降地設(shè)于硅棒輸送臺20的上方，用于將待切割的硅棒90切割進(jìn)行單段切割，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段930。優(yōu)選地，單段切割設(shè)備30上還配置有測距單元，用于測量移動(dòng)切割架301沿著硅棒輸送臺20的滑移距離。
[0046]參見圖2所述，圖2是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的較佳實(shí)施例的立體圖。在本發(fā)明的較佳實(shí)施例中，本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，還包括送料設(shè)備I，用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2，然后再輸送到硅棒輸送臺20上進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)。如圖2所示，機(jī)座20的外部設(shè)置有保護(hù)罩4，起到保護(hù)單段切割設(shè)備30以及待切割的硅棒90在截?cái)噙^程不受外界干擾的作用，保護(hù)罩4上設(shè)有多個(gè)監(jiān)控窗口 5，可供工作人員對硅棒截?cái)噙^程進(jìn)行監(jiān)控。
[0047]其中，送料設(shè)備I包括:
[0048]上料機(jī)構(gòu)，位于待上料區(qū)域2，用于將待切割的硅棒90自待上料區(qū)域2輸送至截?cái)嘣O(shè)備3。
[0049]送料機(jī)構(gòu)13，鄰設(shè)于所述上料機(jī)構(gòu)，用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2的所述上料機(jī)構(gòu)上。
[0050]具體地，參見圖3所示，圖3是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的送料設(shè)備的側(cè)視圖。所述上料機(jī)構(gòu)包括:座體11、承載臺12、以及娃棒輸送單元14，娃棒輸送單元14設(shè)于承載臺12上，具有供承托待切割的硅棒90的滾輪組件(或輸送帶)以及用于控制所述滾輪組件(或輸送帶)的電機(jī)組件。優(yōu)選地，承載臺12上還設(shè)有硅棒提升機(jī)構(gòu)15，可以將待切割的硅棒90進(jìn)行提升后運(yùn)輸至待上料區(qū)域2。
[0051]進(jìn)一步地，參見圖4所示，圖4是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的軸線調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。在本發(fā)明的另一較佳實(shí)施例中，本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，還包括軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，設(shè)于硅棒輸送臺20上，用于將待切割的硅棒90的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。所述軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括:
[0052]兩個(gè)調(diào)整墊塊，分別設(shè)于硅棒輸送臺20的首尾兩端，用于承托待切割的硅棒90。
[0053]水平檢測單元，用于檢測兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的待切割的硅棒90的水平度。
[0054]驅(qū)動(dòng)電機(jī)16，與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián)，用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動(dòng)以確保將待切割的硅棒90的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0055]參見圖5所示，圖5是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的側(cè)視圖。單段線切割單元302進(jìn)一步包括設(shè)于移動(dòng)切割架301且傳動(dòng)連接于升降機(jī)構(gòu)40的支架以及對稱設(shè)置于所述支架底部的兩個(gè)切割輪321，兩個(gè)切割輪321之間設(shè)有切割線322。進(jìn)一步地，所述支架包括設(shè)于移動(dòng)切割架301且傳動(dòng)連接于升降機(jī)構(gòu)40的水平框架323以及對稱設(shè)置于水平框架323底部的兩個(gè)豎直框架324，切割輪321設(shè)于豎直框架324上。優(yōu)選地，兩個(gè)豎直框架324分別設(shè)于水平框架323的底部兩端，水平框架323與兩個(gè)豎直框架324拼接形成倒凹字型支架。
[0056]進(jìn)一步地，本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，還包括壓制件，所述壓制件包括通過一壓緊氣缸而可升降地設(shè)于單段線切割單元302的所述支架上的升降塊以及對稱設(shè)于所述升降塊上的兩個(gè)用于壓制待切割的硅棒90的壓制板620。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)40驅(qū)動(dòng)單段線切割單元302下降時(shí)，兩個(gè)壓制板620共同壓制待切割的硅棒90，將待切割的硅棒90壓持穩(wěn)定，以防止待切割的硅棒90在切割時(shí)發(fā)生移動(dòng)。
[0057]參見圖6所示，圖6是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒輸送臺的側(cè)視圖。本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，可以通過單段線切割單元302通過多次切割進(jìn)而將硅棒90切割成多個(gè)不同尺寸的單段硅棒截段930，硅棒輸送臺20包括用于承載待切割的硅棒90并驅(qū)動(dòng)切割后的多段單段硅棒截段930沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件210以及用于控制滾輪組件210的電機(jī)組件，滾輪組件210根據(jù)切割的硅棒截段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段211(如圖4所示，劃分為四個(gè)滾輪組件區(qū)段，可分別標(biāo)識為211&、21113、211(3、211(1)，每一個(gè)滾輪組件區(qū)段211內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對，每一個(gè)滾輪對包括有通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸212相連的兩個(gè)滾輪213，所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī)，每一個(gè)所述滾輪對對應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段211中的多個(gè)滾輪對共用一個(gè)所述電機(jī)。當(dāng)待切割的硅棒90被單段線切割單元302切割為多段單段硅棒截段930(圖6中所示為910a、910b、910c、910d)后，每一個(gè)滾輪組件區(qū)段211中的每一個(gè)所述滾輪對在對應(yīng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)下進(jìn)行滾動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)該滾輪組件區(qū)段211中的單段硅棒截段930沿著單段硅棒截段930的軸向進(jìn)行輸送，以此實(shí)現(xiàn)多段單段硅棒截段930進(jìn)行依序卸料。在圖6所示的實(shí)施例中，多段單段硅棒截段930的尺寸是一樣的，當(dāng)然，也可以根據(jù)不同的尺寸要求，將多段單段硅棒截段930截?cái)酁椴灰粯拥某叽纭?br>[0058]現(xiàn)以圖6中的各個(gè)單段硅棒截段930的卸料過程為例進(jìn)行說明，在圖6中，單段線切割單元302將硅棒90切割為四個(gè)單段硅棒截段930(圖中所示為930a、930b、930c以及930d)。在卸料時(shí)，先啟動(dòng)最接近卸貨區(qū)(假設(shè)卸貨區(qū)是位于左側(cè))的第一個(gè)單段硅棒截段930a所對應(yīng)的第一個(gè)滾輪組件區(qū)段211a內(nèi)的全部電機(jī)，控制第一個(gè)滾輪組件區(qū)段211a內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)第一個(gè)單段硅棒截段930a朝向所述卸貨區(qū)輸送以進(jìn)行卸料；當(dāng)?shù)谝粋€(gè)單段硅棒截段930a輸送后與相鄰的第二個(gè)單段硅棒截段930b達(dá)到一安全距離之后，啟動(dòng)對應(yīng)第二個(gè)單段硅棒截段930b的第二個(gè)滾輪組件區(qū)段211b內(nèi)的全部電機(jī)，控制第二個(gè)滾輪組件區(qū)段211b內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)第二個(gè)單段硅棒截段930b輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料；當(dāng)?shù)诙€(gè)單段硅棒截段930b輸送后與相鄰的第三個(gè)單段硅棒截段930c達(dá)到一安全距離之后，啟動(dòng)對應(yīng)第三個(gè)單段硅棒截段930c的第三個(gè)滾輪組件區(qū)段21 Ic內(nèi)的全部電機(jī)，控制第三個(gè)滾輪組件區(qū)段211c內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)第三個(gè)單段硅棒截段930c輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料；當(dāng)?shù)谌齻€(gè)單段硅棒截段930c輸送后與相鄰的第四個(gè)單段硅棒截段930d達(dá)到一安全距離之后，啟動(dòng)對應(yīng)第四個(gè)單段硅棒截段930d的第四個(gè)滾輪組件區(qū)段211d內(nèi)的全部電機(jī)，控制第四個(gè)滾輪組件區(qū)段211d內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)第四個(gè)單段硅棒截段930d輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料，從而完成所有四個(gè)單段硅棒截段930的依序卸料。
[0059]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，先根據(jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，再通過單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割，使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長度，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。并且，調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，可以滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
[0060]以下介紹應(yīng)用上述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒?，包?
[0061 ]步驟S1:將待切割的硅棒輸送至切割區(qū)的硅棒輸送臺上；
[0062]步驟S2:根據(jù)工件規(guī)格，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺滑移直至到達(dá)與所述工件規(guī)格對應(yīng)的位置；
[0063]步驟S3:下降單段線切割單元，將所述硅棒輸送臺上的所述硅棒進(jìn)行單段切割，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。
[0064]通過上述的硅棒截?cái)喾椒ǎ雀鶕?jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，再通過單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割，使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長度，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。并且，調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置，可以滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
[0065]以下介紹應(yīng)用上述的包括送料設(shè)備的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒ǎ?
[0066]步驟S10:由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備的娃棒輸送臺上；
[0067]步驟S20:通過所示軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)而將硅棒輸送臺承載的待切割的硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)；
[0068]步驟S30:下降單段線切割單元，對硅棒輸送臺上的待切割的硅棒進(jìn)行切割以將硅棒切割為單段硅棒截段；
[0069]步驟S40:由硅棒輸送臺將切割后的單段硅棒截段依序運(yùn)離出去。
[0070]優(yōu)選地，在下降單段線切割單元之前，還包括:下降所述單段線切割單元，由所述單段線切割單元切割所述硅棒的頭部以進(jìn)行硅棒頭部取樣片。
[0071 ]其中，在上述步驟SlO中，將待切割的硅棒由待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備的硅棒輸送臺上，包括:
[0072]步驟Sll:將待切割的硅棒放置于所述滾輪組件上；
[0073]步驟S12:通過所述電機(jī)組件控制所述滾輪組件驅(qū)動(dòng)待切割的硅棒沿著所述硅棒的軸向進(jìn)行輸送；
[0074]步驟S13:待切割的硅棒輸送到位后，通過所述電機(jī)組件控制所述滾輪組件停止運(yùn)動(dòng)。
[0075]其中，在上述步驟S30中，下降單段線切割單元，對娃棒輸送臺上的待切割的娃棒進(jìn)行切割以將硅棒切割為單段硅棒截段，包括:
[0076]步驟S31:在所述硅棒輸送臺上通過所述升降機(jī)構(gòu)可升降地設(shè)置所述單段線切割單元；
[0077]步驟S32:將所述單段線切割單元通過所述連桿傳動(dòng)連接于所述升降機(jī)構(gòu)上；
[0078]步驟S33:通過所述升降機(jī)構(gòu)控制所述連桿向下移動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)單段線切割單元下降，對所述硅棒輸送臺上的所述硅棒進(jìn)行切割以將所述硅棒切割為單段硅棒截段。
[0079]其中，在上述步驟S40中，由硅棒輸送臺將切割后的單段硅棒截段依序運(yùn)離出去，包括:
[0080]步驟S41:通過單段線切割單元通過多次切割進(jìn)而將硅棒切割成多個(gè)不同尺寸的單段硅棒截段，將所述電機(jī)組件分為多個(gè)電機(jī)，將所述滾輪組件劃分為與切割后的多個(gè)單段硅棒截段的數(shù)量對應(yīng)的多個(gè)滾輪組件區(qū)段，每一個(gè)所述滾輪對對應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對共用一個(gè)所述電機(jī)；
[0081]步驟S42:啟動(dòng)最接近卸貨區(qū)的第一個(gè)硅棒截段所對應(yīng)的第一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī)，控制所述第一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)所述第一個(gè)硅棒截段朝向所述卸貨區(qū)輸送以進(jìn)行卸料；
[0082]步驟S43:當(dāng)所述第一個(gè)硅棒截段輸送后與相鄰的第二個(gè)硅棒截段達(dá)到一安全距離之后，啟動(dòng)對應(yīng)所述第二個(gè)硅棒截段的第二個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī)，控制所述第二個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)所述第二個(gè)硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料；
[0083]步驟S44:重復(fù)上述步驟，S卩，當(dāng)前一個(gè)單段硅棒截段輸送后與相鄰的后一個(gè)單段硅棒截段達(dá)到一安全距離之后，啟動(dòng)對應(yīng)所述后一個(gè)單段硅棒截段的后一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī)，控制所述后一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪，驅(qū)動(dòng)所述后一個(gè)單段硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料，直至將最后一個(gè)單段硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料。
[0084]另外，參見圖7所示，圖7是應(yīng)用本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的立體圖。應(yīng)用本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)，包括:
[0085]送料設(shè)備I，用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2。
[0086]本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，設(shè)置在保護(hù)罩4內(nèi)。
[0087]硅棒傳送設(shè)備6，銜接截?cái)嘣O(shè)備3，用于傳送單段硅棒截段930。優(yōu)選地，硅棒傳送設(shè)備6即為傳送帶設(shè)備。
[0088]娃棒組合加工機(jī)7，設(shè)于娃棒傳送設(shè)備6旁側(cè)，用于對從娃棒傳送設(shè)備6上獲取的單段硅棒截段930執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。優(yōu)選地，硅棒傳送設(shè)備6上的單段硅棒截段930均通過機(jī)械手傳輸?shù)焦璋艚M合加工機(jī)7，以執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0089]邊料輸送設(shè)備8，用于將多余或是切割損壞的邊料進(jìn)行輸送，以進(jìn)行二次利用。
[0090]工作轉(zhuǎn)移設(shè)備9，設(shè)于截?cái)嘣O(shè)備3和硅棒傳送設(shè)備6之間，用于將單段硅棒截段930轉(zhuǎn)移至硅棒傳送設(shè)備6。優(yōu)選地，該工件轉(zhuǎn)移設(shè)備9為機(jī)械手，能將截段設(shè)備3輸出的橫向放置的單段硅棒截段930抓起并以豎直放置的方式置放到硅棒傳送設(shè)備6上。
[0091]進(jìn)一步地，應(yīng)用本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的硅棒流水作業(yè)方法，包括:
[0092]步驟SlOl:由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由所述待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備上；
[0093]步驟S201:由本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)對由所述送料設(shè)備自所述上料區(qū)域輸送過來的待切割的硅棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以；
[0094]步驟S301:由硅棒傳送設(shè)備將本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)切割的單段硅棒截段予以傳送；
[0095]步驟S401:由硅棒組合加工機(jī)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲取所述單段硅棒截段并對所述單段硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0096]本發(fā)明有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0097]上述實(shí)施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，其特征在于，包括: 機(jī)座； 硅棒輸送臺，設(shè)于所述機(jī)座的切割區(qū)，用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)所述硅棒沿著所述娃棒的軸向進(jìn)行輸送； 單段切割設(shè)備，包括:移動(dòng)切割架，沿著所述硅棒輸送臺滑設(shè)于所述機(jī)座;單段線切割單元，設(shè)于所述移動(dòng)切割架且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺的上方，用于將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，其特征在于，還包括: 上料機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述機(jī)座的上料區(qū)且鄰近于所述硅棒輸送臺，用于將待切割的所述硅棒從所述上料區(qū)輸送至所述切割區(qū)的所述硅棒輸送臺上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，其特征在于，所述上料機(jī)構(gòu)包括: 座體； 承載臺；以及 硅棒輸送單元，設(shè)于所述承載臺上，具有供承托所述硅棒的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，其特征在于，還包括: 軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述硅棒輸送臺上，用于將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，其特征在于，所述自動(dòng)軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括: 兩個(gè)調(diào)整墊塊，分別設(shè)于所述硅棒輸送臺首尾兩端，用于承托所述硅棒； 水平檢測單元，用于檢測兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的所述硅棒的水平度；以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)，與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián)，用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動(dòng)以確保將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，其特征在于，所述硅棒輸送臺包括用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)切割后的多個(gè)所述單晶硅區(qū)段沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件，所述滾輪組件根據(jù)切割的單晶硅區(qū)段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段，每一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對，每一個(gè)滾輪對包括有通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連的兩個(gè)滾輪，所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī)，每一個(gè)所述滾輪對對應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對共用一個(gè)所述電機(jī)。7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，其特征在于，所述單段線切割單元包括: 傳動(dòng)連接于一升降機(jī)構(gòu)的支架；以及 對稱設(shè)置于所述支架底部的兩個(gè)切線輪，兩個(gè)所述切線輪之間設(shè)有切割線。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅棒截?cái)鄼C(jī)，其特征在于，還包括壓制件，所述壓制件包括可升降地設(shè)于所述支架上的升降塊以及對稱設(shè)于所述升降塊上的兩個(gè)用于壓制待切割的硅棒的壓制板。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)，其特征在于，所述單段切割設(shè)備上還配置有測距單元，用于測量所述移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺的滑移距離。10.—種應(yīng)用如權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒?，其特征在于，包? 將待切割的硅棒輸送至切割區(qū)的硅棒輸送臺上；根據(jù)工件規(guī)格，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺滑移直至到達(dá)與所述工件規(guī)格對應(yīng)的位置； 下降單段線切割單元，將所述硅棒輸送臺上的所述硅棒進(jìn)行單段切割，獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。
【文檔編號】B28D7/04GK105946127SQ201610345661
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年5月23日
【發(fā)明人】盧建偉
【申請人】上海日進(jìn)機(jī)床有限公司