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      硅棒膠接機(jī)的制作方法

      文檔序號(hào):8197294閱讀:267來(lái)源:國(guó)知局
      專(zhuān)利名稱(chēng):硅棒膠接機(jī)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型特別涉及一種硅棒膠接機(jī)。
      背景技術(shù)
      硅棒膠接機(jī)用來(lái)在單晶硅生產(chǎn)中連接硅棒與晶托。現(xiàn)有的硅 棒膠接機(jī)是由底板、設(shè)置在底板上的晶托及硅棒導(dǎo)軌和加熱裝置 導(dǎo)軌、設(shè)置在加熱裝置導(dǎo)軌上的加熱裝置、放置在晶托及硅棒導(dǎo) 軌兩側(cè)的晶托固定架、放置在晶托及硅棒導(dǎo)軌上并位于晶托固定 架之間的硅棒固定座、設(shè)置在硅棒固定座上的夾緊架構(gòu)成。這種 結(jié)構(gòu)的硅棒膠接機(jī)對(duì)于尺寸不規(guī)則的硅棒,無(wú)法找準(zhǔn)圓心,導(dǎo)致 切方時(shí)切偏,產(chǎn)品質(zhì)量不合格。 發(fā)明內(nèi)容
      本實(shí)用新型的目的是要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問(wèn)題,提供 一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便,可快速找準(zhǔn)圓心并定位,使晶托和硅 棒同心度一致,確保切方時(shí)切片尺寸規(guī)則的硅棒膠接機(jī)。 本實(shí)用新型的具體實(shí)施方案是
      該硅棒膠接機(jī)包括一個(gè)底板、設(shè)置在底板上的晶托及硅棒 導(dǎo)軌和加熱裝置導(dǎo)軌、設(shè)置在加熱裝置導(dǎo)軌上的加熱裝置、設(shè) 置在晶托及硅棒導(dǎo)軌兩側(cè)的晶托固定架、以及設(shè)置在晶托及硅 棒導(dǎo)軌上并位于晶托固定架之間的硅棒固定座、設(shè)置在硅棒固 定座上的夾緊架,其特殊之處是在晶托固定架上安裝有圓心 校準(zhǔn)塊,在硅棒固定架上對(duì)應(yīng)夾緊架內(nèi)緣位置設(shè)有二個(gè)徑向頂緊螺絲和二個(gè)卡具,并且徑向頂緊螺絲位于卡具下方。
      上述的硅棒膠接機(jī),在夾緊架上對(duì)應(yīng)夾口內(nèi)緣位置設(shè)有固 定板,所述的徑向頂緊螺栓位于固定板上。
      本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便,可快速找準(zhǔn) 圓心,通過(guò)設(shè)置在晶托固定架上的圓心校準(zhǔn)塊結(jié)合徑向頂緊螺 絲可找準(zhǔn)硅棒的圓心,找準(zhǔn)后通過(guò)夾緊架可將硅棒位置固定, 再將圓心校準(zhǔn)塊卸下安裝好晶托,使晶托與硅棒同心度一致, 確保切方時(shí)切片尺寸規(guī)則,從而提高了產(chǎn)品的合格率。

      圖l是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2是本實(shí)用新型中圓心校準(zhǔn)塊結(jié)構(gòu)示意圖。
      具體實(shí)施方式

      如圖所示,本實(shí)用新型有一個(gè)底板1,在底板1上設(shè)置晶
      托及硅棒導(dǎo)軌2和加熱裝置導(dǎo)軌3,在加熱裝置導(dǎo)軌3上安裝 有加熱裝置7。在晶托及硅棒導(dǎo)軌2兩側(cè)放置有晶托固定架4, 在晶托固定架4上通過(guò)螺栓5安裝有圓心校準(zhǔn)塊6,在晶托及 硅棒導(dǎo)軌2上位于晶托固定架4之間放置有硅棒固定座14,在 硅棒固定座14通過(guò)夾緊機(jī)構(gòu)13連接有夾緊架11,夾緊機(jī)構(gòu)13 通過(guò)手輪12驅(qū)動(dòng)。在夾緊架11內(nèi)緣設(shè)有固定板9和二個(gè)卡具 10,在固定板9上設(shè)有二個(gè)徑向頂緊螺絲8,所述的徑向頂緊 螺絲8位于卡具IO下方。
      使用時(shí),將硅棒放置在夾緊架11上,通過(guò)搖動(dòng)手輪12,使夾緊機(jī)構(gòu)13動(dòng)作,將硅棒夾在二個(gè)夾緊架11之間。再移動(dòng) 左側(cè)的晶托固定架1,使其靠近硅棒左端,通過(guò)頂緊螺絲8調(diào) 整硅棒位置直至硅棒左端面中心對(duì)準(zhǔn)圓心校準(zhǔn)塊5,然后通過(guò) 卡具10卡緊硅棒,并將夾緊機(jī)構(gòu)13鎖定;再移動(dòng)右側(cè)的晶托 固定架1,重復(fù)上述過(guò)程,完成圓心校準(zhǔn)工作。然后,拆下圓
      心校準(zhǔn)塊5并將晶托固定在晶托固定架1上,移動(dòng)加熱裝置7 至晶托與硅棒之間位置,啟動(dòng)加熱裝置7進(jìn)行膠接操作。
      權(quán)利要求1、一種硅棒膠接機(jī),包括一個(gè)底板、設(shè)置在底板上的晶托及硅棒導(dǎo)軌和加熱裝置導(dǎo)軌、設(shè)置在加熱裝置導(dǎo)軌上的加熱裝置、設(shè)置在晶托及硅棒導(dǎo)軌兩側(cè)的晶托固定架、以及設(shè)置在晶托及硅棒導(dǎo)軌上并位于晶托固定架之間的硅棒固定座、設(shè)置在硅棒固定座上的夾緊架,其特征是在晶托固定架上安裝有圓心校準(zhǔn)塊,在硅棒固定架上對(duì)應(yīng)夾緊架內(nèi)緣位置設(shè)有二個(gè)徑向頂緊螺絲和二個(gè)卡具,并且徑向頂緊螺絲位于卡具下方。
      2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒膠接機(jī),其特征是在夾緊 架上對(duì)應(yīng)夾口內(nèi)緣位置設(shè)有固定板,所述的徑向頂緊螺栓位于 固定板上。
      專(zhuān)利摘要一種硅棒膠接機(jī),解決了對(duì)于尺寸不規(guī)則的硅棒,無(wú)法找準(zhǔn)圓心,導(dǎo)致切方時(shí)切偏,產(chǎn)品質(zhì)量不合格的問(wèn)題。它包括一個(gè)底板、設(shè)置在底板上的晶托及硅棒導(dǎo)軌和加熱裝置導(dǎo)軌、設(shè)置在加熱裝置導(dǎo)軌上的加熱裝置、設(shè)置在晶托及硅棒導(dǎo)軌兩側(cè)的晶托固定架、以及設(shè)置在晶托及硅棒導(dǎo)軌上并位于晶托固定架之間的硅棒固定座、設(shè)置在硅棒固定座上的夾緊架,其特殊之處是在晶托固定架上安裝有圓心校準(zhǔn)塊,在硅棒固定架上對(duì)應(yīng)夾緊架內(nèi)緣位置設(shè)有二個(gè)徑向頂緊螺絲和二個(gè)卡具,并且徑向頂緊螺絲位于卡具下方。優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便,可快速找準(zhǔn)圓心,使晶托與硅棒同心度一致,確保切方時(shí)切片尺寸規(guī)則,提高了產(chǎn)品的合格率。
      文檔編號(hào)C30B33/06GK201326035SQ200820232268
      公開(kāi)日2009年10月14日 申請(qǐng)日期2008年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月25日
      發(fā)明者飛 徐, 鑫 李, 李曉東, 磊 王, 列 陳 申請(qǐng)人:錦州日鑫硅材料有限公司
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