一種硅晶棒切斷設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅晶片制造技術(shù)領(lǐng)域，具體講是一種硅晶棒切斷設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在硅晶片生產(chǎn)制造過(guò)程中，有許多復(fù)雜的工序，其中一道工序是將較長(zhǎng)的硅晶棒通過(guò)切斷設(shè)備切割成幾段所需要長(zhǎng)度，再將切割好的硅晶棒進(jìn)行下一步切片工序?，F(xiàn)有的一種硅晶棒切斷設(shè)備，其包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有用于切斷硅晶棒的鋸條和可左右移動(dòng)的工作臺(tái)，工作臺(tái)上設(shè)有若干用于夾持硅晶棒的夾緊裝置，所述各夾緊裝置包括夾具和用于安裝夾具的底座，底座與工作臺(tái)固定連接，所述各夾具包括固定夾具和與固定夾具配合夾持硅晶棒的移動(dòng)夾具，移動(dòng)夾具通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)其在底座的滑槽內(nèi)向靠近或遠(yuǎn)離固定夾具方向移動(dòng)。在實(shí)際操作中通常的做法是確定好需要的硅晶棒長(zhǎng)度后，再通過(guò)夾緊裝置夾緊硅晶棒后通過(guò)工作臺(tái)移動(dòng)從而帶動(dòng)硅晶棒移動(dòng)至鋸條處進(jìn)行切割，防止在切割時(shí)產(chǎn)生晃動(dòng)影響切割效果。現(xiàn)有的所述驅(qū)動(dòng)組件包括與移動(dòng)夾具數(shù)量相等的帶動(dòng)各移動(dòng)夾具移動(dòng)的傳動(dòng)絲桿，所述傳動(dòng)絲桿穿設(shè)在移動(dòng)夾具底部的螺紋孔內(nèi)形成螺紋配合，每個(gè)絲桿端部設(shè)置有一旋柄，在切割晶棒前，需要逐一手動(dòng)旋擰旋柄，從而帶動(dòng)各移動(dòng)夾具移動(dòng)并與固定夾具配合夾持娃晶棒，待切割完成后，再通過(guò)逐一手動(dòng)旋松旋柄，這種操作方式操作起來(lái)極為不便，進(jìn)而使得工作效率無(wú)法有效提升。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種硅晶棒裝卸便捷有效的硅晶棒切斷設(shè)備，使用該設(shè)備能夠有效提高工作效率。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種硅晶棒切斷設(shè)備，包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有用于切斷硅晶棒的鋸條和可移動(dòng)設(shè)置的工作臺(tái)，工作臺(tái)上設(shè)有若干用于夾持硅晶棒的夾緊裝置，所述各夾緊裝置包括若干夾具和用于安裝夾具的底座，底座與工作臺(tái)固定連接，所述各夾具包括固定夾具、與所述固定夾具配合夾持硅晶棒的移動(dòng)夾具和帶動(dòng)所述移動(dòng)夾具向靠近或遠(yuǎn)離所述固定夾具方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件包括與移動(dòng)夾具數(shù)量相等的適于帶動(dòng)各移動(dòng)夾具移動(dòng)的傳動(dòng)絲桿和適于帶動(dòng)所有傳動(dòng)絲桿同步轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)所有移動(dòng)夾具同步移動(dòng)的齒輪組，所述傳動(dòng)絲桿穿設(shè)在移動(dòng)夾具底部的螺紋孔內(nèi)形成螺紋配合，所述齒輪組包括固定在所述各傳動(dòng)絲桿的端部的第一傳動(dòng)齒輪和帶動(dòng)各第一傳動(dòng)齒輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)的若干第二傳動(dòng)齒輪，所述第一傳動(dòng)齒輪和第二傳動(dòng)齒輪中至少一個(gè)的外側(cè)端設(shè)有利于旋轉(zhuǎn)其的手柄。
[0005]采用上述結(jié)構(gòu)后，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):與原有的逐個(gè)手動(dòng)旋擰旋柄移動(dòng)夾具相比，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置帶動(dòng)所有傳動(dòng)絲桿同步轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而帶動(dòng)所有移動(dòng)夾具同步移動(dòng)的齒輪組，所述齒輪組包括固定在所述各傳動(dòng)絲桿的端部的第一傳動(dòng)齒輪和帶動(dòng)各第一傳動(dòng)齒輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)的若干第二傳動(dòng)齒輪，所述第一傳動(dòng)齒輪和第二傳動(dòng)齒輪中至少一個(gè)的外側(cè)端設(shè)有通過(guò)旋轉(zhuǎn)為齒輪組提供運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)力的手柄，操作時(shí)通過(guò)旋轉(zhuǎn)手柄，以齒輪組之間的傳動(dòng)配合同步帶動(dòng)傳動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，使各移動(dòng)夾具同步向固定夾具靠近或遠(yuǎn)離，從而快速完成硅晶棒裝卸，并且固定牢固可靠，能有效節(jié)省工作時(shí)間，提高工作效率。
[0006]作為改進(jìn)，工作臺(tái)上設(shè)有利于硅晶棒裝入夾具內(nèi)的的傳動(dòng)組件，所述傳動(dòng)組件包括與工作臺(tái)固定連接的安裝架和若干個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝架上的傳動(dòng)輥，所述傳動(dòng)輥為兩端粗中間細(xì)的圓棒狀結(jié)構(gòu)，這樣，在硅晶棒裝卸時(shí)，通過(guò)傳動(dòng)輥與硅晶棒間發(fā)生滾動(dòng)摩擦，從而減少兩者間的摩擦力，節(jié)省人力，便于工作進(jìn)行。
[0007]作為改進(jìn)，機(jī)體上在所述鋸條背向所述夾緊裝置的一側(cè)設(shè)有用于限位硅晶棒的托架，所述托架上沿硅晶棒軸線方向設(shè)置有刻度線，并在所述托架上插裝有限位擋板，這樣，通過(guò)刻度線確定所需要硅晶棒的尺寸后，將限位擋板插入到托架上對(duì)應(yīng)的位置，在下一次切斷時(shí)只需將硅晶棒端部抵住限位擋板，即可得到對(duì)應(yīng)長(zhǎng)度的硅晶棒，不必每次都對(duì)硅晶棒伸出的長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量，提高工作效率。
[0008]作為改進(jìn)，驅(qū)動(dòng)組件的外部設(shè)有罩殼，這樣，可以防止在進(jìn)行切斷時(shí)的碎肩等雜質(zhì)進(jìn)入到驅(qū)動(dòng)組件內(nèi)，造成損壞或者影響其正常的使用。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型一種娃晶棒切斷設(shè)備的結(jié)構(gòu)不意圖。
[0010]圖2為本實(shí)用新型一種硅晶棒切斷設(shè)備中驅(qū)動(dòng)組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖3為本實(shí)用新型一種硅晶棒切斷設(shè)備中托架的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖中所示，1、機(jī)體，2、工作臺(tái)，3、底座，5、固定夾具，6、移動(dòng)夾具，7、滑槽，8、傳動(dòng)絲桿，9、第一傳動(dòng)齒輪，1、第二傳動(dòng)齒輪，11、手柄，12、安裝架，13、傳動(dòng)輥，14、托架，15、刻度線，17、擋板，18、罩殼。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明:
[0014]本實(shí)用新型提出一種硅晶棒切斷設(shè)備，包括機(jī)體I，機(jī)體I上設(shè)有用于切斷硅晶棒的鋸條和可移動(dòng)設(shè)置的工作臺(tái)2，工作臺(tái)2上設(shè)有若干用于夾持硅晶棒的夾緊裝置，所述各夾緊裝置包括若干夾具和用于安裝夾具的底座3，底座3與工作臺(tái)2固定連接，所述各夾具包括固定夾具5、與所述固定夾具5配合夾持硅晶棒的移動(dòng)夾具6和帶動(dòng)所述移動(dòng)夾具6向靠近或遠(yuǎn)離所述固定夾具5方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件包括與移動(dòng)夾具6數(shù)量相等的適于帶動(dòng)各移動(dòng)夾具6移動(dòng)的傳動(dòng)絲桿8和適于帶動(dòng)所有傳動(dòng)絲桿8同步轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)所有移動(dòng)夾具6同步移動(dòng)的齒輪組，所述傳動(dòng)絲桿8穿設(shè)在移動(dòng)夾具6底部的螺紋孔內(nèi)形成螺紋配合，所述齒輪組包括固定在所述各傳動(dòng)絲桿8的端部的第一傳動(dòng)齒輪9和帶動(dòng)各第一傳動(dòng)齒輪9同步轉(zhuǎn)動(dòng)的若干第二傳動(dòng)齒輪10，所述第一傳動(dòng)齒輪9和第二傳動(dòng)齒輪10中至少一個(gè)的外側(cè)端設(shè)有利于旋轉(zhuǎn)其的手柄U。與原有的逐個(gè)手動(dòng)旋擰旋柄移動(dòng)夾具6相比，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置帶動(dòng)所有傳動(dòng)絲桿8同步轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而帶動(dòng)所有移動(dòng)夾具6同步移動(dòng)的齒輪組，所述齒輪組包括固定在所述各傳動(dòng)絲桿8的端部的第一傳動(dòng)齒輪9和帶動(dòng)各第一傳動(dòng)齒輪9同步轉(zhuǎn)動(dòng)的若干第二傳動(dòng)齒輪10，所述第一傳動(dòng)齒輪9和第二傳動(dòng)齒輪10中至少一個(gè)的外側(cè)端設(shè)有通過(guò)旋轉(zhuǎn)為齒輪組提供運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)力的手柄11，操作時(shí)通過(guò)旋轉(zhuǎn)手柄11，以齒輪組之間的傳動(dòng)配合同步帶動(dòng)傳動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，使各移動(dòng)夾具6同步向固定夾具5靠近或遠(yuǎn)離，從而快速完成硅晶棒裝卸，并且固定牢固可靠，能有效節(jié)省工作時(shí)間，提高工作效率。
[0015]本實(shí)施例中，工作臺(tái)2上設(shè)有利于硅晶棒裝入夾具內(nèi)的的傳動(dòng)組件，所述傳動(dòng)組件包括與工作臺(tái)2固定連接的安裝架12和若干個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝架12上的傳動(dòng)輥13，所述傳動(dòng)棍為兩端粗中間細(xì)的圓棒狀結(jié)構(gòu)，這樣在娃晶棒裝卸時(shí)，通過(guò)傳動(dòng)棍13與娃晶棒間發(fā)生滾動(dòng)摩擦，從而減少兩者間的摩擦力，節(jié)省人力，便于工作進(jìn)行。
[0016]本實(shí)施例中，機(jī)體I上在所述鋸條背向所述夾緊裝置的一側(cè)設(shè)有用于限位硅晶棒的托架14，所述托架14上沿硅晶棒軸線方向設(shè)置有刻度線15，并在所述托架14上插裝有限位擋板17，通過(guò)刻度線15確定所需要硅晶棒的尺寸后，將限位擋板17插入到托架14上對(duì)應(yīng)的位置，在下一次切斷時(shí)只需將硅晶棒端部抵住限位擋板17，即可得到對(duì)應(yīng)長(zhǎng)度的硅晶棒，不必每次都對(duì)硅晶棒伸出的長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量，提高工作效率。
[0017]本實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)組件的外部設(shè)有罩殼18，可以防止在進(jìn)行切斷時(shí)的碎肩等雜質(zhì)進(jìn)入到驅(qū)動(dòng)組件內(nèi)，造成損壞或者影響其正常的使用。
[0018]本實(shí)施例中，底座3上對(duì)應(yīng)位置設(shè)有沿長(zhǎng)度方向設(shè)置的供移動(dòng)夾具6滑動(dòng)的滑槽7。
[0019]本實(shí)用新型中，齒輪組的數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際操作需要而進(jìn)行變化。
[0020]以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，故凡依本專利申請(qǐng)范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實(shí)用新型專利申請(qǐng)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅晶棒切斷設(shè)備，包括機(jī)體(I)，機(jī)體(I)上設(shè)有用于切斷硅晶棒的鋸條和可移動(dòng)設(shè)置的工作臺(tái)(2)，工作臺(tái)(2)上設(shè)有若干用于夾持硅晶棒的夾緊裝置，所述各夾緊裝置包括若干夾具和用于安裝夾具的底座(3)，底座(3)與工作臺(tái)(2)固定連接，所述各夾具包括固定夾具(5)、與所述固定夾具(5)配合夾持硅晶棒的移動(dòng)夾具(6)和帶動(dòng)所述移動(dòng)夾具(6)向靠近或遠(yuǎn)離所述固定夾具(5)方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件包括與移動(dòng)夾具(6)數(shù)量相等的適于帶動(dòng)各移動(dòng)夾具(6)移動(dòng)的傳動(dòng)絲桿(8)和適于帶動(dòng)所有傳動(dòng)絲桿(8)同步轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)所有移動(dòng)夾具(6)同步移動(dòng)的齒輪組，所述傳動(dòng)絲桿(8)穿設(shè)在移動(dòng)夾具(6)底部的螺紋孔內(nèi)形成螺紋配合，所述齒輪組包括固定在所述各傳動(dòng)絲桿(8)的端部的第一傳動(dòng)齒輪(9)和帶動(dòng)各第一傳動(dòng)齒輪(9)同步轉(zhuǎn)動(dòng)的若干第二傳動(dòng)齒輪(10)，所述第一傳動(dòng)齒輪(9)和第二傳動(dòng)齒輪(10)中至少一個(gè)的外側(cè)端設(shè)有利于旋轉(zhuǎn)其的手柄(Il)02.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅晶棒切斷設(shè)備，其特征在于，所述工作臺(tái)(2)上設(shè)有利于硅晶棒裝入夾具內(nèi)的傳動(dòng)組件，所述傳動(dòng)組件包括與工作臺(tái)(2)固定連接的安裝架(12)和若干個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝架(12)上的傳動(dòng)輥(13)，所述傳動(dòng)輥(13)為兩端粗中間細(xì)的圓棒狀結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅晶棒切斷設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)體(I)上在所述鋸條背向所述夾緊裝置的一側(cè)設(shè)有用于限位硅晶棒的托架(14)，所述托架(14)上沿硅晶棒軸線方向設(shè)置有刻度線(15)，并在所述托架(14)上插裝有限位擋板(17)。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的硅晶棒切斷設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件的外部設(shè)有罩殼(18) ο
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種硅晶棒切斷設(shè)備，此設(shè)備硅晶棒裝卸便捷有效，使用該設(shè)備能夠有效提高工作效率，其包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有用于切斷硅晶棒的鋸條和可移動(dòng)設(shè)置的工作臺(tái)，工作臺(tái)上設(shè)有若干用于夾持硅晶棒的夾緊裝置，各夾緊裝置包括若干夾具和用于安裝夾具的底座，底座與工作臺(tái)固定連接，各夾具包括固定夾具、移動(dòng)夾具和驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件包括傳動(dòng)絲桿和帶動(dòng)所有傳動(dòng)絲桿同步轉(zhuǎn)動(dòng)的齒輪組，傳動(dòng)絲桿穿設(shè)在移動(dòng)夾具底部的螺紋孔內(nèi)形成螺紋配合，齒輪組包括固定在各傳動(dòng)絲桿的端部的第一傳動(dòng)齒輪和帶動(dòng)各第一傳動(dòng)齒輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)的若干第二傳動(dòng)齒輪，第一傳動(dòng)齒輪和第二傳動(dòng)齒輪中至少一個(gè)的外側(cè)端設(shè)有利于旋轉(zhuǎn)其的手柄。
【IPC分類】B28D7/04, B28D5/00
【公開(kāi)號(hào)】CN205310567
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620069906
【發(fā)明人】孫明祥
【申請(qǐng)人】浙江好亞能源股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2016年1月22日