自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，包含：一框架、一驅(qū)動(dòng)缸、一橫桿、至少一第一桿件、至少一旋動(dòng)桿件、至少一調(diào)整座、至少一第二桿件、至少一滑動(dòng)塊以及至少一閥桿，上述該等組件相互樞接以形成連桿組機(jī)構(gòu)，且該閥桿可供連接于一真空艙的閥門(mén)；藉此，該驅(qū)動(dòng)缸可帶動(dòng)上述組件產(chǎn)生連桿動(dòng)作，以使閥桿帶動(dòng)閥門(mén)于一開(kāi)啟位置以及一閉鎖位置間切換，并于該閉鎖位置時(shí)自動(dòng)產(chǎn)生一鎖固力量，以抵抗閥門(mén)的反向作用力，防止閥門(mén)因驅(qū)動(dòng)缸動(dòng)力不足等因素，而造成真空艙失去真空密閉的意外。
【專(zhuān)利說(shuō)明】自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型與真空艙的閥門(mén)啟閉裝置有關(guān)，更詳而言之，乃特指一種除可帶動(dòng)閥門(mén)于一開(kāi)啟位置以及一閉鎖位置間切換外，更可于閉鎖位置時(shí)自動(dòng)產(chǎn)生一鎖固力量的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓、TFT IXD玻璃基板于制程中常需于真空環(huán)境下處理，一般多于一可抽真空的真空艙內(nèi)進(jìn)行，真空艙通常包含有一可開(kāi)啟/關(guān)閉的閥門(mén)，該閥門(mén)由一啟閉裝置驅(qū)動(dòng)動(dòng)作，當(dāng)閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)加工物件可自閥門(mén)進(jìn)出真空艙，加工物件送入真空艙后，則關(guān)閉閥門(mén)使真空艙呈現(xiàn)密封狀況后，再進(jìn)行抽氣動(dòng)作使真空艙內(nèi)產(chǎn)生真空狀態(tài)。
[0003]習(xí)知的啟閉裝置大多由一氣壓缸或油壓缸直接或透過(guò)齒條、齒輪等傳動(dòng)機(jī)構(gòu)后，驅(qū)動(dòng)閥門(mén)與真空艙密合。然而，當(dāng)閥門(mén)與真空艙密合后，為保持真空艙的氣密效果，氣壓缸或油壓缸需持續(xù)以氣壓或油壓將閥門(mén)抵緊于真空艙，以防止閥門(mén)與真空艙失去密合。然而，機(jī)器經(jīng)使用一段時(shí)間后，難免會(huì)出現(xiàn)磨損問(wèn)題，尤其氣壓缸或油壓缸容易因?yàn)楣苈穯?wèn)題而出現(xiàn)氣壓/油壓不足，而導(dǎo)致閥門(mén)與真空艙失去密合、無(wú)法維護(hù)真空狀態(tài)。
[0004]與真空艙門(mén)啟閉裝置相關(guān)的前案如中國(guó)TW430012號(hào)專(zhuān)利，一種真空艙門(mén)的啟閉機(jī)構(gòu)，其主要包含有一框架、一第一汽缸、一第二汽缸及一閥門(mén)，該第一汽缸固定于該框架上，該第二汽缸固定于該第一汽缸，該第二汽缸可相對(duì)該第一汽缸上下運(yùn)動(dòng)，該閥門(mén)與第二汽缸間設(shè)有一杠桿組。該第一汽缸推動(dòng)第二汽缸及閥門(mén)向上，使閥門(mén)對(duì)正該真空艙門(mén)，再驅(qū)動(dòng)第二汽缸縮回，使該杠桿組帶動(dòng)該閥門(mén)水平推向該真空艙門(mén)，而確實(shí)將該真空艙門(mén)加以密合。但此一專(zhuān)利閥門(mén)需要產(chǎn)生垂直及水平兩段動(dòng)作，會(huì)延長(zhǎng)動(dòng)作時(shí)間及增加結(jié)構(gòu)體積、成本。
[0005]此外，CN101787834B號(hào)專(zhuān)利，一種臥式艙的艙門(mén)啟閉裝置，在艙體開(kāi)口端外側(cè)壁的設(shè)置多組自動(dòng)鎖緊機(jī)構(gòu)動(dòng)作，以達(dá)到將艙門(mén)與艙體鎖緊的目的。但此一專(zhuān)利需要分別驅(qū)動(dòng)、控制艙門(mén)啟閉裝置以及自動(dòng)鎖緊機(jī)構(gòu)，亦非完美解決的方案。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的在于解決上述習(xí)用技術(shù)產(chǎn)生的缺失與不便之處，提供一種自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，利用多個(gè)組件所組成的連桿機(jī)構(gòu)來(lái)驅(qū)動(dòng)閥門(mén)于一開(kāi)啟位置以及一閉鎖位置間切換，并可于閉鎖位置時(shí)自動(dòng)產(chǎn)生一鎖固力量以抵抗閥門(mén)的反向作用力，防止閥門(mén)因驅(qū)動(dòng)缸動(dòng)力不足等因素，而造成真空艙失去真空密閉的意外。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型公開(kāi)了一種自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于包含:
[0008]一框架，其為以一座體、兩側(cè)框及一邊框所組成的中空框體；
[0009]一驅(qū)動(dòng)缸，其設(shè)置于該座體處，且具有一可活動(dòng)伸出縮入的驅(qū)動(dòng)軸；
[0010]一橫桿，其設(shè)置于該驅(qū)動(dòng)軸的一端處；[0011]至少一第一桿件,其一端樞接于該橫桿的一端處；
[0012]至少一旋動(dòng)桿件，其上設(shè)有呈三角形分布的第一樞孔、第二樞孔及第三樞孔，其中，該第一樞孔供第一桿件相對(duì)于橫桿的另一端樞接；
[0013]至少一調(diào)整座，其連接于該邊框處，以樞接于該第二樞孔；
[0014]至少一第二桿件，其一端樞接于第三樞孔；
[0015]至少一滑動(dòng)塊，其可滑動(dòng)地設(shè)置于該側(cè)框處，并與該第二桿件相對(duì)于第三樞孔的另一端樞接；以及
[0016]至少一閥桿，該閥桿一端連接于該滑動(dòng)塊，另一端連接于一真空艙的一閥門(mén)以使閥桿帶動(dòng)該閥門(mén)于一開(kāi)啟位置以及一閉鎖位置間切換。
[0017]其中，該兩側(cè)框分別設(shè)于座體的兩端處，而該邊框設(shè)于側(cè)框相對(duì)于座體的另一端處。
[0018]其中，該驅(qū)動(dòng)缸的驅(qū)動(dòng)軸往邊框方向產(chǎn)生伸出動(dòng)作，而往座體方向產(chǎn)生縮入動(dòng)作。
[0019]其中，該旋動(dòng)桿件與第二桿件于閉鎖位置時(shí)該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線(xiàn)與第二桿件軸心于第一桿件側(cè)的夾角為170度?190度。
[0020]其中，該旋動(dòng)桿件與第二桿件于閉鎖位置時(shí)該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線(xiàn)與第二桿件軸心呈一直線(xiàn)排列且平行于驅(qū)動(dòng)缸軸心。
[0021]其中，該調(diào)整座與邊框間設(shè)有一調(diào)整調(diào)整座與邊框的距離的調(diào)整螺件。
[0022]其中，該調(diào)整螺件的軸心平行于驅(qū)動(dòng)軸軸心。
[0023]其中，該滑動(dòng)塊以一滑動(dòng)件設(shè)置于側(cè)框處，且該滑動(dòng)件的軸心平行于驅(qū)動(dòng)軸軸心。
[0024]其中，該滑動(dòng)件為一線(xiàn)性滑軌。
[0025]其中，該閥門(mén)具有一門(mén)框架及一門(mén)板，該門(mén)框架連接于座體相對(duì)于驅(qū)動(dòng)缸的另一偵牝該門(mén)框架內(nèi)設(shè)有一平行于驅(qū)動(dòng)軸軸心方向的滑動(dòng)槽，以及一穿設(shè)過(guò)該滑動(dòng)槽的開(kāi)口，該閥桿連接于該門(mén)板且該門(mén)板受閥桿的帶動(dòng)于滑動(dòng)槽內(nèi)移動(dòng)以使門(mén)板于閉鎖位置時(shí)密封于該開(kāi)口而于開(kāi)啟位置時(shí)使該開(kāi)口開(kāi)啟。
[0026]通過(guò)上述結(jié)構(gòu)可知，本實(shí)用新型的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果:
[0027]1、當(dāng)驅(qū)動(dòng)缸驅(qū)動(dòng)閥門(mén)至閉鎖位置時(shí)，該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線(xiàn)于第一樞孔側(cè)的夾角為170度?190度。較佳者，該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線(xiàn)與第二桿件軸心呈一直線(xiàn)排列，且平行于驅(qū)動(dòng)缸軸心。使得閥門(mén)欲產(chǎn)生反向開(kāi)啟動(dòng)作時(shí)，反作用力由閥桿、滑動(dòng)塊、第二桿件、旋動(dòng)桿件以及調(diào)整座直線(xiàn)傳導(dǎo)至框架處承受，而防止各組件及閥門(mén)產(chǎn)生動(dòng)作，以達(dá)到自動(dòng)鎖固閥門(mén)的目的，免除驅(qū)動(dòng)缸于閉鎖位置時(shí)需額外動(dòng)力鎖固的問(wèn)題。
[0028]2、滑動(dòng)塊位移時(shí)可確保沿平行于驅(qū)動(dòng)軸軸心順暢滑動(dòng)，而增進(jìn)各組件間的位移順暢效果，以及位移的精密度。
[0029]3、調(diào)整座與邊框間設(shè)有一調(diào)整螺件，可活動(dòng)改變調(diào)整座與邊框的距離，以因應(yīng)不同的閥門(mén)尺寸，調(diào)整動(dòng)作行程。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0030]圖1:為本實(shí)用新型啟閉裝置的立體外觀組合圖。
[0031]圖2:為本實(shí)用新型啟閉裝置的立體外觀分解圖。[0032]圖3:為本實(shí)用新型啟閉裝置的局部立體外觀分解圖。
[0033]圖4:為本實(shí)用新型的開(kāi)啟位置實(shí)施狀態(tài)平面示意圖。
[0034]圖5:為圖4的局部放大示意圖。
[0035]圖6:為本實(shí)用新型的閉鎖位置實(shí)施狀態(tài)平面示意圖。
[0036]圖7:為圖6的局部放大示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0037]為便于說(shuō)明本實(shí)用新型于上述
【發(fā)明內(nèi)容】
一欄中所表示的中心思想，茲以具體實(shí)施例表達(dá)。實(shí)施例中各種不同物件按適于說(shuō)明的比例、尺寸、變形量或位移量而描繪，而非按實(shí)際元件的比例予以繪制，合先敘明。且以下的說(shuō)明中，類(lèi)似的元件是以相同的編號(hào)來(lái)表
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[0038]如圖1?圖4所示，本實(shí)用新型一種自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，包含:
[0039]一框架10，其為以一座體11、兩側(cè)框12及一邊框13所組成的中空框體；其中，該兩側(cè)框12分別設(shè)于座體11的兩端處，而該邊框13設(shè)于側(cè)框12相對(duì)于座體11的另一端處。
[0040]一驅(qū)動(dòng)缸20，其設(shè)置于該座體11處，且其具有一可活動(dòng)伸出縮入的驅(qū)動(dòng)軸21，該驅(qū)動(dòng)缸20可為一般習(xí)知的氣壓缸或油壓缸；其中，該驅(qū)動(dòng)缸20的驅(qū)動(dòng)軸21往邊框13方向產(chǎn)生伸出動(dòng)作，而往座體11方向產(chǎn)生縮入動(dòng)作。
[0041]—橫桿30,其設(shè)置于該驅(qū)動(dòng)軸21的一端處,而與該驅(qū)動(dòng)軸21軸心呈垂直方向。
[0042]至少一第一桿件40，其一端樞接于該橫桿30的一端處。
[0043]至少一旋動(dòng)桿件50，其上設(shè)有呈三角形分布的第一樞孔51、第二樞孔52及第三樞孔53,其中，該第一樞孔51供第一桿件40相對(duì)于橫桿30的另一端樞接。
[0044]至少一調(diào)整座60，其連接于該邊框13處，以供該第二樞孔52樞接；其中，該調(diào)整座60與邊框13間設(shè)有一調(diào)整螺件61，且該調(diào)整螺件61的軸心平行于驅(qū)動(dòng)軸21軸心，可活動(dòng)改變調(diào)整座60與邊框13的距離。
[0045]至少一第二桿件70，其一端樞接于該旋動(dòng)桿件50的第三樞孔53處。
[0046]至少一滑動(dòng)塊80，其可滑動(dòng)地設(shè)置于該側(cè)框12處，并與該第二桿件70相對(duì)于第三樞孔53的另一端樞接；其中，該滑動(dòng)塊80以一滑動(dòng)件81設(shè)置于側(cè)框12處，該滑動(dòng)件81可為一線(xiàn)性滑軌，而該滑動(dòng)件81的軸心平行于驅(qū)動(dòng)軸21軸心。以及
[0047]至少一閥桿90，該閥桿90 —端連接于該滑動(dòng)塊80，另一端可供連接于一真空艙的閥門(mén)100，以使閥桿90可帶動(dòng)該閥門(mén)100于一開(kāi)啟位置以及一閉鎖位置間切換。
[0048]再者，該閥門(mén)100具有一門(mén)框架101及一門(mén)板102，該門(mén)框架101連接于座體11相對(duì)于驅(qū)動(dòng)缸20的另一側(cè)，該門(mén)框架101內(nèi)設(shè)有一平行于驅(qū)動(dòng)軸21軸心方向的滑動(dòng)槽103，以及一穿設(shè)過(guò)該滑動(dòng)槽103的開(kāi)口 104，且該閥桿90穿設(shè)過(guò)該座體11而連接于該門(mén)板102，使該門(mén)板102可受閥桿90的帶動(dòng)于滑動(dòng)槽103內(nèi)移動(dòng)，以使門(mén)板102于閉鎖位置時(shí)密封于該開(kāi)口 104，而于開(kāi)啟位置時(shí)使該開(kāi)口 104開(kāi)啟。
[0049]其中，該旋動(dòng)桿件50與第二桿件70于閉鎖位置時(shí)，該第二樞孔52及第三樞孔53所呈的直線(xiàn)A與第二桿件70軸心B于第一樞孔51側(cè)的夾角Θ為170度?190度。較佳的實(shí)施例中，該旋動(dòng)桿件50與第二桿件70于閉鎖位置時(shí)，該第二樞孔52及第三樞孔53所呈的直線(xiàn)A與第二桿件70軸心B呈一直線(xiàn)排列，且平行于驅(qū)動(dòng)缸20軸心。[0050]且較佳的實(shí)施例中，該第一桿件40、旋動(dòng)桿件50、調(diào)整座60、第二桿件70、滑動(dòng)塊80及閥桿90為成對(duì)設(shè)置，且以該驅(qū)動(dòng)缸20為對(duì)稱(chēng)軸心對(duì)稱(chēng)設(shè)置。
[0051]明了上述本實(shí)用新型詳細(xì)結(jié)構(gòu)后，以下針對(duì)本實(shí)用新型的動(dòng)作原理逐一詳細(xì)說(shuō)明:
[0052]如圖4及圖5所示，于開(kāi)啟位置時(shí)，該驅(qū)動(dòng)缸20的驅(qū)動(dòng)軸21往邊框13方向產(chǎn)生伸出動(dòng)作，而該閥桿90透過(guò)橫桿30、第一桿件40、旋動(dòng)桿件50、調(diào)整座60、第二桿件70及滑動(dòng)塊80的連桿動(dòng)作，帶動(dòng)門(mén)板102于滑動(dòng)槽103內(nèi)往座體11的方向移動(dòng)，進(jìn)而使門(mén)板102與開(kāi)口 104呈開(kāi)啟狀態(tài)。
[0053]反之,如圖6及圖7所示,欲由開(kāi)啟位置切換至閉鎖位置時(shí),該驅(qū)動(dòng)缸20的驅(qū)動(dòng)軸21往座體11方向產(chǎn)生縮入動(dòng)作，透過(guò)該旋動(dòng)桿件50的第一樞孔51受橫桿30及第一桿件40的拉動(dòng)，而以第二樞孔52與調(diào)整座60的樞接處為軸心轉(zhuǎn)動(dòng)，使第二桿件70將滑動(dòng)塊80往座體11方向壓動(dòng)，而使滑動(dòng)塊80沿滑動(dòng)件81帶動(dòng)閥桿90往門(mén)框架101位移，進(jìn)而使門(mén)板102與開(kāi)口 104呈密合狀態(tài)。
[0054]當(dāng)驅(qū)動(dòng)缸20驅(qū)動(dòng)閥門(mén)100至閉鎖位置時(shí)，該第二樞孔52及第三樞孔53所呈的直線(xiàn)A與第二桿件70軸心B于第一樞孔51側(cè)的夾角Θ為170度?190度。更甚者，該旋動(dòng)桿件50與第二桿件70于閉鎖位置時(shí)，該第二樞孔52及第三樞孔53所呈的直線(xiàn)A與第二桿件70軸心B呈一直線(xiàn)排列，且平行于驅(qū)動(dòng)缸20軸心。使得閥門(mén)100的門(mén)板102因反向作用力等因素欲往反向移動(dòng)時(shí)，該反作用力由閥桿90、滑動(dòng)塊80、第二桿件70、第二樞孔52以及調(diào)整座60直線(xiàn)傳導(dǎo)至框架10的邊框13處承受，而防止各組件及閥門(mén)100產(chǎn)生動(dòng)作，以達(dá)到自動(dòng)鎖固閥門(mén)100的目的，免除驅(qū)動(dòng)缸20于閉鎖位置時(shí)需額外動(dòng)力鎖固的問(wèn)題。即使驅(qū)動(dòng)缸20或管路發(fā)生泄漏或力量不足時(shí)，閥門(mén)100也不會(huì)松動(dòng)、破壞真空艙的真空效果。
[0055]由以上詳細(xì)說(shuō)明，可使熟知本項(xiàng)技藝者明了本實(shí)用新型確實(shí)與習(xí)用的技術(shù)截然不同，具有相當(dāng)?shù)男路f性。且本實(shí)用新型具有習(xí)用技術(shù)所無(wú)法預(yù)期的功效，實(shí)已符合專(zhuān)利核準(zhǔn)的積極要件，爰依法提出專(zhuān)利申請(qǐng)。
[0056]雖本實(shí)用新型是以一較佳實(shí)施例作說(shuō)明，但精于此技藝者能在不脫離本實(shí)用新型精神與范疇下作各種不同形式的改變。以上所舉實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型而已，非用以限制本實(shí)用新型的范圍。舉凡不違本實(shí)用新型精神所從事的種種修改或變化，俱屬本實(shí)用新型意欲保護(hù)的范疇。
【權(quán)利要求】
1.一種自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于包含: 一框架,其為以一座體、兩側(cè)框及一邊框所組成的中空框體； 一驅(qū)動(dòng)缸，其設(shè)置于該座體處，且具有一可活動(dòng)伸出縮入的驅(qū)動(dòng)軸； 一橫桿，其設(shè)置于該驅(qū)動(dòng)軸的一端處； 至少一第一桿件，其一端樞接于該橫桿的一端處； 至少一旋動(dòng)桿件，其上設(shè)有呈三角形分布的第一樞孔、第二樞孔及第三樞孔，其中，該第一樞孔供第一桿件相對(duì)于橫桿的另一端樞接； 至少一調(diào)整座，其連接于該邊框處，以樞接于該第二樞孔； 至少一第二桿件，其一端樞接于第三樞孔； 至少一滑動(dòng)塊，其可滑動(dòng)地設(shè)置于該側(cè)框處，并與該第二桿件相對(duì)于第三樞孔的另一端樞接；以及 至少一閥桿，該閥桿一端連接于該滑動(dòng)塊，另一端連接于一真空艙的一閥門(mén)以使閥桿帶動(dòng)該閥門(mén)于一開(kāi)啟位置以及一閉鎖位置間切換。
2.如權(quán)利要求1所述的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于，該兩側(cè)框分別設(shè)于座體的兩端處，而該邊框設(shè)于側(cè)框相對(duì)于座體的另一端處。
3.如權(quán)利要求2所述的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)缸的驅(qū)動(dòng)軸往邊框方向產(chǎn)生伸出動(dòng)作，而往座體方向產(chǎn)生縮入動(dòng)作。
4.如權(quán)利要求1所述的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于，該旋動(dòng)桿件與第二桿件于閉鎖位置時(shí)該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線(xiàn)與第二桿件軸心于第一桿件側(cè)的夾角為170度?190度。
5.如權(quán)利要求1所述的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于，該旋動(dòng)桿件與第二桿件于閉鎖位置時(shí)該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線(xiàn)與第二桿件軸心呈一直線(xiàn)排列且平行于驅(qū)動(dòng)缸軸心。
6.如權(quán)利要求1所述的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于，該調(diào)整座與邊框間設(shè)有一調(diào)整調(diào)整座與邊框的距離的調(diào)整螺件。
7.如權(quán)利要求6所述的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于，該調(diào)整螺件的軸心平行于驅(qū)動(dòng)軸軸心。
8.如權(quán)利要求1所述的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于，該滑動(dòng)塊以一滑動(dòng)件設(shè)置于側(cè)框處，且該滑動(dòng)件的軸心平行于驅(qū)動(dòng)軸軸心。
9.如權(quán)利要求8所述的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于，該滑動(dòng)件為一線(xiàn)性滑軌。
10.如權(quán)利要求1所述的自鎖式真空艙門(mén)啟閉裝置，其特征在于，該閥門(mén)具有一門(mén)框架及一門(mén)板，該門(mén)框架連接于座體相對(duì)于驅(qū)動(dòng)缸的另一側(cè)，該門(mén)框架內(nèi)設(shè)有一平行于驅(qū)動(dòng)軸軸心方向的滑動(dòng)槽，以及一穿設(shè)過(guò)該滑動(dòng)槽的開(kāi)口，該閥桿連接于該門(mén)板且該門(mén)板受閥桿的帶動(dòng)于滑動(dòng)槽內(nèi)移動(dòng)以使門(mén)板于閉鎖位置時(shí)密封于該開(kāi)口而于開(kāi)啟位置時(shí)使該開(kāi)口開(kāi)啟O
【文檔編號(hào)】E05B51/02GK203547286SQ201320692543
【公開(kāi)日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年11月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月5日
【發(fā)明者】蔡環(huán)宇 申請(qǐng)人:新萊應(yīng)材科技有限公司