專利名稱：基板輸送裝置和基板輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于制造以液晶板為代表的平板顯示器等的零件安裝裝置，尤其是涉及一種在工序之間用于交接玻璃基板等的基板輸送裝置和基板輸送方法。
背景技術(shù)：
一直以來，作為用于制造以液晶板為代表的平板顯示器等的零件安裝裝置，將形成為薄膜狀的電子零件(FPC(柔性印制電路)或COF(置于薄膜上的芯片)、TCP(帶式運(yùn)輸器組件)等)安裝在玻璃基板上的零件安裝裝置，已為人所熟知。
圖6示出了利用這種零件安裝裝置安裝了電子零件的玻璃基板的一個(gè)示例。如圖6所示，玻璃基板21是由2種尺寸不同的基板21a、21b貼合而成，將多個(gè)電子零件22安裝在其外周的里外兩面(上部基板21a下表面和下部基板21b的上表面)上。
這樣安裝有電子零件22的玻璃基板21由圖7A和圖7B所示的基板輸送裝置30在工序之間進(jìn)行交接。如圖7A和圖7B所示，基板輸送裝置30包括可上下左右移動(dòng)的臂主體31、多個(gè)設(shè)置在臂主體31下表面上的并吸附支持玻璃基板21上表面的吸附襯墊32，從而在通過這些各吸附襯墊32支持玻璃基板21的狀態(tài)下，將玻璃基板21(安裝有電子零件22的玻璃基板21)在工序之間輸送。
可是近些年來，用在平板顯示器中的玻璃基板愈趨大型化，伴隨此，安裝在玻璃基板上的電子零件也變得大型化。即，作為安裝在玻璃基板上的電子零件，外形尺寸增大，而且也日漸采用著連接有印制基板或加熱板等的電子零件。因而，一旦由圖7A和圖7B所示的基板輸送裝置30輸送安裝有這種電子零件的玻璃基板，則電子零件22因自重而從玻璃基板21下垂，所以可能由于和其它裝置的干涉或輸送時(shí)的振動(dòng)等而受到的沖擊，電子零件22在輸送途中落下(圖7A)，另外還可能由于在輸送時(shí)受到的振動(dòng)，電子零件22碰撞在玻璃基板21上，而造成玻璃基板21破損(圖7B)。
因而，在輸送平板顯示器等中所使用的大型玻璃基板時(shí)，如圖8所示，一般使用將安裝有電子零件22的玻璃基板21載置在托盤33上，由輸送臂或輸送載物臺(tái)輸送每個(gè)托盤33的方法。
但是，由于用來輸送大型玻璃基板的托盤33較大，而且重量較重，所以由人工交換托盤33非常困難，因此有必要另外設(shè)計(jì)用以托盤33的操縱機(jī)構(gòu)(將托盤33從下游工序返回到上游工序的機(jī)構(gòu))。因而有裝置的設(shè)置面積增大或成本增加的問題。此外，還需要為每種平板顯示器(也就是玻璃基板的尺寸)準(zhǔn)備托盤，所以存在有增大運(yùn)行成本的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是考慮上述問題而作出的，本發(fā)明的目的是提供一種基板輸送裝置和基板輸送方法，可以廉價(jià)、可靠地輸送安裝有電子零件的基板、并防止電子零件落下或基板破損。
本發(fā)明提供一種基板輸送裝置，輸送安裝有電子零件的基板，其特征在于，包括臂主體，安裝在所述臂主體上、且從上側(cè)支持作為輸送對象的基板的第1支持機(jī)構(gòu)，安裝在所述臂主體上、且從上側(cè)支持安裝在上述基板上的電子零件的第2支持機(jī)構(gòu)。
而且在本發(fā)明中，上述第1支持機(jī)構(gòu)最好包括對應(yīng)于上述基板而配置的多個(gè)第1支持部件。此外，上述第1支持部件最好在上述臂主體上可以調(diào)整其安裝位置。而且，吸收與上述基板接觸時(shí)所施加在上述基板上的沖擊的沖擊緩沖機(jī)構(gòu)最好設(shè)置在上述第1支持部件和上述臂主體之間。可采用吸附保持上述基板的上表面的吸附部件作為上述第1支持部件。
而且在本發(fā)明中，上述第2支持機(jī)構(gòu)最好具有對應(yīng)于所述電子零件而配置的多個(gè)第2支持部件。而且，上述第2支持部件最好在上述臂主體上可以調(diào)整其安裝位置。而且，吸收與上述電子零件接觸時(shí)所施加在上述電子零件上的沖擊的沖擊緩沖機(jī)構(gòu)最好設(shè)置在上述第2支持部件和上述臂主體之間。此外，作為上述第2支持部件可以采用從上述電子零件上側(cè)延伸、并且吸附保持上述電子零件上表面的吸附部件，或從上述電子零件上側(cè)延伸、并且支承地支持上述電子零件下表面的支持臂。
而且在本發(fā)明中，最好還具有選擇性地控制上述各第2支持部件的工作狀態(tài)的工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)。
此時(shí)，上述工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)包括使上述各第2支持部件升降的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過使上述各第2支持部件移動(dòng)到支持上述各電子零件的支持位置或從上述各個(gè)電子零件退避的退避位置的任一位置，可選擇性地控制上述各第2支持部件的工作狀態(tài)。另外在此時(shí)，上述工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)最好還包括根據(jù)作為輸送對象的基板的種類而控制上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制裝置。
此外，當(dāng)上述第2支持部件是吸附保持上述各電子零件的上表面的吸附部件時(shí)，上述工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)包括用于切換上述各吸附部件的吸附狀態(tài)的吸附狀態(tài)切換機(jī)構(gòu)，通過切換上述各第2支持部件的吸附狀態(tài)，可選擇性地控制上述各第2支持部件的工作狀態(tài)。此時(shí)，上述工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)最好還包括根據(jù)作為輸送對象的基板種類而控制上述吸附狀態(tài)切換機(jī)構(gòu)的控制裝置。
此外本發(fā)明提供一種將安裝有電子零件的基板從第1位置向第2位置輸送的基板輸送方法，其特征在于，包括如下工序從上側(cè)使臂主體向著定位于第1位置的作為輸送對象的基板下降的工序；利用安裝在上述臂主體上且從上側(cè)支持上述基板的第1支持機(jī)構(gòu)支持上述基板，并且利用安裝在上述臂主體上且從上側(cè)支持安裝在上述基板上的上述電子零件的第2支持機(jī)構(gòu)支持上述電子零件的工序；通過使上述臂主體沿上下和水平方向移動(dòng)，使安裝有上述電子零件的基板定位于第2位置的工序；解除由上述第1支持機(jī)構(gòu)對上述基板的支持、并解除由上述第2支持機(jī)構(gòu)對上述電子零件的支持的工序。
如果選用本發(fā)明，由于在配置于基板上方的臂主體上設(shè)置有從上側(cè)支持基板的第1支持機(jī)構(gòu)以及從上側(cè)支持安裝在基板上的電子零件的第2支持機(jī)構(gòu)，所以可在輸送安裝有電子零件的基板時(shí)防止電子零件因自重而從基板上垂下。因而可以廉價(jià)、可靠地輸送安裝有電子零件的基板，而不產(chǎn)生電子零件落下或基板破損等。
此外，如果選擇本發(fā)明，通過在臂主體上可調(diào)整各第1支持部件和各第2支持部件的安裝位置，從而可以根據(jù)基板或電子零件的尺寸和位置，在臂主體上調(diào)整其安裝位置。因而，可實(shí)現(xiàn)按照作為制造對象的平板顯示器種類的最佳輸送。
而且如果選用本發(fā)明，由于在各第2支持部件和臂主體之間設(shè)有吸收各第2支持部件與電子零件接觸時(shí)所施加在各電子零件上的沖擊的沖擊緩沖機(jī)構(gòu)，所以可防止在各第2支持部件與電子零件接觸時(shí)對各電子零件施加不必要的沖擊和載荷。


圖1A是顯示根據(jù)本發(fā)明的基板輸送裝置的一個(gè)實(shí)施形式的正視圖；圖1B是顯示由圖1A所示的基板輸送裝置輸送的帶有電子零件的玻璃基板的平面圖；圖2是顯示由圖1A所示的基板輸送裝置在工序間交接玻璃基板的形態(tài)的視圖；圖3是顯示圖1A所示的基板輸送裝置的變形示例的視圖；圖4是顯示圖1A所示的基板輸送裝置的其它變形示例的視圖；圖5是顯示圖1A所示的基板輸送裝置的另一變形示例的視圖；圖6是顯示安裝有電子零件的玻璃基板的視圖；圖7A和圖7B是顯示一個(gè)現(xiàn)有基板輸送裝置示例的視圖；圖8是顯示現(xiàn)有基板輸送裝置的其它示例的視圖。
本發(fā)明的最佳實(shí)施形式下文參考附圖介紹本發(fā)明實(shí)施形式。
如圖1A和圖1B所示，本實(shí)施形式的基板輸送裝置10是用于在工序間交接安裝有電子零件22的玻璃基板21的裝置。作為輸送對象的玻璃基板21由2種尺寸不同的基板21a、21b貼合而成，多個(gè)電子零件22安裝在玻璃基板外周的表里兩面上(上部基板21a的下表面和下部基板21b的上表面)。
如圖1A和圖1B所示，基板輸送裝置10包括配置在玻璃基板21上方且可上下和左右移動(dòng)的臂主體11。作為從上側(cè)支持玻璃基板21的第1支持機(jī)構(gòu)，對應(yīng)于玻璃基板21被設(shè)置在其上方，吸附并支持玻璃基板21的上表面的多個(gè)玻璃基板用吸附襯墊(第1支持部件)12被設(shè)置在臂主體11上。此外，作為從上側(cè)支持被安裝在玻璃基板21上的多個(gè)電子零件22的第2支持機(jī)構(gòu)，對應(yīng)于各電子零件22而配置在其上方，吸附并支持電子零件22的上表面的電子零件用吸附襯墊(第2支持部件)13被設(shè)置在臂主體11上。而且，各玻璃基板用吸附襯墊12和各電子零件用吸附襯墊13通過吸附系統(tǒng)(參考圖4中附圖標(biāo)記16a～16d)與真空源(參考圖4中附圖標(biāo)記18)相連。
其中，在各玻璃基板用吸附襯墊12上設(shè)置有調(diào)整相對于臂主體11的相對位置的調(diào)整機(jī)構(gòu)(圖中未示)，根據(jù)玻璃基板21的尺寸(縱向、橫向的尺寸和厚度)和位置，可以在臂主體11上調(diào)整其安裝位置(縱向、橫向的位置和高度)。此外，在各電子零件用吸附襯墊13上設(shè)置有調(diào)整相對于臂主體11的相對位置的調(diào)整機(jī)構(gòu)(圖中未示)，可根據(jù)電子零件22的尺寸(縱向、橫向的尺寸和厚度)和位置，調(diào)整其安裝位置(縱向、橫向的位置和高度)。進(jìn)一步，在各電子零件用吸附襯墊13上設(shè)置有吸收各電子零件用吸附襯墊13與電子零件22接觸時(shí)所施加在電子零件22上的沖擊的彈簧(沖擊緩沖機(jī)構(gòu))15。
也可以在各電子零件用吸附襯墊13上設(shè)置檢測電子零件22在各電子零件用吸附襯墊13上的支持狀況(電子零件22的有無)的傳感器(圖中未示)。因而可有效地檢測由電子零件22下落等所引起的制造不良。
下文，由圖2的(a)(b)(c)(d)(e)，介紹如上所構(gòu)成的本實(shí)施形式的作用。而且，此處，以通過基板輸送裝置10將安裝有電子零件22的玻璃基板21(下文也簡稱“玻璃基板21”)從上一個(gè)工序交接到下一個(gè)工序的情況為例進(jìn)行說明。
首先通過使臂主體11向左側(cè)移動(dòng)，將基板輸送裝置10向基板接收位置移動(dòng)(圖2(a))。此時(shí)，前工序的基板輸送載物臺(tái)41在載置了玻璃基板21的狀態(tài)下移動(dòng)到基板交接位置(第1位置)。
在此狀態(tài)下，通過使臂主體11向下側(cè)移動(dòng)，使得基板輸送裝置10下降，安裝在臂主體11上的所有的玻璃基板用吸附襯墊12和電子零件用吸附襯墊13形成吸附狀態(tài)(工作狀態(tài))，吸附并支持玻璃基板21和電子零件22(圖2(b))。
此后，通過使臂主體11向上和向右移動(dòng)，使得基板輸送裝置10上升之后，向下一個(gè)工序的基板交接位置(第2位置)移動(dòng)(圖2(c))。此時(shí)，下一個(gè)工序的基板輸送載物臺(tái)42移動(dòng)到基板接收位置。
隨后，通過使臂主體11向下移動(dòng)，使得基板輸送裝置10下降，從而將玻璃基板21載置在下一工序的基板輸送載物臺(tái)42上(圖2(d))。
然后，安裝在臂主體11上的所有的玻璃基板用吸附襯墊12和電子零件用吸附襯墊13形成非吸附狀態(tài)(非工作狀態(tài))，卸下玻璃基板21和電子零件22后，通過使臂主體11向上方移動(dòng)，從而使基板輸送裝置10上升(圖2(e))。
如果選用本實(shí)施形式，由于在臂主體11上設(shè)置有從上側(cè)支持作為輸送對象的玻璃基板21的玻璃基板用吸附襯墊12，以及從上側(cè)支持安裝在玻璃基板21上的多個(gè)電子零件22的多個(gè)電子零件用吸附襯墊13，所以就可以防止在輸送安裝有電子零件22的玻璃基板21時(shí)，電子零件22因自重而從玻璃基板21下垂，因而，可以廉價(jià)、可靠地輸送安裝有電子零件22的玻璃基板21，而不產(chǎn)生電子零件22的落下或玻璃基板21的破損等。
此外，如果選用本實(shí)施形式，由于可以在臂主體11上調(diào)整各玻璃基板用吸附襯墊12和各電子零件用吸附襯墊13的安裝位置，所以根據(jù)玻璃基板21或電子零件22的尺寸(縱向、橫向的尺寸和厚度)以及位置，可在臂主體11上調(diào)整其安裝位置(縱向、橫向的位置及高度)，因而可實(shí)現(xiàn)對每種作為制造對象的平板顯示器的最佳輸送。
進(jìn)一步，如果選用本實(shí)施形式，由于在各電子零件用吸附襯墊13和臂主體11之間設(shè)置有吸收各電子零件用吸附襯墊13與電子零件22接觸時(shí)所施加在各電子零件22上的沖擊的彈簧(沖擊緩沖機(jī)構(gòu))15，所以可以防止在各電子零件用吸附襯墊13與電子零件22接觸時(shí)，對電子零件22施加不必要的沖擊和負(fù)荷。
而且，盡管在上述實(shí)施形式中，在輸送安裝有電子零件22的玻璃基板21時(shí)，使設(shè)置在臂主體11上的所有電子零件用吸附襯墊13都工作。但是并不局限于此，根據(jù)作為制造對象的平板顯示器的種類，可選擇性地控制各電子零件用吸附襯墊13的吸附狀態(tài)(工作狀態(tài))，而使與不存在電子零件22的位置、或者無需支持的位置相對應(yīng)的電子零件用吸附襯墊13處于非吸附狀態(tài)(非工作狀態(tài))。
具體地說，如圖3所示，在多個(gè)電子零件用吸附襯墊13的每個(gè)上設(shè)置使該電子零件用吸附襯墊升降的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)14，通過控制裝置35，根據(jù)作為輸送對象的基板的品種(種類)，使各電子零件用吸附襯墊13向支持電子零件22的支持位置或從電子零件22退避的退避位置中任一個(gè)位置移動(dòng)即可。此外，由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)14和控制裝置35構(gòu)成工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)。
此外，也可以如圖4所示，將多個(gè)吸附系統(tǒng)16a～16d設(shè)置在真空源18和各電子零件用吸附襯墊13之間，并在控制裝置36的控制下，由真空電磁閥等吸附系統(tǒng)切換機(jī)構(gòu)17對吸附系統(tǒng)進(jìn)行切換，來切換各電子零件用吸附襯墊13的吸附狀態(tài)。此外，雖然圖4中在玻璃基板21的每一邊分別分配一吸附系統(tǒng)，但是并不局限于此，也可以為各電子零件用吸附襯墊13的每個(gè)分別分配一吸附系統(tǒng)。此外，各個(gè)電子零件用吸附襯墊13的選擇信息也可以與作為制造對象的平板顯示器的品種信息一起，先保持在控制裝置36中，通過控制裝置36對應(yīng)于作為輸送對象的基板品種(種類)，自動(dòng)地控制電子零件用吸附襯墊13的吸附狀態(tài)。此外，由吸附系統(tǒng)16a～16d以及吸附系統(tǒng)切換機(jī)構(gòu)17構(gòu)成吸附狀態(tài)切換機(jī)構(gòu)，由吸附系統(tǒng)16a～16d、吸附系統(tǒng)切換機(jī)構(gòu)17和控制裝置36構(gòu)成工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)。
另外在上述實(shí)施形式中，雖然由電子零件用吸附襯墊13吸附并支持各電子零件22的上表面，但是并不局限于此，如圖5所示，也可以由電子零件用支持臂19來支承并支持各電子零件22的下表面。
而且，在上述實(shí)施形式中，雖然在電子零件用吸附襯墊13上設(shè)置有彈簧15，但是并不局限于此，也可以在玻璃基板用吸附襯墊12上設(shè)置相同的機(jī)構(gòu)。
另外，在上述實(shí)施形式中，雖然以用于平板顯示器的玻璃基板為例進(jìn)行了說明，但是并不局限于此，可適用于任意基板。
權(quán)利要求
1.一種基板輸送裝置，輸送安裝有電子零件的基板，其特征在于，包括臂主體，安裝在所述臂主體上、且從上側(cè)支持作為輸送對象的基板的第1支持機(jī)構(gòu)，安裝在所述臂主體上、且從上側(cè)支持安裝在上述基板上的電子零件的第2支持機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述第1支持機(jī)構(gòu)包括與上述基板對應(yīng)配置的多個(gè)第1支持部件。
3.如權(quán)利要求2所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述第1支持部件在上述臂主體上可以調(diào)整其安裝位置。
4.如權(quán)利要求2所述的基板輸送裝置，其特征在于，在上述第1支持部件和上述臂主體之間，設(shè)置有吸收與上述基板接觸時(shí)所施加在上述基板上的沖擊的沖擊緩沖機(jī)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求2所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述第1支持部件是吸附保持上述基板的上表面的吸附部件。
6.如權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述第2支持機(jī)構(gòu)具有與所述電子零件對應(yīng)配置的多個(gè)第2支持部件。
7.如權(quán)利要求6所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述第2支持部件在上述臂主體上可以調(diào)整其安裝位置。
8.如權(quán)利要求6所述的基板輸送裝置，其特征在于，在上述第2支持部件和上述臂主體之間，設(shè)置有吸收與上述電子零件接觸時(shí)所施加在上述電子零件上的沖擊的沖擊緩沖機(jī)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求6所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述第2支持部件是從上述電子零件上側(cè)延伸、并且吸附保持上述電子零件的上表面的吸附部件。
10.如權(quán)利要求6所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述第2支持部件是從上述電子零件上側(cè)延伸、并且支承地支持上述電子零件的下表面的支持臂。
11.如權(quán)利要求6所述的基板輸送裝置，其特征在于，還包括選擇性地控制上述各第2支持部件的工作狀態(tài)的工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)。
12.如權(quán)利要求11所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)包括使上述各第2支持部件升降的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過使上述各第2支持部件移動(dòng)到支持上述各個(gè)電子零件的支持位置或從上述各電子零件退避的退避位置的任一位置，來選擇性地控制上述各第2支持部件的工作狀態(tài)。
13.如權(quán)利要求12所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)還包括根據(jù)作為輸送對象的基板的種類而控制上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制裝置。
14.如權(quán)利要求11所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述第2支持部件是吸附保持上述各電子零件的上表面的吸附部件，上述工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)包括用于切換上述各吸附部件吸附狀態(tài)的吸附狀態(tài)切換機(jī)構(gòu)，通過切換上述各第2支持部件的吸附狀態(tài)，來選擇性地控制上述各第2支持部件的工作狀態(tài)。
15.如權(quán)利要求14所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述工作狀態(tài)控制機(jī)構(gòu)還包括根據(jù)作為輸送對象的基板種類而控制上述吸附狀態(tài)切換機(jī)構(gòu)的控制裝置。
16.一種基板輸送方法，將安裝有電子零件的基板從第1位置向第2位置輸送，其特征在于，包括如下工序從上側(cè)使臂主體向著定位于第1位置的作為輸送對象的基板下降的工序；利用安裝在上述臂主體上且從上側(cè)支持上述基板的第1支持機(jī)構(gòu)支持上述基板、并且利用安裝在上述臂主體上且從上側(cè)支持安裝在上述基板上的上述電子零件的第2支持機(jī)構(gòu)支持上述電子零件的工序；通過使上述臂主體沿上下方向和水平方向移動(dòng)、使安裝有上述電子零件的基板定位于第2位置的工序；解除由上述第1支持機(jī)構(gòu)對上述基板的支持、并且解除由上述第2支持機(jī)構(gòu)對上述電子零件支持的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以廉價(jià)、可靠地輸送安裝有電子零件的基板、且不產(chǎn)生電子零件落下或基板破損等的基板輸送裝置?；遢斔脱b置(10)包括可上下左右移動(dòng)的臂主體(11)。在臂主體(11)上設(shè)置有多個(gè)吸附并支持玻璃基板(21)的上表面的玻璃基板用吸附襯墊(12)、對應(yīng)于各電子零件(22)而配置在其上方、并吸附支持各電子零件(22)的上表面的多個(gè)電子零件用吸附襯墊(13)。各吸附襯墊(12、13)通過吸附系統(tǒng)與真空源連接。在各吸附襯墊(12、13)上設(shè)置有調(diào)整相對于臂主體11的相對位置的調(diào)整機(jī)構(gòu)，根據(jù)玻璃基板(21)或電子零件(22)的尺寸和位置，可在臂主體(11)上調(diào)整其安裝位置。在各吸附襯墊(13)上設(shè)有彈簧(15)，其吸收各吸附襯墊(13)接觸電子零件(22)時(shí)所施加在電子零件(22)上的沖擊。
文檔編號(hào)B25J15/06GK1558814SQ0182376
公開日2004年12月29日 申請日期2001年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月1日
發(fā)明者荻本真一 申請人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司