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      層壓方法和使用該方法的層壓裝置的制作方法

      文檔序號(hào):2416877閱讀:196來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:層壓方法和使用該方法的層壓裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及當(dāng)在縱向方向上傳送一種帶狀材料時(shí),對(duì)該材料,如一個(gè)要加熱和加壓的運(yùn)載帶,進(jìn)行連續(xù)加熱和加壓的層壓方法。
      背景技術(shù)
      例如用于TAB的運(yùn)載帶、用于覆晶薄膜(COFs)的運(yùn)載帶和柔性印刷電路(FPCs)的印刷電路板,在各種應(yīng)用中得到使用,比如監(jiān)控裝置、便攜式裝置的液晶驅(qū)動(dòng)器等、半導(dǎo)體IC、以及用于連接部件的電纜。
      在這種類型的印刷電路板上,如在圖1到6中顯示的,通常通過(guò)涂覆諸如使用光阻材料(感光性媒質(zhì))的銅箔的導(dǎo)體層、將布線電路圖在光下曝光、以及將曝光的圖形顯影和蝕刻的步驟形成布線電路。
      圖1和2是沿著板的橫向方向的截面圖。圖1顯示了一種兩層運(yùn)載帶的例子。由諸如聚酰亞胺制成的絕緣層10,作為印刷電路板的基底14。由諸如銅制成的導(dǎo)體層12,形成預(yù)先確定的電路布線圖,并層疊于絕緣層10上。通過(guò)脫脂處理、化學(xué)拋光或諸如此類的方法對(duì)導(dǎo)體層12的表面進(jìn)行清潔。銅導(dǎo)體層12的厚度是例如大約8到12μm,同時(shí),聚酰亞胺絕緣層10的厚度是例如約25到50μm。
      圖2顯示了一個(gè)三層運(yùn)載帶的實(shí)例,其中用于粘合絕緣層10和導(dǎo)體層12的粘合層16在它們之間形成。在這種結(jié)構(gòu)中,由銅制成的導(dǎo)體層12的厚度是例如大約15到25μm,由聚酰亞胺制成的絕緣層10的厚度是例如大約75μm,同時(shí),粘合層16的厚度是例如約12μm。
      這些兩層和三層運(yùn)載帶的帶寬大約是35到350mm,長(zhǎng)度大約是100到400m。用作卷軸到卷軸(reel-to-reel)的傳送工具的定位孔18以預(yù)定的間隔在沿著帶子縱向方向的兩側(cè)形成。
      隨后,如圖3所示,導(dǎo)體層12的表面除了形成定位孔18的帶子側(cè)面以外,覆蓋了厚度約為4μm的光阻材料19。在這之后,如圖4所示,用紫外線23穿過(guò)具有預(yù)定布線電路圖的光掩膜21對(duì)光阻材料19進(jìn)行照射。從而,如圖4所示,布線電路圖被印在光阻材料19上。
      如圖5所示,通過(guò)使用顯影劑對(duì)光阻材料19實(shí)施顯影,剩下光阻材料19(#a)部分對(duì)應(yīng)于布線電路圖。此外,如圖6所示,通過(guò)例如浸漬或噴射的方法使用蝕刻劑27實(shí)施蝕刻。在圖5中形成的布線電路圖用光阻材料19(#a)覆蓋,同時(shí)并沒(méi)有被蝕刻劑接觸到。因此,僅僅在導(dǎo)體層12中形成孔的部分上進(jìn)行蝕刻。最后如圖6中所示,除了用于布線電路圖的部分,導(dǎo)體層12被移除。之后,對(duì)剩余的光阻材料19(#a)進(jìn)行剝離。在這種方式中,形成預(yù)定布線電路圖的導(dǎo)體層12(#a)在絕緣層10上得到。
      如先前說(shuō)明的,在兩層運(yùn)載帶中作為導(dǎo)體層12使用的許多銅箔具有約8到12μm的厚度。當(dāng)銅箔的厚度增加時(shí),獲得精細(xì)的布線間距就變得更加困難。當(dāng)銅箔的厚度減小時(shí),就更容易形成精細(xì)的布線間距圖案。另一方面,在三層的運(yùn)載帶中用作導(dǎo)體層12的許多銅箔具有約為15到25μm的厚度。由于不能形成精細(xì)的圖形,這種三層結(jié)構(gòu)的運(yùn)載帶就不適于獲得精細(xì)的布線間距。由于這種原因,兩層結(jié)構(gòu)的運(yùn)載帶就開(kāi)始廣泛應(yīng)用于通常的場(chǎng)合中。在三層結(jié)構(gòu)的運(yùn)載帶中,粘合層16形成在導(dǎo)體層12和絕緣層10之間,并且必須對(duì)導(dǎo)體層12和絕緣層10進(jìn)行層壓。
      利用如圖7所示的層壓裝置實(shí)施層壓。根據(jù)Jpn.Pat.Appln.KOKAI Publication No.2002-210823,在圖7所示的該層壓裝置中,作為第一層壓設(shè)備的真空層壓機(jī)1,作為第二層壓設(shè)備和加熱/加壓工具的第二加熱輥2,其包括一對(duì)彼此相對(duì)的上和下輥67和68,以及用于將在其上層壓上和下薄膜5和7的基底14纏繞的卷取輥3,以該順序從上游側(cè)到下游側(cè)按基底14的纏繞方向設(shè)置。
      真空層壓機(jī)1包括作為減壓槽的真空槽4,同時(shí)真空槽4包括在其上纏繞上薄膜5的上卷線輥6,在其上纏繞下薄膜7的下卷線輥8,以及作為加熱/加壓工具的第一加熱輥9,其包括一對(duì)彼此相對(duì)的上和下輥65和66。
      用于通過(guò)基底14的上游和下游通過(guò)孔61和62形成在真空槽4的主體的前壁和后壁中。而且,用于在真空槽4中保持真空程度的上游和下游真空密封輥63和64,分別設(shè)置在上游和下游通孔61和62的上游和下游附近。
      通過(guò)加熱器(未顯示)對(duì)上和下輥67和68進(jìn)行加熱。在這種加熱狀態(tài)下,上和下輥67和68將其上層疊上和下薄膜5和7的基底14夾在中間,并且在對(duì)基底14運(yùn)送時(shí)對(duì)其進(jìn)行加熱和加壓。
      已有技術(shù)的參考說(shuō)明了在第二加熱輥2的表面溫度大約是110度、第二加熱輥2的壓力大約是0.4MPa、以及卷取輥3的卷取速度是0.5m/min的條件下實(shí)施的層壓操作。
      遺憾的是,這種傳統(tǒng)的層壓裝置具有以下問(wèn)題。
      確切的說(shuō),如圖7所示的傳統(tǒng)的層壓裝置中,上和下輥67和68與基底14的接觸角度是恒定的。因此,為了調(diào)節(jié)加熱條件,比如加熱溫度和加熱時(shí)間,在上和下輥67和68中結(jié)合入溫度控制器以及將這些溫度控制器設(shè)置在預(yù)定溫度上,通過(guò)調(diào)節(jié)卷取輥3的卷取速度以調(diào)節(jié)加熱時(shí)間,或?qū)⑦@些方法合并起來(lái)就是必要的。
      然而在這些方法中,精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件不容易做到,同時(shí),這使得執(zhí)行穩(wěn)定質(zhì)量的層壓處理變得困難。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明已經(jīng)考慮到上述情況,而且其發(fā)明目的是提供一種層壓方法和層壓裝置,使得即使當(dāng)縱向方向上傳送材料,對(duì)加熱和加壓的諸如運(yùn)載帶的帶狀材料進(jìn)行加熱時(shí),也能夠容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      為了獲得上述目的,本發(fā)明使用了如下工具。
      更確切的說(shuō),根據(jù)本發(fā)明的第一方面的層壓方法包括由傳送工具在縱向方向傳輸進(jìn)行加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟,在加熱/加壓輥的輥表面上對(duì)傳送工具傳送的加熱和加壓材料進(jìn)行加熱和加壓的加熱/加壓步驟,以及對(duì)材料與輥表面相接觸的接觸面積進(jìn)行調(diào)節(jié)的接觸面積調(diào)節(jié)步驟。
      在具有上述工具的第一方面的層壓方法中,由此,即使加熱和加壓的例如運(yùn)載帶的帶狀材料在縱向方向上傳送時(shí)被連續(xù)地加熱,加熱條件也可以容易且精細(xì)地通過(guò)調(diào)節(jié)材料與輥表面相接觸的接觸面積來(lái)調(diào)節(jié),而不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度。
      根據(jù)本發(fā)明的第二方面,在第一方面的層壓方法的接觸面積調(diào)節(jié)步驟中,改變?cè)诩訜岷图訅呵霸摬牧蟼魉偷郊訜?加壓輥的傳送路徑,以及在加熱和加壓后的由加熱/加壓輥加熱和加壓的材料傳送路徑中至少一個(gè)的一部分來(lái)調(diào)節(jié)接觸面積。
      因此,在第二方面的層壓方法中,通過(guò)改變?cè)诩訜?加壓輥之前和之后的一部分傳送路徑可以調(diào)節(jié)材料和輥表面之間的接觸面積。結(jié)果不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度就可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)本發(fā)明的第三方面的層壓方法包括由傳送工具在縱向方向上傳輸要進(jìn)行加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟,在加熱/加壓輥的輥表面之上對(duì)傳送工具傳送的材料進(jìn)行加熱和加壓的加熱/加壓步驟,調(diào)節(jié)材料與輥表面相接觸的接觸面積的接觸面積調(diào)節(jié)步驟,以及,使得由加熱/加壓輥對(duì)材料進(jìn)行加熱過(guò)程中的加熱時(shí)間不同于由加熱/加壓輥對(duì)材料進(jìn)行加壓過(guò)程中的加壓時(shí)間的時(shí)間改變步驟。
      因此,在第三方面的層壓方法中,不僅可能執(zhí)行簡(jiǎn)單的精細(xì)調(diào)節(jié),而且可能使加熱時(shí)間和加壓時(shí)間彼此不同,例如,使加熱時(shí)間更長(zhǎng)。
      根據(jù)本發(fā)明的第四方面的層壓方法包括由傳送工具在縱向方向上傳輸加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟,在多個(gè)加熱/加壓輥的每個(gè)的輥表面之上對(duì)傳送工具傳送的材料進(jìn)行加熱和加壓的加熱/加壓步驟;以及,使每個(gè)加熱/加壓輥對(duì)材料進(jìn)行加熱過(guò)程中的加熱時(shí)間不同于由該加熱/加壓輥對(duì)材料進(jìn)行加壓過(guò)程中的加壓時(shí)間的時(shí)間改變步驟。
      因此,在第四方面的層壓方法中,不僅可能執(zhí)行簡(jiǎn)單精細(xì)的調(diào)節(jié),而且可能使加熱時(shí)間和加壓時(shí)間彼此不同,例如,使加熱時(shí)間更長(zhǎng)。此外,由于使用了多個(gè)加熱/加壓輥,加熱和加壓的材料可以通過(guò)執(zhí)行一次處理被連續(xù)數(shù)次加壓。
      根據(jù)本發(fā)明的第五方面的層壓方法包括,通過(guò)傳送工具在縱向方向上傳輸加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟,以及改變由傳送工具傳送的材料的一部分傳送路徑的接觸面積調(diào)節(jié)步驟,這樣,材料經(jīng)由改變的傳送路徑引入一對(duì)加熱/加壓輥的一對(duì)輥表面之間,在此,該對(duì)輥如此設(shè)置使輥的表面彼此相對(duì),同時(shí),該對(duì)輥使用輥表面對(duì)引入該對(duì)輥表面的材料從該材料的上下表面進(jìn)行加熱,由此調(diào)節(jié)材料上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      因此,在第五方面的層壓方法中,通過(guò)改變?cè)诩訜?加壓輥之前一部分傳送路徑可以調(diào)節(jié)材料和輥表面之間的接觸面積。結(jié)果不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度就可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)本發(fā)明的第六方面的層壓方法包括,通過(guò)傳送工具在縱向方向上傳輸加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟,以及改變由傳送工具傳送的并傳送自一對(duì)加熱/加壓輥的一對(duì)輥表面之間的材料的一部分傳送路徑的接觸面積調(diào)節(jié)步驟,其中加熱/加壓輥如此設(shè)置使輥表面彼此相對(duì),并且該加熱/加壓輥由輥表面從材料的上和下表面對(duì)該對(duì)輥表面之間引入的材料進(jìn)行加熱和加壓,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      因此,在第六方面的層壓方法中,通過(guò)改變?cè)诩訜?加壓輥之后的一部分傳送路徑可以調(diào)節(jié)材料和輥表面之間的接觸面積。結(jié)果不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度就可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)本發(fā)明的第七方面的層壓方法包括,由傳送工具在縱向方向上傳輸加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟,改變由傳送工具傳送的材料的一部分傳送路徑的第一接觸面積調(diào)節(jié)步驟,使材料經(jīng)由改變的傳送路徑在一對(duì)加熱/加壓輥的一對(duì)輥表面之間引入,其中,該對(duì)加熱/加壓輥如此設(shè)置使得輥表面彼此相對(duì),并由輥表面對(duì)在該對(duì)輥表面之間引入的材料從材料的上和下表面進(jìn)行加熱,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積,以及改變由傳送工具傳送的并從該對(duì)輥表面之間釋放出的材料的一部分傳送路徑的第二接觸面積調(diào)節(jié)步驟,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      因此,在第七方面的層壓方法中,通過(guò)改變?cè)诩訜?加壓輥之前和之后的一部分傳送路徑可以調(diào)節(jié)材料和輥表面之間的接觸面積。結(jié)果,不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度就可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)本發(fā)明的第八方面的層壓方法包括,在第一到第七方面的任一方面的層壓方法中,在層疊材料信息存儲(chǔ)數(shù)據(jù)庫(kù)中,預(yù)先存儲(chǔ)層疊在加熱和加壓的材料之上的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息的層疊材料信息存儲(chǔ)步驟,基于存儲(chǔ)在層疊材料信息存儲(chǔ)數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息,計(jì)算加壓模式的加壓模式計(jì)算步驟,其中,通過(guò)該加壓模式,加熱/加壓輥將預(yù)定壓力在加熱和加壓材料的縱向方向上施加于層疊的材料,以及使加熱/加壓輥根據(jù)在加壓模式計(jì)算步驟中計(jì)算的加壓模式,對(duì)加熱和加壓的材料施加壓力的加壓步驟,由此,當(dāng)材料通過(guò)加熱/加壓輥在縱向方向上由預(yù)定壓力加壓時(shí),對(duì)層疊材料進(jìn)行加熱。
      因此,在具有上述工具的第八方面的層壓方法中,即使當(dāng)其上層疊設(shè)置有層疊材料的加熱和加壓的材料要進(jìn)行加熱時(shí),所有的層疊材料可以用預(yù)定的壓力加壓,并且加熱條件可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)。
      根據(jù)本發(fā)明的第九方面的層壓裝置包括在縱向方向上傳輸加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具,在輥表面上對(duì)由傳送工具傳送的材料進(jìn)行加熱和加壓的一個(gè)加熱/加壓輥,以及用于調(diào)節(jié)材料與輥表面相接觸的接觸面積的接觸面積調(diào)節(jié)工具。
      因此,在具有上述工具的第九方面的層壓裝置中,即使加熱和加壓的比如運(yùn)載帶的帶狀材料,在縱向方向上傳送時(shí),被連續(xù)地加熱,通過(guò)調(diào)節(jié)材料與輥表面相接觸的接觸面積,就可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件,而不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度。
      根據(jù)本發(fā)明的第十方面的層壓裝置,在第九方面的層壓裝置中,接觸面積調(diào)節(jié)工具通過(guò)在加熱和加壓之前改變材料傳送到加熱/加壓輥的傳送路徑,以及加熱和加壓之后由加熱/加壓輥加熱和加壓的材料的傳送路徑中至少一個(gè)傳送路徑的一部分來(lái)調(diào)節(jié)接觸面積。
      因此,在第十方面的層壓裝置中,通過(guò)改變?cè)诩訜?加壓輥之前和之后的一部分傳送路徑可以調(diào)節(jié)材料和輥表面之間的接觸面積。結(jié)果,不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度就可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)本發(fā)明的第十一方面的層壓裝置包括用于傳送在縱向方向上加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具,一對(duì)加熱/加壓輥,其中,該對(duì)加熱/加壓輥如此設(shè)置使其一對(duì)輥表面彼此相對(duì),并由輥表面對(duì)該對(duì)輥表面之間引入的材料從材料的上和下表面進(jìn)行加熱和加壓,以及接觸面積調(diào)節(jié)工具,用以改變通過(guò)傳送工具傳送材料的一部分傳送路徑,使得材料經(jīng)由改變的傳送路徑引入該對(duì)輥表面之間,從而調(diào)節(jié)材料上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      因此,在第十一方面的層壓裝置中,通過(guò)改變加熱/加壓輥之前的一部分傳送路徑可以調(diào)節(jié)材料和輥表面之間的接觸面積。結(jié)果,不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度就可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)本發(fā)明的第十二方面的層壓裝置包括用于傳送在縱向方向上加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具,一對(duì)加熱/加壓輥,該對(duì)加熱/加壓輥如此設(shè)置使其一對(duì)輥表面彼此相對(duì),并由輥表面對(duì)該對(duì)輥表面之間引入的材料從材料的上和下表面進(jìn)行加熱和加壓,以及接觸面積調(diào)節(jié)工具,用以改變由傳送工具傳送并且從該對(duì)輥表面之間傳送來(lái)的材料的一部分傳送路徑,從而調(diào)節(jié)材料上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      因此,在第十二方面的層壓裝置中,通過(guò)改變加熱/加壓輥之后的一部分傳送路徑可以調(diào)節(jié)材料和輥表面之間的接觸面積。結(jié)果,不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度就可以容易和很好的調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)本發(fā)明的第十三方面的層壓裝置包括,用于傳送在縱向方向上加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具,一對(duì)加熱/加壓輥,該對(duì)加熱/加壓輥如此設(shè)置使一對(duì)輥表面彼此相對(duì),并由輥表面對(duì)該對(duì)輥表面之間引入的材料從材料的上和下表面進(jìn)行加熱和加壓,以及第一接觸面積調(diào)節(jié)工具,用于改變由傳送工具傳送材料的一部分傳送路徑,這樣,該材料經(jīng)由改變的傳送路徑引入一對(duì)相對(duì)的輥表面之間,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積,以及第二接觸面積調(diào)節(jié)工具,用于改變由傳送工具傳送的并且從一對(duì)輥表面之間釋放出的材料的一部分傳送路徑,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      因此,在第十三方面的層壓裝置中,通過(guò)改變加熱/加壓輥之前和之后的每個(gè)傳送路徑的一部分可以調(diào)節(jié)材料和輥表面之間的接觸面積。結(jié)果,不需調(diào)節(jié)輥表面溫度或材料的卷取速度就可以容易和精確地調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)本發(fā)明的第十四方面,在權(quán)利要求11到13的任一權(quán)利要求的層壓裝置中,兩個(gè)彼此相對(duì)且直徑不同的加熱/加壓輥取代該對(duì)加熱/加壓輥使用。
      因此,在第十四方面的層壓裝置中,可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)本發(fā)明的第十五方面的層壓裝置,在第十四方面的層壓裝置中,將小直徑加熱/加壓輥的外圓周的一部分置于大直徑加熱/加壓輥的圓周上,位于材料接觸大直徑加熱/加壓輥的第一和第二接觸點(diǎn)之間。
      因此,在第十五方面的層壓裝置中,可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      根據(jù)第十六方面,在第11到15的任一方面的層壓裝置中,至少兩個(gè)直徑不同的加熱/加壓輥取代該對(duì)加熱/加壓輥使用,同時(shí),至少一個(gè)直徑小于大直徑加熱/加壓輥的加熱/加壓輥的外圓周的一部分位于大直徑加熱/加壓輥的圓周上,在材料與大直徑加熱/加壓輥相接觸的第一和第二接觸點(diǎn)之間。
      因此,在第十六方面的層壓裝置中,可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)加熱條件。
      本發(fā)明的第十七方面包括,在第九到十六的任一方面的層壓裝置中,用于預(yù)先存儲(chǔ)層疊到加熱和加壓的材料之上的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息的層疊材料信息存儲(chǔ)工具,基于存儲(chǔ)在層疊材料信息存儲(chǔ)器中的信息用于計(jì)算加壓模式的加壓模式計(jì)算工具,其中,預(yù)定的壓力使用該加壓模式通過(guò)加熱/加壓輥在加熱和加壓材料的縱向方向上施加于層疊材料,以及加壓工具,用于使加熱/加壓輥根據(jù)加壓模式計(jì)算工具計(jì)算的加壓模式,將壓力施加到加熱和加壓的材料,由此,在層疊材料在縱向方向上由預(yù)定壓力加壓時(shí),由加熱/加壓輥對(duì)其加熱。
      因此,在具有上述工具的第十七方面的層壓裝置中,即使當(dāng)其上設(shè)置層疊材料的加熱和加壓的材料加熱時(shí),所有層疊的材料可以用預(yù)定壓力加熱,并且加熱條件可以容易和精細(xì)地調(diào)節(jié)。
      根據(jù)本發(fā)明第十八方面的層壓裝置包括用于在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具,在一個(gè)輥表面對(duì)傳送工具傳送的材料進(jìn)行加熱和加壓的一個(gè)加熱/加壓輥,用于調(diào)節(jié)材料與該輥表面相接觸的接觸面積的接觸面積調(diào)節(jié)工具,以及用于使加熱/加壓輥加熱材料其間的加熱時(shí)間不同于加熱/加壓輥對(duì)材料進(jìn)行加壓其間的加壓時(shí)間的時(shí)間改變工具。
      因此,在第十八方面的層壓裝置中,不僅可能實(shí)施簡(jiǎn)單精細(xì)的調(diào)節(jié),也可能使加熱時(shí)間和加壓時(shí)間彼此不同,比如使加熱時(shí)間更長(zhǎng)。
      本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點(diǎn)將在下面的說(shuō)明中闡述,并且,從本說(shuō)明中一部分將顯而易見(jiàn),或可以由本發(fā)明的實(shí)踐了解。本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)將通過(guò)下面具體指出的工具和結(jié)合來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。


      在此結(jié)合并構(gòu)成說(shuō)明書(shū)一部分的附圖將在此說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,同時(shí),接合上述一般性說(shuō)明和以下給出的優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)說(shuō)明來(lái)解釋本發(fā)明的原理。
      圖1是沿著板的橫向方向得到的兩層運(yùn)載帶的縱截面圖;圖2是沿著板的橫向方向得到的三層運(yùn)載帶的縱截面圖;圖3是涂覆了光阻材料的板的縱截面圖;圖4是在曝光過(guò)程中的板的縱截面圖;圖5是在顯影過(guò)程中的板的縱截面圖;圖6是在蝕刻過(guò)程中的板的縱截面圖;圖7是傳統(tǒng)的層壓裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖;圖8是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第一種實(shí)施方式的一種層壓方法的層壓裝置的一個(gè)實(shí)例;圖9是一個(gè)縱截面圖,顯示一種運(yùn)載帶的實(shí)例,在該運(yùn)載帶上,一個(gè)由例如銅制成的導(dǎo)電層層疊在由例如聚酰亞胺制成的絕緣層的上表面上;圖10是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,用于解釋使用根據(jù)第一種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置中的傳送路徑改變輥的功能;圖11是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第二種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置一個(gè)實(shí)例;圖12是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第三種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置一個(gè)實(shí)例;
      圖13是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第四種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置一個(gè)實(shí)例;圖14是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第五種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置一個(gè)實(shí)例;圖15是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第六種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置一個(gè)實(shí)例;圖16是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第七種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置一個(gè)實(shí)例;圖17是一個(gè)平面圖,顯示了其上設(shè)置保護(hù)層的運(yùn)載帶的實(shí)例;圖18是一個(gè)縱截面圖,顯示了其上設(shè)置保護(hù)層的運(yùn)載帶的實(shí)例;以及圖19是一個(gè)曲線圖,顯示了加壓模式的實(shí)例。
      具體實(shí)施例方式
      下面參照

      實(shí)施本發(fā)明的最佳方式。
      (第一種實(shí)施方式)如下解釋了本發(fā)明的第一種實(shí)施方式。
      圖8是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示使用根據(jù)第一種實(shí)施方式的層壓方法的一種層壓裝置的實(shí)例。
      更確切的說(shuō),根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置在縱向方向運(yùn)送材料時(shí)連續(xù)地對(duì)加熱和加壓的例如運(yùn)載帶的帶狀材料進(jìn)行加熱,該縱向方向是圖8中的一個(gè)運(yùn)送方向F。
      該實(shí)施方式將以運(yùn)載帶20作為加熱和加壓材料的實(shí)例在下面進(jìn)行說(shuō)明。如圖9的縱截面圖中所示,由根據(jù)本實(shí)施方式的由層壓裝置加熱的運(yùn)載帶20通過(guò)在由例如聚酰亞氨制成的絕緣層22的上表面上層疊由例如銅制成的導(dǎo)電層24獲得。在導(dǎo)電層24上,保護(hù)層26在對(duì)應(yīng)的預(yù)定布線圖的部分中設(shè)置。沒(méi)有形成保護(hù)層26的部分通過(guò)比如浸潤(rùn)蝕刻(immersion wet etching)或噴射蝕刻(shower etching)的方法實(shí)施半蝕刻(half etching)來(lái)下壓。通過(guò)這樣的半蝕刻,導(dǎo)電層24(#a)在布線電路圖的光阻材料26的下面形成,從而使其具有的頂部寬度小于每個(gè)光阻材料26的寬度。
      在根據(jù)本實(shí)施方式的層壓裝置中,傳送機(jī)構(gòu)由供給輥28、傳送輥30、32、34和36以及卷取輥38組成。作為加熱和加壓材料的運(yùn)載帶20在供給輥28上纏繞成卷形。通過(guò)接收來(lái)自旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(沒(méi)有顯示)的驅(qū)動(dòng)力,圍繞其中心軸以圖8所示的順時(shí)針?lè)较騑旋轉(zhuǎn)供給輥28,纏繞的運(yùn)載帶20展開(kāi)到傳送輥30上。傳送輥30類似地以順時(shí)針?lè)较騑旋轉(zhuǎn),以傳送方向F從供給輥28將運(yùn)載帶20展開(kāi)地傳送到傳送輥32。傳送輥32也類似地以順時(shí)針?lè)较騑旋轉(zhuǎn),從而經(jīng)由傳送路徑改變輥40(將在后面說(shuō)明)和一對(duì)加熱/加壓輥42和44(將在后面說(shuō)明),傳送由傳送輥30運(yùn)送過(guò)來(lái)的運(yùn)載帶20到傳送輥34。傳送輥34以上述相同的順時(shí)針?lè)较騑旋轉(zhuǎn),經(jīng)由張力調(diào)節(jié)輥46(將在后面說(shuō)明)將運(yùn)載帶20傳送到傳送輥36。傳送輥36以上述相同的順時(shí)針?lè)较騑旋轉(zhuǎn),以將運(yùn)載帶20傳送到卷取輥38。卷取輥38也以上述相同的順時(shí)針?lè)较騑旋轉(zhuǎn),以纏繞傳送自傳送輥36的運(yùn)載帶20。
      傳送路徑改變輥40、該對(duì)加熱/加壓輥42和44,以及張力調(diào)節(jié)輥46沿著傳送路徑設(shè)置在中間,在該傳送路徑中由上述傳送機(jī)構(gòu)傳送運(yùn)載帶20該對(duì)加熱/加壓輥42和44這樣設(shè)置使它們的輥表面彼此相對(duì)。在該對(duì)輥表面之間引入的運(yùn)載帶20由這些輥表面從上和下表面進(jìn)行加熱。加熱/加壓輥42和44通過(guò)從旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未顯示)得到的驅(qū)動(dòng)力分別以逆時(shí)針?lè)较騌和順時(shí)針?lè)较騑旋轉(zhuǎn),從而將引入的運(yùn)載帶20傳送到傳送輥34。
      根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置進(jìn)一步包括壓力控制器48。壓力控制器48向該對(duì)加熱/加壓輥42和44輸出一個(gè)指令。該指令用于控制從加熱/加壓輥42和44的該對(duì)輥表面施加到引入其中的運(yùn)載帶20上的壓力。因此,基于這個(gè)控制指令,該對(duì)加熱/加壓輥42和44對(duì)引入兩個(gè)輥表面之間的運(yùn)載帶20施加壓力。
      以這種方式,在該對(duì)加熱/加壓輥42和44的輥表面之間引入的運(yùn)載帶20連續(xù)地由加熱/加壓輥42和44加熱和加壓,并被運(yùn)送到傳送輥34。
      如圖10所示,傳送路徑改變輥40可沿著水平方向H由空氣氣缸或諸如此類的裝置(未顯示)移動(dòng)。傳送路徑改變輥40改變從傳送輥32到加熱/加壓輥42和44的一部分傳送路徑,從而調(diào)節(jié)運(yùn)載帶20和加熱/加壓輥44的輥表面接觸的接觸面積。也就是說(shuō),通過(guò)如圖10所示的傳送路徑改變輥40(#a)所指示的,當(dāng)傳送路徑改變輥40的位置移動(dòng)到傳送方向F的上游側(cè)時(shí),運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面開(kāi)始接觸得更淺,然后引入該對(duì)輥表面之間。這減小了與輥表面接觸的面積,并且因此減小了來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量。另一方面,如傳送路徑改變輥40(#b)、40(#c)和40(#d)所指示的,當(dāng)傳送路徑改變輥40的位置移動(dòng)到傳送方向F下游側(cè)時(shí),運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面開(kāi)始接觸得更深,然后引入該對(duì)輥表面之間。這增加了與輥表面接觸的面積,并且因此增加了來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量。
      通過(guò)空氣氣缸或諸如此類的裝置(未給處),張力調(diào)節(jié)輥46可以以圖8所示的垂直方向V移動(dòng)。通過(guò)在垂直方向V上自由地改變張力調(diào)節(jié)輥46的位置,運(yùn)載帶20在傳送過(guò)程期間被提供張力并且不松弛地傳送到卷取輥38。
      根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置進(jìn)一步包括保護(hù)層供給輥50。這使得對(duì)覆蓋如銅箔或分離片的保護(hù)層52的運(yùn)載帶20的上表面進(jìn)行加熱和加壓成為可能。
      更確切的說(shuō),比如銅箔或分離片的保護(hù)層52纏繞到保護(hù)層供給輥50上。保護(hù)層供給輥50以逆時(shí)針?lè)较騌圍繞其中心軸旋轉(zhuǎn),將纏繞的保護(hù)層52展開(kāi)到加熱/加壓輥42。因此,覆蓋了保護(hù)層52的運(yùn)載帶20的表面由加熱/加壓輥42和44進(jìn)行加熱和加壓。之后,將上表面覆蓋有保護(hù)層52的運(yùn)載帶20傳送至傳送輥34,并最后由卷取輥38進(jìn)行纏繞。
      根據(jù)本實(shí)施方式的具有上述設(shè)置的層壓裝置的功能將在下面給出。
      更確切的說(shuō),在根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置中,運(yùn)載帶20從供給輥28展開(kāi),并經(jīng)由傳送輥30和32傳送至傳送路徑改變輥40。
      傳送路徑改變輥40可以自由地改變它在水平方向H上的位置,從而改變從傳送輥32到加熱/加壓輥42和44的一部分傳送路徑。在傳送路徑這樣改變之后,由于運(yùn)載帶20供給到加熱/加壓輥42和44,運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面相接觸的接觸面積被改變。在這種情況下,當(dāng)傳送路徑改變輥40的位置移動(dòng)到傳送方向F的上游側(cè)時(shí),運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面開(kāi)始接觸得更淺,然后其在該對(duì)輥表面之間引入。這減小了與輥表面接觸的面積,也就是縮短了加熱時(shí)間,并且,由此減少了來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量。另一方面,當(dāng)傳送路徑改變輥40的位置移動(dòng)到傳送方向F的下游側(cè)時(shí),運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面開(kāi)始接觸得更深,然后其在該對(duì)輥表面之間引入。這增加了與輥表面接觸的面積,也就是延長(zhǎng)了了加熱時(shí)間,并且,由此增加了來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量。
      根據(jù)來(lái)自壓力控制器48的控制指令,控制施加到從加熱/加壓輥42和44的兩個(gè)輥表面之間引入的運(yùn)載帶20上的壓力。由于壓力是施加到兩個(gè)輥之間的接觸表面上的,與加熱時(shí)間不同,加壓時(shí)間總是恒定的。以這種方式,通過(guò)加熱/加壓輥42和44,運(yùn)載帶20用調(diào)節(jié)的加熱量加熱,并用受控的壓力加壓,同時(shí)連續(xù)地被傳送到傳送輥34。
      為了對(duì)覆蓋了比如銅薄箔或分離片的保護(hù)層52的運(yùn)載帶20的上表面進(jìn)行加熱和加壓,保護(hù)層供給輥50以逆時(shí)針?lè)较騌旋轉(zhuǎn)。結(jié)果,保護(hù)層52展開(kāi)到加熱/加壓輥42,同時(shí),覆蓋有保護(hù)層52的運(yùn)載帶20的上表面由加熱/加壓輥42和44進(jìn)行加熱和加壓。
      這樣連續(xù)加熱和加壓的運(yùn)載帶20由加熱/加壓輥42和44傳送到傳送輥34,并經(jīng)由傳送輥36由卷取輥38纏繞。
      在傳送輥34和36之間插入張力調(diào)節(jié)輥46。張力調(diào)節(jié)輥46可沿著垂直方向V移動(dòng),對(duì)運(yùn)載帶20提供張力。因此,如上所述的從供給輥28到卷取輥38的傳送路徑中,運(yùn)載帶20在傳送過(guò)程期間,不會(huì)產(chǎn)生任何松弛地來(lái)傳送。
      如上所述的根據(jù)本實(shí)施方式的層壓裝置中,運(yùn)載帶20的加熱量可以通過(guò)將傳送路徑改變輥40在水平方向H的位置移動(dòng)到傳送方向F的上游側(cè)來(lái)減小。另一方面,運(yùn)載帶20的加熱量可以通過(guò)將該位置移動(dòng)到傳送方向F的下游側(cè)來(lái)增加。
      更確切的說(shuō),即使當(dāng)對(duì)如運(yùn)載帶20的加熱和加壓的帶狀材料,在其以縱向方向傳送時(shí),連續(xù)地進(jìn)行加熱,加熱條件也可以通過(guò)調(diào)節(jié)材料與輥表面相接觸的接觸面積容易和精細(xì)地調(diào)節(jié),而不改變輥表面的溫度或材料的卷取速度。
      (第二種實(shí)施方式)本發(fā)明的第二種實(shí)施方式將在下面給出。
      圖11是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示使用根據(jù)第二種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置的實(shí)例。
      更確切地說(shuō),根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置是根據(jù)第一種實(shí)施方式的層壓裝置的修改。僅有的差別是增加了傳送輥33和使用傳送路徑改變輥41來(lái)取代傳送路徑改變輥40。因此,僅有差別將在下面說(shuō)明,并避免重復(fù)的解釋。需要指出,壓力控制器48并沒(méi)有在圖11中顯示。
      傳送路徑改變輥41可以沿著圓心為Y點(diǎn)、半徑為r的圓的圓周P移動(dòng)。點(diǎn)Y是一對(duì)加熱/加壓輥42和44的接觸點(diǎn)。半徑r是傳送路徑改變輥41沿著圓周P移動(dòng)時(shí),不會(huì)碰撞傳送輥32、傳送輥33和該對(duì)加熱/加壓輥42和44的距離。
      當(dāng)傳送路徑改變輥41位于如P0或P1所示的加熱/加壓輥44的一側(cè)時(shí),從傳送輥32傳送至傳送路徑改變輥41的下側(cè)的運(yùn)載帶20以逆時(shí)針?lè)较騌輸送。因此,運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面開(kāi)始相接觸,然后運(yùn)載帶20在該對(duì)加熱/加壓輥42和44之間引入。與第一種實(shí)施方式中一樣,當(dāng)傳送路徑改變輥41的位置移動(dòng)到傳送方向F的上游側(cè)(例如,P1)時(shí),運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面開(kāi)始接觸得更淺,然后引入該對(duì)輥表面之間。這減小了與輥表面接觸的面積,并且,由此減小了來(lái)自運(yùn)載帶20下表面的加熱量。另一方面,當(dāng)傳送路徑改變輥41的位置移動(dòng)到傳送方向F的下游側(cè)(例如,P0)時(shí),運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面開(kāi)始接觸得就更深,然后引入該對(duì)輥表面之間。這增加了與輥表面接觸的面積,并且,由此增大來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量。
      當(dāng)傳送路徑改變輥41位于如P2或P3所示的加熱/加壓輥42的一側(cè)時(shí),從傳送輥33傳送至傳送路徑改變輥41的上側(cè)的運(yùn)載帶20以順時(shí)針?lè)较騑輸送。因此,運(yùn)載帶20的上表面開(kāi)始與加熱/加壓輥42的輥表面相接觸,然后運(yùn)載帶20引入該對(duì)輥之間。當(dāng)傳送路徑改變輥41的位置移動(dòng)到傳送方向F上游側(cè)(例如,P2)時(shí),運(yùn)載帶20的上表面與加熱/加壓輥42的輥表面開(kāi)始接觸得就更淺,然后引入該對(duì)輥表面之間。這減小了與輥表面接觸的面積,并且由此減小了來(lái)自運(yùn)載帶20的上表面的加熱量。另一方面,當(dāng)傳送路徑改變輥41的位置移動(dòng)到傳送方向F的下游側(cè)(例如,P3)時(shí),運(yùn)載帶20的上表面與加熱/加壓輥42的輥表面開(kāi)始接觸得就更深,然后引入該對(duì)輥表面之間。這增加了與輥表面接觸的面積,并且由此增加了來(lái)自運(yùn)載帶20的上表面的加熱量。
      當(dāng)傳送路徑改變輥41位于如P2或P3所示的加熱/加壓輥42的一側(cè)時(shí),傳送輥33以逆時(shí)針?lè)较騌旋轉(zhuǎn)。結(jié)果,由傳送輥32傳送的運(yùn)載帶20傳送到傳送路徑改變輥41。
      在具有如上所述的設(shè)置的層壓裝置中,當(dāng)傳送路徑改變輥41的位置位于在如P0或P1所示的加熱/加壓輥44的一側(cè)時(shí),運(yùn)載帶20從傳送輥32傳送至下側(cè)。當(dāng)傳送路徑改變輥41位于如P2或P3所示的加熱/加壓輥42的一側(cè)時(shí),運(yùn)載帶20從傳送輥33傳送至上側(cè)。因此,為了將傳送路徑改變輥41的位置從加熱/加壓輥42的一側(cè)改變到加熱/加壓輥44的一側(cè)或反之亦然,運(yùn)載帶20的傳送暫時(shí)停止,并且傳送路徑改變輥41上運(yùn)載帶20的纏繞位置手動(dòng)地切換。也就是說(shuō),為了將傳送路徑改變輥41的位置從加熱/加壓輥42的一側(cè)改變到加熱/加壓輥44的一側(cè)的,傳送到傳送路徑改變輥41的上側(cè)的運(yùn)載帶20的纏繞位置這樣改變,使運(yùn)載帶20傳送至傳送路徑改變輥41的下側(cè)。為了將傳送路徑改變輥41的位置從加熱/加壓輥44的一側(cè)改變到加熱/加壓輥42的一側(cè),傳送到傳送路徑改變輥41下側(cè)的運(yùn)載帶20的纏繞位置這樣改變,使運(yùn)載帶20傳送至傳送路徑改變輥41的上側(cè)。
      在根據(jù)本發(fā)明的具有上述設(shè)置的層壓裝置中,傳送路徑改變輥41可以沿著圓心點(diǎn)Y、半徑r的圓的圓周P自由改變其位置。在傳送路徑改變輥41將從傳送輥32或33到加熱/加壓輥42和44的運(yùn)載帶20的一部分傳送路徑改變之后,運(yùn)載帶20供給到加熱/加壓輥42和44。因此,運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面接觸的接觸面積就可以調(diào)節(jié)。
      當(dāng)傳送路徑改變輥41位于如P0或P1所示的加熱/加壓輥44一側(cè)時(shí),在運(yùn)載帶20的下表面開(kāi)始與加熱/加壓輥44的輥表面接觸之后,從傳送輥32至傳送路徑改變輥41傳送的運(yùn)載帶20將在該對(duì)加熱/加壓輥42和44之間引入。與在第一種實(shí)施方式中,當(dāng)傳送路徑改變輥41的位置移動(dòng)到傳送方向F上游側(cè)(例如,P1)時(shí),與輥表面接觸的面積減小,并且這減小了來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量。另一方面,當(dāng)傳送路徑改變輥41的位置移動(dòng)到傳送方向F下游側(cè)(例如,P0)時(shí),與輥表面接觸的面積增加,并且這將增加來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量。
      當(dāng)傳送路徑改變輥41位于如P2或P3所示的加熱/加壓輥42的一側(cè)時(shí),在運(yùn)載帶20的上表面與加熱/加壓輥42的輥表面接觸之后,從傳送輥33傳送的運(yùn)載帶20引入該對(duì)加熱/加壓輥之間。當(dāng)傳送路徑改變輥41的位置移動(dòng)到傳送方向F上游側(cè)(例如,P2)時(shí),與輥表面接觸的面積減小,并且這將減小來(lái)自運(yùn)載帶20的上表面的加熱量。另一方面,當(dāng)傳送路徑改變輥41的位置移動(dòng)到傳送方向F下游側(cè)(例如,P3)時(shí),與輥表面接觸的面積增加,并且這將增加來(lái)自運(yùn)載帶20的上表面的加熱量。
      如上所述,當(dāng)不僅自由地控制來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量,而且自由控制來(lái)自其上表面的加熱量時(shí),根據(jù)本實(shí)施方式的層壓裝置可以得到與第一種實(shí)施方式中相同的功能和效果。
      (第三種實(shí)施方式)第三種實(shí)施方式將在下面說(shuō)明。
      圖12是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第三種實(shí)施方式的層壓方法一個(gè)層壓裝置的實(shí)例。
      更確切的說(shuō),根據(jù)本實(shí)施方式的層壓裝置是根據(jù)第二種實(shí)施方式的層壓裝置的修改。僅有的差別是使用一對(duì)傳送路徑改變輥43和45取代傳送路徑改變輥41。因此,僅有差別將在下面說(shuō)明,并避免重復(fù)的解釋。需要指出,壓力控制器48并沒(méi)有在圖12中顯示。
      該對(duì)傳送路徑改變輥43和45彼此相對(duì),而且它們之間的最近的點(diǎn)(例如,圖12中的P0到P4)可以沿著圓心點(diǎn)Y和半徑r的圓的圓周P移動(dòng)。半徑r是一個(gè)距離,該距離使當(dāng)最近點(diǎn)沿著圓周P移動(dòng)時(shí),傳送路徑改變輥43不會(huì)碰撞傳送輥32和33,以及傳送路徑改變輥45不會(huì)碰撞加熱/加壓輥42和44。
      當(dāng)該對(duì)傳送路徑改變輥43和45位于如P2、P3或P4所示的加熱/加壓輥42的一側(cè)時(shí),從傳送輥32和33傳送的運(yùn)載帶20將以順時(shí)針?lè)较騑纏繞在傳送路徑改變輥43上,并在兩個(gè)輥的最近點(diǎn)(例如,P2、P3或P4),被轉(zhuǎn)送至傳送路徑改變輥45。傳送路徑改變輥45以逆時(shí)針?lè)较騌旋轉(zhuǎn),將運(yùn)載帶20引入該對(duì)加熱/加壓輥42和44之間。
      另一方面,當(dāng)該對(duì)傳送路徑改變輥43和45位于如P0或P1所示的加熱/加壓輥44的一側(cè)時(shí),從傳送輥32和33傳送的運(yùn)載帶20引入傳送路徑改變輥43和45,然后以逆時(shí)針?lè)较騌纏繞在傳送路徑改變輥45上。此外,傳送路徑改變輥45以逆時(shí)針?lè)较騌旋轉(zhuǎn),將運(yùn)載帶20引入該對(duì)加熱/加壓輥42和44之間。
      具有了這種設(shè)置,運(yùn)載帶20可以一直保持在傳送路徑改變輥43和45之間。因此,與第二種實(shí)施方式不同,不需暫時(shí)停止運(yùn)載帶20的傳送和手動(dòng)地切換傳送路徑改變輥41上運(yùn)載帶20的纏繞位置。也就是說(shuō),不需停止運(yùn)載帶20的傳送,就可以將傳送路徑改變輥43和45的位置由圖12顯示的P2、P3或P4指示的加熱/加壓輥42的一側(cè)改變到由圖12中顯示的P0或P1指示的加熱/加壓輥44的一側(cè),或反之亦然。
      如上所述,根據(jù)本實(shí)施方式的層壓裝置可以獲得與第二種實(shí)施方式相同的功能和效果,而不需停止運(yùn)載帶20的傳送。
      (第四種實(shí)施方式)本發(fā)明的第四種實(shí)施方式將在下面說(shuō)明。
      圖13是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第四種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置的實(shí)例。
      更確切的說(shuō),根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置是根據(jù)第三種實(shí)施方式的層壓裝置的修改。因此,僅有差別將在下面說(shuō)明,并避免重復(fù)的解釋。需要指出,壓力控制器48并沒(méi)有在圖13中顯示。
      更確切的說(shuō),在第三種實(shí)施方式中,該對(duì)傳送路徑改變輥43和45設(shè)置在加熱/加壓輥42和44的上游。然而,在根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置中,一對(duì)傳送路徑改變輥43和45設(shè)置在加熱/加壓輥42和44的下游。根據(jù)這種設(shè)置,彼此相對(duì)的一對(duì)傳送輥33(#1)和33(#2)也設(shè)置在加熱/加壓輥42和44的下游。此外,保護(hù)層供給輥50位于加熱/加壓輥42和44的上游,從而不會(huì)干擾傳送路徑改變輥43和45的運(yùn)動(dòng)。傳送路徑改變輥43和45沿圓心為點(diǎn)P的圓周P移動(dòng)到加熱/加壓輥42和44的下游。
      當(dāng)傳送路徑改變輥43和45位于如P5、P6或P7所示的加熱/加壓輥42的一側(cè)時(shí),從加熱/加壓輥42和44傳送的運(yùn)載帶20將如圖13被升高,并以逆時(shí)針?lè)较騌纏繞在傳送路徑改變輥45上。之后,運(yùn)載帶20將轉(zhuǎn)送至兩個(gè)輥的最近的點(diǎn)(例如,P5、P6或P7)上的傳送路徑改變輥43。然后,傳送路徑改變輥43以順時(shí)針?lè)较騑旋轉(zhuǎn),將運(yùn)載帶20引入傳送輥33和34之間。
      在這種情況下,當(dāng)傳送路徑改變輥43和45移動(dòng)到傳送方向F的上游側(cè)(例如,P5)時(shí),運(yùn)載帶20的上表面與加熱/加壓輥42的輥表面開(kāi)始接觸得更深。這增加了與輥表面接觸的面積,并由此增加了來(lái)自運(yùn)載帶20的上表面的加熱量。另一方面,當(dāng)傳送路徑改變輥43和45的位置移動(dòng)至傳送方向F下游側(cè)(例如,P7)時(shí),運(yùn)載帶20的上部表面與加熱/加壓輥42的輥表面開(kāi)始接觸得更淺。這減小了與輥表面接觸的面積,并由此減小了來(lái)自運(yùn)載帶20的上表面的加熱量。
      當(dāng)傳送路徑改變輥43和45位于如P8或P9所示的加熱/加壓輥44的一側(cè)時(shí),在圖3中,從加熱/加壓輥42和44傳送的運(yùn)載帶20降低,并以逆時(shí)針?lè)较騌纏繞在傳送路徑改變輥45上。傳送路徑改變輥45以逆時(shí)針?lè)较騌旋轉(zhuǎn),將運(yùn)載帶20引入該對(duì)傳送輥33(#1)和33(#2)之間。
      在這種情況下,當(dāng)傳送路徑改變輥43和45移動(dòng)到傳送方向F的上游側(cè)(例如,P9)時(shí),運(yùn)載帶20的下表面與加熱/加壓輥44的輥表面開(kāi)始接觸得更深。這增加了與輥表面接觸的面積,并由此增加了來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量。另一方面,當(dāng)傳送路徑改變輥43和45的位置移動(dòng)至傳送方向F下游側(cè)(例如,P8)時(shí),運(yùn)載帶20的下部表面與加熱/加壓輥44的輥表面開(kāi)始接觸得更淺。這減小了與輥表面接觸的面積,并由此減小了來(lái)自運(yùn)載帶20的下表面的加熱量。
      上面的設(shè)置也可以獲得與第三種實(shí)施方式中相同的功能和效果,在該實(shí)施方式中,第三種實(shí)施方式中說(shuō)明的傳送路徑改變輥43和45設(shè)置在加熱/加壓輥42和44的下游。然而,相同的功能和效果也可以通過(guò)相似的設(shè)置、加熱/加壓輥42和44的下游、第一種實(shí)施方式中所述的傳送路徑改變輥40和在第二種實(shí)施方式中所述的傳送路徑改變輥41來(lái)實(shí)現(xiàn)。
      (第五種實(shí)施方式)本發(fā)明的第五種實(shí)施方式將在下面說(shuō)明。
      圖14是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第五種實(shí)施方式的層壓方法的一個(gè)層壓裝置的實(shí)例。
      更確切的說(shuō),根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置通過(guò)結(jié)合根據(jù)第三和第四種實(shí)施方式的層壓裝置而獲得。因此,僅有差別將在下面說(shuō)明,并避免重復(fù)的解釋。需要指出,壓力控制器48并沒(méi)有在圖14中給出。
      更確切的說(shuō),在根據(jù)本實(shí)施方式的層壓裝置中,一對(duì)傳送路徑改變輥43(#1)和45(#1)設(shè)置在加熱/加壓輥42和44的上游,同時(shí)一對(duì)傳送路徑改變輥43(#2)和45(#2)設(shè)置在加熱/加壓輥42和44的下游。保護(hù)層供給輥50也被放置,使其不會(huì)干擾沿著圓周P移動(dòng)的傳送路徑改變輥43和45的運(yùn)動(dòng)。此外,傳送輥51引入保護(hù)層52,其從保護(hù)層供給輥50在加熱/加壓輥42和44之間展開(kāi),而不干擾沿著圓周P移動(dòng)的傳送路徑改變輥43和45的移動(dòng)。
      具有了這種設(shè)置,從運(yùn)載帶20的上表面?zhèn)冉o出的加熱量和從其下表面給出的加熱量可以在加熱/加壓輥42和44的上游和下游側(cè)上控制。因此,加熱量控制范圍可以是第一到第四種實(shí)施方式中解釋的,加熱/加壓輥42和44的上游或下游側(cè)上控制的加熱量的兩倍。
      (第六種實(shí)施方式)本發(fā)明的第六種實(shí)施方式將在下面說(shuō)明。
      圖15是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第六種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置的實(shí)例。
      根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置是根據(jù)第一到第五種實(shí)施方式的層壓裝置的修改。因此,僅有差別將在下面說(shuō)明,并避免重復(fù)的解釋。
      更確切的說(shuō),根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置包括,取代加熱/加壓輥42的數(shù)個(gè)加熱/加壓輥47(#1)到47(#4),其具有的直徑比加熱/加壓輥42的小。與加熱/加壓輥42類似,壓力控制器48控制從加熱/加壓輥47(#1)至47(#4)對(duì)運(yùn)載帶20所施加的壓力。然而,壓力控制器48沒(méi)有在圖15中顯示。
      加熱/加壓輥47(#1)到47(#4)可以獨(dú)立地將熱量和壓力施加到運(yùn)載帶20,或者在一些情況下,施加到具有覆蓋了保護(hù)層52的表面的運(yùn)載帶20。
      具有這種設(shè)置,通過(guò)允許某一加熱/加壓輥47實(shí)施加熱而不實(shí)施加壓可以使加熱時(shí)間比加壓時(shí)間長(zhǎng)。另一方面,通過(guò)允許某一加熱/加壓輥47實(shí)施加壓而不實(shí)施加熱,可以使加壓時(shí)間比加熱時(shí)間長(zhǎng)。
      通過(guò)對(duì)每個(gè)加熱/加壓輥47(#1)到47(#4)這樣調(diào)節(jié)加熱量和加壓量,就可能通過(guò)結(jié)合不同加熱量和加壓量實(shí)現(xiàn)精細(xì)的條件。
      (第七種實(shí)施方式)本發(fā)明的第七種實(shí)施方式將在下面說(shuō)明。
      圖16是一個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,顯示了使用根據(jù)第七種實(shí)施方式的層壓方法的層壓裝置的實(shí)例。
      根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置通過(guò)將面積信息存儲(chǔ)器54和加壓模式計(jì)算器56加到根據(jù)第一到第六種實(shí)施方式的層壓裝置來(lái)獲得。圖16有代表性地顯示了通過(guò)將面積信息存儲(chǔ)器54和加壓模式計(jì)算器56加入具有圖8中所示設(shè)置的層壓裝置得到的設(shè)置。因此,僅與第一到第六種實(shí)施方式的不同在下面說(shuō)明,并避免重復(fù)的解釋。
      如圖9所示,在該實(shí)施方式的運(yùn)載帶20的表面上,保護(hù)層26在對(duì)應(yīng)預(yù)定布線圖的部分中設(shè)置。圖17是一個(gè)平面圖,顯示了其上設(shè)置保護(hù)層26的運(yùn)載帶20的實(shí)例。更確切的說(shuō),如圖17所示,保護(hù)層26不是均勻地設(shè)置在運(yùn)載帶20的表面上,而它們通常不均勻地設(shè)置。
      當(dāng)加熱/加壓輥42和44在均勻的壓力下加熱其上不均勻設(shè)置保護(hù)層26的運(yùn)載帶20時(shí),在保護(hù)層26的密度高的部分,每個(gè)保護(hù)層26接收的壓力與在保護(hù)層26的密度低的部分中每個(gè)保護(hù)層26接收的壓力不同。比如,沿圖17中的線E-E延伸的平面上所設(shè)置的保護(hù)層26a的密度高于沿圖17中的線G-G延伸的平面上設(shè)置的保護(hù)層26b的密度。如果加熱/加壓輥42和44,對(duì)在相同壓力下的沿線E-E延伸的和沿線G-G延伸的這些平面進(jìn)行加熱,對(duì)平面中沿著線E-E延伸的的每個(gè)保護(hù)層26a上所施加的壓力就小,反之,對(duì)平面中沿著線G-G延伸的每個(gè)保護(hù)層26b上所施加的壓力就大。因此,如圖18的左側(cè)圖和右側(cè)圖中顯示的,其為分別沿著線E-E和G-G的縱截面圖。沿線G-G延伸的平面中設(shè)置的保護(hù)層26b比沿線E-E延伸的平面中設(shè)置的保護(hù)層26a下降更多。
      由此,在根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置中,加熱/加壓輥42和44對(duì)運(yùn)載帶20的縱向方向上的每個(gè)保護(hù)層26施加預(yù)定壓力,而不管保護(hù)層26的設(shè)置密度。為了達(dá)到該目的,如圖16中所示,根據(jù)該實(shí)施方式的層壓裝置包括面積信息存儲(chǔ)器54和加壓模式計(jì)算器56。
      面積信息存儲(chǔ)器54預(yù)先存儲(chǔ)層疊在運(yùn)載帶20上的如保護(hù)層26的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息。
      基于這些存儲(chǔ)在面積信息存儲(chǔ)器54中的信息,加壓模式計(jì)算器56計(jì)算加壓模式并將計(jì)算結(jié)果輸出到壓力控制器48上,其中,運(yùn)載帶20的縱向方向中的加熱/加壓輥42和44用該加壓模式將預(yù)定壓力施加到每一個(gè)層疊材料。圖19是顯示這種加壓模式的實(shí)例的曲線圖。參照?qǐng)D19,橫坐標(biāo)表示運(yùn)載帶20在水平方向上的位置,而縱坐標(biāo)表示加熱/加壓輥42和44施加到運(yùn)載帶20上的壓力。
      如圖17所示,具有相同模式的保護(hù)層設(shè)置S通常在運(yùn)載帶20上重復(fù)。參照?qǐng)D19,Mn-1表示第(n-1)保護(hù)層設(shè)置Sn-1的加壓模式;Mn,表示第n保護(hù)層設(shè)置Sn的加壓模式;以及Mn+1,表示第(n+1)保護(hù)層設(shè)置Sn+1的加壓模式。由于保護(hù)層設(shè)置S(…、Sn-1、Sn、Sn+1、…)是同樣的,同樣的模式M(…、Mn-1、Mn、Mn+1、…)被重復(fù)。假定在對(duì)應(yīng)圖19所示的加壓模式Mn的保護(hù)層設(shè)置Sn中,沒(méi)有保護(hù)層26設(shè)置在開(kāi)始部分(首先被傳輸?shù)?,保護(hù)層26的最大數(shù)量設(shè)置在開(kāi)始部分之后傳送的中間部分中,同時(shí),保護(hù)層26在中間部分之后傳送的末端部分中設(shè)置的密度是約中間部分的一半。如圖19所示,在對(duì)應(yīng)于保護(hù)層設(shè)置S的加壓模式M中,開(kāi)始部分的壓力f1是最小的,在中間部分的壓力f2是最大的,而在末端部分的壓力f3大約是壓力f2的一半。
      壓力控制器48將與圖19中所示的加壓模式匹配的控制指令輸出給加熱/加壓輥42和44。因此,設(shè)置在運(yùn)載帶20上的保護(hù)層26在根據(jù)該加壓模式加壓時(shí),由加熱/加壓輥42和44進(jìn)行加熱。
      根據(jù)具有上述設(shè)置的本實(shí)施方式的層壓裝置的功能將在下面說(shuō)明。
      更確切的說(shuō),面積信息存儲(chǔ)器54預(yù)先存儲(chǔ)層疊在運(yùn)載帶20上的諸如保護(hù)層26的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息。
      基于存儲(chǔ)在面積信息存儲(chǔ)器54中這些信息,加壓模式計(jì)算器56計(jì)算一個(gè)加壓模式,并將計(jì)算結(jié)果輸出到壓力控制器48上,其中,在運(yùn)載帶20的縱向方向中的加熱/加壓輥42和44用該加壓模式對(duì)層疊在運(yùn)載帶20上的每個(gè)保護(hù)層26施加預(yù)定的壓力。
      壓力控制器48基于計(jì)算的加壓模式將控制指令輸出到加熱/加壓輥42和44。
      當(dāng)按照這種加壓模式受壓時(shí),引入加熱/加壓輥42和44之間的運(yùn)載帶20進(jìn)行加熱。因此,設(shè)置在運(yùn)載帶20上的保護(hù)層26在其由加熱/加壓輥42和44在縱向方向上用預(yù)定壓力進(jìn)行加壓時(shí),被進(jìn)行加熱。結(jié)果,保護(hù)層26的推進(jìn)量可以基本上彼此相同,而不會(huì)如圖18的左側(cè)和右側(cè)圖所示產(chǎn)生不均勻的推進(jìn)量。
      實(shí)施本發(fā)明的最佳模式已經(jīng)在上面參照

      。然而,本發(fā)明不限于這種設(shè)置。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以預(yù)料到在權(quán)利要求的范圍和發(fā)明的技術(shù)構(gòu)想之內(nèi)的各種改變和修改。應(yīng)該理解的是這些改變和修改也結(jié)合在本發(fā)明的技術(shù)范圍之內(nèi)。
      比如,第一到第五種實(shí)施方式和第七種實(shí)施方式通過(guò)使用作為實(shí)例的一對(duì)加熱/加壓輥42和44進(jìn)行說(shuō)明。然而,加熱/加壓輥42和44不需做成一對(duì),而可以具有不同的直徑。在這種情況下,將小直徑的加熱/加壓輥的外部圓周的部分位于大直徑的加熱/加壓輥的圓周之上,在運(yùn)載帶20與大直徑的加熱/加壓輥相接觸的第一和第二接觸點(diǎn)之間。以這種方式,可以獲得使用該對(duì)加熱/加壓輥42和44時(shí)的同樣的效用。此外,數(shù)個(gè)小直徑的加熱/加壓輥可以如圖15所示使用。
      附加的優(yōu)點(diǎn)和修改對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見(jiàn)。由此,在其廣闊方面中的本發(fā)明不受在此顯示和說(shuō)明的詳細(xì)描述和典型方式的限制。因此,各種修改可以在不脫離所附權(quán)利要求及其等價(jià)物限定的通常的發(fā)明概念的精神和范圍下作出。
      權(quán)利要求
      1.一種層壓方法,其特征包括通過(guò)傳送工具在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟;在加熱/加壓輥的輥表面之上對(duì)傳送工具傳送的材料進(jìn)行加熱和加壓的加熱/加壓步驟;調(diào)節(jié)材料與輥表面相接觸的接觸面積的接觸面積調(diào)節(jié)步驟。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其特征在于,在接觸面積調(diào)節(jié)步驟中,通過(guò)改變?cè)诩訜岷图訅褐安牧蟼魉偷郊訜?加壓輥,以及在加熱和加壓之后加熱/加壓輥所加熱和加壓的材料傳送的路徑中至少一個(gè)的一部分,來(lái)調(diào)節(jié)接觸面積。
      3.一種層壓方法,其特征包括通過(guò)傳送工具在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟;在加熱/加壓輥的輥表面之上對(duì)傳送工具傳送的材料進(jìn)行加熱和加壓的加熱/加壓步驟;調(diào)節(jié)材料與輥表面接觸的接觸面積的接觸面積調(diào)節(jié)步驟;以及使由加熱/加壓輥對(duì)材料進(jìn)行加熱過(guò)程中的加熱時(shí)間與由加熱/加壓輥對(duì)材料進(jìn)行加壓過(guò)程中的加壓時(shí)間不同的時(shí)間改變步驟。
      4.一種層壓方法,其特征包括通過(guò)傳送工具在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟;在數(shù)個(gè)加熱/加壓輥的每個(gè)輥表面之上對(duì)傳送工具傳送的材料進(jìn)行加熱和加壓的加熱/加壓步驟;使由加熱/加壓輥對(duì)材料進(jìn)行加熱過(guò)程中的加熱時(shí)間與由加熱/加壓輥對(duì)材料進(jìn)行加壓過(guò)程中的加壓時(shí)間不同的時(shí)間改變步驟。
      5.一種層壓方法,其特征包括通過(guò)傳送工具在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟;以及改變由傳送工具傳送的材料的一部分傳送路徑的接觸面積調(diào)節(jié)步驟,使得材料經(jīng)由改變的傳送路徑,在一對(duì)加熱/加壓輥的一對(duì)輥表面之間引入,其中,加熱/加壓輥這樣設(shè)置使得輥表面彼此相對(duì),同時(shí)加熱/加壓輥由輥表面對(duì)該對(duì)輥表面之間引入的材料從該材料的上和下表面進(jìn)行加熱,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的的接觸面積。
      6.一種層壓方法,其特征包括通過(guò)傳送工具在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟;以及對(duì)由傳送工具傳送并從一對(duì)加熱/加壓輥的一對(duì)輥表面之間傳送的材料的一部分傳送路徑進(jìn)行改變的接觸面積調(diào)節(jié)步驟,其中,該對(duì)加熱/加壓輥這樣設(shè)置使輥表面彼此相對(duì),并由輥表面對(duì)輥表面之間引入的材料從材料的上和下表面進(jìn)行加熱和加壓,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      7.一種層壓方法,其特征包括通過(guò)傳送工具在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送步驟;以及改變由傳送工具傳送材料的一部分傳送路徑的第一接觸面積調(diào)節(jié)步驟,這樣,材料經(jīng)由改變的傳送路徑,在一對(duì)加熱/加壓輥的一對(duì)輥表面之間引入,其中,該對(duì)加熱/加壓輥這樣設(shè)置使輥表面彼此相對(duì),同時(shí),該對(duì)加熱/加壓輥由輥表面對(duì)該對(duì)輥表面之間引入的材料從材料的上和下表面進(jìn)行加熱,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積;以及對(duì)通過(guò)傳送工具傳送和從該對(duì)輥表面釋放的材料的一部分傳送路徑進(jìn)行改變的第二接觸面積調(diào)節(jié)步驟,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一權(quán)利要求的方法,其特征進(jìn)一步包括在層疊材料信息存儲(chǔ)數(shù)據(jù)庫(kù)中預(yù)先存儲(chǔ)加熱和加壓材料上所層疊的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息的層疊材料信息存儲(chǔ)步驟;基于存儲(chǔ)在層疊材料信息存儲(chǔ)數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息,計(jì)算一個(gè)加壓模式的加壓模式計(jì)算步驟,其中,用該加壓模式,在加熱和加壓的材料的縱向方向中由加熱/加壓輥對(duì)層疊材料施加預(yù)定的壓力;以及根據(jù)在加壓模式計(jì)算步驟中計(jì)算的加壓模式,使加熱/加壓輥對(duì)加熱和加壓的材料施加壓力的加壓步驟,由此,當(dāng)在縱向方向上用加熱/加壓輥對(duì)層疊材料施加預(yù)定壓力進(jìn)行加壓時(shí),對(duì)層疊材料進(jìn)行加熱。
      9.一種層壓裝置,其特征包括用于在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具;在輥表面上對(duì)用傳送工具傳送的材料進(jìn)行加熱和加壓的一個(gè)加熱/加壓輥;以及用于調(diào)節(jié)材料與輥表面接觸的接觸面積的接觸面積調(diào)節(jié)工具。
      10.根據(jù)權(quán)利要求9的裝置,其特征在于,通過(guò)改變加熱和加壓之前材料傳輸?shù)郊訜?加壓輥的傳送路徑以及在加熱和加壓之后傳送由加熱/加壓輥加熱和加壓的材料的傳送路徑中至少一個(gè)的一部分,接觸面積調(diào)節(jié)工具對(duì)接觸面積進(jìn)行調(diào)節(jié)。
      11.一種層壓裝置,其特征包括用于在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具;一對(duì)加熱/加壓輥,該對(duì)加熱/加壓輥如此設(shè)置使它們的一對(duì)輥表面彼此相對(duì),并且其通過(guò)輥表面對(duì)該對(duì)輥表面之間引入的材料從材料的上和下表面進(jìn)行加熱和加壓;以及用于改變由傳送工具傳送材料的一部分傳送路徑的接觸面積調(diào)節(jié)工具,使得材料在該對(duì)輥表面之間經(jīng)由改變的傳送路徑引入,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      12.一種層壓裝置,其特征包括用于在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具;一對(duì)加熱/加壓輥,該對(duì)加熱/加壓輥如此設(shè)置使它們的一對(duì)輥表面彼此相對(duì),并且其通過(guò)輥表面對(duì)該對(duì)輥表面之間引入的材料從材料的上和下表面進(jìn)行加熱和加壓;以及用于改變由傳送工具傳送并從該對(duì)輥表面之間傳送的材料的一部分傳送路徑的接觸面積調(diào)節(jié)工具,由此調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面接觸的接觸面積。
      13.一種層壓裝置,其特征包括用于在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具;一對(duì)加熱/加壓輥,該對(duì)加熱/加壓輥如此設(shè)置使它們的一對(duì)輥表面彼此相對(duì),并且其通過(guò)輥表面對(duì)該對(duì)輥表面之間引入的材料從材料的上和下表面進(jìn)行加熱和加壓;用于改變由傳送工具傳送材料的一部分傳送路徑的第一接觸面積調(diào)節(jié)工具,使得材料經(jīng)由改變的傳送路徑,引入一對(duì)相對(duì)的輥表面之間,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積;以及用于改變由傳送工具傳送并從該對(duì)輥表面之間釋放的材料的一部分傳送路徑的第二接觸面積調(diào)節(jié)工具,從而調(diào)節(jié)材料的上和下表面與輥表面相接觸的接觸面積。
      14.根據(jù)權(quán)利要求11-13中任一權(quán)利要求的一種裝置,其特征在于兩個(gè)彼此相對(duì)、直徑不同的加熱/加壓輥取代一對(duì)加熱/加壓輥使用。
      15.根據(jù)權(quán)利要求14的一種裝置,其特征在于,小直徑加熱/加壓輥的外圓周的一部分放在大直徑加熱/加壓輥的圓周上,在材料與大直徑加熱/加壓輥接觸的第一和第二接觸點(diǎn)之間。
      16.根據(jù)權(quán)利要求15的一種裝置,其特征在于,至少兩個(gè)直徑不同的加熱/加壓輥取代一對(duì)加熱/加壓輥使用,并且至少一個(gè)具有比大直徑加熱/加壓輥的直徑小的加熱/加壓輥的外圓周的一部分放在大直徑加熱/加壓輥的圓周上,在材料與大直徑加熱/加壓輥相接觸的第一和第二接觸點(diǎn)之間。
      17.根據(jù)權(quán)利要求16的一種裝置,其特征進(jìn)一步包括用于預(yù)先存儲(chǔ)層疊在加熱和加壓的材料之上的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息的層疊材料信息存儲(chǔ)工具;基于存儲(chǔ)在層疊材料信息存儲(chǔ)器中的信息,計(jì)算一種加壓模式的加壓模式計(jì)算工具,其中,使用該加壓模式,加熱/加壓輥在加熱和加壓的材料的縱向方向上對(duì)層疊材料施加預(yù)定的壓力;以及用于根據(jù)加壓模式計(jì)算工具計(jì)算的加壓模式使加熱/加壓輥對(duì)加熱和加壓的材料施加壓力的加壓工具,由此當(dāng)層疊材料在縱向方向上用加熱/加壓輥施壓預(yù)定壓力時(shí),對(duì)層疊材料進(jìn)行加熱。
      18.根據(jù)權(quán)利要求11-13中任一權(quán)利要求的一種裝置,其特征在于,至少兩個(gè)直徑不同的加熱/加壓輥取代該對(duì)加熱/加壓輥使用,同時(shí)具有直徑比大直徑加熱/加壓輥小的至少一個(gè)加熱/加壓輥的外圓周的一部分位于大直徑加熱/加壓輥的圓周上,在材料與大直徑加熱/加壓輥相接觸的第一和第二接觸點(diǎn)之間。
      19.根據(jù)權(quán)利要求18的裝置,其特征進(jìn)一步包括用于預(yù)先存儲(chǔ)層疊在加熱和加壓的材料之上的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息的層疊材料信息存儲(chǔ)工具;基于存儲(chǔ)在層疊材料信息存儲(chǔ)器中的信息,計(jì)算一種加壓模式的加壓模式計(jì)算工具,其中,使用該加壓模式,加熱/加壓輥在加熱和加壓的材料的縱向方向上對(duì)層疊材料施加預(yù)定的壓力;以及用于根據(jù)加壓模式計(jì)算工具計(jì)算的加壓模式使加熱/加壓輥對(duì)加熱和加壓的材料施加壓力的加壓工具,由此當(dāng)層疊材料在縱向方向上用加熱/加壓輥施壓預(yù)定壓力時(shí),對(duì)層疊材料進(jìn)行加熱。
      20.根據(jù)權(quán)利要求14的一種裝置,其特征在于,至少兩個(gè)直徑不同的加熱/加壓輥取代該對(duì)加熱/加壓輥使用,同時(shí)具有直徑比大直徑加熱/加壓輥小的至少一個(gè)加熱/加壓輥的外圓周的一部分位于大直徑加熱/加壓輥的圓周上,在材料與大直徑加熱/加壓輥相接觸的第一和第二接觸點(diǎn)之間。
      21.根據(jù)權(quán)利要求20的一種裝置,其特征進(jìn)一步包括用于預(yù)先存儲(chǔ)層疊在加熱和加壓的材料之上的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息的層疊材料信息存儲(chǔ)工具;基于存儲(chǔ)在層疊材料信息存儲(chǔ)器中的信息,計(jì)算一種加壓模式的加壓模式計(jì)算工具,其中,使用該加壓模式,加熱/加壓輥在加熱和加壓的材料的縱向方向上對(duì)層疊材料施加預(yù)定的壓力;以及用于根據(jù)加壓模式計(jì)算工具計(jì)算的加壓模式使加熱/加壓輥對(duì)加熱和加壓的材料施加壓力的加壓工具,由此當(dāng)層疊材料在縱向方向上用加熱/加壓輥施壓預(yù)定壓力時(shí),對(duì)層疊材料進(jìn)行加熱。
      22.根據(jù)權(quán)利要求9-13中任一權(quán)利要求的一種裝置,其特征進(jìn)一步包括用于預(yù)先存儲(chǔ)層疊在加熱和加壓的材料之上的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息的層疊材料信息存儲(chǔ)工具;基于存儲(chǔ)在層疊材料信息存儲(chǔ)器中的信息,計(jì)算一種加壓模式的加壓模式計(jì)算工具,其中,使用該加壓模式,加熱/加壓輥在加熱和加壓的材料的縱向方向上對(duì)層疊材料施加預(yù)定的壓力;以及用于根據(jù)加壓模式計(jì)算工具計(jì)算的加壓模式使加熱/加壓輥對(duì)加熱和加壓的材料施加壓力的加壓工具,由此當(dāng)層疊材料在縱向方向上用加熱/加壓輥施壓預(yù)定壓力時(shí),對(duì)層疊材料進(jìn)行加熱。
      23.根據(jù)權(quán)利要求14的裝置,其特征進(jìn)一步包括用于預(yù)先存儲(chǔ)層疊在加熱和加壓的材料之上的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息的層疊材料信息存儲(chǔ)工具;基于存儲(chǔ)在層疊材料信息存儲(chǔ)器中的信息,計(jì)算一種加壓模式的加壓模式計(jì)算工具,其中,使用該加壓模式,加熱/加壓輥在加熱和加壓的材料的縱向方向上對(duì)層疊材料施加預(yù)定的壓力;以及用于根據(jù)加壓模式計(jì)算工具計(jì)算的加壓模式使加熱/加壓輥對(duì)加熱和加壓的材料施加壓力的加壓工具,由此當(dāng)層疊材料在縱向方向上用加熱/加壓輥施壓預(yù)定壓力時(shí),對(duì)層疊材料進(jìn)行加熱。
      24.根據(jù)權(quán)利要求15的裝置,其特征進(jìn)一步包括用于預(yù)先存儲(chǔ)層疊在加熱和加壓的材料之上的層疊材料的設(shè)置信息和面積信息的層疊材料信息存儲(chǔ)工具;基于存儲(chǔ)在層疊材料信息存儲(chǔ)器中的信息,計(jì)算一種加壓模式的加壓模式計(jì)算工具,其中,使用該加壓模式,加熱/加壓輥在加熱和加壓的材料的縱向方向上對(duì)層疊材料施加預(yù)定的壓力;以及用于根據(jù)加壓模式計(jì)算工具計(jì)算的加壓模式使加熱/加壓輥對(duì)加熱和加壓的材料施加壓力的加壓工具,由此當(dāng)層疊材料在縱向方向上用加熱/加壓輥施壓預(yù)定壓力時(shí),對(duì)層疊材料進(jìn)行加熱。
      25.一種層壓裝置,其特征包括用于在縱向方向上傳送加熱和加壓的帶狀材料的傳送工具;在輥表面上對(duì)傳送工具傳送的材料進(jìn)行加熱和加壓的一個(gè)加熱/加壓輥;用于調(diào)節(jié)材料與輥表面接觸的接觸面積的接觸面積調(diào)節(jié)工具;以及用于使由加熱/加壓輥對(duì)材料實(shí)施加熱過(guò)程中的加熱時(shí)間比由加熱/加壓輥對(duì)材料實(shí)施加壓過(guò)程中的加壓時(shí)間不同的時(shí)間改變工具。
      全文摘要
      本發(fā)明的層壓裝置包括在縱向方向上傳送運(yùn)載帶(20)的傳送輥(30、32、34、36),加熱由傳送輥(30、32、34、36)在輥表面上傳送的運(yùn)載帶(20)的加熱/加壓輥(42,44),以及調(diào)節(jié)運(yùn)載帶(20)與加熱/加壓輥(42,44)的輥表面相接觸的接觸面積的傳送路徑改變輥(40)。
      文檔編號(hào)B32B37/20GK1654191SQ20041004230
      公開(kāi)日2005年8月17日 申請(qǐng)日期2004年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月10日
      發(fā)明者平本正己 申請(qǐng)人:卡西歐邁克羅尼克斯株式會(huì)社
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