專利名稱：功能液滴噴頭的初期填充方法及其初期填充裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭的噴頭內流路中將填充液初期填充的功能液滴噴頭的初期填充方法、功能液滴噴頭的初期填充裝置、功能液滴噴頭、功能液供給裝置、液滴噴出裝置、光電裝置的制造方法、光電裝置及電子設備。
背景技術：
一直以來，已知有向記錄介質噴出墨液的噴墨頭(功能液滴噴頭)(例如參照專利文獻1)。該功能液滴噴頭為了以高分辨率噴出功能液(墨液)，具有以窄間距配設了多個的噴嘴、向各噴嘴供給功能液的噴頭內流路。在該情況下，噴頭內流路在與以窄間距配置的多個噴嘴進行流路連接的構造上，與各噴嘴對應地分支為多條分支流路，并且各分支流路在多個部位被彎曲為直角而與各噴嘴連接。
此外，在噴嘴及噴頭內流路中，預先利用酸處理或等離子體處理等形成氧化物層，提高相對于水性的功能液(墨液)的親水性。這樣，在墨液的初期填充時在噴頭內流路中就不會殘存氣泡。
特開平5-124198號公報但是，在作為噴墨頭的應用技術的有機EL裝置的制造工序中，在功能液中使用EL發(fā)光材料等，但是由于該功能液使用強酸性或強堿性的溶液或溶媒類的溶劑，因此不僅氧化物層會被破壞，而且還有剝離了的氧化物層混入功能液中的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供能夠以簡單的方法防止在初期填充時氣泡殘存于功能液滴噴頭內的功能液滴噴頭的初期填充方法、功能液滴噴頭的初期填充裝置、功能液滴噴頭、功能液供給裝置、液滴噴出裝置、光電裝置的制造方法、光電裝置及電子設備。
本發(fā)明的功能液滴噴頭的初期填充方法是在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭的噴頭內流路中，初期填充由功能液或該功能液的溶劑構成的填充液的功能液滴噴頭的初期填充方法，其特征是，具備將與噴頭內流路相連的功能液滴噴頭的功能液導入口密封的密封工序、在貯存于密閉容器中的填充液中浸漬功能液滴噴頭的浸漬工序、將密閉容器內的氣氛氣體排出而將密閉容器的內部減壓至給定的真空度的減壓工序、在減壓工序之后恢復密閉容器的內部的壓力的復壓工序。
本發(fā)明的功能液滴噴頭的初期填充裝置是在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭的噴頭內流路中，初期填充由功能液或該功能液的溶劑構成的填充液的功能液滴噴頭的初期填充裝置，其特征是，具備在內部貯存填充液的密閉容器、在將與噴頭內流路相連的功能液導入口預先密封了的功能液滴噴頭浸漬在填充液中的狀態(tài)下支撐的噴頭支撐機構、與密閉容器連通并將密閉容器內的氣氛氣體排出而將密閉容器的內部減壓至給定的真空度的減壓機構、在將真空度維持了給定時間后將密閉容器的內部恢復壓力的復壓機構。
根據這些構成，通過在將密封了功能液導入口的功能液滴噴頭浸漬在密閉容器的填充液中后，將密閉容器的內部減壓至給定的真空度，而包括存在于功能液滴噴頭的噴頭內流路中的氣氛氣體在內密閉容器內部的氣氛氣體就被排出。這樣，功能液滴噴頭的噴頭內流路就成為真空狀態(tài)，并且填充液也被一起脫氣。另外，當在復壓工序中密閉容器的內部升壓時，填充液從功能液滴噴頭的噴嘴侵入噴頭內流路，噴頭內流路被填充液填充。該情況下，由于在填充前的噴頭內流路中不存在氣氛氣體，另外由于填充液已經被脫氣，因此在噴頭內流路中就不會殘留任何氣體。
這樣，不用對噴頭內流路進行表面處理等，就可以簡單地防止噴頭內流路中的氣泡的殘留。另外，由于所述的填充液的脫氣是按照使產生于填充液內的氣泡溶入周圍的填充液中的方式進行，因此即使在噴頭內流路的角部殘留有氣泡，也可以將其吸收。而且，在與功能液導入口進行管道連接時，雖然會混入氣體，但是噴頭內流路已經浸潤，該氣體被抽吸而排出。由此，就不會產生氣體作為氣泡殘存的問題。另外，為了在短時間內進行減壓工序，也可以使用預先進行了脫氣的填充液。
本發(fā)明的功能液滴噴頭的初期填充方法是在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭的噴頭內流路中，初期填充由功能液或該功能液的溶劑構成的填充液的功能液滴噴頭的初期填充方法，其特征是，具備將貯存有填充液并且收容了功能液滴噴頭的密閉容器內的氣氛氣體排出而將密閉容器內減壓至給定的真空度的減壓工序、對功能液滴噴頭浸涂填充液的浸涂工序、在減壓工序之后將密閉容器的內部恢復壓力的復壓工序。
本發(fā)明的功能液滴噴頭的初期填充裝置是在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭的噴頭內流路中，初期填充由功能液或該功能液的溶劑構成的填充液的功能液滴噴頭的初期填充裝置，其特征是，具備在內部貯存所述填充液的密閉容器、與密閉容器連通并將密閉容器內的氣氛氣體排出而將密閉容器的內部減壓至給定的真空度的減壓機構、支撐功能液滴噴頭并且使功能液滴噴頭在浸涂于填充液中的浸涂位置和從填充液中提起的提起位置之間升降的升降機構、在將真空度維持了給定時間后將密閉容器的內部恢復壓力的復壓機構。
根據這些構成，包括功能液滴噴頭的內部的氣氛氣體在內密閉容器的內部的氣氛氣體被排出，密閉容器內部被減壓至給定的真空度。此時填充液也被一起脫氣。通過在該減壓工序前后，將功能液滴噴頭浸涂在填充液中，就可以在功能液滴噴頭的噴頭內流路中填充被脫氣了的填充液，可以防止氣泡殘留于噴頭內流路中。
該情況下，浸涂工序最好在減壓工序之后，并在復壓工序之前進行。
該情況下，最好還具備控制減壓機構、升降機構及復壓機構的控制機構，控制機構在驅動減壓機構而將密閉容器內減壓至給定的真空度后，驅動升降機構而使功能液滴噴頭浸涂在填充液中，在經過給定時間后，驅動復壓機構而將密閉容器的內部恢復壓力。
根據這些構成，由于在浸涂之前功能液滴噴頭內已經被減壓至給定的真空度，因此就可以在比較短的時間內進行氣泡的排出和填充液的填充。
該情況下，在減壓工序中，最好將給定的真空度維持數小時。
根據該構成，就可以充分地進行功能液滴噴頭內的氣泡的排除和填充液的脫氣。
該情況下，給定的真空度最好在1000Pa以下，并且在100Pa以上。
根據該構成，雖然在減壓工序中可以將密閉容器內部脫氣，但是由于不是連填充液也蒸發(fā)掉的程度的真空度，因此通過在該范圍中減壓，就可以有效地進行初期填充。
本發(fā)明的功能液滴噴頭的特征是，利用所述的功能液滴噴頭的初期填充方法或所述功能液滴噴頭的初期填充裝置，初期填充了所述填充液。
根據該構成，由于防止氣泡的殘留地初期填充了填充液，因此可以構成防止了噴出不良的功能液滴噴頭。
本發(fā)明的功能液供給裝置是向所述的功能液滴噴頭供給功能液的功能液供給裝置，其特征是，具備了貯存功能液的功能液罐、將功能液滴噴頭和功能液罐連接的功能液供給管道。
根據該構成，由于向被初期填充了由功能液或該功能液的溶劑構成的填充液的功能液滴噴頭供給功能液，因此即使在功能液供給時殘留于功能液滴噴頭中的填充液混入，也不會產生功能液的變質，而能夠實現穩(wěn)定的功能液的供給。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的特征是，具備了所述的功能液供給裝置、在承載架上搭載了功能液滴噴頭的噴頭單元、搭載有工件并且使工件相對于噴頭單元相對移動的移動機構。
根據該構成，由于可以使用防止氣泡的殘留地初期填充了填充液的功能液滴噴頭進行描繪，因此就可以防止功能液滴噴頭的噴出不良，提高工件的成品率。
本發(fā)明的光電裝置的制造方法的特征是，使用所述的液滴噴出裝置在工件上形成功能液滴的成膜部。
另外，本發(fā)明的光電裝置的特征是，使用所述的液滴噴出裝置在工件上形成有功能液滴的成膜部。
根據這些構成，由于使用防止功能液滴噴頭的噴出不良的液滴噴出裝置，因此就能夠制造可靠性高的光電裝置。而且，作為光電裝置(平板顯示器)，可以考慮濾色片、液晶顯示裝置、有機EL裝置、PDP裝置、電子發(fā)射裝置等。而且，電子發(fā)射裝置是包括所謂的FED(Field EmissionDisplay)或SED(Surface-conduction Electron-Emitter Display)裝置的概念。另外，作為光電裝置，可以考慮包含金屬配線形成、透鏡形成、光刻膠形成及光擴散體形成等的裝置。
本發(fā)明的電子設備的特征是，搭載了利用所述的光電裝置的制造方法制造的光電裝置或所述的光電裝置。
該情況下，作為電子設備，除了搭載了所謂的平板顯示器的便攜電話、個人電腦以外，各種電氣產品都與之對應。


圖1是液滴噴出裝置的俯視示意圖。
圖2是液滴噴出裝置的側視示意圖。
圖3是功能液滴供給裝置的側視示意圖。
圖4是功能液滴噴頭的外觀立體圖。
圖5是實施方式1的初期填充裝置。
圖6是實施方式1的初期填充方法的流程圖。
圖7是實施方式2的初期填充裝置。
圖8是實施方式2的初期填充方法的流程圖。
圖9是說明濾色片制造工序的流程圖。
圖10A～E是依照制造工序順序表示的濾色片的示意性剖面圖。
圖11是表示使用了應用了本發(fā)明的濾色片的液晶裝置的概略構成的要部剖面圖。
圖12是表示使用了應用了本發(fā)明的濾色片的第2例的液晶裝置的概略構成的要部剖面圖。
圖13是表示使用了應用了本發(fā)明的濾色片的第3例的液晶裝置的概略構成的要部剖面圖。
圖14是作為有機EL裝置的顯示裝置的要部剖面圖。
圖15是說明作為有機EL裝置的顯示裝置的制造工序的流程圖。
圖16是說明無機物圍堰層的形成的工序圖。
圖17是說明有機物圍堰層的形成的工序圖。
圖18是說明形成空穴注入/輸送層的過程的工序圖。
圖19是說明形成了空穴注入/輸送層的狀態(tài)的工序圖。
圖20是說明形成藍色的發(fā)光層的過程的工序圖。
圖21是說明形成了藍色的發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。
圖22是說明形成了各色的發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。
圖23是說明陰極的形成的工序圖。
圖24是作為等離子體型顯示裝置(PDP裝置)的顯示裝置的要部分解立體圖。
圖25是作為電子發(fā)射裝置(FED裝置)的顯示裝置的要部剖面圖。
圖26A及26B是顯示裝置的電子發(fā)射部周圍的俯視圖及表示其形成方法的俯視圖。
圖中W-工件，1-液滴噴出裝置，3-功能液滴噴頭，5-功能液供給裝置，11-X·Y移動機構，13-噴頭單元，26-承載架主體，33-功能液罐，34-功能液供給管道，51-連接針，67-初期填充裝置，68-填充液，71-密閉容器，72-噴頭支撐機構，73-減壓機構，74-復壓機構，92-升降機構，105-控制機構。
具體實施例方式
下面參照附圖對使用了本發(fā)明的功能液滴噴頭的液滴噴出裝置及使用了功能液滴噴頭的初期填充方法的初期填充裝置進行說明。液滴噴出裝置是裝入所謂的平板顯示器的生產線中的裝置，利用使用了作為噴墨頭的功能液滴噴頭的液滴噴出法(噴墨法)，形成成為液晶顯示裝置的濾色片或有機EL裝置的各象素的發(fā)光元件等。另一方面，初期填充裝置被與所述的液滴噴出裝置獨立地設置，在將功能液滴噴頭搭載于液滴噴出裝置之前，預先在噴頭內流路中填充了填充液。
如圖1及圖2所示，液滴噴出裝置1具備機臺2、具有功能液滴噴頭3并被成十字狀地放置于機臺2上的描繪裝置4、與描繪裝置4連接的功能液供給裝置5、添加在描繪裝置4上地放置于機臺2上的維護裝置6。另外，在液滴噴出裝置1上，設有圖外的控制機器，液滴噴出裝置1中，在利用功能液供給裝置5使描繪裝置4接受功能液的供給的同時，基于控制機器的控制，描繪裝置4進行對工件W的描繪動作，并且對于功能液滴噴頭3，維護裝置6適當地進行保養(yǎng)動作(維護)。
另一方面，雖然初期填充裝置67的詳細情況將在后面敘述，但是在內部貯存填充液68的密閉容器71中收容有功能液滴噴頭3，通過將密閉容器71的內部減壓，就能夠將填充液初期填充于功能液滴噴頭3內部(參照圖5)。
描繪裝置4具有由使工件W進行主掃描(沿X軸方向移動)的X軸平臺7及與X軸平臺7正交的Y軸平臺8構成的X·Y移動機構11(移動機構)、被自由移動地安裝于Y軸平臺8上的主承載架12、被垂直設于主承載架12上并搭載了功能液滴噴頭3的噴頭單元13。
X軸平臺7具有構成X軸方向的驅動系統(tǒng)的X軸馬達(圖示略)驅動的X軸滑塊14，在其上自由移動地搭載有由吸附平臺15及θ平臺16等構成的固定平臺17。同樣地，Y軸平臺8具有構成Y軸方向的驅動系統(tǒng)的Y軸馬達(圖示略)驅動的Y軸滑塊18，在其上沿Y軸方向自由移動地搭載有支撐噴頭單元13的所述主承載架12。而且，X軸平臺7被與X軸方向平行地配設，被直接支撐于機臺2上。另一方面，Y軸平臺8被支撐于豎立設于機臺2上的左右的支柱21上，橫跨X軸平臺7及維護裝置6地沿Y軸方向延伸(參照圖1及圖2)。
液滴噴出裝置1中，X軸平臺7及Y軸平臺8相交的區(qū)域成為進行工件描繪W的描繪的描繪區(qū)域22、Y軸平臺8及維護裝置6相交的區(qū)域成為進行對功能液滴噴頭3的功能恢復處理的保養(yǎng)區(qū)域23，在對工件W進行描繪的情況下，使噴頭單元13面向描繪區(qū)域22，在進行功能恢復處理的情況下，使噴頭單元13面向保養(yǎng)區(qū)域23。
主承載架12如圖2所示，由被從下側固定于Y軸平臺8的Y軸滑塊18上的外觀為“I”形的吊掛構件24、被安裝于吊掛構件24的下面并用于進行噴頭單元13相對于θ方向的位置修正的θ旋轉機構25、吊掛安裝于θ旋轉機構25的下方的承載架主體26(承載架)構成。承載架主體26具有帶有定位機構的框狀框架(圖示略)，在其上借助后述的支撐框架27(參照圖3)以定位狀態(tài)固定有噴頭單元13。
支撐框架27被制成近似方形的框狀，如圖3所示，按照噴頭單元13、閥單元28、液罐單元31的順序將它們以定位狀態(tài)搭載。而且，支撐框架27上，安裝有一對把手(圖示略)，將該一對把手作為手持部位，可以在主承載架12上拆裝支撐框架27。
如圖3所示，噴頭單元13具備功能液滴噴頭3、借助噴頭保持構件(圖示略)搭載功能液滴噴頭3的噴頭平板32。噴頭平板32被自由拆裝地支撐于支撐框架27上，噴頭單元13被借助支撐框架27定位搭載于承載架主體26上。而且，在支撐框架27上，與噴頭單元13并排地支撐有閥單元28及液罐單元31。
如圖3所示，功能液供給裝置5被搭載于支撐框架27上，具有帶有貯存功能液的功能液罐33的液罐單元31、將功能液罐33及功能液滴噴頭3連接的功能液供給管道34、用于將功能液供給管道34與功能液罐33及功能液滴噴頭3連接的連接件35、具有多個夾設于功能液供給管道34上的壓力調整閥36的閥單元28。
液罐單元31由功能液罐33、將其定位的固定部(圖示略)、支撐功能液罐33的液罐平板37構成。如圖3所示，功能液罐33為料倉形式的部件，具有將功能液真空壓縮的功能液囊38、收容功能液囊38的樹脂制的料倉外殼41。而且，貯存于功能液囊38中的功能液被預先脫氣，其溶解氣體量基本上為零。
功能液囊38是在將2片長方形的(柔性的)薄膜片重疊而熱熔接的袋狀的物體上安裝了供給功能液的樹脂制的供給口42的部件。在供給口42上，形成有與囊內連通的連通開口(圖示略)。連通開口被用具有耐功能液腐蝕性的彈性材料構成的封閉構件(圖示略)封堵，從而可以防止空氣(氧)或濕氣從連通開口中侵入。
功能液供給管道34(功能液供給流路)具有將各功能液罐33及各壓力調整閥36連接的液罐側管道43、將各壓力調整閥36及各功能液滴噴頭3連接的噴頭側管道44。
如圖3所示，連接件35具有用于將功能液罐33及液罐側管道43連接的液罐側轉接器45、用于將功能液滴噴頭3及噴頭側管道44連接的噴頭側轉接器46。在液罐側轉接器45上設有在軸心形成了流路的連通針47，連通針47通過貫穿所述的功能液囊38(連通開口)的封閉構件(圖示略)地插入而被與功能液囊38連接(連通)。
閥單元28具有壓力調整閥36、支撐它的閥平板48(參照圖3)。壓力調整閥36雖然圖示省略，但是具有與功能液罐33相連的1次室、與功能液滴噴頭3相連的將功能液減壓的2次室、將1次室和2次室連通的連通流路、設于連通流路上的閥體，構成所謂的減壓閥。利用壓力調整閥36，功能液被減壓至約為大氣壓，防止功能液滴噴頭3的漏液。另外，1次室和2次室被閥體切掉邊緣，防止在功能液罐33側產生的脈動等傳遞到功能液滴噴頭3處(減振功能)。此外，由功能液罐33供給的功能液經由液罐側管道43、壓力調整閥36、噴頭側管道44而被供給到功能液滴噴頭3處。
如圖4所示，功能液滴噴頭3是所謂的2連的噴墨頭，具備帶有2連的連接針51(功能液導入口)的功能液導入部52、與功能液導入部52相連的2連的噴頭基板53、與噴頭基板53的下方相連并在內部形成了被功能液充滿的噴頭內流路54的噴頭主體55。連接針51被與圖外的功能液供給管道34連接，向功能液滴噴頭3的噴頭主體55供給功能液。噴頭主體55具有帶有開設了多個噴出噴嘴56的噴嘴面58的噴嘴平板57、設置了piezo壓電元件(圖示略)的壓力室(圖示略)、對各壓力室和各噴出噴嘴56進行流路連接的分支流路(圖示略)。在噴嘴面58上形成有由與各分支流路相連的多個(180個)噴出噴嘴56構成的噴嘴列61。即，由連接針51(功能液導入口)、壓力室、分支流路及直至噴出噴嘴56的流路構成噴頭內流路54。當對功能液滴噴頭3進行噴出驅動時，壓力室即像泵那樣作用，從噴出噴嘴56中噴出功能液滴。
下面，參照圖1，對維護裝置6進行說明。維護裝置6具有保管·抽吸單元62、擦拭單元63，其中，保管·抽吸單元62在液滴噴出裝置1的非動作時，將功能液滴噴頭3的噴嘴面密封而防止噴出噴嘴56的干燥，并且從功能液滴噴頭3的噴出噴嘴56中抽吸除去增粘了的功能液，擦拭單元63將附著于功能液滴噴頭3的噴嘴面58上的污垢擦掉。這兩個單元62、63被搭載于在機臺2上沿X軸方向延伸地放置的移動平臺64上，利用該移動平臺64可以沿X軸方向移動。
保管·抽吸單元62具有接受功能液滴噴頭3的舍棄噴出的兼具沖洗箱的功能的密封帽65、使密封帽65升降的帽升降機構66、由在與密封帽65連接的狀態(tài)下抽吸功能液滴噴頭3的噴射裝置或泵等構成的抽吸機構(圖示略)、將被抽吸機構抽吸除去的廢液回收的廢液罐(圖示略)。在描繪休止時，功能液滴噴頭3移動至移動平臺64上的保養(yǎng)區(qū)域23，密封帽65在與功能液滴噴頭3略為離開的位置上，接受功能液滴噴頭3的沖洗(舍棄噴出)。此后，當功能液滴噴頭3變?yōu)閯幼鞔龣C狀態(tài)時，密封帽65完全地上升而進行功能液滴噴頭3的噴嘴面58的加帽，將各功能液滴噴頭3的全部噴出噴嘴56密封。接下來，在將加帽狀態(tài)的功能液滴噴頭3再次驅動時，為了防止由功能液的增粘造成的噴嘴堵塞，根據需要進行抽吸機構的驅動，從噴出噴嘴56中將增粘了的功能液抽出。而且，該抽吸作業(yè)也被用于將功能液填充于功能液滴噴頭3中時。
如該圖所示，在擦拭單元63上，自由拉出并且自由卷繞地設有擦拭薄片63a，在輸送已經拉出的擦拭薄片63a的同時，并且在利用移動平臺64將擦拭單元63沿X軸方向移動中，對功能液滴噴頭3的噴嘴面58進行擦拭。由此，因所述抽吸動作等附著于功能液滴噴頭3的噴嘴面上的功能液就被去除，防止所噴出的功能液滴的飛行彎曲。而且，作為維護裝置6，除了所述兩個單元62、63以外，最好還搭載有檢查從功能液滴噴頭3中噴出的功能液滴的飛行狀態(tài)的噴出檢查單元(圖示略)等。
下面，參照圖5，對填充液向所述功能液滴噴頭3中的初期填充方法及在其中所使用的初期填充裝置67進行說明。該初期填充裝置67是向功能液滴噴頭3中填充由功能液或功能液的溶劑構成的填充液68的裝置。另外，初期填充裝置67最好兼作在將功能液滴噴頭3初期填充后的狀態(tài)下保管的噴頭保管裝置。
初期填充裝置67具有在內部貯存填充液68的密閉容器71、按照將功能液滴噴頭3浸漬于填充液68中的方式支撐的噴頭支撐機構72、將密閉容器71的內部減壓的減壓機構73、將密閉容器71的內部恢復壓力(升壓)的復壓機構74、對它們進行統(tǒng)一控制的控制機構105。該情況下，填充液68由功能液的溶劑構成，即使其混入功能液中，也不會在功能液中產生變質。
密閉容器71由不銹鋼等耐壓·耐腐蝕性的材料以近似方形的外觀氣密性并且液密性地制成。密閉容器71具有貯存填充液68的容器主體80、在夾隔封條79的狀態(tài)下將容器主體80封蓋的開閉蓋81，在容器主體80中以給定的液量貯存有填充液68。另外，在開閉蓋81敞開的狀態(tài)下，就可以使功能液滴噴頭3進出。
另外，在容器主體80的上部，用配管連接(連通)有與減壓機構73及復壓機構74連接的排氣·供氣管75。排氣·供氣管75分支為與減壓機構73相連的排氣分支管76、與復壓機構74相連的供氣分支管77。排氣·供氣管75由將其周圍密封了的連接接頭78連接在容器主體80的上部，保持密閉容器71內部的氣密性。而且，也可以在容器主體80上連接用于補充填充液68的補充管。
減壓機構73由真空泵86構成，被借助所述的排氣分支管76與密閉容器71連接。在排氣分支管76上，設有壓力傳感器104，減壓機構73將密閉容器71內部的設定壓力(設定真空度)控制在1000Pa(帕)到100Pa之間。另一方面，復壓機構74由與干燥氣體供給設備(圖示略)相連的調節(jié)器89及開閉閥87(電磁閥)構成。即，當將復壓機構74切換為連通狀態(tài)時，即經過供氣分支管77向密閉容器71供給與大氣壓大致相同壓力的干燥氣體。這樣，就可以防止在后述的復壓工序中濕氣等混入填充液68中。而且，也可以不用干燥氣體，而導入氮氣。
噴頭支撐機構72具有固定于密閉容器71上的垂直部82、功能液滴噴頭3所進入的支承部83，被制成剖面近似“L”字形。在支承部83上形成有穿插功能液滴噴頭3的噴頭主體55的貫穿孔84，噴頭主體55的下端被從貫穿孔84向下方突出地固定。這樣，支撐于噴頭支撐機構72上的功能液滴噴頭3就會使其噴頭主體55浸漬于填充液68中。而且，最好將垂直部82設為相對于密閉容器71上下自由滑動，將噴頭支撐機構72設為自由調整高度。
控制機構105控制減壓機構73的真空泵86的驅動、復壓機構74的開閉閥87的開閉。另外，控制機構105能夠基于壓力傳感器104的檢測結果對減壓機構73進行反饋控制，可以將密閉容器71的內部控制為所需的真空度。
下面，參照圖6對使用了所述的初期填充裝置67的功能液滴噴頭3的初期填充方法進行說明。該初期填充方法被利用將連接針51(功能液導入口)密封的密封工序(S1)、將功能液滴噴頭3浸漬于填充液68中的浸漬工序(S2)、將密閉容器71內部減壓至給定的真空度的減壓工序(S3)及將密閉容器71內部恢復壓力(升壓)的復壓工序(S4)等各工序進行。
密封工序(S1)是由操作者的手直接進行的。即，功能液滴噴頭3的一對連接針51、51(功能液導入口)雖然是在搭載于液滴噴出裝置1上時用于與功能液供給管道34連接的構件，但是操作者首先在這些連接針51上安裝與功能液供給管道34相同直徑的一對密封構件88、88(帶塞管道)，進行將連接針51密封的作業(yè)(參照圖5)。
接下來，在浸漬工序(S2)中，操作者將密閉容器71的開閉蓋81打開，將如上所述地設置了密封構件88的功能液滴噴頭3直接放置于噴頭支撐機構72上。該狀態(tài)下，功能液滴噴頭3的噴頭主體55就會將其下端浸漬于填充液68中。
此后，在減壓工序(S3)中，將減壓機構73起動，將密閉容器71內部的氣氛氣體排出，并且將密閉容器71的內部減壓至給定的真空度。減壓工序(S3)在將密閉容器71內部一直維持給定的真空度(10000Pa到100Pa)的狀態(tài)下被進行數個小時。更具體來說，例如將真空度設為400Pa時，控制機構105在反饋壓力傳感器105的檢測信號的同時，控制減壓機構73的驅動。利用該400Pa的減壓工序(S3)，保持不會使填充液68揮發(fā)的程度的真空度，密閉容器71內部的氣氛氣體及溶入填充液68的氣體被慢慢地排出(脫除)。另外，由于殘存于噴頭內流路54中的氣氛氣體隨著填充液68被脫氣而溶入周圍的填充液68中，因此在減壓工序(S3)結束時，噴頭內流路54也變?yōu)榕c周圍的密閉容器71內部同等的真空度。
下面的復壓工序(S4)中，使減壓機構73停止動作，并且將復壓機構74的開閉閥切換為打開狀態(tài)而向密閉容器71內部供給干燥氣體，解除密閉容器71內部的真空。因該真空的解除，密閉容器71的內部的壓力上升，填充液68侵入功能液滴噴頭3的噴頭內流路54，噴頭內流路54完全被填充液68充滿。這樣，填充液68就被初期填充于噴頭內流路54中，可以將噴頭內流路54完全地浸潤。
像這樣進行了初期填充的功能液滴噴頭3就被這樣保管，或者在其后不久被使用。這樣，在功能液滴噴頭3的使用時，利用操作者的手將從密閉容器71中回收了的功能液滴噴頭3安裝于液滴噴出裝置1上，利用所述的保管·抽吸單元62抽吸該功能液滴噴頭3。利用該抽吸動作將填充液68除去，從功能液罐33供給功能液，將填充液68替換掉。另外，在所述安裝作業(yè)時，雖然氣體會混入功能液滴噴頭3的連接針51中，但是由于噴頭內流路54被如上所述地由填充液68完全地浸潤，因此就可以不使氣泡咬入噴頭內流路54地填充功能液。
而且，本實施方式中，雖然在浸漬工序(S2)之后進行減壓工序(S3)，但是也可以在減壓工序之后進行浸漬工序。根據該初期填充方法，由于在預先將功能液滴噴頭3的噴頭內流路54脫氣后進行浸漬工序，因此就可以在更短時間內進行噴頭內流路54的脫氣。另外，雖然在復壓工序中將干燥氣體導入密閉容器71，但是也可以利用填充液導入大氣。
根據本實施方式，由于在真空狀態(tài)下將功能液(填充液68)填充于功能液滴噴頭3中，因此氣泡就不會殘留于噴頭內流路54的角部，可以恰當地進行功能液滴噴頭3的初期填充。
下面，對于初期填充裝置的實施方式2，將以與實施方式1的初期填充裝置67不同的部分為中心進行說明。如圖7所示，實施方式2的初期填充裝置67由在內部貯存了填充液68的密閉容器71、將密閉容器71內部減壓的減壓機構73、將功能液滴噴頭3浸涂在填充液68中的升降機構92、將密閉容器71內部升壓的復壓機構74、將它們統(tǒng)一控制的控制機構105構成。
升降機構92具有平板形狀的噴頭支撐件93、使噴頭支撐件93升降的升降絲杠機構94。噴頭支撐件93具有插穿功能液滴噴頭3的噴頭主體55的貫穿孔84，在放置了功能液滴噴頭3時，噴頭主體55的下端會從貫穿孔84中向下方突出。
升降絲杠機構94具有豎立設于密閉容器71的上面的框架構件95、被自由旋轉地支撐于框架構件95上的導引絲杠96、使導引絲杠96旋轉的馬達97、與導引絲杠96螺合而升降的帶有雌螺紋的升降片98、被升降片98支撐并在下端吊掛了噴頭支撐件93的吊掛桿101。這樣，當利用馬達97的驅動旋轉導引絲杠96，使吊掛桿101(升降片98)上下移動時，噴頭支撐件93就會在被填充液68浸涂的浸涂位置和從填充液68中提起的提起位置之間升降。另外，在吊掛桿101和密閉容器71的接觸部分，配設有密封構件102，保持密閉容器71內部的氣密性。
密閉容器71與實施方式1的部分相同，由不銹鋼等耐壓·耐腐蝕性的材料以近似方形的外觀氣密性并且液密性地制成。另外，減壓機構73由夾設了壓力傳感器104的真空泵86構成，復壓機構74由與干燥氣體供給設備(圖示略)相連的調節(jié)器89及開閉閥87(電磁閥)構成。減壓機構73及復壓機構74被與實施方式1的部分相同地構成?？刂茩C構105除了進行真空泵86的驅動及開閉閥87的開閉的控制、壓力傳感器104的對真空度的檢測以外，還控制升降機構92的馬達97的驅動。
下面，對使用了實施方式2的初期填充裝置的初期填充方法進行說明。實施方式2的初期填充方法如圖8所示，由減壓工序(S11)、浸涂工序(S12)、復壓工序(S13)等各工序構成。
減壓工序(S11)中，進行密閉容器71內部的減壓。在此之前，操作者將功能液滴噴頭3放置于升降機構92(噴頭支撐件93)上。該情況下，噴頭支撐件93由升降絲杠機構94保持在與填充液68分離的提起位置上，當操作者將開閉蓋關閉而對控制機構105指示初期填充的開始時，控制機構105即驅動減壓機構73，開始密閉容器71內部的排氣·減壓。
在減壓工序(S11)中，密閉容器71內部被減壓至達到給定的真空度(從1000Pa到100Pa)，包括功能液滴噴頭3的噴頭內流路54的氣氛氣體的密閉容器71內部的氣氛氣體及溶入填充液68的氣體被脫除。
當在減壓工序(S11)中密閉容器71內部到達所需的真空度時，從壓力傳感器104檢測到了檢測信號的控制機構105即驅動升降機構92(馬達97)，開始浸涂工序(S12)。升降機構92利用升降絲杠機構94使搭載了功能液滴噴頭3的噴頭支撐件93下降到浸涂位置，對功能液滴噴頭3浸涂填充液68(將功能液滴噴頭3整體浸漬于填充液68中)。浸涂工序(S12)就這樣在將功能液滴噴頭3浸涂填充液的狀態(tài)下被進行數個小時。該情況下，由于功能液滴噴頭3的噴頭內流路54在浸涂前變?yōu)檎婵諣顟B(tài)，因此在浸涂后基本上不會在噴頭內流路54中產生氣泡。另外，即使有產生氣泡的情況，由于周圍的填充液68的脫氣會按照使填充液68將氣泡吸收的方式作用，因此這種氣泡不會殘留至浸涂工序結束時。
這樣，當浸涂工序(S12)結束時，控制機構105將減壓機構73停止，并且驅動復壓機構74，開始復壓工序(S13)。復壓機構74向密閉容器71內部供給干燥氣體(例如N2)，使密閉容器71的內部升壓。當密閉容器71內部升壓至約為大氣壓后，控制機構105驅動升降機構92而使噴頭支撐件93上升至提起位置。該狀態(tài)下，操作者將開閉蓋81打開，回收功能液滴噴頭3，安裝于液滴噴出裝置1上。
根據實施方式2的功能液滴噴頭3的初期填充方法，由于利用浸涂工序使功能液滴噴頭3完全地浸沒在填充液68中，因此氣體就不會殘留于功能液滴噴頭3內。另外，不需要像實施方式1那樣進行密封構件88的安裝等事先的準備。而且，作為升降機構92也可以使用連桿機構或齒條·齒輪等。
下面，作為使用本實施方式的液滴噴出裝置1制造的光電裝置(平板顯示器)，以濾色片、液晶顯示裝置、有機EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)以及形成于這些顯示裝置上的有源矩陣基板等為例，對它們的構造及其制造方法進行說明。而且，所謂有源矩陣基板是指形成了薄膜晶體管及與薄膜晶體管電連接的電源線、數據線的基板。
首先，對裝入液晶顯示裝置或有機EL裝置等中的濾色片的制造方法進行說明。圖9是表示濾色片的制造工序的流程圖，圖10是依照制造工序的順序表示的本實施方式的濾色片500(濾片基體500A)的示意性剖面圖。
首先，在黑矩陣形成工序(S101)中，如圖10A所示，在基板(W)501上形成黑矩陣502。黑矩陣502由金屬鉻、金屬鉻和氧化鉻的疊層體或樹脂黑等形成。在形成由金屬薄膜構成的黑矩陣502時，可以使用濺射法或蒸鍍法等。另外，在形成由樹脂薄膜構成的黑矩陣502的情況下，可以使用凹版印刷法、光刻法、熱轉印法等。
接下來，在圍堰形成工序(S102)中，在重疊于黑矩陣502上的狀態(tài)下形成圍堰503。即，首先如圖10B所示，按照覆蓋基板501及黑矩陣502的方式形成由陰型的透明的感光性樹脂構成的光刻膠層504。此后，在將其上面用被制成矩陣圖形形狀的掩模薄膜505覆蓋的狀態(tài)下進行曝光處理。
另外，如圖10C所示，通過對光刻膠層504的未曝光部分進行蝕刻處理，將光刻膠層504圖形化，形成圍堰503。而且，在利用樹脂黑形成黑矩陣時，可以兼用作黑矩陣和圍堰。
該圍堰503和其下的黑矩陣502成為劃分各象素區(qū)域507a的劃分壁部507b，在其后的著色層形成工序中利用功能液滴噴頭3形成著色層(成膜部)508R、508G、508B時規(guī)定功能液滴的命中區(qū)域。
經過以上的黑矩陣形成工序及圍堰形成工序，即獲得所述濾片基體500A。
而且，本實施方式中，作為圍堰503的材料，使用涂膜表面為疏液(疏水)性的樹脂材料。這樣，由于基板(玻璃基板)501的表面為親液(親水)性，因此在后述的著色層形成工序中液滴向被圍堰503(劃分壁部507b)包圍的各象素區(qū)域507a內的命中位置精度提高。
然后，在著色層形成工序(S103)中，如圖10D所示，利用功能液滴噴頭3噴出功能液滴而使之命中由劃分壁部507b包圍的各象素區(qū)域507a內。該情況下，使用功能液滴噴頭3，導入R·G·B三色的功能液(濾片材料)，進行功能液滴的噴出。而且，作為R·G·B三色的排列圖形，有條紋排列、馬賽克排列及三角排列等。
其后，經過干燥處理(加熱等處理)使功能液定影，形成三色的著色層508R、508G、508B。形成了著色層508R、508G、508B后，轉移至保護膜形成工序(S104)，如圖10E所示，按照覆蓋基板501、劃分壁部507b及著色層508R、508G、508B的上面的方式形成保護膜509。
即，在向基板501的形成有著色層508R、508G、508B的面整體上噴出了保護膜用涂布液后，經過干燥處理形成保護膜509。
此后，在形成了保護膜509后，濾色片500轉移到下一工序的成為透明電極的ITO(Indium Tin Oxide)等的加膜工序。
圖11是表示作為使用了所述的濾色片500的液晶顯示裝置的一個例子的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略構成的要部剖面圖。通過在該液晶裝置520上，安裝液晶驅動用IC、背光燈、支撐體等附帶要素，即獲得作為最終產品的透射型液晶顯示裝置。而且，濾色片500由于與圖10所示的部件相同，因此對于對應的部位使用相同的符號，將其說明省略。
該液晶裝置520大致上利用由濾色片500、玻璃基板等構成的對置基板521及由夾持于它們之間的STN(Super Twisted Nematic)液晶組合物構成的液晶層522構成，將濾色片500配置于圖中上側(觀測者側)。
而且，雖然未圖示，但是在對置基板521及濾色片500的外面(與液晶層522側相反一側的面)上分別配設有偏光片，另外在位于對置基板521側的偏光片的外側配設有背光燈。
在濾色片500的保護膜509上(液晶層側)，以給定的間隔形成有多個在圖11中沿左右方向尺寸較長的長方形的第1電極523，按照覆蓋該第1電極523的與濾色片500側相反一側的面的方式形成有第1取向膜524。
另一方面，在對置基板521的與濾色片500相面對的面上以給定的間隔形成有多個沿與濾色片500的第1電極523正交的方向尺寸較長的長方形的第2電極526，按照覆蓋該第2電極526的液晶層522側的面的方式形成有第2取向膜527。這些第1電極523及第2電極526由ITO等透明導電材料制成。
設于液晶層522內的隔塊528是用于將液晶層522的厚度(盒間隙)保持一定的構件。另外，密封材料529是用于防止液晶層522內的液晶組合物向外部漏出的構件。而且，第1電極523的一個端部被作為環(huán)繞配線523a延伸至密封材料529的外側。
此外，第1電極523和第2電極526交叉的部分為象素，在該成為象素的部分上設有濾色片500的著色層508R、508G、508B。
在通常的制造工序中，在濾色片500上，進行第1電極523的圖形處理及第1取向膜524的涂布而制成濾色片500側的部分，并且與之獨立地在對置基板521上，進行第2電極526的圖形處理及第2取向膜527的涂布而制成對置基板521側的部分。其后，在對置基板521側的部分上加入隔塊528及密封材料529，在該狀態(tài)下貼合濾色片500側的部分。然后，從密封材料529的注入口注入構成液晶層522的液晶，將注入口封堵。其后，層疊兩偏光片及背光燈。
實施方式的液晶噴出裝置1在涂布例如構成所述盒間隙的隔塊材料(功能液)，并且在對置基板521側的部分上貼合濾色片500側的部分之前，能夠在由密封材料529包圍的區(qū)域中均一地涂布液晶(功能液)。另外，也可以利用功能液滴噴頭3進行所述密封材料529的印刷。另外，還可以利用功能液滴噴頭3進行第1·第2兩個取向膜524、527的涂布。
圖12是表示使用了在本實施方式中制造的濾色片500的液晶裝置的第2例的概略構成的要部剖面圖。
該液晶裝置530與所述液晶裝置520較大不同的方面在于將濾色片500配置于圖中下側(與觀測者相反一側)。
該液晶裝置530大致是在濾色片500和由玻璃基板等構成的對置基板531之間夾持由STN液晶構成的液晶層532而構成的。而且，雖然未圖示，但是在對置基板531及濾色片500的外面分別配設有偏光片等。
在濾色片500的保護膜509上(液晶層532側)，以給定的間隔形成有多個沿圖中向里方向尺寸較長的長方形的第1電極533，按照覆蓋該第1電極533的液晶層532側的面的方式形成有第1取向膜534。
在對置基板531的與濾色片500相面對的面上以給定的間隔形成有沿與濾色片500側的第1電極533正交的方向延伸的多個長方形的第2電極536，按照覆蓋該第2電極536的液晶層532側的面的方式形成有第2取向膜537。
在液晶層532上設有用于將該液晶層532的厚度保持一定的隔塊538、用于防止液晶層532內的液晶組合物向外部漏出的密封材料539。
此外，與所述的液晶裝置520相同，第1電極533和第2電極536交叉的部分為象素，在該成為象素的部分上設有濾色片500的著色層508R、508G、508B。
圖13是表示了使用應用了本發(fā)明的濾色片500而構成液晶裝置的第3例的圖，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶裝置的概略構成的分解立體圖。
該液晶裝置550是將濾色片500配置于圖中上側(觀測者側)的圖。
該液晶裝置550大致由濾色片500、被與之相面對地配置的對置基板551、被夾持于它們之間的未圖示的液晶層、配置于濾色片500的上面?zhèn)?觀測者側)的偏光片555、配設于對置基板551的下面?zhèn)鹊钠馄?未圖示)構成。
在濾色片500的保護膜509的表面(對置基板551側的面)上形成有液晶驅動用的電極556。該電極556由ITO等透明導電材料構成，成為覆蓋形成后述的象素電極560的區(qū)域整體的全面電極。另外，在將該電極556的與象素電極560相反一側的面覆蓋的狀態(tài)下設有取向膜557。
在對置基板551的與濾色片500相面對的面上形成有絕緣層558，在該絕緣層558上，以相互正交的狀態(tài)形成有掃描線561及信號線562。此外，在由這些掃描線561和信號線562包圍的區(qū)域內形成有象素電極560。而且，雖然在實際的液晶裝置中，在象素電極560上設有取向膜，但是將圖示省略。
另外，由象素電極560的缺口部和掃描線561、信號線562包圍的部分上，裝入了具備源電極、漏電極、半導體及柵電極的薄膜晶體管563。這樣，就可以利用對掃描線561和信號線562的信號的施加將薄膜晶體管563設為開·關而進行對象素電極560的通電控制。
而且，所述各例的液晶裝置520、530、550雖然采用了透射型的構成，但是也可以設置反射層或半透射反射層，設為反射型的液晶裝置或半透射反射型的液晶裝置。
下面，圖14是有機EL裝置的顯示區(qū)域(以下簡稱為顯示裝置600)的要部剖面圖。
該顯示裝置600大致是在基板(W)601上層疊了電路元件部602、發(fā)光元件部603及陰極604的狀態(tài)下構成的。
在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601側發(fā)出的光透過電路元件部602及基板601而被向觀測者側射出，并且從發(fā)光元件部603向基板601的相反一側發(fā)出的光在被陰極604反射后，透過電路元件部602及基板601而被向觀測者側射出。
在電路元件部602和基板601之間形成有由氧化硅膜構成的基底保護膜606，在該基底保護膜606上(發(fā)光元件部603側)形成有由多晶硅構成的島狀的半導體膜607。在該半導體膜607的左右的區(qū)域中，分別利用高濃度陽離子的注入形成有源極區(qū)域607a及漏極區(qū)域607b。這樣，未被射入陽離子的中央部即成為通道區(qū)域607c。
另外，在電路元件部602中形成有覆蓋基底保護膜606及半導體膜607的透明的柵極絕緣膜608，在該柵極絕緣膜608上的與半導體膜607的通道區(qū)域607c對應的位置上例如形成有由Al、Mo、Ta、Ti、W等構成的柵電極609。在該柵電極609及柵極絕緣膜608上，形成有透明的第1層間絕緣膜611a和第2層間絕緣膜611b。另外，貫穿第1、第2層間絕緣膜611a、611b，形成有分別與半導體膜607的源極區(qū)域607a、漏極區(qū)域607b連通的接觸孔612a、612b。
此外，在第2層間絕緣膜611b上以給定的形狀進行圖形處理而形成由ITO等制成的透明的象素電極613，該象素電極613被穿過接觸孔612a與源極區(qū)域607a連接。
另外，在第1層間絕緣膜611a上配設有電源線614，該電源線614被穿過接觸孔612b與漏極區(qū)域607b連接。
像這樣，在電路元件部602上，分別形成有與各象素電極613連接的驅動用的薄膜晶體管615。
所述發(fā)光元件部603大致由分別層疊于多個象素電極613上的功能層617、設于各象素電極613及功能層617之間而劃分各功能層617的圍堰部618構成。
由這些象素電極613、功能層617及配設于功能層617上的陰極604構成發(fā)光元件。而且，象素電極613被圖形處理為俯視近似矩形的形狀，在各象素電極613之間形成有圍堰部618。
圍堰部618由例如由SiO、SiO2、TiO2等無機材料形成的無機物圍堰層618a(第1圍堰層)、層疊于該無機物圍堰層618a上并由丙烯酸樹脂、聚亞酰胺樹脂等耐熱性、耐溶劑性優(yōu)良的光刻膠形成的截面為梯形的有機物圍堰層618b(第2圍堰層)構成。該圍堰部618的一部分被以搭在象素電極613的周緣部上的狀態(tài)形成。
此外，在各圍堰部618之間，形成有相對于象素電極613朝向上方地逐漸展開的開口部619。
所述功能層617由在開口部619內以層疊狀態(tài)形成于象素電極613上的空穴注入/輸送層617a、形成于該空穴注入/輸送層617a上的發(fā)光層617b構成。而且，也可以與該發(fā)光層617b相鄰地還形成具有其他的功能的其他的功能層。例如，也可以形成電子輸送層。
空穴注入/輸送層617a具有從象素電極613側輸送空穴而注入發(fā)光層617b的功能。該空穴注入/輸送層617a是通過噴出含有空穴注入/輸送層形成材料的第1組合物(功能液)而形成的。作為空穴注入/輸送層形成材料，使用公知的材料。
發(fā)光層617b是發(fā)出紅色(R)、綠色(G)或藍色(B)的某一種的光的層，是通過噴出含有發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第2組合物(功能液)而形成的。作為第2組合物的溶劑(非極性溶劑)，優(yōu)選使用相對于空穴注入/輸送層617a不溶的公知的材料，通過將此種非極性溶劑用于發(fā)光層617b的第2組合物中，就可以不使空穴注入/輸送層617a再溶解地形成發(fā)光層617b。
此外，在發(fā)光層617b中，從空穴注入/輸送層617a注入的空穴、從陰極604注入的電子在發(fā)光層中復合而發(fā)光。
陰極604被以覆蓋發(fā)光元件部603的全面的狀態(tài)形成，與象素電極613構成一對而起到使功能層617中流過電流的作用。而且，在該陰極604的上部配置有未圖示的密封構件。
下面，參照圖15～圖23對所述的顯示裝置600的制造工序進行說明。
該顯示裝置600如圖15所示，被經過圍堰部形成工序(S111)、表面處理工序(S112)、空穴注入/輸送層形成工序(S113)、發(fā)光層形成工序(S114)及對置電極形成工序(S115)而制造。而且，制造工序并不限定于例示的內容，根據需要，有時要除去或追加其他的工序。
首先，在圍堰部形成工序(S111)中，如圖16所示，在第2層間絕緣膜611b上形成無機物圍堰層618a。該無機物圍堰層618a是在形成位置上形成了無機物膜后，通過對該無機物膜利用光刻技術等進行圖形處理而形成的。此時，無機物圍堰層618a的一部分被與象素電極613的周緣部重疊地形成。
形成了無機物圍堰層618a后，如圖17所示，在無機物圍堰層618a上形成有機物圍堰層618b。該有機物圍堰層618b也與無機物圍堰層618a相同，是利用光刻技術等進行圖形處理而形成的。
像這樣就形成圍堰部618。另外，與之相伴，在各圍堰部618之間形成相對于象素電極613朝向上方開口的開口部619。該開口部619規(guī)定象素區(qū)域。
表面處理工序(S112)中，進行親液化處理及疏液化處理。實施親液化處理的區(qū)域是無機物圍堰層618a的第1層疊部618aa及象素電極613的電極面613a，這些區(qū)域被利用例如以氧作為處理氣體的等離子體處理表面處理為親液性。該等離子體處理兼用作對作為象素電極613的ITO的清洗等。
另外，疏液化處理是對有機物圍堰層618b的壁面618s及有機物圍堰層618b的上面618t實施的，利用例如以四氟化甲烷作為處理氣體的等離子體處理對表面進行氟化處理(處理為疏液性)。
通過進行該表面處理工序，在使用功能液滴噴頭3形成功能層617時，就可以使功能液滴更為可靠地命中象素區(qū)域，另外，可以防止命中了象素區(qū)域的功能液滴從開口部619中溢出。
這樣，經過以上的工序就可以獲得顯示裝置基體600A。該顯示裝置基體600A被放置于圖1所示的液滴噴出裝置1的固定平臺17上，進行以下的空穴注入/輸送層形成工序(S113)及發(fā)光層形成工序(S114)。
如圖18所示，在空穴注入/輸送層形成工序(S113)中，從功能液滴噴頭3中將含有空穴注入/輸送層形成材料的第1組合物向作為象素區(qū)域的各開口部619內噴出。其后，如圖19所示，進行干燥處理及熱處理，使第1組合物中所含的極性溶劑蒸發(fā)，在象素電極(電極面613a)上形成空穴注入/輸送層617a。
下面，對發(fā)光層形成工序(S114)進行說明。該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層617a的再溶解，作為在發(fā)光層形成時所使用的第2組合物的溶劑，使用相對于空穴注入/輸送層617a不溶的非極性溶劑。
但是，另一方面，空穴注入/輸送層617a由于對非極性溶劑的親和性低，因此即使將含有非極性溶劑的第2組合物向空穴注入/輸送層617a上噴出，將有可能無法使空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b密接，或者無法均一地涂布發(fā)光層617b。
所以，為了提高空穴注入/輸送層617a的表面相對于非極性溶劑以及發(fā)光層形成材料的親和性，最好在發(fā)光層形成之前進行表面處理(表面改性處理)。該表面處理是通過將作為與在發(fā)光層形成之時所使用的第2組合物的非極性溶劑相同的溶劑或與之類似的溶劑的表面改性材料涂布在空穴注入/輸送層617a上，使之干燥而進行的。
通過實施此種處理，空穴注入/輸送層617a的表面就容易與非極性溶劑親和，在其后的工序中，就可以將含有發(fā)光層形成材料的第2組合物均一地涂布在空穴注入/輸送層617a上。
此后，下面如圖20所示，將含有與各色當中的某一種(圖20的例子中藍色(B))對應的發(fā)光層形成材料的第2組合物作為功能液滴向象素區(qū)域(開口部619)內射入給定量。被射入象素區(qū)域內的第2組合物在空穴注入/輸送層617a上展開而被充滿于開口部619內。而且，即使在萬一第2組合物脫離象素區(qū)域而命中了圍堰部618的上面618t時，該上面618t由于被如上所述地實施了疏液處理，因此第2組合物也會很容易地滾入開口部619內。
其后，通過經過干燥工序等，對噴出后的第2組合物進行干燥處理，使第2組合物中所含的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖21所示，在空穴注入/輸送層617a上形成發(fā)光層617b。該圖的情況下，形成與藍色(B)對應的發(fā)光層617b。
同樣地，使用功能液滴噴頭3，如圖22所示，依次進行與所述的藍色(B)對應的發(fā)光層617b的情況相同的工序，形成與其他的顏色(紅色(R)及綠色(G))對應的發(fā)光層617b。而且，發(fā)光層617b的形成順序并不限定于例示的順序，用哪種順序形成都可以。例如，也可以與發(fā)光層形成材料對應地決定形成順序。另外，作為R·G·B三色的排列圖形，有條紋排列、馬賽克排列及三角排列等。
如上所述，在象素電極613上形成功能層617，即形成空穴注入/輸送層617a及發(fā)光層617b。此后，轉移至對置電極形成工序(S115)。
在對置電極形成工序(S115)中，如圖23所示，在發(fā)光層617b及有機物圍堰層618b的全面，利用例如蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成陰極604(對置電極)。該陰極604在本實施方式中，例如是將鈣層和鋁層層疊而構成的。
在該陰極604的上部適當地設有作為電極的Al膜、Ag膜、用于防止其氧化的SiO2、SiN等保護層。
在像這樣形成了陰極604后，通過實施將該陰極604的上部利用密封構件密封的密封處理或配線處理等其他處理等，即得到顯示裝置600。
下面，圖24是等離子體型顯示裝置(PDP裝置以下簡稱為顯示裝置700)的要部分解立體圖。而且，同圖中以將其一部分切掉的狀態(tài)表示顯示裝置700。
該顯示裝置700大致包括被相互面的地配置的第1基板701、第2基板702及形成于它們之間的放電顯示部703。放電顯示部703由多個放電室705構成。按照使這些個放電室705當中的紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍色放電室705B三個放電室705形成一組而構成1個象素的方式配置。
在第1基板701的上面以給定的間隔條紋狀地形成地址電極706，按照覆蓋該地址電極706和第1基板701的上面的方式形成有電介質層707。在電介質層707上，按照位于各地址電極706之間并且沿著各地址電極706的方式豎立地設有隔壁708。該隔壁706如圖所示包括沿地址電極706的寬度方向兩側延伸的部分、沿與地址電極706正交的方向延伸設置的未圖示的部分。
這樣，由該隔壁708分隔的區(qū)域即成為放電室705。
在放電室705內配置有熒光體709。熒光體709是發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)的某一種顏色的熒光的物體，在紅色放電室705R的底部配置有紅色熒光體709R，在綠色放電室705G的底部配置有綠色熒光體709G，在藍色放電室705B的底部配置有藍色熒光體709B。
在第2基板702的圖中下側的面上，沿與所述地址電極706正交的方向以給定的間隔條紋狀地形成有多個顯示電極711。此外，按照將它們覆蓋的方式形成有電介質層712及由MgO等構成的保護膜713。
第1基板701和第2基板702被以使地址電極706和顯示電極711相互正交的狀態(tài)貼合。而且，所述地址電極706和顯示電極711被與未圖示的交流電源連接。
這樣，通過向各電極706、711通電，在放電顯示部703中熒光體709就會激發(fā)發(fā)光，從而能夠進行彩色顯示。
本實施方式中，可以使用圖1所示的液滴噴出裝置1形成所述地址電極706、顯示電極711及熒光體709。以下將例示第1基板701的地址電極706的形成工序。
該情況下，在將第1基板701放置于液滴噴出裝置1的固定平臺17上的狀態(tài)下進行以下的工序。
首先，利用功能液滴噴頭3，使含有導電膜配線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴命中地址電極形成區(qū)域。該液體材料是作為導電膜配線形成用材料，在分散劑中分散了金屬等導電性微粒的材料。作為該導電性微粒，可以使用含有金、銀、銅、鈀或鎳等的金屬微粒、導電性聚合物等。
當對成為補充對象的全部的地址電極形成區(qū)域結束了液體材料的補充后，對噴出后的液體材料進行干燥處理，通過使液體材料中所含的分散劑蒸發(fā)，形成地址電極706。
但是，在所述說明中雖然例示了地址電極706的形成，但是對于所述顯示電極711及熒光體709，也可以經過所述各工序而形成。
對于形成顯示電極711的情況，與地址電極706的情況相同，使含有導電膜配線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴命中顯示電極形成區(qū)域。
另外，對于形成熒光體709的情況，將含有與各色(R、G、B)對應的熒光材料的液體材料(功能液)從液滴噴頭3中作為液滴噴出，命中所對應的顏色的放電室705內。
下面，圖25是電子發(fā)射裝置(也稱作FED裝置或SED裝置以下簡稱為顯示裝置800)的要部剖面圖。而且，同圖中對顯示裝置800將其一部分設為剖面而表示。
該顯示裝置800大致包括被相互面對地配置的第1基板801、第2基板802及形成于它們之間的電場發(fā)射顯示部803。電場發(fā)射顯示部803由以矩陣狀配置的多個電子發(fā)射部805構成。
在第1基板801的上面相互正交地形成有構成負極806的第1元件電極806a及第2元件電極806b。另外，在被第1元件電極806a及第2元件電極806b分隔的部分中，形成有形成了間隙808的導電性膜807。即，由第1元件電極806a、第2元件電極806b及導電性膜807構成多個電子發(fā)射部805。導電性膜807例如由氧化鈀(PdO)等構成，另外，間隙808是在形成了導電性膜807后，利用發(fā)泡(foaming)等形成的。
在第2基板802的下面形成有與陰極806對置的正極809。在正極809的下面形成格子狀的圍堰部811，在被該圍堰部811包圍的朝下的各開口部812中，與電子發(fā)射部805對應地配置有熒光體813。熒光體813是發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(B)的某一種顏色的熒光的物體，在各開口部中，以所述的給定的圖形配置有紅色熒光體813R、綠色熒光體813G及藍色熒光體813B。
此外，如此構成的第1基板801和第2基板802被留有微小的間隙地貼合。該顯示裝置800中，穿過導電性膜(間隙808)807，使從作為陰極的第1元件電極806a或第2元件電極806b中飛出的電子碰上作為陽極的正極809上所形成的熒光體813而激發(fā)發(fā)光，從而能夠進行彩色顯示。
該情況下，與其他實施方式相同，可以使用液滴噴出裝置1形成第1元件電極806a、第2元件電極806b、導電性膜807及正極809，并且可以使用液滴噴出裝置1形成各色的熒光體813R、813G、813B。
第1元件電極806a、第2元件電極806b及導電性膜807具有圖26A所示的平面形狀，在使它們成膜的情況下，如圖26B所示，預先留下加入第1元件電極806a、第2元件電極806b及導電性膜807的部分，形成圍堰部BB(光刻法)。然后，在由圍堰部BB構成的槽部分中，形成第1元件電極806a及第2元件電極806b(利用液滴噴出裝置1的噴墨法)，在使其溶劑干燥而進行了成膜后，形成導電性膜807(利用液滴噴出裝置1的噴墨法)。此后，在使導電性膜807成膜后，去除圍堰部BB(拋光剝離處理)，轉移到所述的發(fā)泡處理。而且，最好與所述有機EL裝置的情況相同，進行對第1基板801及第2基板x802的親液化處理、對圍堰部811、BB的疏液化處理。
另外，作為其他的光電裝置，可以考慮金屬配線形成、透鏡形成、光刻膠形成及光擴散體形成等的裝置。通過將所述的液滴噴出裝置1用于各種光電裝置(設備)的制造中，就能夠有效地制造各種光電裝置。
權利要求
1.一種功能液滴噴頭的初期填充方法，在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭的噴頭內流路中初期填充由功能液或所述功能液的溶劑構成的填充液，其特征是，具備對與所述噴頭內流路相連的所述功能液滴噴頭的功能液導入口進行密封的密封工序、在貯存于密閉容器中的所述填充液中浸漬所述功能液滴噴頭的浸漬工序、將所述密閉容器內的氣氛氣體排出而將所述密閉容器的內部減壓至給定的真空度的減壓工序、在所述減壓工序之后恢復所述密閉容器內部的壓力的復壓工序。
2.一種功能液滴噴頭的初期填充方法，在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭的噴頭內流路中初期填充由功能液或所述功能液的溶劑構成的填充液，其特征是，具備將貯存有所述填充液并且收容了所述功能液滴噴頭的密閉容器內的氣氛氣體排出而將所述密閉容器內減壓至給定的真空度的減壓工序、將所述功能液滴噴頭浸涂在所述填充液中的浸涂工序、在所述減壓工序之后恢復所述密閉容器內部的壓力的復壓工序。
3.根據權利要求2所述的功能液滴噴頭的初期填充方法，其特征是，所述浸涂工序在所述減壓工序之后、且在所述復壓工序之前進行。
4.根據權利要求1至3中任意一項所述的功能液滴噴頭的初期填充方法，其特征是，在所述減壓工序中，將所述給定的真空度維持數小時。
5.根據權利要求1至4中任意一項所述的功能液滴噴頭的初期填充方法，其特征是，所述給定的真空度在1000Pa以下、并且在100Pa以上。
6.一種功能液滴噴頭的初期填充裝置，在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭的噴頭內流路中，初期填充由功能液或該功能液的溶劑構成的填充液，其特征是，具備在內部貯存所述填充液的密閉容器、在將與所述噴頭內流路相連的功能液導入口預先密封的所述功能液滴噴頭浸漬在所述填充液中的狀態(tài)下進行支撐的噴頭支撐機構、與所述密閉容器連通并將所述密閉容器內的氣氛氣體排出而將所述密閉容器的內部減壓至給定的真空度的減壓機構、在將所述真空度維持了給定時間后恢復所述密閉容器內部的壓力的復壓機構。
7.一種功能液滴噴頭的初期填充裝置，在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭的噴頭內流路中初期填充由功能液或該功能液的溶劑構成的填充液，其特征是，具備在內部貯存所述填充液的密閉容器、與所述密閉容器連通并將所述密閉容器內的氣氛氣體排出而將所述密閉容器的內部減壓至給定的真空度的減壓機構、支撐所述功能液滴噴頭并且使所述功能液滴噴頭在浸涂于所述填充液中的浸涂位置和從所述填充液中提起的提起位置之間升降的升降機構、在將所述真空度維持了給定時間后恢復所述密閉容器內部的壓力的復壓機構。
8.根據權利要求7所述的功能液滴噴頭的初期填充裝置，其特征是，還具備控制所述減壓機構、所述升降機構及所述復壓機構的控制機構，所述控制機構在驅動所述減壓機構而將所述密閉容器內減壓至所述給定的真空度后，驅動所述升降機構而將所述功能液滴噴頭浸涂在所述填充液中，在經過給定時間后，驅動所述復壓機構而恢復所述密閉容器內部的壓力。
9.根據權利要求6至8中任意一項所述的功能液滴噴頭的初期填充裝置，其特征是，所述復壓機構由與干燥氣體供給裝置相連的閥構成。
10.一種功能液滴噴頭，其特征是，利用權利要求1至5中任意一項所述的功能液滴噴頭的初期填充方法或權利要求6至9中任意一項所述功能液滴噴頭的初期填充裝置初期填充所述填充液。
11.一種功能液供給裝置，向權利要求10所述的功能液滴噴頭供給功能液，其特征是，具備貯存所述功能液的功能液罐、將所述功能液滴噴頭和所述功能液罐連接的功能液供給管道。
12.一種液滴噴出裝置，其特征是，具備權利要求11所述的功能液供給裝置、在承載架上搭載了所述功能液滴噴頭的噴頭單元、搭載所述工件并且使所述工件相對于所述噴頭單元相對移動的移動機構。
13.一種光電裝置的制造方法，其特征是，使用權利要求12所述的液滴噴出裝置，在所述工件上通過所述功能液滴形成成膜部。
14.一種光電裝置，其特征是，使用權利要求12所述的液滴噴出裝置，在所述工件上通過所述功能液滴形成有成膜部。
15.一種電子設備，其特征是，搭載了利用權利要求13所述的光電裝置的制造方法制造的光電裝置或權利要求14所述的光電裝置。
全文摘要
本發(fā)明的功能液滴噴頭(3)的初期填充方法，是在向工件噴出功能液滴的功能液滴噴頭(3)的噴頭內流路中初期填充由功能液或該功能液的溶劑構成的填充液(68)的功能液滴噴頭(3)的初期填充方法，具備將與噴頭內流路相連的功能液滴噴頭(3)的功能液導入口(51)密封的密封工序、在貯存于密閉容器(71)中的填充液(68)中浸漬功能液滴噴頭(3)的浸漬工序、將密閉容器(71)的內部減壓至給定的真空度而將密閉容器(71)內的氣氛氣體排出的減壓工序、在減壓工序之后恢復密閉容器(71)的內部壓力的復壓工序。
文檔編號B41J2/01GK1807101SQ200610051380
公開日2006年7月26日 申請日期2006年1月4日 優(yōu)先權日2005年1月17日
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