噴液頭以及噴液裝置的制造方法
【專利說明】噴液頭以及噴液裝置
[0001]本申請是申請?zhí)枮?01210069439.0、發(fā)明名稱為“噴液頭以及噴液裝置”、申請日為2012年3月15日的發(fā)明專利申請的分案申請。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及從噴嘴開口噴射液體的噴液頭以及噴液裝置，特別涉及作為液體排出墨液的噴墨式記錄頭以及噴墨式記錄裝置。
【背景技術(shù)】
[0003]作為噴射液滴的噴液頭的代表例即噴墨式記錄頭，有例如如下類型:具備:沿著較長方向形成有多個壓力發(fā)生室的流路形成基板；和在流路形成基板的一面?zhèn)扰c所述各壓力發(fā)生室相對應(yīng)地設(shè)置的壓電致動器，通過各壓電致動器的移位對壓力發(fā)生室賦予壓力，從而使墨滴從各噴嘴開口噴射。在此，各噴嘴開口與各壓力發(fā)生室相對應(yīng)并且在其厚度方向上貫通而設(shè)置(例如，參照專利文獻1、專利文獻2)。該噴嘴板貼附于所述流路形成基板的另一面?zhèn)纫苑忾]所述壓力發(fā)生室的另一面?zhèn)鹊拈_口部。即，在流路形成基板的另一面?zhèn)戎苯诱迟N有嗔嘴板。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:特開2006-212478號公報
[0007]專利文獻2:特開2009-233870號公報
[0008]但是，噴嘴板為比較高價的部件，這成為該噴墨式記錄頭的成本高企的原因之一。另外，在噴嘴板中有的涂敷有絕緣性的疏水膜，在這樣的情況下，更加顯著地成為成本高企的主要原因。
[0009]另外，流路形成基板通過在作為單晶硅基板的流路形成基板用晶片上一次形成了多個之后、分別切制而形成。因此，為了謀求該噴墨式記錄頭的成本的降低，重要的是增加流路形成基板的切取數(shù)量。因此，期待流路形成基板的盡可能的小型化。
[0010]但是，在如上所述的現(xiàn)有技術(shù)所涉及的噴墨式記錄頭中，存在如下問題:在流路形成基板還設(shè)置有預(yù)先貯存有對各壓力發(fā)生室供給的墨液的液體貯存部，所以小型化也有限度，這成為阻礙成本減低的主要原因。
[0011 ] 另外，這樣的問題不僅在排出墨液的噴墨式記錄頭中而且在噴液墨液以外的液體的噴液頭中也同樣存在。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明鑒于上述情況，其目的在于提供能夠通過謀求噴嘴板的小型化和/或具備壓力發(fā)生室的部件的小型化來謀求整體成本的降低化的噴液頭以及具備其的噴液裝置。
[0013]解決上述問題的本發(fā)明的方式，一種噴液頭，其特征在于，具備:設(shè)置有噴射液體的噴嘴開口的噴嘴板；致動器單元，其具備設(shè)置有與所述噴嘴開口連通的壓力發(fā)生室的流路形成基板和使所述壓力發(fā)生室內(nèi)的液體產(chǎn)生壓力變化的壓力發(fā)生裝置；連通板，其設(shè)置于所述噴嘴板與所述致動器單元之間，設(shè)置有使所述壓力發(fā)生室和所述噴嘴開口連通的連通路徑；第一殼體部件，其為與所述連通板接合使得所述致動器單元配設(shè)于內(nèi)部的框體，與所述致動器單元形成預(yù)先貯存向所述壓力發(fā)生室供給的液體的液體貯存部的一部分；和第二殼體部件，其接合于所述第一殼體部件，形成有將所述液體從外部送到所述液體貯存部的導(dǎo)入路徑。
[0014]在該方式中，液體貯存部的噴嘴板側(cè)的面由連通板限定(形成)，所以能夠?qū)娮彀逍纬蔀閷挾容^窄。其結(jié)果，能夠縮小噴嘴板20的面積，能夠降低噴嘴板20的成本。特別是，在嗔嘴板的表面設(shè)有具有疏水性的疏水I旲的情況下，能夠減小尚價的疏水I旲的面積，所以能夠取得顯著的減低成本的效果。另外，即使單純地減小作為噴嘴板的材料的比較高價的金屬板和/或陶瓷板的面積，當然也能夠有助于成本的減低。
[0015]進而本發(fā)明提供一種噴液頭，其具備:在噴液面設(shè)置的噴嘴開；致動器單元，其具備流路形成基板和壓力發(fā)生裝置，所述流路形成基板設(shè)置有與所述噴嘴開口連通的壓力發(fā)生室，所述壓力發(fā)生裝置使所述壓力發(fā)生室內(nèi)的液體產(chǎn)生壓力變化；連通板，其設(shè)置有使所述壓力發(fā)生室和所述噴嘴開口連通的連通路徑；第一殼體部件，其與所述連通板接合；和第二殼體部件，其接合于所述第一殼體部件，形成有將所述液體從外部送到液體貯存部的導(dǎo)入路徑，
[0016]所述液體貯存部由所述連通板、所述第一殼體和所述第二殼體形成，并設(shè)置于所述致動器單元的兩側(cè)，且該液體貯存部與所述壓力發(fā)生室連通。
[0017]在本方式中，在框體的內(nèi)周面與致動器單元的端面之間形成有所述液體貯存部，所以也能夠?qū)崿F(xiàn)致動器單元的小型化，從這一點來看也能夠有助于成本的減低。即，在娃晶片等大尺寸的基板上一體地形成多個流路形成基板等時，通過使流路形成基板等小型化，從而能夠增加切取數(shù)量，其結(jié)果是能夠謀求成本的降低。
[0018]以第一殼體部件以及第二殼體部件為代表，能夠?qū)盈B各部件而整體組裝，所以也能夠與定位的容易性相結(jié)合地使制造步驟合理化。
[0019]進而，在本方式中，優(yōu)選，具備封閉所述液體貯存部的一部分的、至少一部分為具有柔性的柔性部的封閉膜，所述第一殼體部件具有形成于所述框體的層疊所述第二殼體部件側(cè)的面的外周部分的壁面部，所述第二殼體部件具有殼體主體和形成所述柔性部的封閉膜并且嵌入于所述框體所形成的內(nèi)部空間，使得所述封閉膜在所述殼體主體與所述框體的所述層疊側(cè)的面之間被夾持。在該情況下，通過將封閉膜夾持于殼體主體和框體之間而固定封閉膜，所以能夠良好地確保封閉膜和框體之間的密封性。
[0020]進而，優(yōu)選，所述致動器單元的所述壓力發(fā)生裝置由保護部件覆蓋，并且所述保護部件具有面對所述液體貯存部且與所述柔性部相對的缺口部。由此，能夠保護壓力發(fā)生裝置并且能夠擴展柔性部的面積到與缺口部相對應(yīng)的區(qū)域為止，所以能夠使該部分具有較大的柔軟性。
[0021]進而，本發(fā)明的其他的方式，一種噴液裝置，其特征在于，具備上述方式的噴液頭。
[0022]在該方式中，能夠?qū)崿F(xiàn)提高了液體的噴射品質(zhì)的噴液裝置。
【附圖說明】
[0023]圖1是實施方式所涉及的記錄頭的分解立體圖。
[0024]圖2是實施方式所涉及的記錄頭的俯視圖。
[0025]圖3是圖2的A-A線放大剖視圖以及放大地表示其一部分的剖視圖。
[0026]圖4是表示實施方式所涉及的記錄裝置的概略構(gòu)成的圖。
[0027]附圖標記說明
[0028]I噴墨式記錄裝置(噴液裝置)1、1A、IB噴墨式記錄頭(噴液頭)
[0029]2噴墨式記錄頭單元(噴液頭單元)10流路形成基板
[0030]12壓力發(fā)生室14墨液供給路徑15連通板16連通路徑
[0031]20噴嘴板21噴嘴開口 30保護基板30A缺口部
[0032]40第一殼體部件40A框體40B壁面部41第二殼體部件
[0033]41B封閉膜42導(dǎo)入路徑60第一電極70壓電體層
[0034]80第二電極90引線電極100歧管120驅(qū)動電路
[0035]121布線基板200致動器單元300壓電致動器
【具體實施方式】
[0036]以下，基于實施方式詳細地說明本發(fā)明。
[0037]圖1是表示本發(fā)明的實施方式所涉及的噴液頭的一例的噴墨式記錄頭的分解立體圖。圖2是其俯視圖，圖3是圖2的A-A線放大剖視圖以及抽出地表示其致動器單元部分的放大剖視圖。
[0038]如圖所示，流路形成基板10，在本實施方式中由面方位(110)的單晶硅基板構(gòu)成，在其一面形成有由二氧化硅構(gòu)成的彈性膜50。在流路形成基板10中，形成有2列在大致直線上并排設(shè)置有多個壓力發(fā)生室12的列。另外，在大致直線上并排設(shè)置有壓力發(fā)生室12的2列中，相對于一方的壓力發(fā)生室12的列，另一方的壓力發(fā)生室12的列配置于按并排設(shè)置方向上的壓力發(fā)生室12的相鄰間隔的一半錯開的位置。由此，詳情將后述的噴嘴開口 21也同樣地，噴嘴開口 21的2列按一半的間隔錯開配置，使析像度成為2倍。
[0039]另外，在流路形成基板10的壓力發(fā)生室12的較長方向的一端部側(cè)