專利名稱：一種晶圓激光打標機的自動送料機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種自動送料機構，特別是指一種應用于晶圓激光打標機，由氣缸與電動平移臺組合而成的晶圓激光打標機的自動送料機構。
背景技術：
隨著激光加工技術的不斷進步，激光器的運用領域得到不斷拓展。近年來，在晶圓制造領域也越來越多的運用到光刻技術，針對晶圓制造領域，許多公司都推出了晶圓激光打標機產品。但隨著生產力的不斷提高，晶圓制造行業(yè)對激光打標機的生產效率提出了更高的要求，因此迫切需要更加方便的晶圓送料方式以提高激光打標機的工作效率。

實用新型內容有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種能提高激光打標機工作效率的晶圓激光打標機的自動送料機構。為達到上述目的，本實用新型提供一種晶圓激光打標機的自動送料機構，其安裝于晶圓激光打標機上，該自動送料機構包括有能帶動晶圓進行上下移動的工裝升降裝置、 能抓取晶圓并將晶圓水平移送到打標位置下方的晶圓抓取裝置以及能將晶圓抬高到適合激光打標高度的晶圓升降裝置。所述工裝升降裝置上設有能裝設晶圓的晶圓工裝及用于驅動該晶圓工裝上下移動的伺服電機，所述晶圓抓取裝置包括有抓取托盤及用于驅動該抓取托盤在水平面內直線移動的抓取氣缸，所述晶圓升降裝置包括有升降托盤及用于驅動該升降托盤在豎直方向移動的升降氣缸。所述晶圓激光打標機設有對晶圓進行打標的激光打標頭及對晶圓進行圖像識別的CXD攝像機。所述自動送料機構還包括有可編程邏輯控制器，該可編程邏輯控制器分別與所述工裝升降裝置、所述晶圓抓取裝置及所述晶圓升降裝置電氣連接，所述激光打標頭與所述 CXD攝像機由工控機控制，所述可編程邏輯控制器與該工控機之間電氣連接。借由本實用新型的晶圓激光打標機的自動送料機構，可以提高激光打標機的工作效率，且該送料機構具有穩(wěn)定、高效、安全等優(yōu)點。

圖1為本實用新型晶圓激光打標機的自動送料機構的結構示意圖；圖2為本實用新型中的工裝升降裝置的結構示意圖；圖3為本實用新型中的晶圓升降裝置的結構示意圖；圖4為本實用新型中的晶圓抓取裝置的結構示意圖；圖5為本實用新型晶圓激光打標機的自動送料機構工作原理圖；圖6為本實用新型晶圓激光打標機的自動送料機構電氣控制原理框圖。
具體實施方式
為便于對本實用新型的結構及達到的效果有進一步的了解，現結合附圖并舉較佳實施例詳細說明如下。如圖1所示，本實用新型的晶圓激光打標機的自動送料機構，其安裝于晶圓激光打標機上，該自動送料機構包括有能帶動晶圓4進行上下移動的工裝升降裝置1、能抓取晶圓4并將晶圓4水平移送到打標位置下方的晶圓抓取裝置2以及能將晶圓4抬高到適合激光打標高度的晶圓升降裝置3。如圖2至圖4所示，該工裝升降裝置1上設有能裝設晶圓的晶圓工裝10，該晶圓工裝10由伺服電機11驅動上下移動；晶圓抓取裝置2包括有抓取氣缸20及抓取托盤21，該抓取氣缸20用以驅動抓取托盤21在水平面內直線移動；該晶圓升降裝置3包括有升降氣缸30與升降托盤31，該升降氣缸30用以驅動升降托盤31在豎直方向移動并使升降托盤31上的晶圓移動至適當位置以便使激光打標頭對晶圓進行打標。如圖5所示，本實用新型晶圓激光打標機的自動送料機構工作流程如下操作工將裝滿晶圓4的晶圓工裝10安放在工裝升降裝置1上，按下啟動按鈕后，伺服電機帶動升降臺的絲桿旋轉推動晶圓工裝10向下移動。處于晶圓工裝10底部的第一片晶圓停在抓取托盤21的高度上，抓取氣缸20將抓取托盤21推入晶圓工裝10，晶圓工裝10向下移動很小的距離，使晶圓4能被抓取托盤21托起，晶圓抓取裝置2利用了真空發(fā)生器產生負壓來吸附晶圓的原理，隨后抓取托盤21與真空發(fā)生器連接的電磁閥被打開，抓取托盤21上的凹槽上出現負壓將晶圓4吸附在托盤上。抓取氣缸20將抓取托盤21推出，將晶圓4置于晶圓升降裝置3上方，負壓被撤銷。升降氣缸30推動升降托盤31上升，將晶圓4從抓取托盤21 上托起并升高到打標高度。本發(fā)明中的晶圓激光打標機設有對晶圓進行打標的激光打標頭及對晶圓進行圖像識別的CCD (Charge-coupled Device,電荷耦合元件)攝像機，CCD攝像機對晶圓4進行圖像識別后，利用激光打標頭開始打標。打標之后，升降托盤31降下，晶圓 4落在抓取托盤21上，負壓再次產生并將晶圓4吸附，抓取托盤21將晶圓4送回晶圓工裝 10，負壓消失，晶圓工裝10向上移動很小的距離將晶圓4托起，抓取托盤21抽出復位，至此完成一片晶圓的打標。晶圓工裝10向下移動，使第二片晶圓停在抓取托盤21的高度上，即開始對第二片晶圓的加工。如此往復，直到完成最上面一片晶圓的加工后，對一個晶圓工裝的加工全部完成。操作工將晶圓工裝取下，裝上下一個待加工的晶圓工裝。本實用新型中的升降托盤是為了增強對比度以便于CCD攝像機對晶圓進行圖像識別。圖6是本實用新型電氣控制原理框圖，本實用新型的核心控制單元是PLC (Programmable Logic Controller，可編程邏輯控制器)，其分別與工裝升降裝置、晶圓抓取裝置及晶圓升降裝置電氣連接。伺服電機、抓取氣缸電磁閥、升降氣缸電磁閥和真空吸附電磁閥均與PLC電氣連接，在PLC控制下實現對晶圓的抓取和放回動作。激光打標頭與CCD 攝像機由工控機控制，PLC與工控機之間電氣連接，通過PLC與工控機之間的交互，完成整個打標動作。以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用于限定本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種晶圓激光打標機的自動送料機構，其安裝于晶圓激光打標機上，其特征在于，該自動送料機構包括有能帶動晶圓進行上下移動的工裝升降裝置、能抓取晶圓并將晶圓水平移送到打標位置下方的晶圓抓取裝置以及能將晶圓抬高到適合激光打標高度的晶圓升降裝置。
2.如權利要求1所述的晶圓激光打標機的自動送料機構，其特征在于，所述工裝升降裝置上設有能裝設晶圓的晶圓工裝及用于驅動該晶圓工裝上下移動的伺服電機，所述晶圓抓取裝置包括有抓取托盤及用于驅動該抓取托盤在水平面內直線移動的抓取氣缸，所述晶圓升降裝置包括有升降托盤及用于驅動該升降托盤在豎直方向移動的升降氣缸。
3.如權利要求2所述的晶圓激光打標機的自動送料機構，其特征在于，所述晶圓激光打標機設有對晶圓進行打標的激光打標頭及對晶圓進行圖像識別的CCD攝像機。
4.如權利要求3所述的晶圓激光打標機的自動送料機構，其特征在于，所述自動送料機構還包括有可編程邏輯控制器，該可編程邏輯控制器分別與所述工裝升降裝置、所述晶圓抓取裝置及所述晶圓升降裝置電氣連接，所述激光打標頭與所述CCD攝像機由工控機控制，所述可編程邏輯控制器與該工控機之間電氣連接。
專利摘要本實用新型公開了一種晶圓激光打標機的自動送料機構，其安裝于晶圓激光打標機上，該自動送料機構包括有能帶動晶圓進行上下移動的工裝升降裝置、能抓取晶圓并將晶圓水平移送到打標位置下方的晶圓抓取裝置以及能將晶圓抬高到適合激光打標高度的晶圓升降裝置。借由本實用新型的晶圓激光打標機的自動送料機構，可以提高激光打標機的工作效率，該送料機構具有穩(wěn)定、高效、安全等優(yōu)點。
文檔編號B41J11/00GK202278843SQ20112038677
公開日2012年6月20日 申請日期2011年10月12日 優(yōu)先權日2011年10月12日
發(fā)明者盧飛星, 孫紹文, 王偉, 閔大勇 申請人:武漢華工激光工程有限責任公司