專利名稱：液體噴射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種具備如下液體噴射頭的噴墨式打印機(jī)等的液體噴射裝置，所述液體噴射頭通過(guò)向與噴嘴相連通的壓力室賦予壓力變動(dòng)，從而使壓力室內(nèi)的液體從噴嘴被噴射。
背景技術(shù)：
液體噴射裝置為，具備液體噴射頭，且從該噴射頭噴射各種液體的裝置。雖然作為該液體噴射裝置，例如，存在噴墨式打印機(jī)或噴墨式繪圖儀等的圖像記錄裝置，但最近，通過(guò)發(fā)揮能夠使極少量的液體準(zhǔn)確地噴落于預(yù)定位置的特長(zhǎng)，從而也被應(yīng)用于各種制造裝置中。例如，被應(yīng)用于制造液晶顯示器等的濾色器的顯示器制造裝置、形成有機(jī)EL(Electix)Luminescence，電致發(fā)光)顯示器或FED (面發(fā)光顯示器)等的電極的電極形成裝置、制造生物芯片(生物化學(xué)元件)的芯片制造裝置中。而且，圖像記錄裝置用的記錄頭噴射液狀的油墨，顯示器制造裝置用的顏色材料噴射頭噴射R(Red)、G (Green)、B (Blue)的各種顏色材料的溶液。另外，電極形成裝置用的電極材噴射頭噴射液狀的電極材料，芯片制造裝置用的生體有機(jī)物噴射頭噴射生體有機(jī)物的溶液。在這種液體噴射頭中，例如，存在一種具備壓電元件和共用液室(也稱為貯液器或者歧管)的液體噴射頭，所述壓電元件使噴嘴所開(kāi)口的壓力室的容積產(chǎn)生變動(dòng)，所述共用液室向壓力室供給液體。在這種液體噴射頭中，已知一種以如下方式構(gòu)成的液體噴射頭，即，共用液室的上表面被具有撓性的彈性膜(撓性薄膜)密封，從而吸收共用液室內(nèi)的液體的壓力變動(dòng)(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。因此，在共用液室的相反側(cè)形成有空間，從而不會(huì)妨礙彈性膜的彈性變形，并且該空間向大氣開(kāi)放。但是，在如上所述的結(jié)構(gòu)中，存在共用液室內(nèi)的水分經(jīng)由彈性膜蒸發(fā)，而使液體增稠的問(wèn)題。雖然為了解決該問(wèn)題，已知一種為了防止氣體的擴(kuò)散，而使對(duì)彈性膜的共用液室的相反側(cè)的空間和大氣進(jìn)行連接的管(通氣通道)細(xì)長(zhǎng)地蜿蜒的結(jié)構(gòu)，但并不能說(shuō)該結(jié)構(gòu)令人滿意。尤其是，在液體長(zhǎng)期沒(méi)有被噴射的情況下，因水分的蒸發(fā)而導(dǎo)致的液體的增稠將
變得顯著。專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2006-306022號(hào)公報(bào)
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型是鑒于上述情況而被完成的，其目的在于，提供一種向共用液室賦予可塑性，且能夠防止液體噴射頭內(nèi)的液體的增稠的液體噴射裝置。本實(shí)用新型是為了實(shí)現(xiàn)上述目的而被提出的，其特征在于，具備:液體噴射頭，其具有壓力室、基板以及撓性薄膜，所述壓力室與開(kāi)口于噴嘴形成面上的噴嘴相連通，所述基板中形成有向該壓力室供給液體的共用液室，所述撓性薄膜對(duì)該基板中的共用液室的噴嘴形成面?zhèn)鹊拈_(kāi)口面進(jìn)行密封；密封部件，其具有凹陷狀的密封空部，且能夠以使所述噴嘴形成面面向該密封空部?jī)?nèi)的方式進(jìn)行密封，該密封部件被構(gòu)成為，能夠在所述噴嘴形成面的密封狀態(tài)下，以使所述撓性薄膜的至少一部分面向密封空部?jī)?nèi)的方式進(jìn)行密封。根據(jù)本實(shí)用新型，由于通過(guò)撓性薄膜而對(duì)共用液室的噴嘴形成面?zhèn)鹊拈_(kāi)口面進(jìn)行密封，因此能夠在共用液室的下側(cè)賦予可塑性。另外，由于也能夠通過(guò)對(duì)噴嘴形成面進(jìn)行密封的密封部件將撓性薄膜密封，因此能夠防止水分自該實(shí)施了密封的部分的蒸發(fā)，從而能夠抑制液體噴射頭內(nèi)的液體的增稠。另外，在上述結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，所述密封部件能夠?qū)λ鰮闲员∧さ乃龉灿靡菏业南喾磦?cè)的表面中的、與該共用液室相對(duì)應(yīng)的部分的整個(gè)表面進(jìn)行密封。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠防止水分自共用液室的蒸發(fā)，從而能夠更加可靠地抑制液體噴射頭內(nèi)的液體的增稠。而且，在上述各結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選為，所述液體噴射頭具備保護(hù)基板，所述保護(hù)基板以覆蓋所述撓性薄膜的所述共用液室的相反側(cè)的表面的狀態(tài)進(jìn)行保護(hù)，且在所述撓性薄膜的與所述共用液室相對(duì)應(yīng)的部分中的至少一部分處，設(shè)置有不會(huì)對(duì)該撓性薄膜的撓曲變形產(chǎn)生阻礙的空間，所述密封部件能夠從所述保護(hù)基板的撓性薄膜的相反側(cè)的表面?zhèn)?，在包含該保護(hù)基板在內(nèi)并使撓性薄膜面向所述密封空部?jī)?nèi)的狀態(tài)下進(jìn)行密封。另外，優(yōu)選為，所述保護(hù)基板采用如下的結(jié)構(gòu)，S卩，具備:壁部，其圍繞所述撓性薄膜的周圍；底部，其從所述撓性薄膜的所述共用液室的相反側(cè)的表面分離。而且，優(yōu)選為，所述保護(hù)基板采用如下的結(jié)構(gòu)，S卩，所述保護(hù)基板被層疊于所述撓性薄膜上，且在與共用液室相對(duì)應(yīng)的部分中的至少一部分處設(shè)置有開(kāi)口。根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，例如，能夠防止由于記錄介質(zhì)(噴落對(duì)象)與撓性薄膜相接觸等，而導(dǎo)致?lián)闲员∧ぐl(fā)生損壞的情況。另外，通過(guò)保護(hù)基板從而能夠防止水分自撓性薄膜的蒸發(fā)，從而能夠更加可靠地抑制共用液室內(nèi)的液體的增稠。

圖1為對(duì)打印機(jī)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的立體圖。圖2為第一實(shí)施方式中的通過(guò)壓蓋部件而被密封了的狀態(tài)下的記錄頭的剖視圖。圖3為第二實(shí)施方式中的通過(guò)壓蓋部件而被密封了的狀態(tài)下的記錄頭的剖視圖。圖4為第三實(shí)施方式中的通過(guò)壓蓋部件而被密封了的狀態(tài)下的記錄頭的剖視圖。圖5為第四實(shí)施方式中的通過(guò)壓蓋部件而被密封了的狀態(tài)下的記錄頭的剖視圖。圖6為第五實(shí)施方式中的通過(guò)壓蓋部件而被密封了的狀態(tài)下的記錄頭的剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖，對(duì)實(shí)施本實(shí)用新型的方式進(jìn)行說(shuō)明。并且，雖然在以下所述的實(shí)施方式中，作為本實(shí)用新型的優(yōu)選的具體示例而做出了各種限定，但在以下的說(shuō)明中，只要不是特別地對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行限定的記載，則本實(shí)用新型的范圍并不限定于這些方式。另夕卜，作為本實(shí)用新型的液體噴射裝置，列舉噴墨式打印機(jī)I (本實(shí)用新型的液體噴射裝置的一種)為例來(lái)進(jìn)行以下的說(shuō)明。圖1為表示打印機(jī)I的結(jié)構(gòu)的立體圖。該打印機(jī)I具備滑架4，在所述滑架4上，安裝有作為液體噴射頭的一種的噴墨式記錄頭2 (以下，稱為記錄頭)，且以可拆裝的方式安裝有作為液體貯留部件的一種的墨盒3。在該滑架4的后部設(shè)置有滑架移動(dòng)機(jī)構(gòu)6，所述滑架移動(dòng)機(jī)構(gòu)6使滑架4在記錄紙5 (記錄介質(zhì)及噴落對(duì)象的一種)的紙張寬度方向、即主掃描方向上進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。另外，在記錄動(dòng)作時(shí)的記錄頭2的下方，以留出間隔的方式而設(shè)置有壓印板7。在該壓印板7上，通過(guò)在打印機(jī)I的后方所設(shè)置的輸送機(jī)構(gòu)8，記錄紙5在與主掃描方向正交的副掃描方向上被輸送?；?以軸支承于被架設(shè)在主掃描方向上的引導(dǎo)桿9的狀態(tài)而被安裝，并通過(guò)滑架移動(dòng)機(jī)構(gòu)6的運(yùn)轉(zhuǎn),而沿著引導(dǎo)桿9在主掃描方向上進(jìn)行移動(dòng)。滑架4在主掃描方向上的位置通過(guò)作為位置信息檢測(cè)單元的一種的線性編碼器10而被檢測(cè)，并且將該檢測(cè)信號(hào)、即編碼器脈沖(位置信息的一種)向打印機(jī)I的控制部發(fā)送。在滑架4的移動(dòng)范圍內(nèi)的、與記錄區(qū)域相比靠外側(cè)的端部區(qū)域中，設(shè)定有成為滑架4的掃描的基點(diǎn)的初始位置。打印機(jī)I執(zhí)行所謂的雙方向記錄，即，在滑架4從該初始位置朝向相反側(cè)的端部而進(jìn)行移動(dòng)的前進(jìn)移動(dòng)時(shí)、和滑架4從相反側(cè)的端部向初始位置側(cè)返回的返回移動(dòng)時(shí)這兩個(gè)方向上，將文字或圖像等記錄在記錄紙5上。另外，在初始位置處，配置有對(duì)后文所述的噴嘴形成面39(噴嘴板20，參照?qǐng)D2)進(jìn)行密封的壓蓋部件11 (本實(shí)用新型中的密封部件)、和用于擦拭噴嘴形成面39的擦拭器部件12。如圖2所示，壓蓋部件11為，具有長(zhǎng)方形狀的密封底部Ila和從該密封底部Ila的邊緣立起的密封側(cè)壁部Ilb的、上表面開(kāi)放的托盤狀的部件，并且壓蓋部件11由橡膠等的彈性部件形成。本實(shí)施方式的壓蓋部件11被構(gòu)成為，在使噴嘴形成面39、及后文所述的撓性薄膜21的下表面(貯液器23 (后文敘述)的相反側(cè)的表面)且與貯液器23相對(duì)應(yīng)的部分的整個(gè)表面，面向由密封底部IIa和密封側(cè)壁部Ilb包圍而成的密封空部13內(nèi)的狀態(tài)下，通過(guò)使密封側(cè)壁部Ilb的頂端邊緣緊貼記錄頭2側(cè)，從而能夠進(jìn)行密封。換言之，壓蓋部件11被構(gòu)成為，具有凹陷狀的密封空部13，通過(guò)使噴嘴形成面39、及與貯液器23相接的撓性薄膜21的整個(gè)表面面向該密封空部13內(nèi)，從而能夠進(jìn)行密封。并且，在不執(zhí)行記錄動(dòng)作時(shí)，壓蓋部件11對(duì)噴嘴形成面39、及撓性薄膜21的下表面進(jìn)行密封。另外，在壓蓋部件11上，連接有對(duì)該壓蓋部件11的內(nèi)側(cè)進(jìn)行減壓的泵(未圖示)。由此，在通過(guò)壓蓋部件11對(duì)噴嘴形成面39進(jìn)行密封后使泵驅(qū)動(dòng)，從而能夠從噴嘴38中抽吸出記錄頭2內(nèi)的氣泡或增稠了的油墨。而且，在壓蓋部件11的內(nèi)部，配置有用于使密封空部13內(nèi)保持在高濕狀態(tài)的部件，例如含有油墨的海綿等(未圖示)。由此，在壓蓋部件11將噴嘴形成面39、及撓性薄膜21的下表面密封了的狀態(tài)下，使密封空部13內(nèi)保持在高濕狀態(tài)，從而防止了水分自噴嘴38、及撓性薄膜21的蒸發(fā)。圖2為通過(guò)壓蓋部件11而被密封了的狀態(tài)下的記錄頭2的剖視圖。本實(shí)施方式的記錄頭2具備頭殼體15、振動(dòng)板16、壓電元件17、流道基板18、連通板19、噴嘴板20、和撓性薄膜21。并且，流道基板18及連通板19相當(dāng)于本實(shí)用新型中的基板。頭殼體15為中空箱體狀的部件，在其內(nèi)部形成有成為貯液器23(相當(dāng)于共用液室)的一部分的導(dǎo)入空部24、及向該導(dǎo)入空部24供給來(lái)自墨盒3的油墨的殼體流道25。導(dǎo)入空部24為以后文所述的噴嘴列方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的空部，其下側(cè)(噴嘴板20側(cè))開(kāi)口且與后文所述的連通空部32相連通。殼體流道25的下端側(cè)與導(dǎo)入空部24的上部(頂部部分)相連通，上端側(cè)與連接于墨盒3的油墨導(dǎo)入針(未圖示)相連通。另外，在頭殼體15的與壓電元件17相對(duì)應(yīng)的部分中，形成有在高度方向上貫穿的插穿空間26。在該插穿空間26內(nèi)，插穿有后文所述的柔性電纜30。[0028]振動(dòng)板16為由彈性膜28及絕緣體膜29層疊而成的彈性基板，并接合于頭殼體15的下表面上。該振動(dòng)板16的與導(dǎo)入空部24相對(duì)應(yīng)的部分上下貫穿，從而使導(dǎo)入空部24和連通空部32相連通。在該絕緣體膜29上的、與壓力室31對(duì)置的部分處，形成有依次層疊了下電極膜、壓電體層及上電極膜的壓電元件17(壓力產(chǎn)生單元的一種)。未圖示的電極配線部從該壓電元件17的獨(dú)立電極(上電極膜)起分別延伸至絕緣膜上，柔性電纜30的一側(cè)端部的端子與這些電極配線部中的相當(dāng)于電極端子的部分相連接。該柔性電纜30被形成為如下的結(jié)構(gòu)，即，例如通過(guò)銅箔等在聚酰亞胺等的基底薄膜的表面上形成導(dǎo)體圖案，并通過(guò)抗蝕劑覆蓋該導(dǎo)體圖案的結(jié)構(gòu)。另外，在柔性電纜30的表面上，安裝有對(duì)壓電元件17進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)IC(未圖示)。而且，驅(qū)動(dòng)信號(hào)(驅(qū)動(dòng)電壓)通過(guò)驅(qū)動(dòng)IC而被施加于上電極膜及下電極膜之間，從而壓電元件17發(fā)生撓曲變形。流道基板18為，接合于振動(dòng)板16 (彈性膜28)的下表面上的、單晶硅基板或由不銹鋼等制作的基板。在該流道基板18上，以與噴嘴板20的各個(gè)噴嘴38相對(duì)應(yīng)的方式而形成有多個(gè)壓力室31。壓力室31為，以與噴嘴列方向正交的方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的空部，其長(zhǎng)度方向上的一側(cè)端部經(jīng)由后文所述的連通板19的噴嘴連通通道34而與噴嘴38相連通。另夕卜，壓力室31的長(zhǎng)度方向上的另一側(cè)端部經(jīng)由后文所述的連通板19的供給側(cè)連通通道35而與貯液器23相連通。另外，在流道基板18中的、與所述導(dǎo)入空部24相對(duì)應(yīng)的部分處，以在板厚方向上貫穿的狀態(tài)而形成有連通空部32。該連通空部32的上部與導(dǎo)入空部24相連通，且下部與后文所述的連通板19的貯液部36相連通。連通板19為，接合于流道基板18的下表面上的、單晶硅基板或由不銹鋼等制作的基板。在該連通板19中，以在板厚方向上貫穿的狀態(tài)而形成有噴嘴連通通道34、供給側(cè)連通通道35、及貯液部36。噴嘴連通通道34以與各個(gè)壓力室31相對(duì)應(yīng)的方式而形成有多個(gè)，并且噴嘴連通通道34的上部與壓力室31相連通，下部與噴嘴38相連通。供給側(cè)連通通道35與噴嘴連通通道34之間隔著隔壁部37，而在貯液部36側(cè)以與各個(gè)壓力室31相對(duì)應(yīng)的方式形成有多個(gè)。該供給側(cè)連通通道35為對(duì)各個(gè)壓力室31和貯液器23 (貯液部36)進(jìn)行連通的流道。貯液部36為構(gòu)成貯液器23的一部分的空部，并且貯液部36的上部與連通空部32相連通。即，通過(guò)由導(dǎo)入空部24、連通空部32、及貯液部36構(gòu)成的一系列的流道，從而構(gòu)成各個(gè)壓力室31共用并向各個(gè)壓力室31供給油墨的、以噴嘴列方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的貯液器23。噴嘴板20為，接合于連通板19的下表面上的、以與點(diǎn)形成密度相對(duì)應(yīng)的間距而將多個(gè)噴嘴38設(shè)置成列狀的板材。例如，通過(guò)以與360dpi相對(duì)應(yīng)的間距對(duì)360個(gè)噴嘴38進(jìn)行排列設(shè)置，從而構(gòu)成噴嘴列(噴嘴組的一種)。本實(shí)施方式的噴嘴板20由單晶硅基板制成，并通過(guò)實(shí)施干蝕刻而形成有圓筒形狀的噴嘴38。另外，噴嘴板20在可靠地確保噴嘴連通通道34和噴嘴38之間的液密的范圍內(nèi)(即，只要能夠確保可在液密狀態(tài)下使噴嘴連通通道34和噴嘴38相連通的接合量)，盡可能地被設(shè)定得較小。通過(guò)以這種方式使噴嘴板20盡可能地小型化，從而能夠有助于降低成本。在本實(shí)施方式中，使貯液器23的相反側(cè)的端部與記錄頭2的外形相一致，而使貯液器23側(cè)的端部延伸至連通板19的隔壁部37的中途。并且，噴嘴板20的下表面相當(dāng)于本實(shí)用新型中的噴嘴形成面39。撓性薄膜21為由能夠撓曲變形(彈性變形)的樹(shù)脂等構(gòu)成的薄膜，通過(guò)粘合劑而被粘合于連通板19的下表面上。本實(shí)施方式的撓性薄膜21使噴嘴板20側(cè)的端部延伸至隔壁部37的中途且不與噴嘴板20發(fā)生干涉的部分。另一方面，噴嘴板20的相反側(cè)的端部與記錄頭2的外形相一致。由此，連通板19中的供給側(cè)連通通道35、及貯液部36的下側(cè)(噴嘴形成面39側(cè))的開(kāi)口面通過(guò)撓性薄膜21而被密封。即，供給側(cè)連通通道35、及貯液部36的底面由撓性薄膜21構(gòu)成。由此，供給側(cè)連通通道35、及貯液器23的底面能夠變形，從而作為可塑性部而發(fā)揮功能。而且，來(lái)自墨盒3的油墨經(jīng)由殼體流道25、貯液器23、供給側(cè)連通通道35而向壓力室31被供給。當(dāng)在該狀態(tài)下使壓電元件17驅(qū)動(dòng)時(shí)，壓力室31內(nèi)的油墨將產(chǎn)生壓力變動(dòng)。通過(guò)利用該壓力變動(dòng)，從而從噴嘴38噴射油墨。在此，雖然壓力室31內(nèi)所產(chǎn)生的壓力變動(dòng)也向貯液器23側(cè)傳遞，但通過(guò)撓性薄膜21發(fā)生撓曲變形，從而能夠吸收貯液器23內(nèi)的油墨的壓力變動(dòng)。另外，當(dāng)不執(zhí)行記錄動(dòng)作時(shí)，噴嘴形成面39、及撓性薄膜21的下表面被密封于壓蓋部件11的密封空部13內(nèi)。在本實(shí)施方式中，采用如下結(jié)構(gòu)，即，能夠?qū)τ涗涱^2的下表面中的與噴嘴連通通道34、供給側(cè)連通通道35、及貯液器23相對(duì)應(yīng)的部分的整個(gè)表面進(jìn)行密封。由此，噴嘴38、及撓性薄膜21的與油墨的流道(在本實(shí)施方式中，為供給側(cè)連通通道35及貯液器23)相接的部分與大氣隔離，從而抑制了水分從噴嘴38蒸發(fā)的情況、及水分從油墨的流道透過(guò)撓性薄膜21而蒸發(fā)的情況。其結(jié)果為，抑制了流道內(nèi)的油墨的增稠。另夕卜，由于噴嘴板20側(cè)的撓性薄膜21和連通板19之間的粘合部分(撓性薄膜21的與隔壁部37重疊的部分)也已密封，因此抑制了水分經(jīng)由該粘合部分的粘合劑而蒸發(fā)的情況。而且，例如，還能夠在密封空部13內(nèi)配置含有油墨的海綿等，從而主動(dòng)地使密封空部13內(nèi)保持在高濕狀態(tài)。當(dāng)采取以上方式時(shí)，將能夠進(jìn)一步抑制水分的蒸發(fā)。并且，由于壓蓋部件11由橡膠等彈性部件形成，因此即使在噴嘴板20、及撓性薄膜21的厚度不同而存在些許高低差的情況下，也由于密封側(cè)壁部Ilb的上端面(抵接面)會(huì)按照噴嘴板20、及撓性薄膜21的厚度(高低差)而發(fā)生彈性變形，從而能夠?qū)τ涗涱^2的下表面進(jìn)行密封。另外，也可以按照噴嘴板20、及撓性薄膜21的厚度，而預(yù)先在壓蓋部件11的密封側(cè)壁部Ilb的上端面上設(shè)置層差。如上述方式，由于通過(guò)撓性薄膜21對(duì)貯液器23的噴嘴形成面39側(cè)的開(kāi)口面進(jìn)行了密封，因此能夠在貯液器23的下側(cè)賦予可塑性。另外，由于也能夠通過(guò)對(duì)噴嘴形成面39進(jìn)行密封的壓蓋部件11而將撓性薄膜21密封，因此能夠防止水分自該實(shí)施了密封的部分的蒸發(fā)，從而能夠抑制記錄頭2內(nèi)的油墨的增稠。在本實(shí)施方式中，由于能夠?qū)闲员∧?1的貯液器23的相反側(cè)的表面中的、與該貯液器23相對(duì)應(yīng)的部分的整個(gè)表面進(jìn)行密封，因此能夠防止水分自貯液器23的蒸發(fā)，從而能夠更加可靠地抑制記錄頭2內(nèi)的液體的增稠。然而，本實(shí)用新型并不限定于上述的實(shí)施方式，而是能夠根據(jù)專利權(quán)利要求的范圍來(lái)實(shí)施各種的變形。例如，雖然上述的實(shí)施方式中的壓蓋部件11對(duì)撓性薄膜21的、與供給側(cè)連通通道35及貯液器23相對(duì)應(yīng)的部分的整個(gè)表面進(jìn)行了密封，但只要能夠?qū)闲员∧?1的至少一部分進(jìn)行密封即可。由此，至少能夠防止水分自該實(shí)施了密封的部分的蒸發(fā)，從而能夠抑制記錄頭內(nèi)的油墨的增稠。另外，記錄頭只要具有基板和撓性薄膜，則可以是任意的結(jié)構(gòu)，其中，所述基板中形成有與開(kāi)口于噴嘴形成面上的噴嘴相連通的壓力室、及向該壓力室供給液體的貯液器(作為貯液器的一部分的貯液部)，所述撓性薄膜對(duì)該基板中的貯液器的噴嘴形成面?zhèn)鹊拈_(kāi)口面進(jìn)行密封。例如，在圖3所示的第二實(shí)施方式的記錄頭2中，不具有連通板。具體而言，第二實(shí)施方式中的記錄頭2具備有頭殼體15、振動(dòng)板16、壓電元件17、流道基板18'、噴嘴板20、撓性薄膜21。并且，由于頭殼體15、振動(dòng)板16、壓電元件17、噴嘴板20與上述的第一實(shí)施方式中的記錄頭2相同，因此省略說(shuō)明。另外，在本實(shí)施方式中，流道基板18'相當(dāng)于本實(shí)用新型中的基板。本實(shí)施方式的流道基板18'接合于振動(dòng)板16 (彈性膜28)的下表面上，并形成有貯液部36'、供給側(cè)連通通道35'、壓力室3Γ、及噴嘴連通通道34'。詳細(xì)而言，貯液部36'及噴嘴連通通道34'以在板厚方向上貫穿的方式而被形成，供給側(cè)連通通道35'及壓力室31'以從流道基板18'的上表面(振動(dòng)板16側(cè)的表面)起半蝕刻到該流道基板18;的厚度方向上的中途的方式而被形成。貯液部36'與第一實(shí)施方式相同地，為構(gòu)成貯液器23的一部分的空部，且其上部與導(dǎo)入空部24相連通。即，在本實(shí)施方式中，由導(dǎo)入空部24、及貯液部36'構(gòu)成的一系列的流道，構(gòu)成各個(gè)壓力室31'共用并向各個(gè)壓力室31'供給的油墨的、以噴嘴列方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的貯液器23。供給側(cè)連通通道35'為，使各個(gè)壓力室3Γ和貯液器23相連通的、流道寬度較窄的狹窄部。壓力室31'為以與噴嘴列正交的方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的空部，且在供給側(cè)連通通道35'的相反側(cè)與噴嘴連通通道34'相連通。噴嘴連通通道34'的底面由噴嘴板20構(gòu)成，并且噴嘴連通通道34'與開(kāi)口于該噴嘴板20上的噴嘴38相連通。撓性薄膜21通過(guò)粘合劑而以液密的方式被粘合于流道基板18'的下表面上，并對(duì)貯液器23(貯液部36')的下側(cè)的開(kāi)口面進(jìn)行密封。本實(shí)施方式的撓性薄膜21使噴嘴板20側(cè)的端部延伸至貯液部36'和噴嘴連通通道34'之間、且不與噴嘴板20發(fā)生干涉的部分。另一方面，噴嘴板20的相反側(cè)的端部與第一實(shí)施方式相同地，與記錄頭2的外形相一致。由此，貯液器23的底面由撓性薄膜21構(gòu)成，從而貯液器23被賦予了可塑性。如上述方式，由 于通過(guò)撓性薄膜21而對(duì)貯液器23的噴嘴形成面39側(cè)的開(kāi)口面進(jìn)行了密封，因此能夠在貯液器23的下側(cè)賦予可塑性。另外，由于也能夠通過(guò)對(duì)噴嘴形成面39進(jìn)行密封的壓蓋部件11而將撓性薄膜21密封，因此能夠防止水分自該實(shí)施了密封的部分的蒸發(fā)，從而能夠抑制記錄頭2內(nèi)的油墨的增稠。在本實(shí)施方式中，由于能夠?qū)闲员∧?1的貯液器23的相反側(cè)的表面中的、與該貯液器23相對(duì)應(yīng)的部分的整個(gè)表面進(jìn)行密封，因此能夠防止水分自貯液器23的蒸發(fā)，從而能夠更加可靠地抑制記錄頭2內(nèi)的液體的增稠。并且，由于打印機(jī)I的其他結(jié)構(gòu)與上述的第一實(shí)施方式相同，因此省略說(shuō)明。另外，雖然在上述的各個(gè)實(shí)施方式中，在未通過(guò)壓蓋部件11而被密封的狀態(tài)下，露出了撓性薄膜21的下表面，但也能夠通過(guò)保護(hù)部件來(lái)覆蓋撓性薄膜21的下表面。詳細(xì)而言，在記錄頭2中還可以具備保護(hù)基板41，所述保護(hù)基板41以覆蓋撓性薄膜21的貯液器23的相反側(cè)的表面的狀態(tài)進(jìn)行保護(hù)，且在撓性薄膜21的與貯液器23相對(duì)應(yīng)的部分中的至少一部分處，設(shè)置有不會(huì)對(duì)該撓性薄膜21的撓曲變形產(chǎn)生阻礙的空間。例如，在圖4所示的第三實(shí)施方式的記錄頭2中，具備保護(hù)基板41，所述保護(hù)基板41具備圍繞撓性薄膜21的周圍的壁部41a、和從撓性薄膜21的貯液器23的相反側(cè)的表面分離的底部41b。具體而言，保護(hù)基板41具有凹陷成凹狀的保護(hù)空間42，在使撓性薄膜21的整體面向該保護(hù)空間42內(nèi)的狀態(tài)下，保護(hù)空間42的開(kāi)口邊緣(壁部41a的上表面)被接合于連通板19上。并且，在保護(hù)基板41的底部41b上，開(kāi)口有通氣孔43。由此，保護(hù)空間42被向大氣開(kāi)放，從而能夠立即追隨貯液器23內(nèi)的壓力變化而使撓性薄膜21發(fā)生撓曲變形。而且，本實(shí)施方式的壓蓋部件11被構(gòu)成為，能夠從保護(hù)基板41的撓性薄膜21的相反側(cè)的表面?zhèn)?，以包含保護(hù)基板41的整體在內(nèi)并使撓性薄膜21面向密封空部13內(nèi)的狀態(tài)進(jìn)行密封。由此，當(dāng)壓蓋部件11將噴嘴形成面39密封時(shí)，保護(hù)基板41的整體將被收納于密封空部13內(nèi)，從而被收納于該保護(hù)基板41的保護(hù)空間42內(nèi)的撓性薄膜21也被密封。并且，壓蓋部件11并不一定需要將保護(hù)基板41的整體包含在密封空部13內(nèi)，只要能夠進(jìn)行密封以使保護(hù)基板41的保護(hù)空間42與大氣隔離，則也可以僅將保護(hù)基板41的一部分包含在密封空部13內(nèi)。例如，也可以在使保護(hù)基板41的通氣孔43面向密封空部13內(nèi)的狀態(tài)下，使壓蓋部件11的噴嘴板20的相反側(cè)的密封側(cè)壁部Ilb抵接于保護(hù)基板41的底部41b。并且，由于其他結(jié)構(gòu)與上述的第一實(shí)施方式相同，因此省略說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，由于以上述方式構(gòu)成，因此，例如能夠防止由于記錄紙5與撓性薄膜21接觸等，而導(dǎo)致?lián)闲员∧?1發(fā)生損壞的情況。另外，通過(guò)保護(hù)基板41從而能夠防止水分自撓性薄膜21的蒸發(fā)，從而能夠更加可靠地抑制貯液器23內(nèi)的液體的增稠。然而，保護(hù)基板并不限定于上述的第三實(shí)施方式。如圖5所示，第四實(shí)施方式的保護(hù)基板4Γ被層疊于撓性薄膜21的下側(cè)。在該保護(hù)基板4Γ的與貯液器23相對(duì)應(yīng)的部分處設(shè)置有開(kāi)口 44。由此，由于面向該開(kāi)口 44內(nèi)的部分的撓性薄膜21能夠撓曲變形，因此該部分將作為貯液器23的可塑性部而發(fā)揮功能。另外，壓蓋部件11被構(gòu)成為，與上述的第三實(shí)施方式相同地，能夠從保護(hù)基板41'的撓性薄膜21的相反側(cè)的表面?zhèn)?，以包含保護(hù)基板41'的整體在內(nèi)并使撓性薄膜21面向密封空部13內(nèi)的狀態(tài)進(jìn)行密封。并且，在本實(shí)施方式的壓蓋部件11中，只需能夠?qū)ΡＷo(hù)基板41'的開(kāi)口 44進(jìn)行密封即可，而并不一定需要將保護(hù)基板41'的整體包含在密封空部13內(nèi)。另外，由于其他結(jié)構(gòu)與上述的第三實(shí)施方式相同，因此省略說(shuō)明。在本實(shí)施 方式中，也與第三實(shí)施方式相同地，例如，能夠防止由于記錄紙5與撓性薄膜21接觸等，而導(dǎo)致?lián)闲员∧?1發(fā)生損壞的情況。另外，通過(guò)保護(hù)基板41'從而能夠防止水分自撓性薄膜21的蒸發(fā)，從而能夠更加可靠地抑制貯液器23內(nèi)的液體的增稠。另外,雖然在上述的各個(gè)實(shí)施方式中，與一列的噴嘴列相對(duì)應(yīng)而僅設(shè)置了一個(gè)忙液器23，但也可以與多個(gè)噴嘴列相對(duì)應(yīng)而設(shè)置多個(gè)貯液器23。例如，在圖6所示的第五實(shí)施方式的記錄頭2中，與兩列的噴嘴列相對(duì)應(yīng)而形成有兩個(gè)貯液器23。在本實(shí)施方式中，兩列噴嘴列被設(shè)置于一個(gè)噴嘴板20'上，在隔著該噴嘴板20'的兩側(cè)，分別設(shè)置有用于構(gòu)成所述貯液器23的底面的撓性薄膜21、及用于保護(hù)撓性薄膜21的保護(hù)基板41。并且，本實(shí)施方式的記錄頭2被構(gòu)成為，隔著噴嘴列間的中心線而左右對(duì)稱，由于其中的一側(cè)(圖6中的右側(cè))被構(gòu)成為與第三實(shí)施方式的記錄頭2相同，因此省略說(shuō)明。壓蓋部件11被構(gòu)成為，能夠從保護(hù)基板41的撓性薄膜21的相反側(cè)的表面?zhèn)?，以包含保護(hù)基板41在內(nèi)并使撓性薄膜21面向密封空部13內(nèi)的狀態(tài)進(jìn)行密封。本實(shí)施方式的壓蓋部件11被構(gòu)成為，在使各個(gè)保護(hù)基板41的通氣孔43面向密封空部13內(nèi)的狀態(tài)下，使與噴嘴列正交的方向上的、一側(cè)的密封側(cè)壁部Ilb抵接于一個(gè)保護(hù)基板41，并使另一側(cè)的密封側(cè)壁部Ilb抵接于另一個(gè)保護(hù)基板41。由此，能夠?qū)⑽挥趦蓚?cè)的保護(hù)基板41之間的噴嘴形成面39整體收納于密封空部13內(nèi)，另外，也能夠?qū)⒈皇占{于保護(hù)基板41的保護(hù)空間42內(nèi)的撓性薄膜21密封。并且，雖然在上述的各實(shí)施方式中，作為壓力產(chǎn)生單元，例示了所謂的撓曲振動(dòng)型的壓電元件17，但并不限定于此，例如，還可以采用所謂的縱振動(dòng)型的壓電元件。此外，即使在如下結(jié)構(gòu)中，即，作為壓力產(chǎn)生單元，采用了通過(guò)利用發(fā)熱而使油墨崩沸從而產(chǎn)生壓力變動(dòng)的發(fā)熱元件、或通過(guò)利用靜電力而使壓力室的分隔壁發(fā)生位移從而產(chǎn)生壓力變動(dòng)的靜電致動(dòng)器等的壓力產(chǎn)生單元的結(jié)構(gòu)中，也能夠應(yīng)用本實(shí)用新型。而且，雖然在上文中，列舉了具備作為液體噴射頭的一種的噴墨式記錄頭2的打印機(jī)I為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但本實(shí)用新型還能夠應(yīng)用于具備其他液體噴射頭的液體噴射裝置。例如，還能夠?qū)⒃诒緦?shí)用新型應(yīng)用于具備如下噴射頭的液體噴射裝置中，所述噴射頭包括:液晶顯示器等的濾色器的制造中所使用的顏色材料噴射頭、有機(jī)EL(ElectroLuminescence，電致發(fā)光)顯示器、FED(面發(fā)光顯示器)等的電極形成所使用的電極材料噴射頭、生物芯片(生物化學(xué)元件)的制造中所使用的生體有機(jī)物噴射頭等。符號(hào)說(shuō)明I...打印機(jī),2...記錄頭，11...壓蓋部件，13...密封空部，15...頭殼體,16...振動(dòng)板，
17…壓電兀件， 18…流道基板，19…連通板,20…噴嘴板,21…撓性薄膜,23…忙液器，31…壓力室，36…忙液部，38…噴嘴,39…噴嘴形成面,41…保護(hù)基板,42…保護(hù)空間,43…通氣孔，44…開(kāi)口。
權(quán)利要求1.一種液體噴射裝置，其特征在于，具備: 液體噴射頭，其具有壓力室、基板以及撓性薄膜，所述壓力室與開(kāi)口于噴嘴形成面上的噴嘴相連通，所述基板中形成有向該壓力室供給液體的共用液室，所述撓性薄膜對(duì)該基板中的共用液室的噴嘴形成面?zhèn)鹊拈_(kāi)口面進(jìn)行密封； 密封部件，其具有凹陷狀的密封空部，且能夠以使所述噴嘴形成面面向該密封空部?jī)?nèi)的方式進(jìn)行密封， 該密封部件被構(gòu)成為，能夠在所述噴嘴形成面的密封狀態(tài)下，以使所述撓性薄膜的至少一部分面向密封空部?jī)?nèi)的方式進(jìn)行密封。
2.如權(quán)利要求1所述的液體噴射裝置，其特征在于， 所述密封部件能夠?qū)λ鰮闲员∧さ乃龉灿靡菏业南喾磦?cè)的表面中的、與該共用液室相對(duì)應(yīng)的部分的整個(gè)表面進(jìn)行密封。
3.如權(quán)利要求1或2所述的液體噴射裝置，其特征在于， 所述液體噴射頭具備保護(hù)基板，所述保護(hù)基板以覆蓋所述撓性薄膜的所述共用液室的相反側(cè)的表面的狀態(tài)進(jìn)行保護(hù)，且在所述撓性薄膜的與所述共用液室相對(duì)應(yīng)的部分中的至少一部分處，設(shè)置有不會(huì)對(duì)該撓性薄膜的撓曲變形產(chǎn)生阻礙的空間， 所述密封部件能夠從所述保護(hù)基板的撓性薄膜的相反側(cè)的表面?zhèn)?，以包含該保護(hù)基板在內(nèi)并使撓性薄膜面向所述密封空部?jī)?nèi)的狀態(tài)進(jìn)行密封。
4.如權(quán)利要求3所述的液體噴射裝置，其特征在于， 所述保護(hù)基板具備:壁部，其圍繞所述撓性薄膜的周圍；底部，其從所述撓性薄膜的所述共用液室的相反側(cè)的表面分離。
5.如權(quán)利要求3所述的液體噴射裝置，其特征在于， 所述保護(hù)基板被層疊于所述撓性薄膜上，且在與共用液室相對(duì)應(yīng)的部分中的至少一部分處設(shè)置有開(kāi)口。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種液體噴射裝置，其向共用液室賦予可塑性，且能夠防止液體噴射頭內(nèi)的液體的增稠。所述液體噴射裝置具備液體噴射頭(2)，其具有壓力室(31)、連通板(19)及撓性薄膜(21)，所述壓力室(31)與開(kāi)口于噴嘴形成面(39)上的噴嘴(38)相連通，所述連通板(19)中形成有向該壓力室(31)供給液體的共用液室(23)，所述撓性薄膜(21)對(duì)該連通板(19)中的共用液室(23)的噴嘴形成面(39)側(cè)的開(kāi)口面進(jìn)行密封；密封部件(11)，其具有凹陷狀的密封空部(13)，且能夠以使所述噴嘴形成面(39)面向該密封空部(13)內(nèi)的方式進(jìn)行密封，該密封部件(11)被構(gòu)成為，能夠在噴嘴形成面(39)的密封狀態(tài)下，以使撓性薄膜(21)的至少一部分面向密封空部(13)內(nèi)的方式進(jìn)行密封。
文檔編號(hào)B41J2/045GK202965512SQ20122060033
公開(kāi)日2013年6月5日 申請(qǐng)日期2012年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月14日
發(fā)明者福田俊也 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社