，所述傳送動作是指由傳送輥18、19沿傳送方向傳送記錄紙張100預定數(shù)量的傳送動作。
[0041]〈噴墨頭的詳細情況〉
[0042]下文參照圖2?圖5對噴墨頭4的詳細構(gòu)成進行說明。另外，由于噴墨頭4的4個頭單元16的構(gòu)成都相同，所以僅對其中一個頭單元16進行說明，省略對其它的頭單元16的說明。
[0043]如圖2?圖5所示，頭單元16包括噴嘴板20、流路形成部21、壓電致動器22和貯器形成部件23。另外，在圖2中，為了簡化圖面，位于流路形成部21和壓電致動器22上方的貯器形成部件23用雙點劃線僅顯示外形。
[0044]〈噴嘴板〉
[0045]噴嘴板20的材質(zhì)不特別限定。例如，能夠采用不銹鋼等金屬材料、硅或聚酰亞胺等合成樹脂材料等、各種各樣的材質(zhì)。在噴嘴板20形成有多個噴嘴24。如圖2所示，噴出一種顏色墨水的多個噴嘴24沿著傳送方向配置，構(gòu)成在左右方向并列的兩列噴嘴列25a、25bο在兩列噴嘴列25a、25b，傳送方向的噴嘴24的位置錯開各噴嘴列25的配置間距P的二分之一(P/2)。
[0046]〈流路形成部〉
[0047]噴嘴板20接合在由硅構(gòu)成的流路基板80的下表面。該流路基板80是形成有壓力室26等流路的流路形成部21、和后述的壓電致動器22的振動膜30 —體化后的構(gòu)造。在占流路基板80的大部分的流路形成部21，形成分別與多個噴嘴24連通的多個壓力室26。各個壓力室26具有在掃描方向長的矩形平面形狀。多個壓力室26對應(yīng)于上述多個噴嘴24的配置，沿傳送方向配置。
[0048]〈壓電致動器〉
[0049]壓電致動器22向多個壓力室26內(nèi)的墨水賦予用于從各個噴嘴24噴出的噴出能量。壓電致動器22被配置在流路形成部21的上表面。如圖2?圖5所示，壓電致動器22具有振動膜30、共用電極31、多個壓電膜32、第一保護膜34、多個分立電極33、多個布線35、絕緣膜36、第二保護膜37等多個膜層疊后的構(gòu)造。另外，在圖2中，覆蓋壓電膜32的第一保護膜34、覆蓋布線35的第二保護膜37的圖示被省略。下文中也會說明，構(gòu)成壓電致動器22的上述多個膜通過由公知的半導體工藝技術(shù)成膜、蝕刻而被形成在作為硅基板的流路基板80的上表面。
[0050]如圖2、圖3所示，在壓電致動器22的與多個壓力室26的端部分別重疊的位置，形成多個連通孔22a。后述貯器形成部件23內(nèi)的流路和多個壓力室26分別被這些連通孔22a連通。
[0051]振動膜30以覆蓋多個壓力室26的方式被配置在流路形成部21的上表面的整個區(qū)域。另外，如上所述，在本實施方式中，振動膜30與流路形成部21 —體化。振動膜30由二氧化硅(Si02)、或氮化硅(SiNx)等形成。振動膜30的厚度例如是1 μπι左右。
[0052]共用電極31由導電性材料形成。該共用電極31被形成在振動膜30的上表面的幾乎整個區(qū)域，并跨越多個壓力室26地被配置。共用電極31的材質(zhì)不特別限定，例如能夠采用鉑金(Pt)和鈦(Ti)的雙層構(gòu)造。在此情況下，鉑金層厚度例如能夠是200nm左右，鈦層厚度能夠是50nm。
[0053]多個壓電膜32經(jīng)由共用電極31被形成在振動膜30的上表面。另外，多個壓電膜32也可以相互連接。而且，在此情況下，在多個壓電膜32 —體化而構(gòu)成的壓電材料層的、多個壓電膜32之間的位置，也可以分別形成狹縫。多個壓電膜32分別與多個壓力室26對應(yīng)地配置。也就是，多個壓電膜32以分別與多個壓力室26重疊的方式被配置。如圖3所示，各個壓電膜32比壓力室26小一圈，具有沿掃描方向長的矩形平面形狀。各壓電膜32以與對應(yīng)的壓力室26的中央部相對的方式被配置。壓電膜32由壓電材料構(gòu)成，該壓電材料例如以作為鈦酸鉛和鋯酸鉛的混晶的鋯鈦酸鉛(PZT)為主要成分。壓電膜32的厚度例如是Ιμπι左右。另外，由ΡΖΤ構(gòu)成的壓電膜32例如優(yōu)先定向在(100)方向。
[0054]如圖3?圖5所示，第一保護膜34以覆蓋多個壓電膜32的各自緣部、和共用電極31從壓電膜32露出部分的至少一部分的方式被形成。另外，各壓電膜32的中央部從第一保護膜34露出，在該露出區(qū)域配置分立電極33。第一保護膜34是用于防止空氣中所含水分侵入壓電膜32的膜，該第一保護膜34由氧化鋁(Α1203)等具有防水性的材料形成。該第一保護膜34的厚度例如為lOOnm左右。
[0055]各個分立電極33具有比壓電膜32小一圈的矩形的平面形狀。各個分立電極33被形成在壓電膜32的上表面中的、從第一保護膜34露出的中央部。各個分立電極33例如由鉑金(Pt)和銥(Ir)等形成。各個分立電極33的厚度例如為lOOnm左右。
[0056]上述壓電膜32由配置在其下側(cè)(振動膜30側(cè))的共用電極31和配置在其上側(cè)(與振動膜30相反一側(cè))的分立電極33夾持。而且，壓電膜32在厚度方向上朝下、即從分立電極33朝向共用電極31的方向被極化。
[0057]如圖4、圖5所示，絕緣膜36在流路形成部21的左右方向的端部(圖4中右側(cè)端部)被形成在第一保護膜34上。而且，該絕緣膜36的端部36a以經(jīng)由第一保護膜34覆蓋壓電膜32的端部32a的上表面的方式被配置。在絕緣膜36上配置有后述的多個布線35。絕緣膜36對多個布線35和共用電極31之間電絕緣。絕緣膜36的材質(zhì)并不特別限定，例如可由二氧化硅(Si02)形成。而且，從絕緣性觀點出發(fā)，絕緣膜36的膜厚最好為一定厚度以上，例如為300?500nm。絕緣膜36的端部36a覆蓋壓電膜32，分立電極33的端部覆蓋絕緣膜36的端部36a。而且，絕緣膜36的端部36a也與壓力室26重疊。
[0058]在絕緣膜36上形成分別與多個分立電極33連接的多個布線35。多個布線35由鋁(A1)等導電性材料形成。各個布線35以其一端部經(jīng)由第一保護膜34和絕緣膜36覆蓋壓電膜32的端部32a的上表面的方式被配置，并與被形成在壓電膜32的上表面的分立電極33連接。而且，各布線35從分立電極33向掃描方向延伸。更詳細地，如圖2所示，與被配置在左側(cè)的分立電極33連接的布線35從對應(yīng)的分立電極33向左側(cè)延伸，與被配置在右側(cè)的分立電極33連接的布線35從對應(yīng)的分立電極33向右側(cè)延伸。另外，為了盡量防止斷線等的發(fā)生，布線35最好具有一定以上的厚度(高度)。在本實施方式中，布線35的厚度例如是1 μπι左右，比分立電極33的厚度(例如lOOnm)厚很多。
[0059]另外，如圖3、圖4所示，在本實施方式中，布線35的端部35a覆蓋壓電膜32，分立電極33的端部覆蓋布線35的端部35a。而且，布線35的端部35a也與壓力室26重疊。在該構(gòu)成中，即使在成膜時產(chǎn)生的拉伸應(yīng)力殘留在布線35的情況下，與在布線35下存在分立電極33的情況相比，分立電極33從布線35承受的應(yīng)力小，即使經(jīng)過長時間，也不容易發(fā)生分立電極33剝離的問題。另外，在制造壓電致動器22時，雖然該構(gòu)成通過在首先形成布線35后，再形成分立電極33而被獲得，但其理由在后述制造工序中詳細說明。
[0060]而且，如圖4所示，覆蓋壓電膜32的布線35的端部35a的側(cè)面39被形成為傾斜面。另外，雖然在圖4中，僅顯示端部35a的左側(cè)側(cè)面39，但圖4的紙面近前側(cè)(前側(cè))的側(cè)面39和與紙面另一側(cè)(后側(cè))的側(cè)面39也分別被形成為傾斜面。而且，如圖3和圖4所示，布線35的端部35a的、分別傾斜的三個側(cè)面39被分立電極33覆蓋。利用該構(gòu)成，布線35和分立電極33的電連接的可靠性提高。
[0061]布線35下的絕緣膜36延伸至流路形成部21的左右兩端部。而且，如圖2所示，在流路形成部21的左右兩端部，多個驅(qū)動觸點元件40沿傳送方向并列配置在絕緣膜36上。從分立電極33向左引出的布線35與位于流路形成部21左端部的驅(qū)動觸點元件40連接，向右引出的布線35與位于流路形成部21右端部的驅(qū)動觸點元件40連接。另外，在流路形成部21的左右兩端部，在多個驅(qū)動觸點元件40的傳送方向兩側(cè)也配置有與共用電極31連接的2個接地觸點元件41。
[0062]第二保護膜37以從振動膜30至多個壓電膜32地覆蓋上述多個布線35的方式被形成。該第二保護膜37是出于保護多個布線35并確保多個布線35之間的絕緣等目的而設(shè)置的。另外，第二保護膜37的端部覆蓋壓電膜32，分立電極33的端部覆蓋第二保護膜37的端部。而且，第二保護膜37的端部也與壓力室26重疊。另外，在圖2中，雖然第二保護膜37的圖示被省略，但第二保護膜37以覆蓋從各個布線35與分立電極33連接部分至各個布線35與驅(qū)動觸點元件40的連接部分為止的方式被形成，另一方面，多個驅(qū)動觸點部40和接地觸點元件41從第二保護膜37露出。第二保護膜37例如由氮化硅(SiNx)等形成。
[0063]如圖2所示，在上述壓電致動器22的左端部的上表面和右端部的上表面分別接合有作為布線部件的2個COF(Chip On Film:覆晶薄膜)50。而且，如圖4所示，被形成在各個C0F50的多個布線55分別與多個驅(qū)動觸點元件40電連接。各個C0F50的、與和驅(qū)動觸點元件40連接端部相反一側(cè)的端部與打印機1的控制裝置6