專利名稱：膜圖案的形成方法以及電子設(shè)備的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及膜圖案的形成方法、有機(jī)EL裝置的制造方法、濾色器基板的制造方法、液晶顯示裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
近年來，正在開發(fā)一種通過將有機(jī)熒光材料等功能性材料油墨化并將該油墨(功能液)噴吐到基體上的液滴噴出法，并采用進(jìn)行功能性材料的圖案形成的方法，形成在一對電極之間夾持由該功能性材料構(gòu)成的功能層的有機(jī)電致發(fā)光裝置(以下稱作有機(jī)EL裝置)，特別是正在開發(fā)一種使用有機(jī)發(fā)光材料作為功能性材料的有機(jī)EL裝置(例如參考專利文獻(xiàn)1～4)。而且，對該油墨(功能液)的干燥方法也正在進(jìn)行開發(fā)(例如參照專利文獻(xiàn)6～8)。
作為上述的功能性材料的圖案形成法，可以采用下述的方法，即，在形成于基體上的由ITO等構(gòu)成的像素電極的周圍形成被稱作圍堰的隔壁，接著，在對像素電極以及與該像素電極鄰接的所述圍堰的一部分進(jìn)行親液性處理，并對圍堰的其余部分進(jìn)行疏液性處理之后，通過使含有功能層的構(gòu)成材料的油墨噴吐到像素電極并使其干燥，而在該像素電極上形成功能層。具體而言，其公知的方法是，使用具有沿著副掃描方向排列多個(gè)噴嘴而構(gòu)成的噴嘴列的液滴噴頭，一邊相對于基體沿主掃描方向掃描該液滴噴頭，一邊從所述噴嘴噴出油墨，由此，在像素電極上形成功能層。由于該方法能夠?qū)⑽⒌燃?jí)的液滴配置到像素區(qū)域，所以，如果考慮材料的利用效率，則與旋涂法等方法相比是有效的。
但是，在配置有像素電極的顯示區(qū)域(有效區(qū)域)中的周邊部，有時(shí)會(huì)存在從油墨蒸發(fā)的溶劑分子的分壓比該顯示區(qū)域的中央部少的情況。如果發(fā)生這樣的現(xiàn)象，則在周邊部溶劑的蒸發(fā)速度會(huì)極端加快，其結(jié)果，在所制造的有機(jī)EL裝置中，存在著可能產(chǎn)生功能層的膜厚不均或在一個(gè)像素內(nèi)的膜的偏倚(膜的截面形狀處于傾斜的狀態(tài))。產(chǎn)生了這種膜厚不均的有機(jī)EL裝置，其特性降低，在將其作為顯示裝置等而使用的情況下，還會(huì)產(chǎn)生顯示不均。因此，為了解決所述課題，開發(fā)了例如專利文獻(xiàn)5那樣的技術(shù)。
專利文獻(xiàn)1特開平11-54270號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開2001-291587號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3特開2004-31360號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4特開2004-127897號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5特開2002-222695號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6特開2003-245582號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)7特開2004-311206號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)8特開2004-330136號(hào)公報(bào)上述專利文獻(xiàn)5所公開的技術(shù)，是在顯示區(qū)域的外側(cè)形成不利于顯示的虛設(shè)區(qū)域(非有效區(qū)域)，通過在該虛設(shè)區(qū)域上也涂敷與功能層相同的油墨，來減小顯示區(qū)域內(nèi)的溶劑分子分壓的偏差。通常，在虛設(shè)區(qū)域形成與顯示區(qū)域相同的圖案的圍堰，并在該圍堰的開口部涂敷油墨。根據(jù)該方法，由于在顯示區(qū)域的中央部和周邊部溶劑的干燥等速進(jìn)行，所以，有可能形成沒有功能層的膜厚不均與膜的偏倚的高質(zhì)量膜。
由于噴吐在虛設(shè)區(qū)域的油墨不用于形成顯示用的像素，所以，與形成在顯示區(qū)域的像素(有效像素)區(qū)分開來，其被稱作虛設(shè)像素。為了防止上述那樣的膜厚不均的發(fā)生，需要至少形成數(shù)列到數(shù)十列的虛設(shè)像素，但是，由于以往是以和有效像素相同的間距、相同的圖案形成所有的虛設(shè)像素，所以，僅通過與顯示區(qū)域同樣地涂敷油墨，有時(shí)不一定能夠完全消除膜厚的不均。即，由于噴吐到基體的油墨的干燥以同心圓狀從周邊進(jìn)行，所以，例如在設(shè)置成矩形的顯示區(qū)域的角部，有時(shí)溶劑的干燥速度會(huì)比其他的部分快，由此，有時(shí)無法充分回避膜厚不均的產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于這樣的事實(shí)而提出，其目的在于，提供能夠在基板面內(nèi)形成膜厚均勻的圖案的膜圖案形成方法以及有機(jī)EL裝置的制造方法、濾色器基板的制造方法、液晶顯示裝置的制造方法。
為了解決上述課題，本發(fā)明的膜圖案的形成方法，其特征在于，通過將使功能性材料溶解或分散到溶劑中而成的功能液配置到基體上，并使所述功能液干燥，來形成由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案，其具有在形成有所述膜圖案的所述基體的有效區(qū)域、以及所述有效區(qū)域周圍的非有效區(qū)域形成液體容納部的工序，在形成于所述有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液或所述溶劑的工序；距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，配置在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部中的所述溶劑的量越多。
根據(jù)該方法，由于距離有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，配置在非有效區(qū)域的液體容納部中的溶劑的量越多，所以，即使在干燥快速進(jìn)行的有效區(qū)域的角部等處，溶劑分子的分壓也不會(huì)急劇降低，能夠使蒸發(fā)溶劑分子的分壓在整個(gè)有效區(qū)域均勻化。即，由于在現(xiàn)有的方法中，只是對形成為相同間距、相同尺寸的液體容納部配置了相同量的溶劑，所以，在距離中心部最遠(yuǎn)的有效區(qū)域的角部處，溶劑會(huì)快速干燥，而在本發(fā)明中，由于在干燥迅速、溶劑分子的分壓容易急劇降低的有效區(qū)域的角部等區(qū)域處，增加了溶劑的量，使得有效區(qū)域內(nèi)溶劑的持續(xù)時(shí)間不會(huì)發(fā)生偏倚，所以，在整個(gè)有效區(qū)域，干燥速度變得均勻，可以形成無膜厚不均或膜偏倚等的高質(zhì)量膜。
在本發(fā)明中，可以根據(jù)距離所述有效區(qū)域中心部的距離，以三個(gè)以上等級(jí)使配置在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部中的所述溶劑的量發(fā)生變化。根據(jù)該方法，可以形成進(jìn)一步使干燥不均減少的膜圖案。
在本發(fā)明中，可以在設(shè)置成矩形的所述有效區(qū)域的角部，使配置在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部中的所述溶劑的量最多。
根據(jù)該方法，可以消除以往最成為問題的、有效區(qū)域角部的膜厚不均勻性，由此，可以遍布有效區(qū)域整體形成均勻的膜。
在本發(fā)明中，可以將所述液體容納部作為由隔壁所劃分的區(qū)域而形成。
根據(jù)該方法，由于通過隔壁規(guī)定了膜圖案的形狀，所以，例如通過縮小鄰接的隔壁之間的寬度，來恰當(dāng)?shù)匦纬筛舯?，可以?shí)現(xiàn)膜圖案的微細(xì)化或細(xì)線化。
在本發(fā)明中，可以將所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸，和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸形成為大致相同的尺寸。根據(jù)該方法，能夠以和向有效區(qū)域進(jìn)行配置相同的條件，進(jìn)行將液狀體或溶劑向非有效區(qū)域的配置。
在本發(fā)明中，可以使所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸，比所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸更大。
根據(jù)該方法，可以對非有效區(qū)域的液體容納部配置足夠量的溶劑。
在本發(fā)明中，距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸越大。
根據(jù)該方法，由于形成了能夠配置更多溶劑的液體容納部，即越在遠(yuǎn)離有效區(qū)域的中心部的液體容納部越形成較大的尺寸，所以，可以避免在這些遠(yuǎn)離有效區(qū)域中心部的液體容納部中溶劑溢出等不良情況的發(fā)生。而且，由于配置在液體容納部的溶劑通過流動(dòng)會(huì)潤濕擴(kuò)展至液體容納部的尺寸，所以，在干燥迅速、溶劑分子的分壓容易急劇降低的有效區(qū)域的角部等區(qū)域處，可以得到更大的溶劑的表面積。雖然溶劑分子的分壓依賴于所噴出的溶劑的表面積，表面積越大所蒸發(fā)的溶劑分子的分壓越大，但是，在本發(fā)明中，由于通過液體容納部的尺寸以及溶劑的量調(diào)節(jié)溶劑的表面積，由此，在有效區(qū)域內(nèi)能夠使溶劑分子的分壓不產(chǎn)生偏倚，所以，可以形成均勻性更好的膜。
在本發(fā)明中，能夠以大致相同的間隔，形成所述有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔(排列間距)、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔。
根據(jù)該方法，能夠以相同于向有效區(qū)域進(jìn)行配置的情況的條件，進(jìn)行將功能液或溶劑向非有效區(qū)域的配置。特別是在通過液滴噴出法噴出功能液或溶劑的情況下，由于不在有效區(qū)域和非有效區(qū)域改變噴出間距而可以連續(xù)進(jìn)行噴出，所以，可使工序簡單。
在本發(fā)明中，可以將所述非有效區(qū)域的所述液體容納部，沿著所述有效區(qū)域的外周至少形成兩列以上。
根據(jù)該方法，可以進(jìn)一步確實(shí)可靠地防止干燥不均。
在本發(fā)明中，可以通過液滴噴出法進(jìn)行所述功能液或所述溶劑的配置。
根據(jù)該方法，與旋涂法等其它的涂敷技術(shù)相比，通過使用液滴噴出法會(huì)減少液體材料的消耗浪費(fèi)，容易對配置在基體上的液體材料的量或位置進(jìn)行控制。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，通過將使功能性材料溶解或分散到溶劑中而成的功能液配置到基體上，并使所述功能液干燥，來制造具有由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案的有機(jī)EL裝置，具有在形成有所述膜圖案的所述基體的有效區(qū)域、以及所述有效區(qū)域周圍的非有效區(qū)域形成液體容納部的工序，在形成于所述有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液或所述溶劑的工序；距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量越多。
根據(jù)該方法，由于在干燥迅速、溶劑分子的分壓容易急劇降低的有效區(qū)域的角部等區(qū)域處，增加了溶劑的量，使得有效區(qū)域內(nèi)溶劑的持續(xù)時(shí)間不會(huì)發(fā)生偏倚，所以，在整個(gè)有效區(qū)域，干燥速度變得均勻，可以制造具有無膜厚不均或無膜偏倚等的高質(zhì)量的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，可以根據(jù)距離所述有效區(qū)域的中心部的距離，以三個(gè)以上等級(jí)使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量發(fā)生變化。
根據(jù)該方法，可以制造具有干燥不均更少的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，可以在設(shè)置成矩形的所述有效區(qū)域的角部，使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量最多。
根據(jù)該方法，可以消除以往最成為問題的、有效區(qū)域的角部的膜厚不均勻性，由此，可以制造遍布有效區(qū)域整體具有均勻的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，可以將所述液體容納部作為由隔壁所劃分的區(qū)域而形成。
根據(jù)該方法，由于通過隔壁規(guī)定了膜圖案的形狀，所以，例如通過縮小鄰接的隔壁之間的寬度等方法來恰當(dāng)?shù)匦纬筛舯?，可以制造具有能夠?qū)崿F(xiàn)微細(xì)化或細(xì)線化的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，可以將所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸形成為大致相同的尺寸。
根據(jù)該方法，能夠制造具有能以相同于向有效區(qū)域進(jìn)行配置的情況的條件、將液狀體或溶劑向非有效區(qū)域配置的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，可以使所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸大于所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸。
根據(jù)該方法，可以制造具有對非有效區(qū)域的液體容納部能夠配置足夠量的溶劑的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸越大。
根據(jù)該方法，由于通過液體容納部的尺寸以及溶劑的量調(diào)節(jié)溶劑的表面積，由此，在有效區(qū)域內(nèi)能夠使溶劑分子的分壓不產(chǎn)生偏倚，所以，可以制造具有均勻性更佳的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，能夠以大致相同的間隔，形成所述有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔。
根據(jù)該方法，能夠制造具有以和向有效區(qū)域進(jìn)行配置相同的條件、將功能液或溶劑向非有效區(qū)域配置的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，可以將所述非有效區(qū)域的所述液體容納部，沿著所述有效區(qū)域的外周至少形成兩列以上。
根據(jù)該方法，可以制造具有能夠進(jìn)一步確實(shí)可靠地防止干燥不均的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，可以通過液滴噴出法進(jìn)行所述功能液或所述溶劑的配置。
根據(jù)該方法，與旋涂法等其它的涂敷技術(shù)相比，通過使用液滴噴出法會(huì)減少液體材料的消耗浪費(fèi)，由此，可以制造具有能夠容易地對配置在基體上的液體材料的量或位置進(jìn)行控制的膜圖案的有機(jī)EL裝置。
本發(fā)明的濾色器基板的制造方法，其特征在于，通過將使功能性材料溶解或分散到溶劑中的功能液配置到基體上，并使所述功能液干燥，來制造具有由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案的濾色器基板，具有在形成有所述膜圖案的所述基體的有效區(qū)域、以及所述有效區(qū)域周圍的非有效區(qū)域形成液體容納部的工序，在形成于所述有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液或所述溶劑的工序；距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量越多。
根據(jù)該方法，由于在干燥迅速、溶劑分子的分壓容易急劇降低的有效區(qū)域的角部等區(qū)域處，增加了溶劑的量，使得有效區(qū)域內(nèi)溶劑的持續(xù)時(shí)間不會(huì)發(fā)生偏倚，所以，在整個(gè)有效區(qū)域，干燥速度變得均勻，可以制造具有無膜厚不均或無膜偏倚等的高質(zhì)量的膜圖案的濾色器基板。
在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，可以根據(jù)距離所述有效區(qū)域的中心部的距離，以三個(gè)以上等級(jí)使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量發(fā)生變化。
根據(jù)該方法，可以制造具有干燥不均更少的膜圖案的濾色器基板。
在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，可以在設(shè)置成矩形的所述有效區(qū)域的角部，使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量最多。
根據(jù)該方法，可以消除以往最成為問題的、有效區(qū)域的角部的膜厚不均勻性，由此，可以制造遍布有效區(qū)域整體具有均勻的膜圖案的濾色器基板。
在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，可以將所述液體容納部作為由隔壁所劃分的區(qū)域而形成。
根據(jù)該方法，由于通過隔壁規(guī)定了膜圖案的形狀，所以，例如通過縮小鄰接的隔壁之間的寬度等方法來恰當(dāng)?shù)匦纬筛舯?，由此可以制造具有能夠?qū)崿F(xiàn)微細(xì)化或細(xì)線化的膜圖案的濾色器基板。
在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，可以將所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸形成為大致相同的尺寸。
根據(jù)該方法，能夠制造具有能以和向有效區(qū)域進(jìn)行配置相同的條件、將液狀體或溶劑向非有效區(qū)域配置的膜圖案的濾色器基板。
在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，可以使所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸大于所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸。
根據(jù)該方法，可以制造具有能夠?qū)Ψ怯行^(qū)域的液體容納部配置足夠量的溶劑的膜圖案的濾色器基板。
在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸越大。
根據(jù)該方法，由于通過液體容納部的尺寸以及溶劑的量調(diào)節(jié)溶劑的表面積，由此，在有效區(qū)域內(nèi)能夠使溶劑分子的分壓不產(chǎn)生偏倚，所以，可以制造具有均勻性更佳的膜圖案的濾色器基板。
在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，能夠以大致相同的間隔，形成所述有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔。
根據(jù)該方法，能夠制造具有能以和向有效區(qū)域進(jìn)行配置相同的條件、將功能液或溶劑向非有效區(qū)域配置的膜圖案的濾色器基板。
在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，可以將所述非有效區(qū)域的所述液體容納部，沿著所述有效區(qū)域的外周至少形成兩列以上。
根據(jù)該方法，可以制造具有能夠更確實(shí)可靠地防止干燥不均的膜圖案的濾色器基板。
在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，可以通過液滴噴出法進(jìn)行所述功能液或所述溶劑的配置。
根據(jù)該方法，與旋涂法等其它的涂敷技術(shù)相比，通過使用液滴噴出法會(huì)減少液體材料的消耗浪費(fèi)，由此，可以制造具有能夠容易地對配置在基體上的液體材料的量或位置進(jìn)行控制的膜圖案的濾色器基板。
本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述液晶裝置具有濾色器基板，所述濾色器基板通過將使功能性材料溶解或分散到溶劑中而成的功能液配置到基體上并使所述功能液干燥而具有由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案，該制造方法具有在形成有所述膜圖案的所述基體的有效區(qū)域、以及所述有效區(qū)域周圍的非有效區(qū)域形成液體容納部的工序，在形成于所述有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液或所述溶劑的工序；距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量越多。
根據(jù)該方法，由于在干燥迅速、溶劑分子的分壓容易急劇降低的有效區(qū)域的角部等區(qū)域處，增加了溶劑的量，使得有效區(qū)域內(nèi)溶劑的持續(xù)時(shí)間不會(huì)發(fā)生偏倚，所以，在整個(gè)有效區(qū)域，干燥速度變得均勻，從而，由于具有無膜厚不均或無膜偏倚等的高質(zhì)量的膜圖案的濾色器基板，所以，可以制造顯示性能良好的液晶顯示裝置。
在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法中，可以根據(jù)距離所述有效區(qū)域的中心部的距離，以三個(gè)以上等級(jí)使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量發(fā)生變化。
根據(jù)該方法，可以制造具備濾色器基板的液晶顯示裝置，所述濾色器基板具有干燥不均更少的膜圖案。
在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法中，可以在設(shè)置成矩形的所述有效區(qū)域的角部，使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量最多。
根據(jù)該方法，可以消除以往最成為問題的、有效區(qū)域的角部的膜厚不均勻性，由此，可以制造具備濾色器基板的液晶顯示裝置，所述濾色器基板遍布有效區(qū)域整體具有均勻的膜圖案。
在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法中，可以將所述液體容納部作為由隔壁所劃分的區(qū)域而形成。
根據(jù)該方法，由于通過隔壁規(guī)定了膜圖案的形狀，所以，例如通過縮小鄰接的隔壁之間的寬度等方法來恰當(dāng)?shù)匦纬筛舯?，可以制造具有濾色器基板的液晶顯示裝置，所述濾色器基板具有能夠?qū)崿F(xiàn)微細(xì)化或細(xì)線化的膜圖案。
在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法中，可以將所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸，和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸形成為大致相同的尺寸。
根據(jù)該方法，能夠制造具有濾色器基板的液晶顯示裝置，所述濾色器基板具有能以和向有效區(qū)域進(jìn)行配置相同的條件將液狀體或溶劑向非有效區(qū)域配置的膜圖案。
在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法中，可以使所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸大于所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸。
根據(jù)該方法，可以制造具有濾色器基板的液晶顯示裝置，所述濾色器基板具有能夠?qū)Ψ怯行^(qū)域的液體容納部配置足夠量溶劑的膜圖案。
在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法中，距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸越大。
根據(jù)該方法，由于通過液體容納部的尺寸以及溶劑的量調(diào)節(jié)溶劑的表面積，由此，在有效區(qū)域內(nèi)能夠使溶劑分子的分壓不產(chǎn)生偏倚，所以，可以制造具有濾色器基板的液晶顯示裝置，所述濾色器基板具有均勻性更佳的膜圖案。
在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法中，能夠以大致相同的間隔，形成所述有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔。
根據(jù)該方法，能夠制造具有濾色器基板的液晶顯示裝置，所述濾色器基板具有以和向有效區(qū)域進(jìn)行配置的情況相同的條件、將功能液或溶劑向非有效區(qū)域配置的膜圖案。
在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法中，可以將所述非有效區(qū)域的所述液體容納部，沿著所述有效區(qū)域的外周至少形成兩列以上。
根據(jù)該方法，可以制造具有濾色器基板的液晶顯示裝置，所述濾色器基板具有能夠更確實(shí)可靠地防止干燥不均的膜圖案。
在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法中，可以通過液滴噴出法進(jìn)行所述功能液或所述溶劑的配置。
根據(jù)該方法，與旋涂法等其它的涂敷技術(shù)相比，通過使用液滴噴出法會(huì)減少液體材料的消耗浪費(fèi)，由此，可以制造具有濾色器基板的液晶顯示裝置，所述濾色器基板具有能夠容易地對配置在基體上的液體材料的量或位置進(jìn)行控制的膜圖案。
作為本發(fā)明的器件，例如是有機(jī)電致發(fā)光裝置或?yàn)V色器基板等，在這些有機(jī)電致發(fā)光裝置的有機(jī)功能層(發(fā)光層、電荷輸送層等)或像素電極的圖案、或者濾色器基板的濾色器圖案的形成工序等中，優(yōu)選采用本發(fā)明的膜圖案形成方法。


圖1是表示本發(fā)明的膜圖案形成方法的概念圖。
圖2是配置功能液的機(jī)構(gòu)的一例，即液滴噴頭的分解立體圖。
圖3是表示該液滴噴頭的主要部分的局部立體圖。
圖4是包含虛設(shè)區(qū)域的基體的俯視圖。
圖5是表示該膜圖案的形成工序的一例的工序圖。
圖6是表示虛設(shè)像素的其他構(gòu)成的俯視圖。
圖7是表示在虛設(shè)像素上配置了功能液的狀態(tài)的剖視圖。
圖8是表示虛設(shè)像素的另一個(gè)其他構(gòu)成的俯視圖。
圖9是表示在虛設(shè)像素上配置了功能液的狀態(tài)的剖視圖。
圖10是本發(fā)明的器件的一例，即有機(jī)EL裝置的等效電路圖。
圖11是表示該有機(jī)EL裝置的整體構(gòu)成的俯視圖。
圖12是表示該有機(jī)EL裝置的一個(gè)像素的構(gòu)成的俯視圖。
圖13是沿著圖12的A-A線的剖視圖。
圖14是表示該有機(jī)EL裝置的制造工序的一例的工序圖。
圖15是繼續(xù)圖14的工序圖。
圖16是表示本發(fā)明的器件的一例，即濾色器基板的制造方法的概念圖。
圖17是表示該濾色器基板的制造工序的一例的工序圖。
圖18是實(shí)施例所涉及的樣品基板的俯視圖。
圖19是表示對相同功能液進(jìn)行干燥而得到的膜圖案的輪廓的圖。
圖20是表示具有本發(fā)明的膜圖案的電子設(shè)備的一例的立體圖。
圖中70-有機(jī)電致發(fā)光裝置(器件)，140A-空穴注入層(膜圖案)，140B-發(fā)光層(膜圖案)，B-隔壁，F(xiàn)-膜圖案，L、L1、L2…-功能液，P-基體，PE-有效像素(液體容納部)，PD-虛設(shè)像素(液體容納部)，TE-有效區(qū)域，TD-非有效區(qū)域。
具體實(shí)施例方式
(第一實(shí)施方式)圖1是表示本發(fā)明的膜圖案的形成方法的概念圖。
本發(fā)明的膜圖案的形成方法，通過將含有功能性材料的功能液配置在基體P上，并干燥所述功能液，在所述基體P上形成由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案。在形成有膜圖案的區(qū)域中，將有效發(fā)揮膜本來的功能的一組由膜圖案構(gòu)成的區(qū)域稱作有效區(qū)域TE；將雖然形成有膜圖案但不發(fā)揮膜本來的功能的一組由膜圖案構(gòu)成的區(qū)域稱作非有效區(qū)域TD。
例如，在有機(jī)EL顯示裝置等顯示裝置中，有效區(qū)域TE是指由用于顯示的一組像素構(gòu)成的一個(gè)集合區(qū)域；在用于液晶顯示裝置等的濾色器基板中，有效區(qū)域TE是指由用于顯示的一組濾色器構(gòu)成的一個(gè)集合區(qū)域。另外，在形成有多個(gè)電極或布線的基板上，是指由該多個(gè)電極或該多個(gè)布線構(gòu)成的一個(gè)集合區(qū)域。本發(fā)明的膜圖案的形成方法，是一種通過在這樣的有效區(qū)域TE上選擇性地配置所述功能液，來形成具有所期望的形狀以及功能的一組膜圖案的方法。
在圖1中，顯示了如下所示的例子，即，將有效區(qū)域TE作為例如由多個(gè)顯示用的像素(有效像素)PE構(gòu)成的有效光學(xué)區(qū)域，采用液滴噴出法，選擇性地分別對該有效光學(xué)區(qū)域TE的多個(gè)有效像素PE，噴吐含有功能性材料的功能液。
在圖1中，符號(hào)IJ表示液滴噴出裝置，符號(hào)20表示該液滴噴出裝置所具備的液滴噴頭，符號(hào)81表示設(shè)置在該液滴噴頭上的噴嘴。在圖1中，噴嘴81的排列方向J為相對有效像素PE的排列方向X處于傾斜的狀態(tài)，但是，如果排列方向J的噴嘴81的排列間距(鄰接的噴嘴81的中心間隔)與X方向的有效像素PE的排列間距(鄰接的有效像素PE的中心間隔)相同，則排列方向J被設(shè)定成與有效像素PE的排列方向X一致的方向。液滴噴頭20構(gòu)成為，在與有效光學(xué)區(qū)域TE平行的面內(nèi)能夠旋轉(zhuǎn)角度θ，對噴嘴81的排列方向J進(jìn)行控制，使得噴嘴81的X方向的排列間距(即，將噴嘴81投影到X軸時(shí)的噴嘴81的排列間距)和有效像素PE的X方向的排列間距一致。而且，在規(guī)定了這樣的排列方向J的狀態(tài)下，液滴噴頭20和基體P可以沿X方向或Y方向相對移動(dòng)。
圖2是表示液滴噴頭20的一例的分解立體圖。
液滴噴頭20包括具有多個(gè)噴嘴81的噴嘴板80、具有振動(dòng)板85的壓力室基板90、和嵌入并支撐這些噴嘴板80和振動(dòng)板85的框體88。
液滴噴頭20的主要部分構(gòu)造如圖3的局部立體圖所示，成為壓力室基板90被夾持在噴嘴板80和振動(dòng)板85之間的結(jié)構(gòu)。噴嘴板80的噴嘴81，分別與各壓力室基板90被劃分形成的壓力室(腔室)91對應(yīng)。通過對硅單晶體基板等進(jìn)行蝕刻，在壓力室基板90上設(shè)置多個(gè)腔室91，分別可發(fā)揮作為壓力室的功能。腔室91彼此之間由側(cè)壁92分離。各腔室91經(jīng)由供給口94與作為公共流路的貯存器93連接。
在振動(dòng)板85上設(shè)置有容器口86，其構(gòu)成為能夠通過導(dǎo)管從省略圖示的液體材料供給容器供給任意的液體材料。在振動(dòng)板85上的與腔室91對應(yīng)的位置設(shè)置有壓電體元件87。壓電體元件87具有由上部電極和下部電極(未圖示)夾持PZT元件等的壓電性陶瓷晶體的構(gòu)造。壓電體元件87構(gòu)成為，能夠根據(jù)從省略圖示的控制裝置提供的噴出信號(hào)使體積發(fā)生變化。
為了從液滴噴頭20噴出液滴，首先，控制裝置將用于使液滴噴出的噴出信號(hào)提供給液滴噴頭20。液滴流入到液滴噴頭20的腔室91中，在被提供了噴出信號(hào)的液滴噴頭20中，其壓電體元件87通過施加在其上部電極和下部電極之間的電壓而發(fā)生體積變化。該體積變化使振動(dòng)板85變形，由此使腔室91的體積變化。結(jié)果，從該腔室91的噴嘴81噴出液滴。在噴出了液滴的腔室91中，因噴出而減少的液體材料會(huì)重新從液體材料供給容器被提供。
本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置IJ所具備的液滴噴頭20，其構(gòu)成為使壓電體元件發(fā)生體積變化來噴出液滴的結(jié)構(gòu)，但是，也可以構(gòu)成為通過發(fā)熱體對液體材料進(jìn)行加熱，通過其膨脹來噴出液滴的結(jié)構(gòu)。
圖4是表示包含有效光學(xué)區(qū)域TE的基體P的平面構(gòu)成的模式圖，圖4(a)是表示有效光學(xué)區(qū)域TE的周邊部構(gòu)成的模式圖，圖4(b)是該周邊部中放大表示有效光學(xué)區(qū)域TE的角部的區(qū)域K的模式圖。
如圖4所示，通過本發(fā)明的膜圖案形成方法，在有效光學(xué)區(qū)域(有效區(qū)域)TE的周圍形成作為非有效區(qū)域的虛設(shè)區(qū)域TD，通過對該虛設(shè)區(qū)域TD噴吐虛設(shè)的液體材料，在有效光學(xué)區(qū)域TE的周圍也會(huì)形成與有效光學(xué)區(qū)域TE相同的溶劑氣氛。作為虛設(shè)的液體材料，通常使用與噴吐在有效光學(xué)區(qū)域的材料相同的作為液體材料的功能液，但是，也可以噴吐含有與該功能液所含有的溶劑相同的溶劑的其他液體材料，或者，僅由該溶劑構(gòu)成的液體材料。
虛設(shè)區(qū)域TD設(shè)置成包圍有效光學(xué)區(qū)域TE的周圍，具有與有效光學(xué)區(qū)域TE同樣的像素構(gòu)造。形成在虛設(shè)區(qū)域TD的像素PD，相對于形成在有效光學(xué)區(qū)域TE的有效像素PE，被稱作虛設(shè)像素。虛設(shè)像素PD是不利于進(jìn)行顯示的像素，通常不形成像素電極或開關(guān)元件，但是，為了專門進(jìn)行檢查，有時(shí)也形成像素電極或開關(guān)元件。
在液滴噴出法中，為了將噴出的液滴高精度地配置到規(guī)定的像素上，一般在像素和像素之間形成有隔壁B(參照圖5)，用于區(qū)分被稱作圍堰的像素。由于利用隔壁B規(guī)定了膜圖案的形狀，所以，通過例如縮小鄰接的隔壁B、B之間的寬度等，來恰當(dāng)?shù)匦纬筛舯贐，可以實(shí)現(xiàn)膜圖案的微細(xì)化或細(xì)線化。特別是在對隔壁B的表面實(shí)施了疏液處理的情況下，能夠僅在隔壁B的開口部可靠地配置液滴。在圖4中，由隔壁B所劃分的每個(gè)區(qū)域是本發(fā)明的液體容納部，在這些多個(gè)液體容納部中，配置在有效光學(xué)區(qū)域TE的液體容納部成為有效像素PE，配置在虛設(shè)區(qū)域TD的液體容納部成為虛設(shè)像素PD。
另外，有時(shí)也不形成隔壁B，僅通過對基體P進(jìn)行表面處理，來劃分配置有功能液的區(qū)域和未配置功能液的區(qū)域。即，有時(shí)通過對基體P的特定區(qū)域?qū)嵤┫鄬δ芤菏蛊溆H和性(親液性)降低的處理(疏液處理)，將成為有效像素PE和虛設(shè)像素PD的區(qū)域作為相對功能液的親和性相對較高的區(qū)域(親液區(qū)域)，將除此之外的區(qū)域作為相對功能液的親和性相對較低的區(qū)域(疏液區(qū)域)。在該情況下，即使不形成隔壁B，也能夠僅對作為親液區(qū)域的有效像素PE、和虛設(shè)像素TD配置功能液。在本發(fā)明中，這樣的親液區(qū)域液包含在液體容納部的概念中。
在圖4(b)中，虛設(shè)像素PD的形狀(隔壁B的開口部的形狀)、尺寸(隔壁B的開口部的面積)以及排列間距(相鄰的虛設(shè)像素PD的中心的間隔)，與有效像素PE的形狀、尺寸以及排列間距相同。即，處于與有效光學(xué)區(qū)域TE相同的隔壁構(gòu)造擴(kuò)張到有效光學(xué)區(qū)域TE的周邊部的狀態(tài)。雖然該點(diǎn)與現(xiàn)有的技術(shù)相同，但是，在本發(fā)明中，其不同點(diǎn)在于，相對這樣的虛設(shè)區(qū)域TD，離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C越遠(yuǎn)的區(qū)域，虛設(shè)的溶劑的噴出量越多。例如，溶劑向虛設(shè)像素PD的噴出量，根據(jù)距離中心部C的距離分為三個(gè)等級(jí)，在距離中心部C最近的有效光學(xué)區(qū)域TE的邊緣中央部的區(qū)域T1處，溶劑的噴出量最少；在距離中心部C最遠(yuǎn)的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部區(qū)域T3處，噴出量最多，并且，在二者之間的區(qū)域T2處，噴出量介于二者之間。向噴出量最少的區(qū)域T1的虛設(shè)像素PD噴出的量，與向有效光學(xué)區(qū)域TE的有效像素PE噴出的量相同。
由于噴吐到基體P的功能液的干燥以同心圓狀從有效光學(xué)區(qū)域TE的周邊開始進(jìn)行，所以，存在著在設(shè)置成矩形的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部T3或其附近T2處，溶劑的干燥速度會(huì)比其他部分快的情況。因此，通過像以往那樣，僅設(shè)置虛設(shè)區(qū)域TD有時(shí)還是無法充分回避膜厚不均的發(fā)生，但在本發(fā)明中，越是距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C遠(yuǎn)的區(qū)域，向虛設(shè)像素PD噴出的虛設(shè)溶劑的量就越多，所以，即使在干燥快速進(jìn)行的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部，溶劑分子的分壓也不會(huì)急劇降低，由此，在有效光學(xué)區(qū)域的整體，可以實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)溶劑分子的分壓的均勻化。即，由于在現(xiàn)有的方法中，僅對形成為相同間距、相同尺寸的虛設(shè)像素PD配置了相同量的溶劑，所以，會(huì)導(dǎo)致在離中心部C最遠(yuǎn)的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部處，溶劑快速干燥；在本發(fā)明中，由于在干燥速度快、溶劑分子的分壓容易急劇降低的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部區(qū)域增多了溶劑的量，以使溶劑在有效光學(xué)區(qū)域TE內(nèi)不會(huì)在持續(xù)時(shí)間方面發(fā)生偏倚，所以，可以使有效光學(xué)區(qū)域整體的干燥速度均一，由此形成無膜厚不均或膜偏倚等的高質(zhì)量的膜。
區(qū)域T1～T3占虛設(shè)區(qū)域TD的比例、或溶劑向區(qū)域T1～T3的虛設(shè)像素PD的噴出量，根據(jù)這些區(qū)域T1～T3的功能液干燥速度而決定。例如，預(yù)先在有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部、有效光學(xué)區(qū)域TE的邊緣中央部以及有效光學(xué)區(qū)域TE的角部處來測定干燥時(shí)間，以使這些部分的干燥時(shí)間之差足夠小，以便具有向各區(qū)域T1～T3的虛設(shè)像素PD的噴出量的分布。此時(shí)，由于干燥時(shí)間因所使用的溶劑或功能液的粘度等而變化，所以，在確定該噴出量分布的時(shí)候，也應(yīng)當(dāng)充分考慮這些要素。
下面，參照圖5，對本發(fā)明的膜圖案的形成方法進(jìn)行說明。
首先，如圖5(a)所示，在基體P的有效光學(xué)區(qū)域TE以及虛設(shè)區(qū)域TD(T1、T2、T3)形成隔壁B。
作為基體P，可以舉出玻璃、石英玻璃、Si晶片、塑料薄膜、金屬板等各種基體。并且，還包括在這些各種原材料基板的表面形成半導(dǎo)體膜、金屬膜、電介質(zhì)膜、有機(jī)膜等作為基底層的基體。
隔壁B的形成可以通過光刻法或印刷法等任意的方法來進(jìn)行。例如，通過旋涂法在整個(gè)基體P上形成隔壁的材料，通過利用光刻技術(shù)使其形成圖案，可以形成單層的隔壁。另外，也可以如圖5(a)所示，形成使下層B1為無機(jī)物層、使上層B2為有機(jī)物層的2層以上的隔壁B。此時(shí)，也可以在虛設(shè)像素PD中進(jìn)行下層B1的圖案形成，還可以如圖5(a)所示，不進(jìn)行下層B1的圖案形成。在不進(jìn)行圖案形成的情況下，由上層B2所劃分的區(qū)域成為虛設(shè)像素PD。另外，只要隔壁B的材料其耐熱性、疏液性、溶劑耐性、與基底基板的密接性出色，則沒有特別的限定。
根據(jù)需要，可以對隔壁B實(shí)施疏液處理或親液處理。
作為親液處理，可以使用將氧氣作為處理氣體的等離子處理(O2等離子處理等)、或在氧氣氛中的紫外線照射處理等。
作為疏液處理，可以采用使用了CF4、SF4、CHF3等具有氟成分的氣體(含有氟的氣體)的等離子處理。也可以替代疏液處理，而在隔壁B的原材料自身(例如有機(jī)物層B2的形成材料)中預(yù)先填充氟基等疏液成分。通過使隔壁B的表面疏液化，可以僅在隔壁B的開口部形成膜，由此，防止在隔壁B的上面形成沒有用的膜。
如果形成了隔壁B，則如圖5(b)所示，向由隔壁B所劃分的區(qū)域PE、PD噴出功能液L。功能液L是將構(gòu)成膜圖案F的材料溶解或分散到溶劑中而構(gòu)成的液體材料。
作為構(gòu)成膜圖案F的材料，可以使用具有電功能或光學(xué)功能等各種功能的材料(功能性材料)。例如，在形成有機(jī)EL元件的發(fā)光層時(shí)，可以使用具有熒光或磷光的材料作為功能性材料，在形成濾色器的情況下，可以使用顏料等微粒著色材料。另外，在形成液晶裝置等的透明像素電極時(shí)，可以使用銦錫氧化物(ITO)等的微粒導(dǎo)電材料。
作為溶劑，如果是能夠溶解或分散上述功能性材料的溶劑、不引起凝聚的溶劑，就沒有特別的限定。例如，優(yōu)選使用水、醇類、烴系化合物、醚系化合物。
關(guān)于功能液L的噴出，采用前述的液滴噴出裝置IJ。
噴出到虛設(shè)像素PD的溶劑的量，距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C越遠(yuǎn)就越多。其原因在于，由于該區(qū)域中液滴的干燥時(shí)間縮短，所以，如果所噴出的溶劑的量在所有的虛設(shè)像素PD中都相同，則在有效光學(xué)區(qū)域TE的角部等處干燥時(shí)間會(huì)產(chǎn)生偏差，由此無法進(jìn)行均勻的干燥。另一方面，在像本發(fā)明那樣，根據(jù)距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C的距離調(diào)節(jié)噴出的溶劑的量時(shí)，在有效光學(xué)區(qū)域TE內(nèi)溶劑的持續(xù)時(shí)間不會(huì)產(chǎn)生偏差，可以在有效光學(xué)區(qū)域整體形成無膜厚不均或膜偏倚等的高質(zhì)量的膜。另外，噴出的溶劑的量，可以通過改變液滴的噴射數(shù)、或噴出的液體材料中的溶劑比率等來進(jìn)行調(diào)節(jié)。
在本發(fā)明的膜圖案的形成方法中，液滴向虛設(shè)像素PD的噴出量因位置不同而不同，但是，如果像圖4所示那樣，虛設(shè)像素PD的排列間距與有效像素PE的排列間距相同，則從液滴噴頭20的液滴噴出，可以在有效光學(xué)區(qū)域TE和虛設(shè)區(qū)域TD雙方中，以固定噴嘴81的排列方向J(圖1的角度θ)的狀態(tài)進(jìn)行。
如果噴出了功能液L，則如圖5(c)所示，通過干燥除去功能液L的溶劑，在有效像素PE上形成由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案F。
如上所述，在本發(fā)明中，向有效光學(xué)區(qū)域TE的周圍噴出了虛設(shè)的液體材料，所以，在干燥功能液L的時(shí)候，有效光學(xué)區(qū)域TE的蒸發(fā)溶劑分子的分壓，與虛設(shè)區(qū)域TD的蒸發(fā)溶劑分子的分壓相比，不會(huì)過大。特別是，由于配置在虛設(shè)區(qū)域TD的單位面積的溶劑量，越是距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C遠(yuǎn)的區(qū)域就越大，所以，有效光學(xué)區(qū)域TE中蒸發(fā)的溶劑分子的分壓以及溶劑的持續(xù)時(shí)間，在該有效光學(xué)區(qū)域TE的中央部和周邊部大致相同，結(jié)果，膜圖案F的膜厚在整個(gè)有效光學(xué)區(qū)域處于均勻的狀態(tài)。
(變形例)下面，對本實(shí)施方式的膜圖案的形成方法的變形例進(jìn)行說明。
圖6是表示本變形例的虛設(shè)像素PD的平面構(gòu)成的模式圖。該圖相當(dāng)于第一實(shí)施方式的圖4(b)。
在圖6中，虛設(shè)像素PD的尺寸比有效像素PE的尺寸大。對于區(qū)域T1、區(qū)域T2以及區(qū)域T3整體來說，虛設(shè)像素PD的形狀以及尺寸是公用的，在這些區(qū)域T1～T3中，僅是對虛設(shè)像素PD噴出的溶劑的量不同。另外，各區(qū)域T1～T3中的虛設(shè)像素PD的X方向以及Y方向的排列間距，與有效光學(xué)區(qū)域TE中的有效像素PE的X方向以及Y方向的排列間距相同。
圖7是表示對有效像素PE和虛設(shè)像素PD噴出了功能液L的狀態(tài)的圖。功能液L(特別是溶劑)向虛設(shè)像素PD的噴出量，根據(jù)距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C的距離分為三個(gè)等級(jí)，在距離中心部C最近的有效光學(xué)區(qū)域TE的邊緣中央部的區(qū)域T1處噴出量最少，在距離中心部C最遠(yuǎn)的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部的區(qū)域T3處噴出量最多，并且，在二者之間的區(qū)域T2處，噴出量處于二者之間。
在如第一實(shí)施方式那樣，使虛設(shè)像素PD的尺寸與有效像素尺寸相同的情況下，遠(yuǎn)離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C的虛設(shè)像素PD，特別是在配置于有效光學(xué)區(qū)域TE的角部的虛設(shè)像素PD處，功能液L有溢出的可能，但是在本實(shí)施方式中，即使對這樣的虛設(shè)像素也不會(huì)產(chǎn)生該不良情況，可以噴出足夠量的功能液L。
圖8是表示虛設(shè)像素PD的其他構(gòu)成的模式圖。
在圖8中，虛設(shè)像素PD的尺寸形成為，距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C越遠(yuǎn)的區(qū)域尺寸越大。例如，虛設(shè)像素PD的尺寸根據(jù)距離中心部C的距離分為三個(gè)等級(jí)，在距離中心部C最近的有效光學(xué)區(qū)域TE的邊緣中央部的區(qū)域T1處尺寸最小，在距離中心部C最遠(yuǎn)的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部的區(qū)域T3處尺寸最大，并且，在二者之間的區(qū)域T2處，尺寸處于二者之間。尺寸最小的區(qū)域T1的虛設(shè)像素PD的尺寸，與有效光學(xué)區(qū)域TE的有效像素PE的尺寸相同。另外，各區(qū)域T1～T3的虛設(shè)像素PD的X方向以及Y方向的排列間距，與有效光學(xué)區(qū)域TE的有效像素PE的X方向以及Y方向的排列間距相同。
圖9是表示對有效像素PE和虛設(shè)像素PD噴出了功能液L的狀態(tài)的圖。功能液L(特別是溶劑)向虛設(shè)像素PD的噴出量，根據(jù)距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C的距離分為三個(gè)等級(jí)，在距離中心部C最近的有效光學(xué)區(qū)域TE的邊緣中央部的區(qū)域T1處噴出量最少，在距離中心部C最遠(yuǎn)的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部的區(qū)域T3處噴出量最多，并且，在二者之間的區(qū)域T2處，噴出量處于二者之間。
根據(jù)該構(gòu)成，越是被噴出更多功能液L的虛設(shè)像素PD，即越是遠(yuǎn)離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C的虛設(shè)像素PD，其尺寸越大，所以，在這些遠(yuǎn)離中心部C的虛設(shè)像素PD中可以回避功能液L溢出等不良情況。而且，由于配置在虛設(shè)像素PD的功能液L因流動(dòng)會(huì)潤濕擴(kuò)展到虛設(shè)像素PD的尺寸，所以，在干燥速度快、溶劑分子的分壓容易急劇降低的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部的區(qū)域T3處，能夠得到更大的溶劑的表面積。雖然溶劑分子的分壓依賴于噴出的溶劑的表面積，表面積越大所蒸發(fā)的溶劑分子的分壓越大，但是，在本發(fā)明中，通過虛設(shè)像素PD的尺寸以及溶劑的量來調(diào)節(jié)溶劑的表面積，由此，在有效光學(xué)區(qū)域TE內(nèi)溶劑分子的分壓不會(huì)產(chǎn)生偏倚，因此，可以形成均一性更加高的膜。
(第二實(shí)施方式)下面，作為本發(fā)明的器件制造方法的一個(gè)實(shí)施方式，以將本發(fā)明的膜圖案的形成方法應(yīng)用于有機(jī)EL裝置的制造方法為例，來進(jìn)行說明。該有機(jī)EL裝置是將有機(jī)EL元件作為像素排列到基體上而形成的有機(jī)EL裝置，例如，可以優(yōu)選用作電子設(shè)備等的顯示機(jī)構(gòu)。
圖10是有機(jī)EL裝置70的電路構(gòu)成圖，圖11是該有機(jī)EL裝置70的平面模式圖。另外，圖12表示該有機(jī)EL裝置70所具備的各像素PE的平面構(gòu)造的圖，(a)是像素PE中主要表示TFT等像素驅(qū)動(dòng)部分的圖，(b)是表示對像素之間進(jìn)行劃分的圍堰(隔壁)B等的圖。而且，圖13是表示沿著圖12(a)的A-A線的截面構(gòu)成的圖。
如圖10所示，有機(jī)EL裝置70是，在由玻璃等構(gòu)成的基體上，分別布線多條掃描線(布線、電力導(dǎo)通部)131、在與這些掃描線131交叉的方向上延伸的多條信號(hào)線(布線、電力導(dǎo)通部)132、和與這些信號(hào)線132并列延伸的多條公用供電線(布線、電力導(dǎo)通部)133的裝置，其構(gòu)成為在掃描線131與信號(hào)線132的每個(gè)交點(diǎn)處設(shè)有像素PE。
相對于信號(hào)線132，設(shè)置具有移位寄存器、電平移動(dòng)器、視頻線以及模擬開關(guān)等的數(shù)據(jù)側(cè)驅(qū)動(dòng)電路72。另一方面，相對于掃描線131，設(shè)置具有移位寄存器和電平移動(dòng)器等的掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路73。而且，在各個(gè)像素PE中，設(shè)置有開關(guān)用TFT(薄膜晶體管)142，其柵電極經(jīng)由掃描線131被供給掃描信號(hào)；保持電容cap，其保持經(jīng)由該開關(guān)用TFT(薄膜晶體管)142從信號(hào)線132供給的圖像信號(hào)(電力)；驅(qū)動(dòng)用TFT 143，其柵電極被供給由保持電容cap所保持的圖像信號(hào)；像素電極141，在經(jīng)由該驅(qū)動(dòng)用TFT 143與公用供電線133電連接時(shí)，從公用供電線133流入驅(qū)動(dòng)電流；和發(fā)光部140，其夾持在該像素電極141和公用電極154之間。而且，由所述像素電極(第一電極)141、公用電極(第二電極)154和由有機(jī)功能層形成的發(fā)光部140構(gòu)成的元件是有機(jī)EL元件。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，如果驅(qū)動(dòng)掃描線131導(dǎo)通開關(guān)用TFT 142，此時(shí)的信號(hào)線132的電位被保持電容cap所保持，對應(yīng)于該保持電容cap的狀態(tài)，決定驅(qū)動(dòng)用TFT 143的導(dǎo)通、截止?fàn)顟B(tài)。然后，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)用TFT 143的溝道，電流從公用供電線133向像素電極141流動(dòng)，進(jìn)而通過發(fā)光部140使電流流向公用電極154，由此發(fā)光部140根據(jù)流過其的電流量而發(fā)光。
接著，若觀察平面構(gòu)造，則如圖11所示，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置70，在基體P的中央部具有配置成矩陣狀的有機(jī)EL元件200。
基體P例如是玻璃等透明基板，其被劃分成位于基體P的中央、發(fā)揮著有機(jī)EL元件200的功能的有效光學(xué)區(qū)域(有效區(qū)域)TE；和位于基體P的周緣并被配置在有效光學(xué)區(qū)域TE的外周且不發(fā)揮有機(jī)EL元件200的功能的虛設(shè)區(qū)域(非有效區(qū)域)TD。有效光學(xué)區(qū)域TE是由配置成矩陣狀的有機(jī)EL元件200形成的區(qū)域，也稱作有效顯示區(qū)域。另外，虛設(shè)區(qū)域TD與有效光學(xué)區(qū)域TE鄰接而形成，構(gòu)成為不利于顯示的區(qū)域。在有效光學(xué)區(qū)域TE和虛設(shè)區(qū)域TD中，形成有劃分有效像素和虛設(shè)像素的圍堰B(參照圖12)，由圍堰B所劃分的區(qū)域構(gòu)成用于配置功能液的液體容納部，通過在該液體容納部配置功能液，形成了后述的有機(jī)EL元件的有機(jī)功能層。即，由圍堰B所劃分的區(qū)域是像素，在有效光學(xué)區(qū)域TE中，每個(gè)像素都形成有有機(jī)EL元件200。
公用電極154，其一端與形成在基體P上的陰極用布線(省略圖示)連接，如圖11所示，該布線的一端部154a與柔性基板75上的布線77連接。另外，該布線77與柔性基體75上所具備的驅(qū)動(dòng)IC 76(驅(qū)動(dòng)電路)連接。
而且，如圖11所示，所述公用供電線133(133R、133G、133B)被布線于基體P的虛設(shè)區(qū)域TD。并且，在圖11中，在有效光學(xué)區(qū)域TE的圖示兩橫側(cè)配置有所述的掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路73、73。該掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路73、73設(shè)置在虛設(shè)區(qū)域TD的下側(cè)的電路元件部。并且，在電路元件部設(shè)置有與掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路73、73連接的驅(qū)動(dòng)電路用控制信號(hào)布線73a和驅(qū)動(dòng)電路用電源布線73b。并且，在圖11中，在有效光學(xué)區(qū)域TE的圖示上側(cè)配置有檢查電路74。通過該檢查電路74可以檢查制造途中或出廠時(shí)的顯示裝置的質(zhì)量、缺陷。
接著，如果觀察圖12(a)所示的像素PE的平面構(gòu)造，則像素PE構(gòu)成為，其俯視近似為矩形形狀的像素電極141的四條邊，被信號(hào)線132、公用供電線133、掃描線131以及未圖示的其他像素電極用的掃描線所包圍。而且，如果觀察圖13所示的像素PE的截面構(gòu)造，則在基體P上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)用TFT 143，在隔著覆蓋驅(qū)動(dòng)用TFT 143而形成的多層絕緣膜的基體P上，形成有有機(jī)EL元件200。有機(jī)EL元件200以有機(jī)功能層140為主體而構(gòu)成，具備將該有機(jī)功能層140夾持在像素電極141與公用電極154之間的構(gòu)成，所述的有機(jī)功能層140被設(shè)置在由立設(shè)于基體P上的圍堰B所包圍的區(qū)域內(nèi)。
在這里，如果觀察如圖12(b)所示的平面構(gòu)造，則圍堰B具有與像素電極141的形成區(qū)域?qū)?yīng)的俯視近似為矩形形狀的開口部149b、151，在該開口部149b、151上形成有先前的有機(jī)功能層140。
如圖13所示，驅(qū)動(dòng)用TFT143以形成在半導(dǎo)體膜210的源極區(qū)域143a、漏極區(qū)域143b、以及溝道區(qū)域143c，和隔著形成在半導(dǎo)體層表面的柵極絕緣膜220與溝道區(qū)域143c對置的柵電極143A為主體而構(gòu)成。形成有覆蓋半導(dǎo)體膜210以及柵極絕緣膜220的第一層間絕緣膜230，在貫通該第一層間絕緣膜230到達(dá)半導(dǎo)體膜210的接觸孔232、234內(nèi)，分別埋設(shè)有漏電極236、源電極238，各個(gè)電極與漏極區(qū)域143b、源極區(qū)域143a導(dǎo)電連接。在第一層間絕緣膜230上形成有第二層間絕緣膜240，在貫通設(shè)置于該第二層間絕緣膜240的接觸孔中埋設(shè)有像素電極141的一部分。而且，通過像素電極141與漏電極236導(dǎo)電連接，驅(qū)動(dòng)用TFT 143與像素電極141(有機(jī)EL元件200)電連接。以一部分到達(dá)像素電極141的周緣部的方式，形成了由無機(jī)絕緣材料構(gòu)成的無機(jī)圍堰(第一隔壁層)149。在無機(jī)圍堰149上層疊有由有機(jī)材料構(gòu)成的有機(jī)圍堰(第二隔壁層)150，由這些無機(jī)圍堰149以及有機(jī)圍堰150形成了有機(jī)EL裝置71的隔壁部件。
上述有機(jī)EL元件200通過在像素電極141上層疊作為電荷輸送層的空穴注入層140A、和發(fā)光層140B，并形成覆蓋該發(fā)光層140B和有機(jī)圍堰150的公用電極154而構(gòu)成。空穴注入層140A覆蓋像素電極141而形成，其周端部也覆蓋設(shè)置在有機(jī)圍堰150的下層側(cè)的無機(jī)圍堰149中從有機(jī)圍堰150向像素電極141中央側(cè)突出配置的部分而形成。
在是所謂的底部發(fā)射型有機(jī)EL裝置的情況下，由于形成從基體P側(cè)取出光的結(jié)構(gòu)，所以，使用玻璃等透明基板作為基體P。另一方面，在是所謂的頂部發(fā)射型有機(jī)EL裝置的情況下，由于形成從設(shè)置有有機(jī)EL元件200的一側(cè)取出光的結(jié)構(gòu)，所以，除了玻璃等透明基板之外，也可以使用不透明基板。作為不透明基板，可以舉出對例如氧化鋁等陶瓷、不銹鋼等金屬片實(shí)施了表面氧化等絕緣處理的基板，還可以舉出熱固化性樹脂、熱可塑性樹脂，還有其薄膜(塑料薄膜)等。
在是經(jīng)由基體P取出光的底部發(fā)射型的情況下，像素電極141由ITO(銦錫氧化物)等透光性導(dǎo)電材料形成，在頂部發(fā)射型的情況下，不需要透光性，可以由金屬材料等適宜的導(dǎo)電材料形成。
公用電極154以覆蓋發(fā)光層140B和圍堰B的上面、進(jìn)而覆蓋形成圍堰B的側(cè)面部的壁面的狀態(tài)，形成在基體P上。作為用于形成該公用電極154的材料，在頂部發(fā)射型的情況下，使用透明導(dǎo)電材料。作為透明導(dǎo)電材料，優(yōu)選ITO，但也可以是其他的透光性導(dǎo)電材料。在底部發(fā)射型的情況下，除了透明導(dǎo)電材料之外，還可以使用鋁等不透明或具有光反射性的導(dǎo)電材料。
也可以在公用電極154的上層側(cè)形成陰極保護(hù)層。通過設(shè)置該陰極保護(hù)層，可以獲得在制造工藝時(shí)防止公用電極154被腐蝕的效果，可以由無機(jī)化合物，例如硅氧化物、硅氮化物、硅氮氧化物等硅化合物形成。通過以由無機(jī)化合物構(gòu)成的陰極保護(hù)層覆蓋公用電極154，可以良好地防止氧等向由無機(jī)氧化物構(gòu)成的公用電極154的侵入。另外，這樣的陰極保護(hù)層以10nm到300nm左右的厚度形成至公用電極154的平面區(qū)域的外側(cè)基體上。
(有機(jī)EL裝置的制造方法)下面，參照附圖對有機(jī)EL裝置70的制造方法進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式中，舉例說明了使用液滴噴出法，制造具有圖10～圖13所示的結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL裝置。
另外，以下所示的順序或液體材料的材料構(gòu)成只是一個(gè)實(shí)例，不限定于此。而且，液滴噴出裝置可以使用前述的裝置。
下面，參照圖14以及圖15，對上述有機(jī)EL裝置70所具備的有機(jī)EL元件200的制造方法進(jìn)行說明。在圖14和圖15中，圖示出了有效光學(xué)區(qū)域TE和虛設(shè)區(qū)域TD的交界部分。
首先，如圖14(a)所示，在基體P上形成像素電極141、能夠驅(qū)動(dòng)該像素電極141的驅(qū)動(dòng)用TFT 143。在圖14(a)中，僅在有效光學(xué)區(qū)域TE形成了像素電極141，但是，也可以對虛設(shè)區(qū)域TD形成同樣的像素電極。該情況下，在虛設(shè)區(qū)域TD形成的像素(虛設(shè)像素)可以用作檢查用的元件。
接著，以一部分與像素電極141的周緣部平面重合的方式，形成由氧化硅等無機(jī)絕緣材料構(gòu)成的無機(jī)圍堰149。具體而言，在以覆蓋像素電極141以及平坦化絕緣膜240的方式形成氧化硅膜之后，可以通過使用公知的光刻技術(shù)使氧化硅膜形成圖案，并使像素電極141的表面局部開口而形成。雖然在圖14(a)中，僅在有效光學(xué)區(qū)域TE進(jìn)行了無機(jī)圍堰149的圖案形成，但是，也可以對虛設(shè)區(qū)域TD進(jìn)行同樣的圖案形成。
接著，如圖14(b)所示，在無機(jī)圍堰149上，形成由丙烯酸(アクリル)、聚酰亞胺等有機(jī)絕緣材料構(gòu)成的有機(jī)圍堰150。
有機(jī)圍堰150與無機(jī)圍堰149一起形成了劃分有機(jī)EL元件200的圍堰(隔壁)B。即，在有效光學(xué)區(qū)域TE中，由無機(jī)圍堰149以及有機(jī)圍堰150劃分的各個(gè)區(qū)域是本發(fā)明的液體容納部，這些液體容納部分別成為有效像素PE。另一方面，在虛設(shè)區(qū)域TD中，由于無機(jī)圍堰149沒有形成圖案，所以，由有機(jī)圍堰150所劃分的各個(gè)區(qū)域是本發(fā)明的液體容納部，這些液體容納部分別成為虛設(shè)像素PD。
虛設(shè)像素PD的尺寸(即，圍堰B的開口部151的面積)比有效像素PE的尺寸大。即，可以保持比有效像素還多的功能液，由此，在有效光學(xué)區(qū)域的整體能夠使功能液的干燥均勻地進(jìn)行。
有機(jī)圍堰150的高度被設(shè)定為例如1μm～2μm左右，其在基體P上作為有機(jī)EL元件200的劃分部件而發(fā)揮功能。作為這種結(jié)構(gòu)的根基，在有機(jī)EL元件200的空穴注入層或發(fā)光層的形成位置，即在這些形成材料的涂敷位置與其周圍的有機(jī)圍堰150之間，形成由足夠高度的階梯差構(gòu)成的開口部151。有機(jī)圍堰150的開口部151和無機(jī)圍堰149的開口部149b相互連通，像素電極141處于在這些開口部內(nèi)露出的狀態(tài)。
有機(jī)圍堰150的開口部151的X方向以及Y方向的間隔(排列間距)，在有效像素PE和虛設(shè)像素PD為相同間隔。即，有效像素PE和虛設(shè)像素PD以相同的配置密度形成，但是，虛設(shè)像素的配置密度也可以按區(qū)域T1、T2、T3而不同。
在形成有機(jī)圍堰150之際，使有機(jī)圍堰150的開口部151的壁面從無機(jī)圍堰149的開口部149b向外側(cè)后退若干而形成為佳。這樣，通過使無機(jī)圍堰149在有機(jī)圍堰150的開口部151內(nèi)露出一部分，可以使有機(jī)圍堰150內(nèi)的液體材料的潤濕擴(kuò)展良好。
如果在形成有機(jī)圍堰150，對包含有機(jī)圍堰150和像素電極141的基體上的區(qū)域?qū)嵤┦枰禾幚?。由于有機(jī)圍堰150發(fā)揮著作為劃分有機(jī)EL元件200的劃分部件的功能，所以，優(yōu)選其相對從液滴噴頭20噴出的功能液呈非親和性(疏液性)。作為疏液處理，可以使用第一實(shí)施方式中所說明的方法，通過這樣的疏液處理，能夠使有機(jī)圍堰150選擇性地體現(xiàn)出非親和性。
在這樣的疏液處理中，即使對基體P的一面?zhèn)日w實(shí)施處理，由ITO膜或金屬膜構(gòu)成的無機(jī)材料的像素電極141的表面，與由有機(jī)材料構(gòu)成的有機(jī)圍堰150的表面相比，更難以被疏液化，選擇性地只對有機(jī)圍堰150的表面實(shí)施疏液化，在被有機(jī)圍堰150包圍的區(qū)域內(nèi)，形成了多個(gè)相對功能液的親和性不同的區(qū)域。
另外，也可以在疏液處理之前，對無機(jī)圍堰149以及像素電極141的表面實(shí)施親液處理。作為親液處理，可以使用第一實(shí)施方式中所說明的方法。在進(jìn)行O2等離子處理作為親液處理的情況下，可以兼帶進(jìn)行作為像素電極141的ITO上的清洗、功函數(shù)的調(diào)整。另外，當(dāng)在親液處理之后進(jìn)行疏液處理的情況下，像素電極141或無機(jī)圍堰149的表面也會(huì)多少受到疏液處理的影響，但是，與有機(jī)圍堰150相比，它們的影響較小，對潤濕性造成的影響少。
如果在基體P上形成圍堰B，如圖14(c)所示，利用液滴噴頭，在由圍堰B所劃分的涂敷位置(在虛設(shè)區(qū)域TD中，由有機(jī)圍堰150包圍的區(qū)域)，選擇性地涂敷用于形成空穴注入層140A的功能液L1。功能液L1是將空穴注入層形成材料溶解或分散于溶劑中的溶液。
作為空穴注入層形成材料，可以例示聚合物前體為聚四氫苯硫基亞苯基的聚亞苯基亞乙烯基、1，1-雙-(4-N，N-二甲苯基氨基苯基)環(huán)己烷、三(8-羥基喹啉)鋁、聚苯乙烯磺酸、聚亞乙二氧基噻吩和聚苯乙烯磺酸的混合物(PEDOT/PSS)等。另外，作為溶劑，可以例示異丙醇、N-甲基吡咯烷酮、1，3-二甲基-咪唑啉酮等極性溶劑。
向虛設(shè)像素PD噴吐的功能液L1的量(特別是溶劑的量)，距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域量越多。其原因在于，由于該區(qū)域中液滴的干燥速度快，所以，如果所噴出的溶劑的量在所有的虛設(shè)像素PD中都相同，則在有效光學(xué)區(qū)域TE的角部處干燥時(shí)間會(huì)產(chǎn)生偏差，由此無法進(jìn)行均勻的干燥。另一方面，在根據(jù)距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C的距離調(diào)節(jié)噴出的溶劑的量時(shí)，在有效光學(xué)區(qū)域TE內(nèi)溶劑的持續(xù)時(shí)間不會(huì)產(chǎn)生偏倚，可以在有效光學(xué)區(qū)域整體形成無膜厚不均或膜偏倚等的高質(zhì)量的膜。
如果利用液滴噴頭將功能液L1噴出到基體P上，則功能液L1會(huì)因流動(dòng)性而向水平方向擴(kuò)展，但是，由于包圍涂敷位置而形成有圍堰B，所以，功能液L1不會(huì)超越圍堰B擴(kuò)展到其外側(cè)。而且，由于像素電極141或無機(jī)圍堰149的表面處于保持了良好親液性的狀態(tài)，所以，噴出的功能液L1涂敷擴(kuò)展在像素電極等的整體表面，形成均勻的涂膜。
如果在基體P上配置了功能液L1，則如圖14(d)所示，通過加熱或照射光使功能液L1的溶劑蒸發(fā)，在像素電極141上形成固體的空穴注入層140A(膜圖案)?；蛘?，也可以在大氣環(huán)境下或氮?dú)鈿夥障拢砸?guī)定溫度以及時(shí)間進(jìn)行燒成?；蛘?，還可以通過在比大氣壓低的壓力環(huán)境下(減壓環(huán)境下)進(jìn)行配置，來除去溶劑。
此時(shí)，由于向單位面積噴出的虛設(shè)功能液L1的量，距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域量越大，所以，即使在干燥快速進(jìn)行的有效光學(xué)區(qū)域TE的角部處，溶劑分子的分壓也不會(huì)急劇降低，使得干燥速度在有效光學(xué)區(qū)域整體變?yōu)榫鶆?。因此，所得到的空穴注入?40A，其膜厚、膜質(zhì)也均勻，并且，其表面的平坦性也出色。
接著，如圖15(a)所示，利用液滴噴頭，在圍堰B內(nèi)的空穴注入層140A上，選擇性地涂敷用于形成發(fā)光層140B的功能液L2。功能液L2是將發(fā)光層形成材料溶解或分散到溶劑中的溶液。
作為發(fā)光層形成材料，是能夠發(fā)出熒光或磷光的公知高分子發(fā)光材料，優(yōu)選可以使用如聚芴衍生物(PF)、聚對亞苯基亞乙烯基衍生物(PPV)、聚亞苯基衍生物(PP)、聚對亞苯基衍生物(PPP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚二烷基芴(PDAF)、聚芴苯并硫二氮雜茂(PFBT)、聚烷基噻吩(PAT)、或聚甲基苯基硅烷(PMPS)等聚硅烷系等。另外，還可以在這些發(fā)光材料中摻雜使用紫蘇烯系色素，香豆素系色素，若丹明系色素等高分子系材料，紅熒烯、紫蘇烯、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、喹吖酮等低分子材料。
對于所述發(fā)光層形成材料，優(yōu)選使其溶解或分散到極性溶劑中作為液體材料，并將該液體材料從液滴噴頭噴出。由于極性溶劑能夠使所述發(fā)光材料等容易地溶解或均勻地分散，所以，可以防止在液滴噴頭的噴嘴孔處附著發(fā)光層形成材料中的固體成分，或引起阻塞。
作為這樣的極性溶劑，具體可以舉出水，甲醇、乙醇等與水具有互容性的醇，N，N-二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、二甲基咪唑啉(DMI)、二甲基亞砜(DMSO)、甲苯、環(huán)己基苯、2，3-二氫苯并呋喃等有機(jī)溶劑或無機(jī)溶劑，還可以是適當(dāng)混合這些溶劑2種以上而成的溶劑。
發(fā)光層140B的形成，通過將含有發(fā)紅色顯色光的發(fā)光層形成材料的功能液、含有發(fā)綠色顯色光的發(fā)光層形成材料的功能液、含有發(fā)藍(lán)色顯色光的發(fā)光層形成材料的功能液，分別噴出到對應(yīng)的有效像素PE中而進(jìn)行。
在圖15(a)中，圖示了將功能液L2噴出到紅色有效像素的工序。在該工序中，與形成空穴注入層140A同樣，也對虛設(shè)像素PD噴出同樣的功能液L2。另外，雖然在圖15(a)中對所有的虛設(shè)像素PD都噴出了功能液L2，但也可以僅對一部分虛設(shè)像素PD進(jìn)行噴出。
如果噴出了功能液L2，使功能液L2中的溶劑蒸發(fā)。通過該工序，如圖15(b)所示，在紅色有效像素PE的空穴注入層140A上形成了固體的紅色發(fā)光層140B(膜圖案)，由此，得到了由空穴注入層140A和發(fā)光層140B構(gòu)成的有機(jī)功能層140。
此時(shí)，由于根據(jù)距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部的距離，適宜地控制了配置在虛設(shè)區(qū)域TD的功能液的量以及表面積，所以，有效光學(xué)區(qū)域TE整體的干燥速度變得均勻，使得膜厚以及膜質(zhì)變得均勻。而且，由于配置有功能液L2的空穴注入層140A的表面被良好地平坦化，所以，形成于其上的發(fā)光層140B也具有良好的平坦性而形成，由此，可以形成具有更均勻且良好的發(fā)光特性、和可靠性的發(fā)光層。
如果在所有的有效像素PE中形成發(fā)光層140B，如圖15(c)所示，在基體P的表面整體形成由ITO等構(gòu)成的公用電極154，根據(jù)需要，在公用電極154的表面形成保護(hù)膜155。由此，完成了有機(jī)EL元件200。
另外，雖然在虛設(shè)像素PD中形成了紅色、綠色以及藍(lán)色這三種發(fā)光層形成材料，但是，在圖15(c)中，將這些一并以符號(hào)140D表示。
在本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的制造方法中，由于距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，其在虛設(shè)區(qū)域TD中所保持的單位面積的溶劑的量以及表面積越大，所以，在功能液的干燥工序中，可以使虛設(shè)區(qū)域TD的溶劑蒸發(fā)速度接近有效光學(xué)區(qū)域TE的溶劑蒸發(fā)速度。因此，可以在有效光學(xué)區(qū)域TE的外周部和中央部，形成均勻膜厚的空穴注入層或發(fā)光層，由此，可以容易地提供元件特性(顯示特性)沒有不均的可靠性出色的有機(jī)EL裝置。
(第三實(shí)施方式)下面，作為本發(fā)明的器件制造方法的一個(gè)實(shí)施方式，以將本發(fā)明的膜圖案的形成方法應(yīng)用于濾色器基板的制造方法為例，來進(jìn)行說明。該濾色器基板優(yōu)選作為例如液晶顯示面板的顏色顯示機(jī)構(gòu)而使用。
圖16是表示本實(shí)施方式的濾色器基板的制造方法的概念圖。
在該濾色器基板的制造方法中，使用所述液滴噴頭20，在由玻璃或塑料等構(gòu)成的基體P上形成多個(gè)濾色器F(FR、FG、FB)。從提高生產(chǎn)率的觀點(diǎn)出發(fā)，使用由玻璃或塑料等構(gòu)成的大面積的基板(大型基板)作為基體P，在形成于該大型基板P上的多個(gè)面板區(qū)域TE的內(nèi)部，形成多個(gè)以點(diǎn)狀排列的濾色器F。
面板區(qū)域TE是形成有顯示用的濾色器F的區(qū)域，相當(dāng)于本發(fā)明的有效區(qū)域。在大型基板P中，面板區(qū)域TE的外側(cè)的區(qū)域是不利于顯示的虛設(shè)區(qū)域(非有效區(qū)域)TD。在面板區(qū)域TE以及虛設(shè)區(qū)域TD中形成有圍堰(隔壁)B，由圍堰B所劃分的各個(gè)區(qū)域是本發(fā)明的液體容納部，在這些液體容納部中，配置在面板區(qū)域TE的液體容納部成為有效像素PE，配置在虛設(shè)區(qū)域TD的液體容納部成為虛設(shè)像素PD。濾色器F通過在成為有效像素PE的液體容納部配置含有顏料等微粒著色材料的功能液而形成。
通過以后對大型基板P進(jìn)行切斷，各面板區(qū)域TE可以作為適合顯示面板的濾色器基板而使用。在面板區(qū)域TE設(shè)置有含有紅色著色材料的紅色濾色器FR、含有綠色著色材料的綠色濾色器FG、以及含有藍(lán)色著色材料的藍(lán)色濾色器FB，這些濾色器FR、FG、FB例如如圖16(b)所示，通過一邊使液滴噴頭20沿著箭頭A1以及箭頭A2所示的方向進(jìn)行多次主掃描，一邊在這些主掃描期間，分別從多個(gè)噴嘴81對規(guī)定的有效像素PE選擇性地噴出含有紅色著色材料的功能液、含有綠色著色材料的功能液以及含有藍(lán)色著色材料的功能液而形成。
這里，通過將紅、綠、藍(lán)各種顏色的濾色器以線狀排列、三角排列或馬賽克狀的排列等方式進(jìn)行排列，來制造濾色器基板。即，圖16(b)所示的由液滴噴頭20實(shí)現(xiàn)的濾色器F的形成，通過根據(jù)紅、綠、藍(lán)三種顏色，預(yù)先準(zhǔn)備三種僅噴出紅、綠、藍(lán)中一種顏色的液滴噴頭20，根據(jù)所述三種顏色順次反復(fù)使用這些液滴噴頭20，在一枚大型基板P上形成紅、綠、藍(lán)三種顏色的排列來進(jìn)行。
圖17表示具體的制造工序。
圖17中表示出了面板區(qū)域TE和虛設(shè)區(qū)域TD的交界部分。在面板區(qū)域TE中表示出三種有效像素PE，分別是形成有紅色濾色器FR的紅色有效像素、形成有綠色濾色器FG的綠色有效像素以及形成有藍(lán)色濾色器FB的藍(lán)色有效像素。
首先，如圖17(a)所示，在大型基板P的一方面上形成圍堰B。
圍堰B作為劃分部件，發(fā)揮著對形成有濾色器F的區(qū)域進(jìn)行劃分的功能。圍堰B形成在面板區(qū)域TE以及該面板區(qū)域TE的周邊區(qū)域(非有效區(qū)域)。形成在面板區(qū)域TE的圍堰B，具有與顯示面板的像素圖案對應(yīng)的開口部。在本發(fā)明的濾色器基板的制造方法中，通過在由圍堰B所劃分的區(qū)域配置含有著色材料的功能液，并使該功能液干燥，在大型基板P上形成濾色器(膜圖案)F。該情況下，由于通過圍堰B來規(guī)定濾色器F的形狀，所以，例如通過縮小鄰接的圍堰B的寬度等，來恰當(dāng)?shù)匦纬蓢連，可以實(shí)現(xiàn)濾色器F的微細(xì)化。
圍堰B的形成方法與第二實(shí)施方式的有機(jī)圍堰150的形成方法相同。即，通過在大型基體P上形成丙烯酸、聚酰亞胺等有機(jī)絕緣材料，并利用光刻技術(shù)對其進(jìn)行圖案形成，來形成所期望形狀的圍堰B。在使用不具有透光性的材料(例如黑色樹脂)作為有機(jī)絕緣材料的情況下，可以使圍堰B發(fā)揮作為黑矩陣的功能。根據(jù)需要，可以對圍堰B的表面實(shí)施疏液處理。
如圖16所示，虛設(shè)像素PD的尺寸(圍堰B的開口部的尺寸)根據(jù)距離面板區(qū)域TE的中心部C的距離R1、R2而不同，在距離中心部C最近的區(qū)域T1，虛設(shè)像素PD的尺寸最小，隨著遠(yuǎn)離中心部C，虛設(shè)像素PD的尺寸逐漸變大。即構(gòu)成為，距離面板區(qū)域TE的中心部C越遠(yuǎn)的區(qū)域，其保持在虛設(shè)區(qū)域TD中的單位面積的功能液的量以及表面積越大。由此，面板區(qū)域整體的功能液干燥速度能夠均勻地進(jìn)行。
虛設(shè)像素PD的尺寸從面板區(qū)域TE的邊緣中央部朝向角部以多個(gè)等級(jí)進(jìn)行變化。即，沿著面板區(qū)域TE的邊緣，設(shè)置有虛設(shè)像素PD的尺寸不同的多個(gè)區(qū)域T1、T2、T3，在各個(gè)區(qū)域中虛設(shè)像素PD的尺寸一定，這樣構(gòu)成的所述多個(gè)區(qū)域T1、T2、T3，虛設(shè)像素PD的尺寸越大，其被配置在距離面板區(qū)域TE的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域。對于各區(qū)域T1、T2、T3的虛設(shè)像素PD的尺寸，或各區(qū)域T1、T2、T3在虛設(shè)區(qū)域TD內(nèi)占有的比率，在面板區(qū)域內(nèi)功能液的干燥速度為一定的條件范圍內(nèi)，可進(jìn)行恰當(dāng)?shù)脑O(shè)定。
另外，在圖17中，將圍堰B形成為由有機(jī)物層構(gòu)成的單層構(gòu)造，但也可以如第一實(shí)施方式的圍堰B那樣，形成無機(jī)物層和有機(jī)物層的雙層構(gòu)造。
如果形成圍堰B，如圖17(b)所示，利用液滴噴頭，在圍堰B所劃分的區(qū)域選擇性地噴出含有著色材料的功能液L。功能液L是將顏料等著色材料溶解或分散到溶劑中的溶液。
功能液的噴出，通過將含有紅色著色材料的功能液、含有綠色著色材料的功能液以及含有藍(lán)色著色材料的功能液，分別噴出到對應(yīng)的有效像素PE上而進(jìn)行。
在圖17(b)中，表示了將功能液L噴出到紅色有效像素的工序。在該工序中，對虛設(shè)像素PD也噴出同樣的功能液L。另外，在圖17(b)中，雖然對所有的虛設(shè)像素PD噴出了功能液L，但是，也可以僅對一部分的虛設(shè)像素PD進(jìn)行噴出。
向虛設(shè)像素PD噴出的功能液L的量(特別是溶劑的量)，在距離有效光學(xué)區(qū)域TE的中心部C越遠(yuǎn)的區(qū)域就越多。其原因在于，由于該區(qū)域中液滴的干燥速度快，所以，如果所噴出的溶劑的量在所有的虛設(shè)像素PD中都相同，則在有效光學(xué)區(qū)域TE的角部處干燥時(shí)間會(huì)產(chǎn)生偏差，由此無法進(jìn)行均勻的干燥。在本實(shí)施方式中，由于在距離面板區(qū)域TE的中心部C越遠(yuǎn)的區(qū)域，虛設(shè)像素PD的尺寸越大，所以，即使在遠(yuǎn)離中心部C的虛設(shè)像素PD中，也不會(huì)發(fā)生所噴出的功能液L從圍堰B的開口部溢出等不良情況。
如果噴出功能液L，就使功能液L中的溶劑蒸發(fā)。通過該工序，如圖17(c)所示，在紅色有效像素PE上形成了固體的紅色濾色器FR。此時(shí)，由于根據(jù)距離面板區(qū)域TE的中心部C的距離，適當(dāng)控制配置在虛設(shè)區(qū)域TD的功能液的量以及表面積，所以，面板區(qū)域TE整體的干燥速度變得均勻，由此，可使得膜厚以及膜質(zhì)均勻。
如果在紅色有效像素上形成紅色濾色器FR，則以同樣的步驟，在綠色有效像素上形成綠色濾色器FG，進(jìn)而，在藍(lán)色有效像素上形成藍(lán)色濾色器FB。圖17(d)表示在所有的有效像素PE上形成了濾色器的狀態(tài)。另外，雖然在虛設(shè)像素PD上形成了紅色、綠色以及藍(lán)色的三種著色材料，但是，在圖17(d)中，將這些統(tǒng)一以符號(hào)FD表示。
如果在所有的有效像素PE上形成濾色器F，則根據(jù)需要，可以在濾色器F的表面形成保護(hù)膜。
然后，沿著設(shè)置在面板區(qū)域TE、TE之間的劃線對大型基板P進(jìn)行切斷，來獲得每個(gè)濾色器基板。由此，完成了濾色器基板。
在本實(shí)施方式的濾色器基板的制造方法中，由于在距離面板區(qū)域TE的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，其保持在虛設(shè)區(qū)域TD中的單位面積的功能液的量越大，所以，在面板區(qū)域TE的外周部和中央部處，干燥速度不會(huì)發(fā)生偏差，能夠遍布面板區(qū)域的整體形成膜厚均勻的濾色器F。因此，可提供顏色不均少、顯示特性優(yōu)良的濾色器基板。另外，由于可以平坦地形成濾色器F，所以，當(dāng)在其上形成電極時(shí)，可以成為不發(fā)生斷線等、可靠性優(yōu)良的濾色器基板。
(實(shí)施例)下面，對本發(fā)明的膜圖案的形成方法的實(shí)施例進(jìn)行說明。
圖18是表示形成在樣品基板P的有效像素PE和虛設(shè)像素PD的配置的俯視模式圖。圖18(a)是從有效區(qū)域TE的邊緣中央部朝向角部，使功能液(特別是溶劑)向虛設(shè)像素PD的噴出量以三個(gè)等級(jí)發(fā)生變化的模式圖(樣品1)；圖18(b)是以有效區(qū)域TE的邊緣中央部和角部的兩個(gè)等級(jí)，使功能液的噴出量發(fā)生變化時(shí)的模式圖(樣品2)；圖18(c)是使功能液的噴出量與有效像素PE的量相同的情況下的模式圖(樣品3)。在任意一種樣品中，有效像素的形狀、尺寸以及間距和虛設(shè)像素的形狀、尺寸以及間距都相同。
在樣品1中，對虛設(shè)像素PD噴出的功能液的量，從有效區(qū)域TE的邊緣中央部朝向角部以三個(gè)等級(jí)發(fā)生變化。在靠近有效區(qū)域TE的中心部C的區(qū)域T1，向1個(gè)虛設(shè)像素PD內(nèi)噴出的功能液的量是50ng，在距離有效區(qū)域TE的中心部C最遠(yuǎn)的區(qū)域T3，向1個(gè)虛設(shè)像素PD內(nèi)噴出的功能液的量是120ng。而且，在區(qū)域T1和區(qū)域T3中間的區(qū)域T2，對1個(gè)虛設(shè)像素PD內(nèi)噴出的功能液的量是80ng。另外，對有效像素PE噴出的功能液的量，與對區(qū)域T1的虛設(shè)像素PD噴出的功能液的量相同。
在樣品2中，對虛設(shè)像素PD噴出的功能液的量，從有效區(qū)域TE的邊緣中央部朝向角部以兩個(gè)等級(jí)發(fā)生變化。在靠近有效區(qū)域TE的中心部C的區(qū)域T1，向1個(gè)虛設(shè)像素PD內(nèi)噴出的功能液的量是50ng，在除此之外的區(qū)域T2，向1個(gè)虛設(shè)像素PD內(nèi)噴出的功能液的量是80ng。另外，對有效像素PE噴出的功能液的量，與對區(qū)域T1的虛設(shè)像素PD噴出的功能液的量相同。
在樣品3中，對虛設(shè)像素PD噴出功能液的量，與對有效像素PE噴出的功能液的量相同。這種構(gòu)成與以往所使用的構(gòu)成相同。
在本實(shí)施例中，通過對樣品1～3的有效像素PE和虛設(shè)像素PD噴出功能液，并使其干燥，在有效區(qū)域內(nèi)形成了膜圖案。所使用的功能液，是將PEDOT/PSS溶解于水(蒸汽壓2338Pa、20℃)和二甘醇(蒸汽壓1.3Pa、20℃)的混合溶劑中的溶液。功能液的干燥以在減壓槽內(nèi)管理壓力的狀態(tài)進(jìn)行。
所述樣品1和樣品2的虛設(shè)像素PD的噴出量被規(guī)定為，有效區(qū)域TE的中央部與角部的功能液干燥時(shí)間之差足夠小。
圖19是表示有效區(qū)域TE內(nèi)的膜厚的不均勻性的圖，圖19(a)、圖19(b)、圖19(c)分別與樣品1、樣品2、樣品3對應(yīng)。圖19(a)～圖19(c)的橫軸表示距離有效區(qū)域TE的中心部C的距離，縱軸表示1個(gè)有效像素內(nèi)的膜厚的不均勻性。膜厚的不均勻性，是通過在1個(gè)有效像素內(nèi)測定膜厚最大的部分與膜厚最薄部分的膜厚之差而得到的。另外，縱軸的單位是埃()。
如圖19所示，在樣品3中，在有效區(qū)域TE的長軸側(cè)的端部處產(chǎn)生了大的膜厚不均勻性，由此可知，僅通過設(shè)置虛設(shè)區(qū)域TD，是無法充分消除膜厚不均的。另一方面，在樣品2中，這樣的端部的膜厚的不均勻性減小，由此可知，在有效區(qū)域TE的中央部和端部改變虛設(shè)的功能液的噴出量，對于改善有效區(qū)域TE內(nèi)的膜厚均勻性是有效的。尤其是在樣品1中，在有效區(qū)域TE內(nèi)幾乎不產(chǎn)生膜厚的不均勻性，由此可知，通過以三個(gè)以上等級(jí)調(diào)節(jié)虛設(shè)功能液的噴出量，可以形成膜厚大致均勻的圖案。
(電子設(shè)備)下面，對本發(fā)明的電子設(shè)備的具體例進(jìn)行說明。
圖20是表示移動(dòng)電話的一個(gè)例子的立體圖。在圖20中，符號(hào)600表示移動(dòng)電話主體，符號(hào)601表示具有上述實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置或?yàn)V色器基板的顯示部。
由于圖20所示的電子設(shè)備，具有通過上述本發(fā)明的膜圖案形成方法形成的膜圖案，所以，能夠得到高的顯示質(zhì)量或高的性能。
另外，本發(fā)明的有機(jī)EL裝置、濾色器基板等器件不限于所述移動(dòng)電話機(jī)，也可以搭載于各種電子設(shè)備中。作為這種電子設(shè)備，例如有電子書、個(gè)人電腦、數(shù)碼相機(jī)、液晶電視、取景器型或監(jiān)控直視型的錄像機(jī)、車輛導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本、電腦、文字處理器、工作站、電視電話、POS終端、具備觸摸板的設(shè)備等。
以上，參照附圖對本發(fā)明所涉及的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是，本發(fā)明所涉及的實(shí)例當(dāng)然不限定于此。上述實(shí)例所示的各構(gòu)成部件的各種形狀或組合等僅是一個(gè)實(shí)例，在不脫離本發(fā)明的主旨范圍內(nèi)，可基于設(shè)計(jì)要求等，進(jìn)行各種變更。
而且，在上述實(shí)施方式中，舉例說明了將本發(fā)明的膜圖案的形成方法應(yīng)用于有機(jī)EL裝置的制造方法，或?yàn)V色器基板的制造方法，但是，本發(fā)明不限定于此，還可應(yīng)用于在規(guī)定區(qū)域內(nèi)具有多種膜圖案的器件的制造方法中。在上述的有機(jī)EL裝置的實(shí)例中，不僅是空穴注入層140A或發(fā)光層140B，對像素電極141的圖案形成也可以采用本發(fā)明。而且，包括數(shù)據(jù)線132、掃描線131或電源線133的各種布線的形成，在連接柔性基體75和基體P的多個(gè)端子電極的形成中，也可以采用本發(fā)明的膜圖案的形成方法。
權(quán)利要求
1.一種膜圖案的形成方法，通過將使功能性材料溶解或分散到溶劑中而成的功能液配置到基體上并干燥所述功能液，來形成由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案，該方法具有在形成有所述膜圖案的所述基體的有效區(qū)域、以及所述有效區(qū)域周圍的非有效區(qū)域形成液體容納部的工序，在形成于所述有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液或所述溶劑的工序；在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量，在距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域就越多。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜圖案的形成方法，其中，根據(jù)距離所述有效區(qū)域的中心部的距離，以三個(gè)以上等級(jí)使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量發(fā)生變化。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的膜圖案的形成方法，其中，使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量在設(shè)置成矩形的所述有效區(qū)域的角部最多。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的膜圖案的形成方法，其中，將所述液體容納部作為由隔壁所劃分的區(qū)域而形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的膜圖案的形成方法，其中，將所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸形成為大致相同的尺寸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的膜圖案的形成方法，其中，使所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸大于所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的膜圖案的形成方法，其中，使所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸在距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域就越大。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任意一項(xiàng)所述的膜圖案的形成方法，其中，以大致相同的間隔，形成所述有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任意一項(xiàng)所述的膜圖案的形成方法，其中，將所述非有效區(qū)域的所述液體容納部，沿著所述有效區(qū)域的外周至少形成兩列以上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任意一項(xiàng)所述的膜圖案的形成方法，其中，通過液滴噴出法進(jìn)行所述功能液或所述溶劑的配置。
11.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，通過將使功能性材料溶解或分散到溶劑中而成的功能液配置到基體上并干燥所述功能液，來制造具有由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案的有機(jī)EL裝置，該有機(jī)EL裝置的制造方法具有在形成有所述膜圖案的所述基體的有效區(qū)域、以及所述有效區(qū)域周圍的非有效區(qū)域形成液體容納部的工序，在形成于所述有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液或所述溶劑的工序；在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑量，在距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域就越多。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其中，根據(jù)距離所述有效區(qū)域的中心部的距離，以三個(gè)以上等級(jí)使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量發(fā)生變化。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其中，使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量，在設(shè)置成矩形的所述有效區(qū)域的角部最多。
14.根據(jù)權(quán)利要求11～13中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其中，將所述液體容納部作為由隔壁所劃分的區(qū)域而形成。
15.根據(jù)權(quán)利要求11～14中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其中，將所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸形成為大致相同的尺寸。
16.根據(jù)權(quán)利要求11～14中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其中，使所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸大于所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸。
17.根據(jù)權(quán)利要求11～14中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其中，在距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸越大。
18.根據(jù)權(quán)利要求11～17中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其中，以大致相同的間隔，形成所述有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔。
19.根據(jù)權(quán)利要求11～18中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其中，將所述非有效區(qū)域的所述液體容納部，沿著所述有效區(qū)域的外周至少形成兩列以上。
20.根據(jù)權(quán)利要求11～19中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其中，通過液滴噴出法進(jìn)行所述功能液或所述溶劑的配置。
21.一種濾色器基板的制造方法，通過將使功能性材料溶解或分散到溶劑中而成的功能液配置到基體上并干燥所述功能液，來制造具有由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案的濾色器基板，該濾色器基板的制造方法具有在形成有所述膜圖案的所述基體的有效區(qū)域、以及所述有效區(qū)域的周圍的非有效區(qū)域形成液體容納部的工序，在形成于所述有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液或所述溶劑的工序，配置在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部中的所述溶劑的量，在距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域就越多。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的濾色器基板的制造方法，其中，根據(jù)距離所述有效區(qū)域中心部的距離，以三個(gè)以上等級(jí)使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量發(fā)生變化。
23.根據(jù)權(quán)利要求21或22所述的濾色器基板的制造方法，其中，使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量，在設(shè)置成矩形的所述有效區(qū)域的角部最多。
24.根據(jù)權(quán)利要求21～23中任意一項(xiàng)所述的濾色器基板的制造方法，其中，將所述液體容納部作為由隔壁所劃分的區(qū)域而形成。
25.根據(jù)權(quán)利要求21～24中任意一項(xiàng)所述的濾色器基板的制造方法，其中，將所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸形成為大致相同的尺寸。
26.根據(jù)權(quán)利要求21～24中任意一項(xiàng)所述的濾色器基板的制造方法，其中，使所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸大于所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸。
27.根據(jù)權(quán)利要求21～24中任意一項(xiàng)所述的濾色器基板的制造方法，其中，在距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸越大。
28.根據(jù)權(quán)利要求21～27中任意一項(xiàng)所述的濾色器基板的制造方法，其中，以大致相同的間隔，形成所述有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔。
29.根據(jù)權(quán)利要求21～28中任意一項(xiàng)所述的濾色器基板的制造方法，其中，將所述非有效區(qū)域的所述液體容納部，沿著所述有效區(qū)域的外周至少形成兩列以上。
30.根據(jù)權(quán)利要求21～29中任意一項(xiàng)所述的濾色器基板的制造方法，其中，通過液滴噴出法進(jìn)行所述功能液或所述溶劑的配置。
31.一種液晶顯示裝置的制造方法，所述液晶顯示裝置具有濾色器基板，所述濾色器基板通過將使功能性材料溶解或分散到溶劑中而成的功能液配置到基體上并干燥所述功能液而具有由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案，該液晶顯示裝置的制造方法具有在形成有所述膜圖案的所述基體的有效區(qū)域、以及所述有效區(qū)域的周圍的非有效區(qū)域形成液體容納部的工序，在形成于所述有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置所述功能液或所述溶劑的工序，在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量，在距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域就越多。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，根據(jù)距離所述有效區(qū)域的中心部的距離，以三個(gè)以上等級(jí)使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量發(fā)生變化。
33.根據(jù)權(quán)利要求31或32所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，使在所述非有效區(qū)域的所述液體容納部配置的所述溶劑的量，在設(shè)置成矩形的所述有效區(qū)域的角部最多。
34.根據(jù)權(quán)利要求31～33中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，將所述液體容納部作為由隔壁所劃分的區(qū)域而形成。
35.根據(jù)權(quán)利要求31～34中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，將所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸形成為大致相同的尺寸。
36.根據(jù)權(quán)利要求31～34中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，使所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸大于所述有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸。
37.根據(jù)權(quán)利要求31～34中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，在距離所述有效區(qū)域的中心部越遠(yuǎn)的區(qū)域，所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的尺寸越大。
38.根據(jù)權(quán)利要求31～37中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，以大致相同的間隔，形成所述有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔、和所述非有效區(qū)域的所述液體容納部的間隔。
39.根據(jù)權(quán)利要求31～38中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，將所述非有效區(qū)域的所述液體容納部，沿著所述有效區(qū)域的外周至少形成兩列以上。
40.根據(jù)權(quán)利要求31～39中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，通過液滴噴出法進(jìn)行所述功能液或所述溶劑的配置。
全文摘要
本發(fā)明的膜圖案的形成方法，通過將使功能性材料溶解或分散到溶劑中而成的功能液(L)配置到基體(P)上并干燥所述功能液(L)，來形成由所述功能性材料構(gòu)成的膜圖案(F)，該方法具有在形成有所述膜圖案(F)的所述基體(P)的有效區(qū)域(T
文檔編號(hào)G09F9/00GK1943879SQ20061015164
公開日2007年4月11日 申請日期2006年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月8日
發(fā)明者酒井寬文, 田中貴也 申請人:精工愛普生株式會(huì)社