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      精密晶體的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)的制作方法

      文檔序號(hào):2771996閱讀:512來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:精密晶體的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種精密機(jī)械裝置,特別是一種用于精密晶體的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)。
      現(xiàn)有的精密晶體的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)有懸臂式和對(duì)稱式兩種,前者是施力于晶體的一端,壓彎后晶體衍射面不均勻;后者是在晶體的兩端對(duì)稱施力。目前國(guó)內(nèi)、外的對(duì)稱式晶體壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)都是單向直接施力于晶體兩端,將晶體壓彎,其結(jié)構(gòu)大都采各種傳統(tǒng)的機(jī)械傳動(dòng)方式,結(jié)構(gòu)較復(fù)雜,由于不可避免的存在著配合間隙,不但其傳動(dòng)精度的提高較有限,而且有機(jī)械空回現(xiàn)象,其恢復(fù)又是靠壓彎后晶體自身的彈力,所以容易降低晶體的使用壽命。
      本實(shí)用新型的目的是提供一種可使壓彎后的晶體面形均勻、施力靈敏度高,且無(wú)機(jī)械空回現(xiàn)象的精密晶體的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)。
      實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的的解決方案是所提供的精密晶體的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)由固定晶體兩端的晶體夾持部件、具有兩個(gè)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的多單軸柔性鉸鏈組合體和推桿組成,其中兩個(gè)晶體夾持部件分別固定在前述柔性鉸鏈組合體的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上,推桿的一端與柔性鉸鏈組合體的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)固定聯(lián)結(jié),且聯(lián)結(jié)點(diǎn)位于壓彎晶體旋轉(zhuǎn)點(diǎn)的正下方。壓彎晶體時(shí)在推桿的自由端施力,柔性鉸鏈組合體的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)晶體夾持部件旋轉(zhuǎn),從而可將晶體壓彎到所需形狀。撤除外力后柔性鉸鏈靠自身的彈力恢復(fù),并同時(shí)使晶體恢復(fù)原狀。
      本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、加工方便。由于采用柔性鉸鏈直接壓彎方式,所以無(wú)機(jī)械空回現(xiàn)象,靈敏度和精確性較高。柔性鉸鏈組合體的運(yùn)動(dòng)方程較簡(jiǎn)單,而推桿又可通過(guò)微位移器來(lái)施力,所以可方便地利用計(jì)算機(jī)進(jìn)行晶體壓彎控制。另外,柔性鉸鏈的自身彈力可帶動(dòng)晶體恢復(fù),從而提高了晶體的工作壽命。
      以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容加以詳細(xì)描述。


      圖1是本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)例的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。
      圖2是柔性鉸鏈的結(jié)構(gòu)圖。
      圖3是晶體夾持部件的結(jié)構(gòu)圖。

      圖1所示柔性鉸鏈組合體1是由八個(gè)單軸柔性鉸鏈11組合而成,它具有一個(gè)公共底座12和兩個(gè)對(duì)稱的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)13,每個(gè)單軸柔性鉸鏈11的結(jié)構(gòu)如圖2所示。柔性鉸鏈可采用彈性較好的金屬材料。在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)13上用螺釘固連著一個(gè)底座14,其上再用螺釘固連著晶體夾持部件15,晶體2的兩端固定在夾持部件15上。夾持部件15可采用圖3所示的結(jié)構(gòu),即它由上夾板16和下夾板17組成,晶體2被夾在其間。上、下夾板的結(jié)合面為斜面,其最佳傾角a約等于1.5°,這樣使晶體安裝后有一預(yù)緊力,以便克服安裝或加工時(shí)所產(chǎn)生的誤差。推桿3的上端與柔性鉸鏈組合體的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)13固聯(lián),另一端可與微位移器(圖中未畫(huà)出)接觸。柔性鉸鏈組合體1有四個(gè)鉸鏈臂18,每?jī)蓚€(gè)為一組,且相互對(duì)稱,鉸鏈臂18的傾角b約為73°,它們的軸線交點(diǎn)A即為壓彎晶體的旋轉(zhuǎn)點(diǎn),推桿3與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)13的聯(lián)結(jié)點(diǎn)正好位于交點(diǎn)A的正下方。工作時(shí)可通過(guò)微位器給兩個(gè)推桿3向外對(duì)稱施力,即可將晶體2向下壓彎。本實(shí)用新型在同步輻射光束線單色器弧矢聚焦晶體上試驗(yàn),其晶體壓彎面形誤差小于2arcsed。
      權(quán)利要求1.一種精密晶體的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu),其特征是由固定晶體兩端的晶體夾持部件(15)、具有兩個(gè)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(13)的多單軸柔性鉸鏈組合體(1)和推桿(3)組成,其中兩個(gè)晶體夾持部件(15)分別固定在前述柔性鉸鏈組合體的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(13)上,推桿(3)的一端與柔性鉸鏈組合體(1)的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(13)固定聯(lián)結(jié),且聯(lián)結(jié)點(diǎn)位于壓彎晶體旋轉(zhuǎn)點(diǎn)(A)的正下方。
      2.如權(quán)利要求1所述的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu),其特征是柔性鉸鏈組合體(1)是由八個(gè)單軸柔性鉸鏈(11)組合而成。
      3.如權(quán)利要求1或2所述的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu),其特征是晶體夾持部件(15)由上夾板(16)和下夾板(17)組成,晶體(2)被夾在其間,上、下夾板的結(jié)合面為斜面。
      專利摘要本實(shí)用新型是一種精密晶體的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)。由固定晶體兩端的夾持部件、具有兩個(gè)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的多單軸柔性鉸鏈組合體和推桿組成,其中晶體夾持部件固定在柔性鉸鏈組合體的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上,推桿的一端與鉸鏈組合體的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)固定聯(lián)結(jié),且聯(lián)結(jié)點(diǎn)位于壓彎晶體旋轉(zhuǎn)點(diǎn)的正下方。給推桿施力,柔性鉸鏈組合體的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)帶動(dòng)晶體夾持部件旋轉(zhuǎn),將晶體壓彎。本壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)靠自身的彈力恢復(fù),所以無(wú)機(jī)械回空現(xiàn)象。
      文檔編號(hào)G02F1/00GK2453467SQ0026139
      公開(kāi)日2001年10月10日 申請(qǐng)日期2000年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2000年12月14日
      發(fā)明者周泗忠, 付儇, 周仁魁 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所
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