專利名稱：光學(xué)器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有一個(gè)或多根光纖的光纖陣列或者具有一個(gè)或多個(gè)光波導(dǎo)的光學(xué)器件，更具體地，涉及適于在途中監(jiān)視通過(guò)此等光傳輸機(jī)構(gòu)進(jìn)行傳輸?shù)男盘?hào)光的光學(xué)器件。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有光通信技術(shù)中，通信質(zhì)量的監(jiān)視技術(shù)非常重要。其中，對(duì)于光輸出的監(jiān)視，特別是在波長(zhǎng)多路通信技術(shù)(wavelength multiplex communicationtechnology)領(lǐng)域中占有重要位置。
近年來(lái)，對(duì)這樣的光輸出監(jiān)視技術(shù)的小型化、高性能化、低成本化的要求日益提高。
以往，例如，已提出了日本特開2001-264594號(hào)公報(bào)中所公開的技術(shù)。該技術(shù)如圖18所示，在玻璃襯底200的V形槽內(nèi)配置光纖202，然后，對(duì)玻璃襯底200形成狹縫204使其斜向(相對(duì)于光軸)穿過(guò)光纖202。并且，將光反射基體(濾光器部件)206插入該狹縫204內(nèi)，再在其間隙中填充紫外線硬化樹脂(粘接劑)208。濾光器部件206具有襯底210和形成于該襯底210的主表面上的多層膜212。該多層膜212被設(shè)計(jì)成與襯底210的折射率和狹縫204內(nèi)填充的樹脂208的折射率相匹配(match)。
因此，在經(jīng)由光纖202傳輸?shù)男盘?hào)光214中，由濾光器部件206反射的光分量(反射光)216被提取到包層外。故而，可用諸如光接收元件來(lái)檢測(cè)該反射光216以監(jiān)視信號(hào)光214。
然而，迄今為止，狹縫204是平行溝，且狹縫204的內(nèi)壁表面、濾光器部件206的主表面(多層膜212的側(cè)面)、濾光器部件206的襯底210的表面及狹縫204的另一內(nèi)壁表面設(shè)計(jì)成互相平行。
此外，由于光纖202的折射率和樹脂208的折射率不同，且濾光器部件206的襯底210的折射率和樹脂208的折射率不同，故反射光226、228及230發(fā)生于狹縫204和樹脂208間的第一界面220、濾光器部件206的襯底210和樹脂208間的界面222、狹縫204和樹脂208間的第二界面224。
通常，由于狹縫204內(nèi)填充的樹脂208具有匹配折射率的功能，所以光纖202和樹脂208的折射率差很小。因此，由這樣小的折射率差引起的反射光226、228及230的輸出對(duì)輸入光(信號(hào)光214)的分貝數(shù)為負(fù)幾十dB。但是，由于光具有波動(dòng)性，所以導(dǎo)致了干涉。
因此，雖然由折射率差引起的反射光226、228及230的而功率較小，但是由于其出射方向與來(lái)自濾光器部件206的多層膜212的反射光216的出射方向大體相同，所以可對(duì)反射光216的特性施加影響。此外，在用插入相對(duì)于光軸方向斜向形成的狹縫204的濾光器部件206來(lái)進(jìn)行分光(dividing light)時(shí)，存在來(lái)自濾光器部件206的反射光216的特性容易受到來(lái)自上述第一及第二界面220及224等的反射光226、228及230的干涉的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是考慮了這些問(wèn)題而提出的，其目的是提供可減小由其它部分反射的光對(duì)來(lái)自濾光器部件的多層表面的反射光的干涉影響并可改善信號(hào)光監(jiān)視功功能的可靠性的光學(xué)器件。
本發(fā)明的光學(xué)器件的特征是，其具有光傳輸機(jī)構(gòu)，光傳輸機(jī)構(gòu)中設(shè)有的狹縫，插入上述狹縫內(nèi)、用來(lái)分離通過(guò)上述光傳輸機(jī)構(gòu)傳輸?shù)男盘?hào)光的一部分的濾光器部件，填充在上述狹縫內(nèi)的該狹縫和上述濾光器部件間的間隙中的樹脂；上述濾光器部件具有襯底和形成于該襯底主表面上的光學(xué)薄膜；當(dāng)將上述濾光器部件的上述光學(xué)薄膜一側(cè)的面定義為第一表面，將上述濾光器部件的襯底一側(cè)的面定義為第二表面，在上述狹縫的內(nèi)壁表面中，將與上述濾光器部件的上述第一表面相對(duì)的面定義為第一內(nèi)壁表面，將與上述濾光器部件的上述第二表面相對(duì)的面定義為第二內(nèi)壁表面時(shí)時(shí)，上述狹縫的第一內(nèi)壁表面、上述第二內(nèi)壁表面及上述濾光器部件的第二表面中的一個(gè)或多個(gè)與上述濾光器部件的第一表面不平行。
在上述狹縫的第一內(nèi)壁表面、上述第二內(nèi)壁表面及上述濾光器部件的第二表面中，由于由與上述濾光器部件的第一表面不平行的面所反射(分離)的光的出射方向與來(lái)自濾光器部件的第一表面的反射光(分離光)的出射方向不同，所以可減小對(duì)來(lái)自上述第一表面的反射光的干涉影響。這可改善信號(hào)光監(jiān)視功能的可靠性。
在此，雖然在濾光器部件主表面上形成的光學(xué)薄膜也有單層的情況，但在大多情況下都采用具有最佳設(shè)計(jì)的多層膜的光學(xué)薄膜。此外，濾光器部件的主表面不但可配置于光的入射側(cè)，也可配置于出射側(cè)。
上述兩個(gè)不平行表面所成角度最好大于等于0.5°。這是因?yàn)?，如果小?.5°，則不能達(dá)到減小對(duì)來(lái)自上述第一表面的反射光的干涉影響。
而且，在上述結(jié)構(gòu)中，將上述濾光器部件的第一表面、上述濾光器部件的第二表面、上述狹縫的第一內(nèi)壁表面及上述狹縫的第二內(nèi)壁表面與上述信號(hào)光光軸所在的鉛直面相交并將形成的線段分別定義為第一線段、第二線段、第三線段及第四線段時(shí)，上述第二線段、上述第三線段及上述第四線段中的一個(gè)或多個(gè)線段與上述第一線段可不平行。
或者，也可以是上述第一線段與上述第二線段互相不平行，上述第三線段與上述第四線段互相不平行，上述第一線段與上述第三線段互相不平行。
或者，也可以是上述第一線段與上述第二線段互相平行，上述第三線段與上述第四線段互相平行，上述第一線段與上述第三線段互相不平行。
或者，也可以是上述第一線段與上述第二線段互相不平行，上述第三線段與上述第四線段互相平行，上述第一線段與上述第三線段互相不平行。
或者，也可以是上述第一線段與上述第二線段可互相平行，上述第三線段與上述第四線段互相不平行，上述第一線段與上述第三線段互相不平行。
而且，將上述濾光器部件的第一表面、上述濾光器部件的第二表面、上述狹縫的第一內(nèi)壁表面及上述狹縫的第二內(nèi)壁表面與上述信號(hào)光光軸所在的水平面相交所形成的線段分別定義為第五線段、第六線段、第七線段及第八線段時(shí)，上述第六線段、上述第七線段及上述第八線段中的一個(gè)或多個(gè)線段與上述第五線段可不平行。
或者，也可以是上述第七線段與上述第八線段互相平行，上述第五線段與第七線段互相不平行。
此外，本發(fā)明的光學(xué)器件的特征是，其具有多個(gè)光傳輸機(jī)構(gòu)，上述多個(gè)光傳輸機(jī)構(gòu)中共同設(shè)有的狹縫，插入上述狹縫內(nèi)、用來(lái)分離通過(guò)上述多個(gè)光傳輸機(jī)構(gòu)傳輸?shù)男盘?hào)光的各一部分的一個(gè)濾光器部件，填充在上述狹縫內(nèi)的該狹縫和上述濾光器部件間的間隙中的樹脂；上述濾光器部件具有至少與上述狹縫相對(duì)的曲面。
因此，通過(guò)多個(gè)光傳輸機(jī)構(gòu)，狹縫的與濾光器部件相對(duì)的面和濾光器部件的與狹縫相對(duì)的面互相不平行，且濾光器部件的表面和背面互相不平行。因此，可減小對(duì)來(lái)自濾光器部件的表面的反射光的干涉影響。這可改善信號(hào)光監(jiān)視功能的可靠性。
本發(fā)明的光學(xué)器件的特征是，其具有光傳輸機(jī)構(gòu)，光傳輸機(jī)構(gòu)中設(shè)有的狹縫，插入上述狹縫內(nèi)、用來(lái)分離通過(guò)上述光傳輸機(jī)構(gòu)傳輸?shù)男盘?hào)光的一部分的濾光器部件，填充在上述狹縫內(nèi)的該狹縫和上述濾光器部件間的間隙中的樹脂；上述濾光器部件具有襯底和形成于該襯底主表面上的光學(xué)薄膜；當(dāng)將上述濾光器部件的上述光學(xué)薄膜一側(cè)的面定義為第一表面，將上述濾光器部件的襯底一側(cè)的面定義為第二表面，在上述狹縫的內(nèi)壁表面中，將與上述濾光器部件的上述第一表面相對(duì)的面定義為第一內(nèi)壁表面，將與上述濾光器部件的上述第二表面相對(duì)的面定義為第二內(nèi)壁表面時(shí)，至少上述濾光器部件的上述第二表面是粗糙表面。
通常，來(lái)自濾光器部件第一表面的反射光依據(jù)濾光器部件的厚度等而受到來(lái)自濾光器部件第二表面的反射光發(fā)生的強(qiáng)烈干涉。然而，在本發(fā)明中，由于濾光器部件的第二表面做成粗糙表面，由于來(lái)自濾光器部件的第二表面的反射光隨機(jī)地射出而成為散射光，所以可減小對(duì)來(lái)自濾光器部件第一表面的反射光的干涉影響。
而且，在上述結(jié)構(gòu)中，上述狹縫的上述第一內(nèi)壁表面及上述第二內(nèi)壁表面也可以是粗糙表面。這樣，可有效地減小由來(lái)自狹縫的第一內(nèi)壁表面和第二內(nèi)壁表面的反射光所引起的干涉影響。
作為上述粗糙表面的面，其表面粗糙度Rt最好是0.05μm≤Rt≥2μm。
此外，在上述結(jié)構(gòu)中，至少上述濾光器部件的底面的一部分可以與上述狹縫的底部接觸。這時(shí)，僅通過(guò)使濾光器部件的底面的一部分與狹縫的底部接觸，便可使濾光器部件保持所期望的角度，組裝也變得容易進(jìn)行。
如上上述，若采用本發(fā)明的光學(xué)器件，可減小其它部分的反射光對(duì)來(lái)自濾光器部件的多層膜面的反射光的干涉影響，并可改善信號(hào)光監(jiān)視功能的可性。


圖1是表示從正面見到的第一實(shí)施例的光學(xué)器件的剖視圖。
圖2是表示從側(cè)面見到的第一實(shí)施例的光學(xué)器件的剖視圖。
圖3是放大表示第一實(shí)施例的光學(xué)器件的重要部分的剖視圖。
圖4是放大表示第一實(shí)施例的光學(xué)器件的第一變形例的重要部分的剖視圖。
圖5是放大表示第一實(shí)施例的光學(xué)器件的第二變形例的重要部分的剖視圖。
圖6是放大表示了已擴(kuò)大的第一實(shí)施例的光學(xué)器件的第三變形例的重要部分的剖視圖。
圖7是放大表示第一實(shí)施例的光學(xué)器件的第四變形例的重要部分的剖視圖。
圖8是放大表示第一實(shí)施例的光學(xué)器件的第五變形例的重要部分的剖視圖。
圖9是放大表示第一實(shí)施例的光學(xué)器件的第六變形例的重要部分的剖視圖。
圖10是放大表示第一實(shí)施例的光學(xué)器件的第七變形例的重要部分的剖視圖。
圖11是放大表示第一實(shí)施例的光學(xué)器件的第八變形例的重要部分的剖視圖。
圖12是放大表示第一實(shí)施例的光學(xué)器件的第九變形例的重要部分的剖視圖。
圖13是放大表示第二實(shí)施例的光學(xué)器件的重要部分的剖視圖。
圖14是放大表示第三實(shí)施例的光學(xué)器件的重要部分的剖視圖。
圖15是放大表示第四實(shí)施例的光學(xué)器件的重要部分的剖視圖。
圖16是放大表示第四實(shí)施例的光學(xué)器件的變形例的重要部分的剖視圖。
圖17是放大表示第四實(shí)施例的光學(xué)器件的重要部分的剖視圖。
圖18是放大表示現(xiàn)有技術(shù)例子的光學(xué)器件的重要部分的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照?qǐng)D1-圖17來(lái)說(shuō)明將本發(fā)明的光學(xué)器件應(yīng)用于例如4信道單列式功率監(jiān)視模塊的實(shí)施例。
第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A，如圖1及圖2所示，具有玻璃襯底12，由固定于在該玻璃襯底12上所設(shè)置的多個(gè)V形槽14中的多條光纖15構(gòu)成的光纖陣列16，從各光纖15的上表面延伸到玻璃襯底12中所設(shè)置的狹縫18(參照?qǐng)D2)，插入到該狹縫18內(nèi)的分光部件(濾光器部件)20(參照?qǐng)D2)，排列著用于檢測(cè)由各光纖15傳輸?shù)男盘?hào)光22中、至少由濾光器部件20等反射的光(反射光)的多個(gè)活性層26的PD(光電二極管)陣列28，用于安裝PD陣列28并使其朝向光纖陣列16固定的輔助固定件30以及至少用于穩(wěn)定地固定PD陣列28的襯墊32。此外，狹縫18的兩個(gè)端面和濾光器部件20的表面及背面起到了分光部33(參照?qǐng)D2)的作用以分離由光纖15傳輸?shù)男盘?hào)光22的一部分。而且，如圖3所示，光纖15具有內(nèi)芯40和包層42。
即，該第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A具有形成有V形槽14的襯底12，固定于襯底12的V形槽14中、且在各光纖15上設(shè)有分光功能(狹縫18、濾光器部件20等)的光纖陣列16，通過(guò)粘接層52固定在各光纖15的外包層中、至少因分光功能而產(chǎn)生的分離光24的光程上的PD陣列28以及用于安裝該P(yáng)D陣列28的輔助固定件30，且該輔助固定件30設(shè)置成使PD陣列28的安裝面朝向玻璃襯底12。
此外，在此，由于用多根根光纖15表示構(gòu)成光纖陣列16的例子，因而“各光纖15”指的是“四根光纖中的每根”。但是，由于也可由一根光纖15構(gòu)成光纖陣列16，所以，這時(shí)，“各光纖”或“多根光纖”也可讀作“一根光纖”。
考慮到隨后加工狹縫18時(shí)光纖陣列16的各光纖15所受的負(fù)荷，形成于玻璃襯底12上的V形槽14的角度最好大于等于45°；反之，為制造無(wú)蓋光纖陣列，為確保提供足量的粘接劑(＝粘接強(qiáng)度)，該角度最好小于等于95°。在本第一實(shí)施例中，角度是70°。
將光纖陣列16固定到玻璃襯底12上的過(guò)程是首先，將光纖陣列16放置于V形槽14中，并在該狀態(tài)下涂抹紫外線硬化型粘接劑，然后從光纖陣列16的背面及上方照射紫外線以使上述粘接劑完全硬化。
狹縫18的傾斜角度α(參照?qǐng)D2)，即與鉛直面所成角度，最好是15°-25°。如果傾斜角度α過(guò)小，則來(lái)自濾光器部件20的分離光24散布過(guò)大，在用于多信道(multichannel)的情況下會(huì)導(dǎo)致串?dāng)_(crosstalk)的惡化。另一方面，如果傾斜角度過(guò)大，則來(lái)自濾光器部件20的分離光24的偏振依賴性(polarization dependency)增大，并趨向于特性的降低。
如圖3所示，濾光器部件20具有石英襯底54、形成于該石英襯底54的主面上的分離用的多層膜56?？紤]到該濾光器部件20的操作等的情況，雖然濾光器部件20的材料可以是塑料材料、高分子材料、聚酰亞胺材料，但是由于狹縫18的傾斜角度α大到15°-25°，所以為了抑制由于折射而產(chǎn)生的透射一側(cè)的光軸偏離，濾光器部件20的材料最好由與光纖15(石英)具有相同折射率的材料制成。
此外，在狹縫18內(nèi)的該狹縫18與濾光器部件20間的間隙中填充有紫外線硬化樹脂(粘接劑)19。該樹脂19使用硅系樹脂，使其折射率與光纖15的內(nèi)芯40的折射率及濾光器部件20的石英襯底54的折射率大體相同。
如圖2所示，PD陣列28的構(gòu)造采用背面入射型?；钚詫?6的上部(輔助固定件30一側(cè))有各向異性導(dǎo)電糊狀物58而不是Au焊劑及電極或銀的糊狀物。從串?dāng)_的觀點(diǎn)看，該部分最好是各向異性導(dǎo)電糊狀物58和空氣等反射率低的材料，而不是Au等反射率高的材料。當(dāng)然，也可以使用表面入射型PD陣列作為PD陣列28。
背面入射型PD陣列28的光接收部分(活性層26)的直徑約為60μm。光接收部分(活性層26)的直徑最好為40-80μm。這是因?yàn)椋绻睆叫∮?0μm，則由于光接收部分(活性層26)過(guò)小，從而使PD光接收效率下降。大于等于80μm時(shí)，則PD陣列28易于得到雜散光(stray light)，從而可增大串?dāng)_。
此外，輔助固定件30的安裝構(gòu)造采用了光纖15-PD陣列28-輔助固定件30這樣的結(jié)構(gòu)。雖然也可采用光纖15-輔助固定件30-PD陣列28的結(jié)構(gòu)，但是，這時(shí)由于輔助固定件30存在于光纖15和PD陣列28之間，所以分離光24的光程變長(zhǎng)，則分離光24的散布變大，而從PD光接收效率和串?dāng)_的觀點(diǎn)來(lái)看這是不利的。此外，輔助固定件30的構(gòu)成材料是Al2O3。
背面入射型PD陣列28在其活性層26一側(cè)(輔助固定件30一側(cè))上配置有正電極和負(fù)電極，且用Au電極圖案60在輔助固定件30上模形成共用的負(fù)電極和各信道的正電極的圖案。在對(duì)應(yīng)于各信道的正電極及負(fù)電極的部分設(shè)有Au突點(diǎn)(bump)62，且在活性層26的部分上填充有各向異性導(dǎo)電糊狀物58。采用Au突點(diǎn)62這種結(jié)構(gòu)的目的除用于實(shí)現(xiàn)可靠的導(dǎo)通外，通過(guò)增加活性層26和輔助固定件30的電極間距離，還可用于減小由該部分內(nèi)的反射和散射所引起的雜散光。各向異性導(dǎo)電糊狀物58通過(guò)加熱，從而具有使該各向異性導(dǎo)電糊狀物58內(nèi)具有的銀等導(dǎo)電物質(zhì)聚集成Au突點(diǎn)62那樣的導(dǎo)電性物質(zhì)的集中處。這樣，只在其與Au電極圖案60之間具有導(dǎo)電性。
此外，為了抑制由折射率差所引起的反射，在輔助固定件30的下表面內(nèi)與活性層26對(duì)應(yīng)的部分上涂覆有未圖示的SiN。
而且，在輔助固定件30的安裝面上用例如紫外線硬化型粘接劑固定著用于確定光纖陣列16和PD陣列28間的間隙的襯墊32。
而且，如圖3所示，在該第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A中，將濾光器部件20的多層膜56一側(cè)的面定義為第一表面70，并將濾光器部件20的石英襯底54一側(cè)的面定義為第二表面72，將狹縫18的內(nèi)壁表面中朝向?yàn)V光器部件20的第一表面70的面定義為第一內(nèi)壁表面74，并將朝向?yàn)V光器部件20的第二表面72的面定義為第二內(nèi)壁表面76時(shí)，狹縫18的第一內(nèi)壁表面74、第二內(nèi)壁表面76及濾光器部件20的第二表面72中的一個(gè)或多個(gè)面與濾光器部件20的第一表面70不平行。在此，“不平行”指的是形成該不平行的兩個(gè)面所夾的角度為大于等于0.5°。
具體地，在該第一實(shí)施例中，將濾光器部件20的第一表面70與信號(hào)光22的光軸所在的鉛直面相交所形成的線段定義為第一線段80，將濾光器部件20的第二表面72與上述鉛直面相交所形成的線段定義為第二線段82，將狹縫18的第一內(nèi)壁表面74與上述鉛直面相交所形成的線段定義為第三線段84，將狹縫18的第二內(nèi)壁表面76與上述鉛直面相交所形成的線段定義為第四線段86時(shí)，則第一線段80和第二線段82互相不平行，第三線段84和第四線段86互相不平行，第一線段80和第三線段84互相不平行。此外，狹縫18的傾斜角度α和第一線段80的傾斜角度(與鉛直線所成的角度)β的大小關(guān)系是α＜β。此外，PD陣列28(參照?qǐng)D2)被設(shè)置于從濾光器部件20的多層膜56的表面(第一表面70)反射的光24的光程上。
因此，因?yàn)橛瑟M縫18的第一內(nèi)壁表面74的部分(狹縫18的第一內(nèi)壁表面74一側(cè)和樹脂19的界面)反射的光90，由狹縫18的第二內(nèi)壁表面76的部分(狹縫18的第二內(nèi)壁表面76一側(cè)和樹脂19的界面)反射的光92及由濾光器部件20的第二表面72的部分(石英襯底54和樹脂19的界面)反射的光94的各出射方向分別與由濾光器部件20的第一表面70的部分(濾光器部件20的多層膜56和樹脂19的界面)反射的光24的出射方向不同，因此，可減小其它反射光90、92、94等對(duì)該反射光(分離光)24的干涉影響。這可改善信號(hào)光22監(jiān)視功能可靠性。
其次，參照?qǐng)D4-圖12說(shuō)明第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A的幾個(gè)變形例。
首先，如圖4所示，雖然第一變形例的光學(xué)器件10Aa與上述第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A具有大體相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)是濾光器部件20的第一線段80與濾光器部件20的第二線段82互相平行，狹縫18的第三線段84與狹縫18的第四線段86互相平行，濾光器部件20的第一線段80與狹縫18的第三線段84互相不平行。
如圖5所示，雖然第二變形例的光學(xué)器件10Ab與上述第一變形例的光學(xué)器件10Aa具有大體相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)是狹縫18的傾斜角度α和第一線段80的傾斜角度β的大小關(guān)系是α＞β。
如圖6所示，雖然第三變形例的光學(xué)器件10Ac與上述第一變形例的光學(xué)器件10Aa具有大體相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)是濾光器部件20的第一線段80與濾光器部件20的第二線段82互相不平行。
如圖7所示，雖然第四變形例的光學(xué)器件10Ad與上述第一變形例的光學(xué)器件10Aa具有大體相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)是狹縫18的第三線段84與狹縫18的第四線段86互相不平行。
如圖8所示，雖然第五變形例的光學(xué)器件10Ae與上述第三變形例的光學(xué)器件10Ac具有大體相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)如下
即，狹縫18的傾斜角度α和第一線段80的傾斜角度β的大小關(guān)系是α＞β。此外，濾光器部件20的底面20a接觸到狹縫18的底部18a。這時(shí)，僅使濾光器部件20的底面20a與狹縫18的底部18a接觸便可令濾光器部件20保持所期望的角度β，組裝作業(yè)也容易。
如圖9所示，雖然第六變形例的光學(xué)器件10Af與上述第五變形例的光學(xué)器件10Ae具有大體相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)是濾光器部件20的第一線段80、第二線段82及狹縫18的第四線段86互相平行，且濾光器部件20的底面20a接觸狹縫18的底部18a。
如圖10所示，雖然第七變形例的光學(xué)器件10Ag與上述第二變形例的光學(xué)器件10Ab具有大體相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)如下首先，濾光器部件20的第二線段82內(nèi)的從底面20a未到達(dá)與光纖15的內(nèi)芯40對(duì)應(yīng)的部分的線段(表示為第二線段82的下部分82a)的角度，與上述第二線段82內(nèi)的包含與光纖15的內(nèi)芯40對(duì)應(yīng)的部分的線段(表示為第二線段82的上部分82b)的角度不同。即，濾光器部件20的第二表面72在中途彎折。
此外，狹縫18的第三線段84與第四線段86互相平行。濾光器部件20的第二線段82的下部分82a的角度與狹縫18的第四線段86的角度大體相同。濾光器部件20的第二線段82的上部分82b與濾光器部件20的第一線段80互相平行。濾光器部件20的底面20a與狹縫18的底部18a接觸。
即，該光學(xué)器件10Ag的形態(tài)是在由狹縫18的底部18a和第二內(nèi)壁表面76形成的彎折面與由濾光器部件20的底表面20a和第二表面72的下側(cè)的表面72a(對(duì)應(yīng)于第二線段82的下部分82a的面)形成的彎折面接觸。
因此，在組裝中，在將濾光器部件20插入狹縫18內(nèi)時(shí)，只需通過(guò)將濾光器部件20的上述彎折面對(duì)齊狹縫18的上述彎折面，便可簡(jiǎn)單地將濾光器部件20以所期望角度臨時(shí)固定于狹縫18內(nèi)，從而使后面的組裝變得容易。
接著，如圖11所示，雖然第八變形例的光學(xué)器件10Ah與上述第七變形例的光學(xué)器件10Ag具有大體相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)如下首先，濾光器部件20的第一線段80與第二線段82互相平行。濾光器部件20的底面20a與狹縫18的底部18a接觸。此外，濾光器部件20的第一表面70的下端部與狹縫18的第一內(nèi)壁表面74的下端部接觸，且濾光器部件20的第二表面72的上端部與狹縫18的第二內(nèi)壁表面76的上端部接觸。
這時(shí)，也與上述第七變形例的光學(xué)器件10Ag同樣，在組裝中，在將濾光器部件20插入狹縫18內(nèi)以使濾光器部件20的底面20a與狹縫18的底部18a接觸的階段，可簡(jiǎn)單地將濾光器部件20以所期望的角度臨時(shí)固定于狹縫18內(nèi)，從而使后面的組裝變得容易。
接著，如圖12所示，雖然第九變形例的光學(xué)器件10Ai與上述第六變形例的光學(xué)器件10Af具有大體相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)如下狹縫18的第三線段內(nèi)的從底部18a未到達(dá)與光纖15的內(nèi)芯40對(duì)應(yīng)的部分的線段(表示為第三線段84的下部分84a)的角度，與上述第三線段84內(nèi)的包含與光纖15的內(nèi)芯40對(duì)應(yīng)的對(duì)應(yīng)于部分的線段(表示為第三線段84的上部分84b)的角度不同。即，濾光器部件20的第一內(nèi)壁表面74在中途彎折。
這可以從現(xiàn)有的實(shí)際構(gòu)造，即，在濾光器部件20的第一表面70和第二表面72與狹縫18的第一內(nèi)壁表面74和第二內(nèi)壁表面76都大體上互相平行的構(gòu)造中，僅通過(guò)從上部切入到狹縫18的第一內(nèi)壁表面74中，即制成第九變形例的光學(xué)器件10Ai。這與制作第一-第八變形例的光學(xué)器件10Aa-10Ah的情況相比還能更簡(jiǎn)單地制作，而且，可自由改變狹縫18和濾光器部件20的角度差。當(dāng)然，還可以迅速地應(yīng)對(duì)該光學(xué)器件品種規(guī)格的變更等。
即使在這些第一-第九變形例的光學(xué)器件10Aa-10Ai中，也與上述第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A同樣，可減小其它反射光90、92及94等對(duì)來(lái)自濾光器部件20的第一表面70的部分的反射光24的干涉影響，并可改善信號(hào)光22監(jiān)視功能的可靠性。
其次，參照?qǐng)D13說(shuō)明第二實(shí)施例的光學(xué)器件10B。
如圖13所示，在該第二實(shí)施例的光學(xué)器件10B中，將濾光器部件20的第一表面70與信號(hào)光22的光軸所在水平面相交所形成的線段定義為第五線段100，將濾光器部件20的第二表面72與上述水平面相交所形成的線段定義為第六線段102，將狹縫18的第一內(nèi)壁表面74與上述水平面相交所形成的線段定義為第七線段104，將狹縫18的第二內(nèi)壁表面76與上述水平面相交所形成的線段定義為第八線段106時(shí)，則第七線段104和第八線段106互相平行，第五線段100和第七線段104互相不平行。
這時(shí)也與上述第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A同樣，可減小其它反射光90、92、94等對(duì)來(lái)自濾光器部件20的第一表面70的部分的反射的反射光24(參照?qǐng)D2)的干涉影響，并可改善信號(hào)光22監(jiān)視功能的可靠性。
在該第二實(shí)施例中，第五線段100與第七線段104也可以互相不平行而不管其它線段的關(guān)系。例如，第五線段100與第六線段102可互相平行或不平行，而第五線段100與第八線段106也可互相平行或不平行。同樣，第六線段102與第七線段104可互相平行或不平行，而第六線段102與第八線段106也可互相平行或不平行。
其次，參照?qǐng)D14說(shuō)明第三實(shí)施例的光學(xué)器件10C。
如圖14所示，該第三實(shí)施例的光學(xué)器件10C與上述第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A具有大體相同的構(gòu)造。特別地，例如，對(duì)于由七根光纖15構(gòu)成的光纖陣列16共同設(shè)置一個(gè)狹縫18，且將一個(gè)濾光器部件20插入狹縫18內(nèi)，并在該狹縫18內(nèi)的該狹縫18和濾光器部件20的間隙內(nèi)填充樹脂19。
而且，濾光器部件20的至少與狹縫18的第一內(nèi)壁表面74相對(duì)的面(第一表面)70朝向上述第一內(nèi)壁表面74彎曲成凹狀。彎曲程度最好是濾光器部件20的中央部分和兩端部分的差大于等于5μm小于等于100μm。這是因?yàn)?，小?μm時(shí)，難以設(shè)置期望的角度，大于100μm時(shí)，難以插入濾光器部件20。
這樣，在第三實(shí)施例的光學(xué)器件10C中，對(duì)于7條光線15，與狹縫18的濾光器部件20相對(duì)的面(第一內(nèi)壁表面)74和與濾光器部件20的狹縫18的第一內(nèi)壁表面74相對(duì)的面(第一表面)70互相不平行，進(jìn)而，濾光器部件20的第一表面70與第二表面72互相不平行。因此，可減小其它反射光90、92、94等對(duì)來(lái)自濾光器部件20的多層膜56的表面的反射光24的干涉影響，并可改善信號(hào)光22監(jiān)視功能的可靠性。
作為彎曲濾光器部件20的方法有，例如，可通過(guò)在石英襯底54的表面所形成的多層膜56的結(jié)構(gòu)很容易地實(shí)現(xiàn)。即，通過(guò)形成多層膜56，因?yàn)閷?duì)石英襯底產(chǎn)生應(yīng)力，石英襯底54由多層膜56所形成的面而彎曲成凹狀。彎曲的程度可根據(jù)構(gòu)成多層膜56的各層膜的厚度和材料及多層膜56的層數(shù)等進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整。
作為其它方法，也最好采用通過(guò)改變石英襯底54的表面和背面的加工精度(例如，拋光度)以使石英襯底54彎曲的方法。在石英襯底54內(nèi)，可使形成多層膜56的表面的加工精度較高(例如，以加工符號(hào)表示)，背面的加工精度較低(例如，以加工符號(hào)表示)。
此外，作為其它方法，也最好采用通過(guò)在精制石英襯底54時(shí)，對(duì)石英襯底54的表面及背面吹風(fēng)，進(jìn)而改變吹到表面和背面的風(fēng)量以使石英襯底54彎曲的方法。通過(guò)使對(duì)石英襯底54的表面的風(fēng)量大于對(duì)背面的風(fēng)量，則在精制時(shí)的石英襯底54的表面所產(chǎn)生的壓縮應(yīng)力比背面所產(chǎn)生的壓縮應(yīng)力高，這樣就在精制結(jié)束了的階段制成表面(形成多層膜56的面)一側(cè)呈凹狀彎曲的石英襯底54。
其次，參照?qǐng)D15說(shuō)明第四實(shí)施例的光學(xué)器件10D。
如圖15所示，該第四實(shí)施例的光學(xué)器件10D與上述第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A具有大體相同的構(gòu)造，但不同點(diǎn)是濾光器部件20的第一表面70、狹縫18的第一內(nèi)壁表面74與狹縫18的第二內(nèi)壁表面76互相平行，且濾光器部件20的第二表面72(石英襯底54背面)是粗糙表面。
當(dāng)然，濾光器部件20的第一表面70與狹縫18的第一內(nèi)壁表面74也可互相不平行。
通常，來(lái)自濾光器部件20的第一表面70(多層膜56的表面)的反射光因由濾光器部件20的厚度等而受到來(lái)自濾光器部件20的第二表面72的反射光的強(qiáng)烈干涉。此外，來(lái)自狹縫18的第一內(nèi)壁表面74的部分的反射光和來(lái)自狹縫18的第二內(nèi)壁表面76的部分的反射光的干涉比來(lái)自上述第二表面72的反射光的干涉小。
在該第三實(shí)施例中，由于將濾光器部件20的第二表面72做成粗糙表面，所以來(lái)自濾光器部件20的第二表面72的反射光隨機(jī)射出而成為散射光。因此，可有效地降低來(lái)自第二表面72的反射光對(duì)來(lái)自濾光器部件20的第一表面70的反射光的干涉影響，并可有效地改善信號(hào)光22監(jiān)視功能的可靠性。
作為將石英襯底54背面做成粗糙表面的方法有，例如，在加工石英襯底54時(shí)，使用粒度數(shù)低顆粒較粗的磨具進(jìn)行研磨的方法。最好采用用氫氟酸等化學(xué)藥品蝕刻的方法。此外，也可采用激光加工使光纖熔融以改變表面狀態(tài)的方法，或用同樣的激光只改變內(nèi)芯附近形狀的方法。
此外，在用旋涂(spin coating)制作石英襯底54時(shí)，通過(guò)在旋涂件的表面預(yù)先形成凹凸，從而可將上述凹凸轉(zhuǎn)印到石英襯底54的背面。
在用玻璃壓制制作石英襯底54時(shí)，通過(guò)預(yù)先將金屬模具中的用于形成石英襯底54的背面的部分做成粗糙表面，從而可在壓制結(jié)束時(shí)將金屬模具的上述粗糙表面轉(zhuǎn)印到石英襯底54的背面上。
在上述第四實(shí)施例的光學(xué)器件10D中，雖然只將濾光器部件20的第二表面72做成粗糙表面，但是，如圖16所示的變形例的光學(xué)器件10Da那樣，狹縫18的第一內(nèi)壁表面74和第二內(nèi)壁表面76等其它面也可都做成粗糙表面。這時(shí)，由于來(lái)自狹縫18的第一內(nèi)壁表面74的部分的反射光和來(lái)自狹縫18的第二內(nèi)壁表面76的部分的反射光均為散射光，所以可進(jìn)一步減小對(duì)來(lái)自濾光器部件20的第一表面70的反射光的干涉影響。
此外，如圖17所示的第五實(shí)施例的光學(xué)器件10E那樣，將具有固定第一光纖陣列16A的V形槽14A的第一玻璃襯底12A的端面和具有固定第二光纖陣列6B的V形槽14B的第二玻璃襯底12B的端面，以及第一光纖陣列16A的端面與第二光纖陣列16B的端面通過(guò)分光部件20結(jié)合在一起。這時(shí)，通過(guò)對(duì)第一及第二光纖陣列16A及16B進(jìn)行調(diào)整使其互相對(duì)準(zhǔn)中心，并分別固定于第一及第二玻璃襯底的各V形槽14A及14B中。根據(jù)該第五實(shí)施例，其與第一-第四實(shí)施例的光學(xué)器件10A-10D不同，不必考慮增大狹縫18的深度時(shí)所發(fā)生的玻璃襯底12強(qiáng)度下降的問(wèn)題。
在上述第一-第五實(shí)施例的光學(xué)器件10A-10E中，雖表示了適用于多根光纖15排列成的光纖陣列16的例子，但是，也可適用于例如在LN襯底上排列形成的由多個(gè)光波導(dǎo)成的光波導(dǎo)陣列。
其次，說(shuō)明根據(jù)第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A的應(yīng)用例子。首先，通過(guò)研磨加工來(lái)制作用于單列式光纖陣列16的玻璃襯底12。
作為玻璃襯底12的材料，使用了硼硅酸鹽玻璃(在此，具體使用Pyrex(注冊(cè)商標(biāo))玻璃材料)。玻璃襯底12的尺寸是長(zhǎng)16mm、厚1mm，用于使光纖陣列16整齊排列的V形槽14通過(guò)研磨加工形成間距為250μm、深度為90μm的12條。
接著，進(jìn)行光纖陣列16的組裝。光纖陣列16使用間距為250μm的12芯光纖帶保護(hù)套的帶型組件(12-core tape-armored fiber assembly)。將12芯光纖帶保護(hù)套的帶型組件的中間保護(hù)套剝?nèi)ィ怪虚g保護(hù)套被剝?nèi)サ牟糠值拈L(zhǎng)度為12mm，然后將其放置于玻璃襯底12的V形槽14中，并用紫外線硬化型粘接劑固定。
然后，對(duì)光纖陣列16進(jìn)行狹縫18的加工。狹縫18寬30μm、深200μm、傾斜角度α為20°。
然后，制作濾光器部件20。通過(guò)蒸鍍?cè)谑⒁r底54上形成例如從氧化鉭、石英、礬土、氧化鈦等任意選擇的多層膜56，然后將形成有多層膜56的石英襯底54加工成厚20μm、長(zhǎng)5mm、寬200μm的形狀并制作成濾光器部件20。傾斜角度設(shè)計(jì)成20°、分離比率為透射率93％、反射率7％。
其后，將濾光器部件20插入狹縫18內(nèi)，再在定位階段進(jìn)行調(diào)整，使濾光器部件20的第一表面70對(duì)光軸的傾斜角度β為例如20.5°-21。將濾光器部件20插入狹縫18內(nèi)，并在以上述傾斜角度β固定的狀態(tài)下將樹脂19填充到狹縫18內(nèi)。樹脂19使用折射率與光纖15的內(nèi)芯40的折射率大體相同的硅系樹脂。在填充樹脂19后，使該樹脂19硬化。
其后，將PD陣列28安裝到輔助固定件30上。PD陣列28的信道數(shù)為12信道，尺寸為高150μm、寬420μm、長(zhǎng)3mm。
PD陣列28的構(gòu)造與第一實(shí)施例的光學(xué)器件10A同樣，采用背面入射型?；钚詫?6的上部(輔助固定件30一側(cè))填充了各向異性導(dǎo)電糊狀物58。
其次，進(jìn)行PD陣列的調(diào)心。具體地，將用于確定光纖陣列16和PD陣列28的間距的襯墊32安裝在輔助固定件30上。
襯墊32的構(gòu)成材料是硼硅酸鹽玻璃，這時(shí)，具體為Pyrex(注冊(cè)商標(biāo))玻璃材料。此外，間隙長(zhǎng)度設(shè)定為10μm。即，由于包括Au突點(diǎn)62的PD陣列28的厚度是190μm，所以襯墊32定為200μm。
而且，為了使PD陣列28的活性層26位于來(lái)自濾光器部件20的第一表面70的反射光24的光程上，一邊對(duì)PD陣列28進(jìn)行調(diào)心，一邊通過(guò)襯墊32將輔助固定件30安裝在光纖陣列16上。
而且，對(duì)應(yīng)用例子的光學(xué)器件進(jìn)行了測(cè)定評(píng)價(jià)。由折射率差引起的反射光的影響，呈現(xiàn)隨著PD陣列28因溫度變化引起的光接收效率的特性變化和PD陣列28在高溫高濕試驗(yàn)后的光接收效率的特性變化而變得更顯著。因此，就這兩點(diǎn)與比較例一起進(jìn)行評(píng)估。
比較例具有的結(jié)構(gòu)是，在第1實(shí)施例的光學(xué)器件10A中，將狹縫18的傾斜角度α與濾光器部件20的第一表面70的傾斜角度β的差設(shè)定成小于0.5度。
在比較例中，由溫度變化所引起的光接收效率變化約為0.5dB。此外，高溫高濕試驗(yàn)后的光接收效率變化也約為0.5dB。
另一方面，應(yīng)用例子的光學(xué)器件，由溫度變化所引起的光接收效率變化及高溫高濕試驗(yàn)后的光接收效率變化均為0.1dB左右，因此可知，幾乎看不到特性的變化。
此外，本發(fā)明的光學(xué)器件不限于上述實(shí)施例，只要不脫離本發(fā)明主旨，當(dāng)然可采用各種結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)器件，其特征是具有光傳輸機(jī)構(gòu)(15)、上述光傳輸機(jī)構(gòu)(15)中設(shè)有的狹縫(18)、插入上述狹縫(18)內(nèi)、用來(lái)分離通過(guò)上述光傳輸機(jī)構(gòu)(15)傳輸?shù)男盘?hào)光(22)的一部分的濾光器部件(20)、填充在上述狹縫(18)內(nèi)的上述狹縫(18)和上述濾光器部件(20)間的間隙中的樹脂(19)；上述濾光器部件(20)具有襯底(54)和形成于上述襯底(54)的主表面上的光學(xué)薄膜(56)；當(dāng)將上述濾光器部件(20)的上述光學(xué)薄膜(56)一側(cè)的面定義為第一表面(70)，將上述濾光器部件(20)的上述襯底(54)一側(cè)的面定義為第二表面(72)，在上述狹縫(18)的內(nèi)壁表面中，將與上述濾光器部件(20)的上述第一表面(70)相對(duì)的面定義為第一內(nèi)壁表面(74)，將與上述濾光器部件(20)的上述第二表面(76)相對(duì)的面定義為第二內(nèi)壁表面(76)時(shí)，上述狹縫(18)的第一內(nèi)壁表面(74)、上述第二內(nèi)壁表面(76)及上述濾光器部件(20)的上述第二表面(72)中的一個(gè)或多個(gè)面與上述濾光器部件(20)的第一表面(70)不平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)器件，其特征在于上述不平行的兩個(gè)表面所成角度大于等于0.5°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)器件，其特征在于將上述濾光器部件(20)的上述第一表面(70)與上述信號(hào)光(22)的光軸所在鉛直面相交所形成的線段定義為第一線段(80)，將上述濾光器部件(20)的上述第二表面(72)與上述鉛直面相交所形成的線段定義為第二線段(82)，將上述狹縫(18)的上述第一內(nèi)壁表面(74)與上述鉛直面相交所形成的線段定義為第三線段(84)，將上述狹縫(18)的上述第二內(nèi)壁表面(76)與上述鉛直面相交所形成的線段定義為第四線段(86)時(shí)，上述第二線段(82)、上述第三線段(84)及上述第四線段(86)中的一個(gè)或多個(gè)線段與上述第一線段(80)不平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)器件，其特征在于上述第一線段(80)和上述第二線段(82)互相不平行；上述第三線段(84)和上述第四線段(86)互相不平行；上述第一線段(80)和上述第三線段(84)互相不平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)器件，其特征在于上述第一線段(80)和上述第二線段(82)互相平行；上述第三線段(84)和上述第四線段(86)互相平行；上述第一線段(80)和上述第三線段(84)互相不平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)器件，其特征在于上述第一線段(80)和上述第二線段(82)互相不平行；上述第三線段(84)和上述第四線段(86)互相平行；上述第一線段(80)和上述第三線段(84)互相不平行。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)器件，其特征在于上述第一線段(80)和上述第二線段(82)互相平行；上述第三線段(84)和上述第四線段(86)互相不平行；上述第一線段(80)和上述第三線段(84)互相不平行。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)器件，其特征在于將上述濾光器部件(20)的上述第一表面(70)與上述信號(hào)光(22)的光軸所在的水平面相交所形成的線段定義為第五線段(100)，將上述濾光器部件(20)的上述第二表面(72)與上述水平面相交所形成的線段定義為第六線段(102)，將上述狹縫(18)的上述第一內(nèi)壁表面(74)與上述水平面相交所形成的線段定義為第七線段(104)，將上述狹縫(18)的上述第二內(nèi)壁表面(76)與上述水平面相交所形成的線段定義為第八線段(106)時(shí)，上述第六線段(102)、上述第七線段(104)及上述第八線段(106)中的一個(gè)或多個(gè)線段與上述第五線段(100)不平行。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)器件，其特征在于上述第七線段(102)和上述第八線段(104)互相平行；上述第五線段(100)和上述第七線段(102)互相不平行。
10.一種光學(xué)器件，其特征在于具有多個(gè)光傳輸機(jī)構(gòu)(15)，上述多個(gè)光傳輸機(jī)構(gòu)(15)中共同設(shè)有的狹縫(18)，插入上述狹縫(18)內(nèi)、用來(lái)分離通過(guò)上述多個(gè)光傳輸機(jī)構(gòu)(15)傳輸?shù)男盘?hào)光(22)的各一部分的一個(gè)濾光器部件(20)，填充在上述狹縫(18)內(nèi)的上述狹縫(18)和上述濾光器部件(20)間的間隙中的樹脂(19)；上述濾光器部件(20)具有至少與上述狹縫(18)相對(duì)的曲面(70)。
11.一種光學(xué)器件，其特征在于具有光傳輸機(jī)構(gòu)(15)，上述光傳輸機(jī)構(gòu)(15)中設(shè)有的狹縫(18)，插入上述狹縫(18)內(nèi)、用來(lái)分離通過(guò)上述光傳輸機(jī)構(gòu)(15)傳輸?shù)男盘?hào)光(22)的一部分的濾光器部件(20)，填充在上述狹縫(18)內(nèi)的上述狹縫(18)和上述濾光器部件(20)間的間隙中的樹脂(19)；上述濾光器部件(20)具有襯底(54)和形成于上述襯底(54)的主表面上的光學(xué)薄膜(56)；當(dāng)將上述濾光器部件(20)的上述光學(xué)薄膜(56)一側(cè)的面定義為第一表面(70)，將上述濾光器部件(20)的上述襯底(54)一側(cè)的面定義為第二表面(72)，在上述狹縫(18)的內(nèi)壁表面中，將與上述濾光器部件(20)的上述第一表面(70)相對(duì)的面定義為第一內(nèi)壁表面(74)，將與上述濾光器部件(20)的上述第二表面(72)相對(duì)的面定義為第二內(nèi)壁表面(76)時(shí)，至少上述濾光器部件(20)的上述第二表面(72)是粗糙表面。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光學(xué)器件，其特征在于上述狹縫(18)的上述第一內(nèi)壁表面(74)及上述第二內(nèi)壁表面(76)是粗糙表面。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的光學(xué)器件，其特征在于作為上述粗糙表面的面的表面粗糙度Rt是0.05μm≤Rt≥2μm。
14.根據(jù)權(quán)利要求1-13中任一項(xiàng)所述的光學(xué)器件，其特征在于至少上述濾光器部件(20)的底面(20a)的一部分與上述狹縫(18)底部(18a)接觸。
全文摘要
本發(fā)明涉及光學(xué)器件，其中，將濾光器部件(20)的多層膜(56)一側(cè)的面定義為第一表面(70)，濾光器部件(20)的石英襯底(54)一側(cè)的面定義為第二表面(72)，在狹縫(18)內(nèi)壁表面中，將與濾光器部件(20)的第一表面(70)相對(duì)的面定義為第一內(nèi)壁表面(74)，將與濾光器部件(20)的第二表面(72)相對(duì)的面定義為第二內(nèi)壁表面(76)時(shí)，狹縫(18)的第一內(nèi)壁表面(74)、第二內(nèi)壁表面(76)及濾光器部件(20)的第二表面(72)中的一個(gè)或多個(gè)與濾光器部件(20)的第一表面(70)不平行。
文檔編號(hào)G02B6/42GK1729416SQ20038010702
公開日2006年2月1日 申請(qǐng)日期2003年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月20日
發(fā)明者福山暢嗣, 巖崎康范, 井出晃啟 申請(qǐng)人:日本礙子株式會(huì)社