光學(xué)元件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光學(xué)元件，是配置在固體攝像元件前面的光學(xué)元件，特別是安裝于收納固體攝像元件的包裝的前面、對固體攝像元件進(jìn)行保護(hù)并且用作透光窗的防護(hù)玻璃、用于固體攝像元件的視見度修正的近紅外線截止濾光片等光學(xué)元件。
【背景技術(shù)】
[0002]近些年，內(nèi)裝有(XD、CMOS等固體攝像元件的攝像組件被用于手機(jī)、便攜式信息終端機(jī)器等。這樣的攝像組件具備收納固體攝像元件的陶瓷制、樹脂制的斗形包裝和被紫外線固化型粘合劑固附在包裝的周緣部并且對固體攝像元件進(jìn)行密封的防護(hù)玻璃。
[0003]另外，一般而言，因為固體攝像元件從近紫外線區(qū)域到近紅外線區(qū)域具有分光靈敏度，所以具備阻斷入射光的近紅外部分并按接近人的視見度的方式進(jìn)行修正的近紅外線截止濾光片的攝像組件也供實際使用。為了縮小攝像組件整體的尺寸，還提出了將防護(hù)玻璃和近紅外線截止濾光片的功能復(fù)合化的防護(hù)玻璃(例如，專利文獻(xiàn)I)。
[0004]另外，如果將這樣的防護(hù)玻璃等光學(xué)部件配置在固體攝像元件的前面(即朝向固體攝像元件的光的光程中)，則防護(hù)玻璃的側(cè)面等反射的光會入射到固體攝像元件的攝像面，并由此引發(fā)出現(xiàn)反射光斑、重影等問題，所以還提出在防護(hù)玻璃和固體攝像元件之間設(shè)置遮光板，截斷造成重影等問題的光的光程(例如專利文獻(xiàn)2)。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:國際公開第2011 - 055726號；專利文獻(xiàn)2:日本特開2006 — 141726號公報。
[0006]專利文獻(xiàn)2中記載的遮光板藉由將Cr (鉻)等黑色金屬蒸鍍在防護(hù)玻璃上，與防護(hù)玻璃一體形成。作為將Cr蒸鍍在防護(hù)玻璃上的方法，可以使用所謂的光刻法，經(jīng)過(I)在玻璃基板上蒸鍍Cr的工序、(2)抗蝕劑圖案形成工序、(3) Cr的蝕刻工序(圖案化工序)、
(4)抗蝕劑剝離工序，可以在玻璃基板上形成所需要的遮光板。
[0007]但是，像這樣地通過蝕刻形成遮光板，如果想要在玻璃基板上無蝕刻殘留物、形成邊緣齊整的遮光板，則在上述(3)Cr的蝕刻工序(圖案化工序)中必須將玻璃基板整體比較長時間地浸漬在蝕刻液中，但蝕刻液不僅蝕刻Cr，也蝕刻玻璃基板的表面，從而存在導(dǎo)致粗面化的問題。如果玻璃基板的表面粗面化，則朝向固體攝像元件的光在玻璃基板的表面散亂，會出現(xiàn)透過率降低、產(chǎn)生反射光斑、析像度降低之類的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供不使玻璃基板的表面粗面化、形成了邊緣齊整的遮光板(遮光部)的光學(xué)元件。
[0009]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的光學(xué)元件是內(nèi)裝有固體攝像元件的攝像裝置中使用的光學(xué)元件，包括:正反面分別為朝向固體攝像元件的光入射的入射面和入射到該入射面的光透過而朝向固體攝像元件出射的出射面的透明基板，覆蓋在入射面以及出射面至少一面上的蝕刻阻擋層，在透明基板的中心部形成的能夠透過光的一部分的透光部，以及在所述蝕刻阻擋層上形成的呈框狀包圍在透光部外周的能夠遮住光的一部分的遮光部。
[0010]根據(jù)這樣的構(gòu)成，在透明基板上形成蝕刻阻擋層，在通過光刻法形成遮光部的情況下，由蝕刻阻擋層阻止蝕刻，透明基板的表面不會被蝕刻液蝕刻。因此，透明基板的表面不會粗面化，能夠防止入射到透明基板表面的光的散亂，使固體攝像元件得到析像度高的圖像。另外，因為能夠通過蝕刻阻擋層確實地阻止蝕刻，所以能夠?qū)⒐鈱W(xué)元件整體比較長時間地浸漬在蝕刻液中，形成無蝕刻殘留、邊緣齊整的遮光部。
[0011 ] 另外，光學(xué)元件可以進(jìn)一步具有至少覆蓋透光部的功能膜。在該情況下，優(yōu)選功能膜是具備防反射、切斷紅外線、切斷紫外線中的至少I種功能的光學(xué)薄膜。
[0012]另外，功能膜優(yōu)選為從透明基板順次層疊Al2O3層、ZrO 2層、MgF 2層順次層疊而成的防反射膜。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠抑制入射到光學(xué)元件的表面的光的反射，所以在固體攝像元件中光的導(dǎo)入效率升高。
[0013]另外，蝕刻阻擋層優(yōu)選由Si02、Al203或ZrO2的薄膜形成。
[0014]另外，在將光的中心波長設(shè)定為λ時，優(yōu)選蝕刻阻擋層的光學(xué)膜厚為λ/2。根據(jù)這樣的構(gòu)成，蝕刻阻擋層不會影響光學(xué)元件的光學(xué)性能，另外在光學(xué)元件的表面形成功能膜的情況下，容易進(jìn)行膜設(shè)計。
[0015]另外，所述蝕刻阻擋層的物理膜厚為透明基板的板厚的0.3?200.0ppm。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠抑制蝕刻阻擋層的膜應(yīng)力導(dǎo)致的透明基板翹曲。
[0016]另外，優(yōu)選透明基板的板厚為0.1?1.0mm,蝕刻阻擋層的物理膜厚為0.3?20.0nm0
[0017]另外，遮光部優(yōu)選由至少包含Cr的薄膜形成。
[0018]另外，遮光部優(yōu)選通過用光刻法蝕刻而形成。
[0019]另外，優(yōu)選透光部的面積比固體攝像元件的受光面的面積大。
[0020]另外，光學(xué)元件優(yōu)選為安裝在收納固體攝像元件的包裝的前面的防護(hù)玻璃。
[0021]另外，透明基板優(yōu)選為吸收近紅外線區(qū)域的波長的光的近紅外線吸收玻璃。另外，在該情況下，優(yōu)選近紅外線吸收玻璃是由含有Cu2+的氟磷酸鹽系玻璃或含有Cu 2+的磷酸鹽系玻璃構(gòu)成的。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠按固體攝像元件的分光靈敏度接近人的視見度的方式進(jìn)行修正。
[0022]本發(fā)明的效果:如上所述，根據(jù)本發(fā)明，實現(xiàn)不使玻璃基板的表面粗面化、形成邊緣齊整的遮光部的光學(xué)元件。
【附圖說明】
[0023]圖1是本發(fā)明的實施方式所涉及的防護(hù)玻璃的平面圖。
圖2是圖1的縱截面圖。
圖3是說明搭載了本發(fā)明的實施方式所涉及的防護(hù)玻璃的固體攝像設(shè)備的構(gòu)成的縱截面圖。
圖4是表示本發(fā)明的實施方式所涉及的防護(hù)玻璃的制造方法的流程圖。
圖5是對應(yīng)于圖4中各制造工序的防護(hù)玻璃100的平面放大圖。 圖6是對應(yīng)于圖4中各制造工序的防護(hù)玻璃100的截面放大圖。
圖7是本發(fā)明的實施方式所涉及的防護(hù)玻璃的第一變形例的構(gòu)成的說明圖。
圖8是本發(fā)明的實施方式所涉及的防護(hù)玻璃的第二變形例的構(gòu)成的說明圖。
圖中固體攝像設(shè)備
100、100A、100B 防護(hù)玻璃
101玻璃基材
1la入射面
1lb出射面
103蝕刻阻擋層
105遮光膜
110防反射膜
200固體攝像元件
300包裝
【具體實施方式】
[0024]以下參照附圖，對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)予說明，圖中，相同或相應(yīng)的部分帶有相同的符號，不重復(fù)說明。
[0025]圖1是本發(fā)明的實施方式所涉及的防護(hù)玻璃100 (光學(xué)元件)的構(gòu)成的平面圖，圖2是圖1的縱截面圖。另外，圖3是說明固體攝像元件200的包裝300的開口部被本實施方式的防護(hù)玻璃100密封的固體攝像設(shè)備I的構(gòu)成的縱截面圖。本實施方式的防護(hù)玻璃100是安裝在收納固體攝像元件200的包裝300的前面(即開口部)(圖3)，對固體攝像元件200進(jìn)行保護(hù)，并且用作透光窗的光學(xué)元件。
[0026]如圖1所示，本實施方式的防護(hù)玻璃100呈矩形板狀外觀，由玻璃基材101 (透明基板)、形成在玻璃基材101上的蝕刻阻擋層103、形成在蝕刻阻擋層103上的遮光膜105 (遮光部)構(gòu)成。應(yīng)予說明，在本實施方式中，在防護(hù)玻