專利名稱：在線檢測裝置及在線檢測方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種在線檢測裝置及在線檢測方法，并且尤其涉及
一種用于一企測配向表面的摩〗察配向狀況的在線一企測裝置及在線枱r 測方法。
背景技術：
液晶面;^反(liquid crystal display panel)為目前廣S乏應用的顯示 元件。參見圖1，其示出了液晶面板的剖視圖。液晶面板100包括 兩個酉己向月莫(alignment layer) 110、、液晶層120、津j色濾光片(color filter )基》反130及薄月莫晶體管(thin-film transistor )基一反140。西己向 膜110分別設置于彩色濾光片基板130及薄膜晶體管基板140。液 晶材料注入彩色濾光片基板130及薄膜晶體管基板140之間，以形 成'液晶層120。
如圖1的局部方文大部分所示，配向月莫110具有多個相互平4亍的 溝槽111，以4吏液晶層120的液晶分子121依循溝槽111的方向排 列。液晶分子121的排列的一致性會影響液晶面板100的顯示效果。 換言之，若液晶分子121的排列越趨于一致，液晶面板100的顯示 效果越佳。
雖然目前液晶面板的制作過程中有通過#r測人員手持液晶面 ^!的方式4企測其是否具有缺陷，然而該種方式需要離線作業(yè)，也就 是才僉測人員需要從機臺中取出液晶面板作4全測。因此，該種才全測方
式相應地增加了液晶面板的制造成本及時間。其次，如果液晶面板 的配向膜中存有缺陷，缺陷發(fā)現(xiàn)的時間往往是在液晶面板已完成的 階段，如果要重新制造另 一 個液晶面板也同樣提高了生產(chǎn)的成本和時間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種在線4企測裝置及在線4企測方法，其利用在線枱， 測的方式才企查薄膜的配向表面的摩擦配向狀況。如此一來，配向表 面若存有缺陷，即可實時發(fā)現(xiàn)并對應處理，以便于進行后面的制作 過程。其次，由于配向表面的問題可在薄膜設置在液晶面板內(nèi)之前 發(fā)現(xiàn)，因此避免了材料及制造時間的浪費。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種在線檢測裝置，用于檢測薄 膜的摩擦配向狀況。薄膜具有配向表面。在線;險測裝置包括蒸氣產(chǎn) 生部件、光學系統(tǒng)及輸送沖幾構。蒸氣產(chǎn)生部件朝向薄膜的配向表面 設置。蒸氣產(chǎn)生部件用于在配向表面上形成蒸氣膜。光學系統(tǒng)包括 發(fā)光單元、 一企測單元和顯示單元。發(fā)光單元朝向薄膜i殳置，4吏光線 投射在薄膜上。檢測單元朝向薄膜設置，以讀取光線投射在薄膜處 的圖i象。顯示單元與4企測單元電性連4妄。顯示單元用于顯示圖4象。 輸送機構用于引導薄膜相對光學系統(tǒng)移動。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測裝置，其中該才企測單元和該發(fā)光單元分 別設置于該薄力莫的兩側，并且該一企測單元與該發(fā)光單元位于同 一方 向線上，該光線沿該方向線穿透通過該薄月莫。
根據(jù)本發(fā)明的在線才企測裝置，其中該發(fā)光單元和該才全測單元相 對于該薄膜同步擺動，以調整該方向線與該薄膜的法線間的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測裝置，其中該夾角的范圍是0度至90度。
根據(jù)本發(fā)明的在線4僉測裝置，其中該光線投射到該配向表面，
該輸送才幾構包括至少一個導引滾專侖，i殳置在該薄力莫與該配向表面 相反的一側，并且該導引滾4侖與該薄膜接觸，該導引滾庫侖具有反射 表面，該反射表面用于反射該光線。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線檢測裝置，其中該光線沿方向線穿透通過該 薄膜與該反射表面接觸。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線4企測裝置，其中該發(fā)光單元和該4全測單元分 別相對該反射表面的法線做圓形軌跡的移動，且該發(fā)光單元和該檢 測單元與該反射表面的法線間具有相同的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測裝置，其中該夾角的范圍是0度至90度。
根據(jù)本發(fā)明的在線4企測裝置，i殳置在暗室中。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測裝置，還包括千燥部件，朝向該配向 表面設置，以去除該蒸氣膜。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測裝置，還包括至少一個清潔部件，用 于清潔該配向表面。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面， -提供一種在線檢測方法，用于才企測薄 膜的摩擦配向狀況。薄膜具有配向表面。首先，a)當薄膜移動時， 在薄膜的配向表面上形成蒸氣膜。接著，b)將光線投射到薄膜上。 然后，c)讀取光線投射在薄膜處的圖像。接著，d)顯示圖像。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線斥企測方法，其中該步驟(b)沿方向線將該 光線投射到該配向表面，并且該光線穿透通過該薄膜，且該步驟(c)
在與該配向表面相反的一側讀取該圖像，且讀取該圖像的位置位于 該方向線上。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線4企測方法，還包括調整該方向線與該薄膜 的法線間的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測方法，其中該夾角的范圍是0度至90度。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線才企測方法，其中該步驟(b)沿方向線將該 光線^:射到與該配向表面相反的表面，并且該光線穿透通過該薄 膜，且該步驟(c)在該配向表面的一側讀取該圖像，并且讀取該 圖^象的位置位于該方向線上。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測方法，還包括調整該方向線與該薄膜 的法線間的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測方法，其中該夾角的范圍是0度至90度。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線纟僉測方法，其中該步-驟(b)將該光線4殳射 到該配向表面，該步艱《(c)在該配向表面的側讀取該圖Y象，在該 步驟(b)和該步驟(c)之間，該在線檢測方法還包括向反射表 面投射該光線，使產(chǎn)生反射光。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線才全測方法，其中該光線沿方向線穿透通過該 薄膜與該反射表面接觸，該在線檢測方法還包括調整該方向線與 該反射表面的法線間的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測方法，其中該夾角的范圍是0度至90度。 才艮據(jù)本發(fā)明的在線才全測方法，在暗室中才丸4亍。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線檢測方法，還包括去除該蒸氣膜；和清潔 i亥酉己向表面。
為使本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實施例， 并結合附圖，4卡詳細"i兌明々口下


圖1 (現(xiàn)有l(wèi)支術)示出了液晶面^1的剖^L圖。
圖2A示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的在線檢測裝置的側視圖。
圖2B示出了圖2A的發(fā)光單元和4企測單元相對薄月莫同步擺動 的示意圖。
圖3示出了發(fā)光單元和斥企測單元"i殳置在不同位置的示意圖。 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的在線檢測方法的流程圖。 圖5A示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的在線檢測裝置的側視圖。
圖5B示出了圖5A的發(fā)光單元和4僉測單元相對反射表面的法 線移動的示意圖。
具體實施例方式
本發(fā)明提供一種在線檢測裝置及在線檢測方法，其利用在線檢 測裝置的蒸氣產(chǎn)生部件、光學系統(tǒng)及輸送機構相互配合，在線檢測
薄膜的配向表面的摩擦配向(rubbing)狀況。在本發(fā)明的實施例中 對在線;險測裝置及利用該在線4企測裝置的在線一企測方法作詳細i兌 明。其次，實施例中的圖示省略了不必要的組件，并且以較為簡化 的方式示出了部分的組件，以便于清楚顯示本發(fā)明的才支術特點。
第一實施例
參見圖2A,其示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的在線檢測裝置 200的側視圖。在線4全測裝置200用于檢測薄膜260的摩擦配向狀 況。薄膜260具有配向表面261。在線檢測裝置200包括蒸氣產(chǎn)生 部件210、光學系統(tǒng)220及輸送才幾構230。
蒸氣產(chǎn)生部件210朝向薄膜260的配向表面261i殳置。蒸氣產(chǎn) 生部件210用于在配向表面261上形成蒸氣月莫211。光學系統(tǒng)220 包括發(fā)光單元221、檢觀'J單元223和顯示單元225。發(fā)光單元221 朝向薄膜26(H殳置，將光線270 一更射在薄膜260上。4企測單元223 朝向薄膜260設置，以讀取光線270投射在薄膜260處的圖像。顯 示單元225與4企測單元223電性連接。顯示單元225用于顯示圖像。 輸送機構230用于引導薄膜260相對光學系統(tǒng)220移動。
在本實施例中，在線一企測裝置200的蒸氣產(chǎn)生部件210、光學 系統(tǒng)220和豐lr送才幾構230相互酉己合，以連續(xù)地才企測具有配向表面261 的薄膜260的摩擦配向狀況。在線檢測裝置200的光學系統(tǒng)220讀 取薄膜260的圖像并且呈現(xiàn)在顯示單元225上。如此一來，本實施 例的在線4企測裝置200除了具備實時檢測薄膜260的優(yōu)點外，還可 儲存所讀取的圖像，并再利用圖像處理的方式處理圖像，以更清楚 地顯示出薄膜260上的配向缺陷，由此進行薄膜260的沖企測。
本實施例的在線4企測裝置200利用光學原理4金測配向表面261 是否具有缺陷。因此，在線沖企測裝置200優(yōu)選地:沒置在暗室內(nèi)，以 避免周圍的光線影響4企測的效果。
在本實施例中，光學系統(tǒng)220例如是自動光學4企測(Auto Optical Inspection, AOI)系統(tǒng)，并且光學系統(tǒng)220采用穿透式原理 檢測薄膜260的摩擦配向狀況。因此，如圖2A所示，發(fā)光單元221 及4全測單元223分別設置于薄膜260的兩側。因此，當發(fā)光單元221 投射的光線270沿一方向線Dl穿透通過薄膜260時，設置在薄膜 260另 一側的檢測單元223讀取光線270投射在薄膜260處的圖像， 以輸出電信號到顯示單元225。顯示單元225再顯示畫面，以供才全 測薄膜260的摩擦配向狀況。在本實施例中，檢測單元223與發(fā)光 單元221同樣地設置在方向線Dl上。
在本實施例中，發(fā)光單元221及^企測單元223可同步相對薄膜 260擺動，以調整方向線Dl與薄膜260的法線間的夾角。例如， 參見圖2B，其示出了圖2A的發(fā)光單元221及才企測單元223相對薄 膜260同步擺動的示意圖。方向線Dl與薄膜260的法線Nl間的 夾角01的范圍可為0度至90度，實際應用中夾角ei的范圍優(yōu)選 地為0度至60度。在本實施例中，例如利用人工的方式同步擺動 發(fā)光單元221及檢測單元223，以調整夾角01。
在圖2A中，發(fā)光單元221朝向配向表面261 設置，才企測單元 223則朝向與配向表面261相反的表面設置。然而本實施例的發(fā)光 單元221也可選擇性地設置于朝向與配向表面261相反的表面的一 側。參見圖3，其示出了發(fā)光單元221和檢測單元223 設置在不同 位置的示意圖。發(fā)光單元221直接將光線270投射到與配向表面261 相反的表面，以進行薄膜260的檢測。發(fā)光單元221和4全測單元223 的配置位置端視使用者的需求而定。
繼續(xù)參見圖2A，本實施例的在線4企測裝置200還包括干燥部 件240和至少一個清潔部件250。干燥部件240朝向配向表面261 i殳置，以去除蒸氣月莫211。清潔部件250用于清潔配向表面261。 由于在薄膜260上形成蒸氣膜211會增加空氣中的粒子(particle ) 附著在薄膜260的可能性，因此清潔部件250可用于去除附著在薄 膜260上的粒子。優(yōu)選地，如圖2A所示，本實施例的在線;險測裝 置200包括兩個清潔部件250,并且該兩個清潔部件250分別設置 于薄膜260的兩側表面，以清潔配向表面261和與配向表面261相 反的表面。在本實施例中，清潔部件250例如利用超聲波的4展蕩， 從而對空氣加壓。接著，將加壓的空氣吹向薄膜260后，再將粒子 4由吸離開薄月莫260的表面，以清潔薄月莫260的表面。
以下就依照本發(fā)明第 一 實施例的在線;險測方法作 一說明，本實 施例的在線檢測方法例如利用上述的在線檢測裝置200來檢測薄膜 260的配向表面261的摩擦配向狀況。同時參見圖2A及圖4，圖4 示出了根據(jù)本發(fā)明第 一 實施例的在線檢測方法的流程圖。
首先，在步-驟1001中，當薄月莫260移動時，在配向表面261 上形成蒸氣膜211。本實施例中利用蒸氣產(chǎn)生部件210來形成蒸氣 膜211，且利用輸送機構230引導薄膜260移動。在該步驟中，在 配向表面261上形成蒸氣膜211是為了更清楚地凸顯配向表面261 的擊矢陷，以纟是高4企測的步文果。
接著，在步驟1003中，^投射光線270到薄膜260上。本實施 例利用發(fā)光單元221沿著方向線Dl投射光線270到薄膜260上。
然后，在步驟1005中，讀取光線270投射在薄膜260處的圖 ^像。由于本實施例利用穿透式原理檢測薄膜260，因此當光線270 穿透通過薄膜260后，步驟1005是利用纟全測單元223在相對發(fā)光 單元221的薄膜260的一側讀耳又圖4象。當然，該在線4企測方法的步
驟1003也可選4奪性地將光線270才殳射到與配向表面261相反的表 面，^。it匕，步—驟1005則^于應i也于酉己向表面261的側讀耳又圖l象。
接著，在步驟1007中，顯示圖像，以供4企測薄膜260的摩擦 配向狀況。在本實施例中，步驟1007利用顯示單元225顯示圖像。 然后，在步驟1009中，去除蒸氣膜211。由于步驟1001在配向表 面261上形成蒸氣膜211，因此步驟1009是為了干燥配向表面261, 以便于后面制作過程的進行。本實施例利用朝向配向表面261的干 燥部件240去除蒸氣膜211。
才妄著，在步-驟1011中，清潔配向表面261。由于步駛A1001在 薄膜260上形成蒸氣膜211會增加粒子附著到薄膜260的可能性， 因此步驟1011的扭J亍可去除附著在薄膜260上的粒子。本實施例 利用至少一個清潔部件250清潔薄膜260的表面，如此一來，即可 接著進行諸如貼附薄膜260的制作過程。
在本實施例中，在線4全測方法還可選沖奪性:t也包4舌調整方向線與 薄膜的法線間的夾角的步驟，以從不同的角度投射光線到薄膜上并 檢測薄膜的摩擦配向狀況。如圖2B所示，發(fā)光單元221及檢測單 元223可相對薄膜260同步擺動，以調整方向線Dl與薄膜260的
法線N1的夾角ei。該步驟可根據(jù)檢測的需求不斷地在檢測中執(zhí)行，
以提高檢測的準確性。在本實施例中，夾角01的范圍可為0度至 90度，實際應用中夾角01的范圍優(yōu)選地是O度至60度。上述即為
依照本發(fā)明第 一 實施例的在線檢測方法的流程。
在本實施例中，在線檢測裝置200和在線4企測方法用于在薄膜 260的制作過程中，實時發(fā)現(xiàn)可能存在于配向表面261的缺陷。此 夕卜，本實施例的發(fā)光單元221及檢測單元223可依據(jù)需求同步擺動， 以才是供,人不同方向4全測薄膜260的摩4察配向狀況。如此一來，薄月莫 260若存有缺陷即可立即發(fā)現(xiàn)，以避免材料的浪費。其次，本實施
例的光學系統(tǒng)220利用讀取薄膜260的圖像，并且對圖像做圖像處 理的方式?jīng)_企測薄月莫260的配向表面261是否具有擊夾陷。如此一來， 肉眼無法辨別的配向表面261的缺陷即可透過光學系統(tǒng)220辨別出
來，以增力口才全測的準確度。
第二實施例
本實施例的在線檢測裝置與第 一 實施例的在線檢測裝置的差 異在于光學系統(tǒng)的設計方式。參見圖5A,其示出了^^艮據(jù)本發(fā)明第 二實施例的在線4僉測裝置300的側;現(xiàn)圖。在本實施例中，光學系統(tǒng) 320采用反射式原理才全測薄膜360的摩擦配向狀況，因該光學系統(tǒng) 320的發(fā)光單元321及才企測單元323 i殳置于薄月莫360的同一側。
此外，本實施例的專lr送才幾構330也配合光學系統(tǒng)320的i殳計只于 應地調整配置的方式。在本實施例中，如圖5A所示，輸送機構330 例如包括至少一個導引滾輪331。導引滾輪331配置在薄膜360與 配向表面361相反的一側并且接觸薄膜360。導引滾輪331除了用 于導引薄膜360移動之外，導引滾輪331具有一反射表面331a,發(fā) 光單元321和4僉測單元323皆朝向反射表面331a設置，以利用反 射表面331a反射光線370。發(fā)光單元321投射的光線370沿一方向 線D2穿透通過薄膜360，以接觸反射表面331a。光線370由反射 表面331a反射形成反射光373，沖企測單元323則4妄收反射光373, 也就是說，檢測單元323讀取光線370投射在薄膜360上的圖像。 接著，檢測單元323將該圖像利用電信號的方式輸出至顯示單元 325,以供4企測薄力莫360的配向表面361是否具有在夬陷。
其次，輸送機構330還可例如包括另外三個導引滾輪333、 335 和337,導引滾輪333、 335和337也用于引導薄膜360移動。導引 滾輪333、 335和337可配合在線一企測裝置300的空間配置的方式
擺置。至于蒸氣產(chǎn)生部件310、干燥部件340及清潔部件350的用 途都與第 一實施例中所才是及的相同，因此在此省略不再贅述。
在本實施例中，發(fā)光單元321和才全測單元323可分別相對反射 表面331a的法線N2作圓形4九跡的移動。例如，參見圖5B,其示 出了圖5A的發(fā)光單元321和4企測單元323相對反射表面331a的法 線N2移動的示意圖。圖5B是以虛線表示發(fā)光單元321和檢測單元 323移動前的〗立置，并且以實線表示發(fā)光單元321和4全測單元323 移動后的位置。在本實施例中，發(fā)光單元321和;險測單元323與反 射表面331a的法線N2間具有相同的夾角02。在本實施例中，夾 角02的范圍可為0度至90度，實際應用中夾角02的范圍優(yōu)選地 是0度至60度。
依照本發(fā)明第二實施例的在線檢測裝置300也應用依照第 一 實 施例的在線;險測方法來纟全測薄膜360。也就是i兌，在線一全測裝置300 可依照圖4的步驟1001至步驟1011來實時檢測薄膜360的摩擦配 向狀況，其詳細的步驟在此省略不再贅述。
由于本實施例的在線檢測裝置300是利用反射式原理檢測薄膜 360的摩擦配向狀況，因該步驟1003及步驟1005分別利用設置于 薄膜360同一側的發(fā)光單元321和4企測單元323來4殳射光線370到 薄膜360上并讀取投射在薄膜360的圖像。其次，由于本實施例的 發(fā)光單元321和4企測單元323可分別相對反射表面331a的法線N2 作圓形軌跡的移動，因此，應用本實施例的在線;險測裝置300進4亍 檢測時，除了圖4所述的步驟外，還可進行調整發(fā)光單元321和檢 測單元323的步艱《，以調整方向線D2與反射表面331a的法線N2 間的夾角02。如此一來，光線370可以不同的方向投射到薄膜360 上，以檢測配向表面361的摩擦配向狀況。當然，該步驟可才艮據(jù)沖企 測的需求不斷地在4企測中才丸4亍，以才是高4企測的準確度。
本發(fā)明上述實施例所，坡露的在線;險測裝置及在線一全測方法可 連續(xù)地檢測薄膜的配向表面，以確認配向表面是否具有缺陷。此夕卜， 在線4僉測裝置及在線才僉測方法可選才奪性地利用穿透式原理或反射 式原理檢測薄膜的配向表面的摩擦配向狀況。如此一來，不但可以 增加一企測的準確性，若配向表面存有在夾陷，也可實時發(fā)3見并7于應處 理，以便于進行后面的制作過程。其次，在檢測薄膜時，不需要另 外花費人力和時間取出薄膜，節(jié)省了薄膜的制造成本。至于在線檢 測裝置的光學系統(tǒng)通過讀耳又薄膜的圖<象，并且對圖傳 歐圖^f象處理的 檢測方式檢測薄膜，以增加辨別配向表面的缺陷的能力，并相對提 高檢測的可靠度。
綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例披露如上，然其并非用 于限定本發(fā)明。本領域才支術人員，在不脫離本發(fā)明的姊青神和范圍內(nèi)， 可作各種的更改與修飾。因此，本發(fā)明的保護范圍依所附的權利要 求所限定的范圍為準。
符號說明
100:液晶面板
110:配向月莫
111:溝槽
120:液晶層
121:'液晶分子
130:彩色濾光片基板
140:薄膜晶體管基板
200、 300:在線4企測裝置
210、 310:蒸氣產(chǎn)生部4牛
211、 311:蒸氣膜
220、 320:光學系統(tǒng)
221、 321:發(fā)光單元
223、 323:才企測單元
225、 325:顯示單元
230、 330:輸送才幾構 250、 350:清潔部4牛 261、 361:配向表面 331、 333、 335、 337: 373:反射光 Nl、 N2:法線
240、 340:干燥部件 260、 360:薄月莫 270、 370:光線 導引滾輪 331a:反射表面 Dl、 D2:方向線 91、 02:夾角
權利要求
1. 一種在線檢測裝置，用于檢測薄膜的摩擦配向狀況，所述薄膜具有配向表面，所述在線檢測裝置包括蒸氣產(chǎn)生部件，朝向所述薄膜的所述配向表面設置，所述蒸氣產(chǎn)生部件用于在所述配向表面上形成蒸氣膜；光學系統(tǒng)，包括發(fā)光單元，朝向所述薄膜設置，使光線投射在所述薄膜上；檢測單元，朝向所述薄膜設置，以讀取所述光線投射在所述薄膜處的圖像；和顯示單元，與所述檢測單元電性連接，所述顯示單元用于顯示所述圖像；以及輸送機構，用于引導所述薄膜相對所述光學系統(tǒng)移動。
2. 根據(jù)權利要求1所述的在線檢測裝置，其中所述檢測單元和所 述發(fā)光單元分別設置于所述薄膜的兩側，并且所述檢測單元與 所述發(fā)光單元位于同 一方向線上，所述光線沿所述方向線穿透 通過所述薄膜。
3. 根據(jù)權利要求2所述的在線檢測裝置，其中所述發(fā)光單元和所 述才企測單元相對于所述薄膜同步擺動，以調整所述方向線與所 述薄膜的法線間的夾角。
4. 根據(jù)權利要求3所述的在線檢測裝置，其中所述夾角的范圍是 0度至90度。
5. 根據(jù)權利要求1所述的在線檢測裝置，其中所述光線投射到所述配向表面，所述^r送才幾構包括至少一個導引滾4侖，設置在所述薄膜與所述配向表面相 反的一側，并且所述導引滾輪與所述薄膜接觸，所述導引滾輪 具有反射表面，所述反射表面用于反射所述光線。
6. 根據(jù)權利要求5所述的在線檢測裝置，其中所述光線沿一方向 線穿透通過所述薄膜與所述反射表面接觸。
7. 4艮據(jù)7&利要求6所述的在線片企測裝置，其中所述發(fā)光單元和所 述才企測單元分別相對所述反射表面的法線啦支圓形4九跡的移動， 且所述發(fā)光單元和所述4企測單元與所述反射表面的法線間具 有相同的夾角。
8. 根據(jù)權利要求7所述的在線檢測裝置，其中所述夾角的范圍是 0度至90度。
9. 根據(jù)權利要求1所述的在線檢測裝置，設置在暗室中。
10. —種在線纟企測方法，用于檢測薄膜的摩擦配向狀況，所述薄膜 具有配向表面，所述在線;險測方法包括(a) 當所述薄膜移動時，在所述薄"莫的所述配向表面上 形成蒸氣膜；(b) 將光線投射到所述薄膜上；(c) 讀耳又所述光線沖殳射在所述薄膜處的圖^f象；以及(d) 顯示所述圖像。
全文摘要
一種在線檢測裝置及在線檢測方法。在線檢測裝置用于檢測薄膜的摩擦配向狀況。薄膜具有配向表面。在線檢測裝置包括蒸氣產(chǎn)生部件、光學系統(tǒng)和輸送機構。蒸氣產(chǎn)生部件朝向薄膜的配向表面設置。蒸氣產(chǎn)生部件用于在配向表面上形成蒸氣膜。光學系統(tǒng)包括發(fā)光單元、檢測單元和顯示單元。發(fā)光單元朝向薄膜設置，使光線投射在薄膜上。檢測單元朝向薄膜設置，讀取光線投射在薄膜處的圖像。顯示單元與檢測單元電性連接。顯示單元用于顯示圖像。輸送機構用于引導薄膜相對光學系統(tǒng)移動。在線檢測方法包括當該薄膜移動時，在該薄膜的該配向表面上形成蒸氣膜；將光線投射到該薄膜上；讀取該光線投射到該薄膜處的圖像；以及顯示該圖像。
文檔編號G02F1/13GK101363973SQ200710140118
公開日2009年2月11日 申請日期2007年8月6日 優(yōu)先權日2007年8月6日
發(fā)明者吳建宏, 莊雅杰, 楊昆炫 申請人:達信科技股份有限公司