專利名稱：涂膠、顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及涂膠、顯影單元的改進(jìn)技術(shù)，具體為一種用以在半導(dǎo)體晶片 上進(jìn)行涂膠、顯影的涂膠單元及顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前，巿場上相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備的涂膠、顯影單元都是固定在機(jī)架上的，當(dāng)單 元發(fā)生故障需要維修或更換時(shí)，需要人工將整體單元從狹小的空間搬出進(jìn)行維修，
單元整體重量要超過30公斤，即笨重又不方便，容易造成部件的局部劃傷，從而 產(chǎn)生機(jī)械塵粒，不利于涂膠、顯影工藝過程。
隨著巿場的需求相關(guān)設(shè)備需要更新?lián)Q代，合理簡單的結(jié)構(gòu)不僅能夠降低成本, 節(jié)省時(shí)間，而且能夠降低勞動(dòng)強(qiáng)度。如今半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到一定程度，半導(dǎo) 體廠商對設(shè)備產(chǎn)能的要求仍是居高不下。那么，追求單元結(jié)構(gòu)的精簡化，節(jié)約設(shè) 備維修時(shí)間也是很重要的。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了克服上述的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種涂膠、顯影單元的方 便維修結(jié)構(gòu)，解決涂膠、顯影單元維修或更換時(shí)存在的笨重又不方便，容易造成 部件的局部劃傷，從而產(chǎn)生^U戎塵粒，不利于涂膠、顯影工藝過程等問題。釆用 本實(shí)用新型可以縮短工藝單元故障的維修時(shí)間，可以為保證設(shè)備的正常產(chǎn)能爭取 時(shí)間。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是
一種涂膠、顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)，涂膠或顯影單元的基座置于安裝板上， 基座底部安裝凸輪隨動(dòng)器，安裝板上開有與凸輪隨動(dòng)器配合的凹槽。
所述的涂膠、顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)，四個(gè)凸輪隨動(dòng)器分兩側(cè)對稱安裝于 涂膠或顯影單元的基座底部，安裝板上開有與凸輪隨動(dòng)器配合的兩條直線凹槽， 凸輪隨動(dòng)器分別落在兩條凹槽內(nèi)，凹槽作為凸輪隨動(dòng)器前后滾動(dòng)的軌道。
所述的涂膠、顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)，凹槽內(nèi)側(cè)設(shè)有對凸輪隨動(dòng)器平穩(wěn)直 線滾動(dòng)的尺寸限位，使凹槽的內(nèi)側(cè)以尺寸對凸輪隨動(dòng)器進(jìn)行軸向定位。所述的涂膠、顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)，凸輪隨動(dòng)器通過螺母及配套的螺栓 與基座緊固連接。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是
1、 本實(shí)用新型的底座下部安裝凸輪隨動(dòng)器，在與底座接合的機(jī)架安裝板上開 有與凸輪隨動(dòng)器滾動(dòng)相配合的凹槽。當(dāng)單元發(fā)生故障需要進(jìn)行維修或更換時(shí)，便 可以拆除單元與機(jī)架的固定螺栓，借助凸輪隨動(dòng)器的滾動(dòng)作用將單元整體沿直線 凹槽向外拉出。本實(shí)用新型改變了以往傳統(tǒng)的單元安裝方式，借助凸輪隨動(dòng)器的 滾動(dòng)來方便設(shè)備單元的維修并減少維修時(shí)產(chǎn)生塵粒，可以實(shí)現(xiàn)對涂膠(顯影)單 元的方便、快捷的維修與及時(shí)更換，即插即用、清潔靈活。
2、 本實(shí)用新型安裝板的兩條凹槽內(nèi)側(cè)設(shè)有對凸輪平穩(wěn)直線滾動(dòng)的尺寸限位。
3、 本實(shí)用新型使涂膠、顯影單元模塊的維修更加方便、快捷、靈活。
4、 本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡單，便于裝配，減少設(shè)備維修時(shí)間，為保證、提高設(shè)
備產(chǎn)能提供良好條件。

圖1-圖2是本實(shí)用新型不同角度的三維結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中，1、基座；2、凸輪隨動(dòng)器；3、安裝板；4、螺母；A、 B為安裝板的 兩條凹槽。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作詳細(xì)描述。
如圖l-圖2所示，本實(shí)用新型涂膠、顯影單元的方便維f務(wù)結(jié)構(gòu)主要由以下幾 部分組成基座1一個(gè)、凸輪隨動(dòng)器2四個(gè)、安裝板3—個(gè)、螺母4四個(gè)。具體 結(jié)構(gòu)如下
涂膠或顯影單元的基座1置于安裝板3上，基座1底部安裝凸輪隨動(dòng)器2， 安裝板3上開有與凸輪隨動(dòng)器2配合的凹槽。本實(shí)施例中，四個(gè)凸輪隨動(dòng)器2(每 側(cè)兩個(gè))分兩側(cè)對稱安裝于涂膠(顯影)單元的基座1底部，凸輪隨動(dòng)器2用螺 母4及配套的螺栓與基座1緊固連接，安裝板3上開有與凸輪隨動(dòng)器2配合的兩 條直線凹槽A、 B,凸輪隨動(dòng)器2分別落在兩條凹槽A、 B內(nèi)，凹槽A、 B作為 凸輪隨動(dòng)器2前后滾動(dòng)的軌道；凹槽內(nèi)側(cè)設(shè)有對凸輪隨動(dòng)器2平穩(wěn)直線滾動(dòng)的尺 寸P艮位，使凹槽A、 B的內(nèi)側(cè)以尺寸對凸輪隨動(dòng)器2進(jìn)行軸向定位(定位是準(zhǔn)確 確定該單元在^t反1上的前后位置，限位是限制該單元在^+反1上的左右活動(dòng)范
4圍)。凸輪隨動(dòng)器2在與之接合的機(jī)架安裝才反3上可以在相配合的凹槽內(nèi)前后滾動(dòng)。
本實(shí)用新型中，凸輪隨動(dòng)器2的材料為不#^ 1Crl8Ni9Tl。
當(dāng)涂膠(顯影)單元發(fā)生故障需要維修或更換時(shí)，便可以拆除整體單元的固 定螺栓，就可以通過凸輪隨動(dòng)器2在安裝板3上的凹槽A、 B內(nèi)的滾動(dòng)作用，而 將整個(gè)涂膠(顯影)單元沿直線凹槽平穩(wěn)的向外拉出，從而在需要時(shí)，可以快捷、 靈活的實(shí)現(xiàn)涂膠、顯影單元的快捷維修與及時(shí)更換。
通過以上對涂膠(顯影)單元的機(jī)座在安裝板上自由滾動(dòng)的具體介紹，說明 了本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的根本差異。
由于單元結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的更新，使故障維修更為靈活、省時(shí)，同時(shí)減少塵粒的產(chǎn)生。
由于各半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的涂膠、顯影單元的結(jié)構(gòu)不同，所以在設(shè)備發(fā)生故障時(shí)， 需要釆取不同的方法、方案來對設(shè)備進(jìn)行維修。但核心所在仍是快捷、省時(shí)，因 為半導(dǎo)體生產(chǎn)廠對產(chǎn)能的嚴(yán)格要求，需要設(shè)備在各個(gè)環(huán)節(jié)節(jié)省時(shí)間，本實(shí)用新型 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便是該問題的解決方案之一。
權(quán)利要求1、一種涂膠、顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)，其特征在于涂膠或顯影單元的基座(1)置于安裝板(3)上，基座(1)底部安裝凸輪隨動(dòng)器(2)，安裝板(3)上開有與凸輪隨動(dòng)器(2)配合的凹槽。
2、 按照權(quán)利要求1所述的涂膠、顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)，其特征在于 四個(gè)凸輪隨動(dòng)器(2)分兩側(cè)對稱安裝于涂膠或顯影單元的基座(1)底部，安裝 板(3)上開有與凸輪隨動(dòng)器(2)配合的兩條直線凹槽，凸輪隨動(dòng)器(2)分別落 在兩條凹槽內(nèi)，凹槽作為凸輪隨動(dòng)器(2)前后滾動(dòng)的軌道。
3、 按照權(quán)利要求1所述的涂膠、顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)，其特征在于 凹槽內(nèi)側(cè)設(shè)有對凸輪隨動(dòng)器(2 )平穩(wěn)直線滾動(dòng)的尺寸限位，使凹槽的內(nèi)側(cè)以尺寸 對凸輪隨動(dòng)器(2)進(jìn)行軸向定位。
4、 按照權(quán)利要求1所述的涂膠、顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)，其特征在于 凸輪隨動(dòng)器(2)通過螺母(4)及配套的螺栓與基座(1)緊固連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及涂膠、顯影單元的改進(jìn)技術(shù)，具體為一種用以在半導(dǎo)體晶片上進(jìn)行涂膠、顯影的涂膠單元及顯影單元的方便維修結(jié)構(gòu)，解決涂膠、顯影單元維修或更換時(shí)存在的笨重又不方便，容易造成部件的局部劃傷，從而產(chǎn)生機(jī)械塵粒，不利于涂膠、顯影工藝過程等問題。涂膠或顯影單元的基座置于安裝板上，基座底部安裝凸輪隨動(dòng)器，安裝板上開有與凸輪隨動(dòng)器配合的凹槽。當(dāng)單元發(fā)生故障需要進(jìn)行維修或更換時(shí)，便可以拆除單元與機(jī)架的固定螺栓，借助凸輪隨動(dòng)器的滾動(dòng)作用將單元整體沿直線凹槽向外拉出，可以實(shí)現(xiàn)對涂膠(顯影)單元的方便、快捷的維修與及時(shí)更換，即插即用。
文檔編號G03F7/16GK201262684SQ20082001538
公開日2009年6月24日 申請日期2008年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月3日
發(fā)明者猛 魏 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司