專利名稱：對(duì)準(zhǔn)方法、對(duì)準(zhǔn)裝置及曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使光掩模與將一定的圖案形成為矩陣狀且沿一方向輸送中的被曝光體進(jìn)行位置對(duì)合的對(duì)準(zhǔn)方法，詳細(xì)而言，涉及即使對(duì)于復(fù)雜圖形的圖案也能夠進(jìn)行高精度的位置對(duì)合的對(duì)準(zhǔn)方法、對(duì)準(zhǔn)裝置及曝光裝置。
背景技術(shù)：
以往的這種對(duì)準(zhǔn)方法通過將多個(gè) 受光元件在與濾色基板的輸送方向正交的方向上排列成一直線狀而成的攝像機(jī)構(gòu)，拍攝在濾色基板(被曝光體)上形成的矩形形狀的多個(gè)像素，基于該攝像圖像的亮度信息來檢測(cè)濾色基板的左端像素的左側(cè)緣部的位置，算出該左端像素的左側(cè)緣部的位置與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)的基準(zhǔn)位置(目標(biāo)位置)之間的位置偏差量，為了補(bǔ)償該位置偏差量而使光掩模沿著與濾色基板的輸送方向正交的方向移動(dòng)，以進(jìn)行光掩模與濾色基板的位置對(duì)合(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。先行技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2008-76709號(hào)公報(bào)然而，在這種現(xiàn)有的對(duì)準(zhǔn)方法中，檢測(cè)亮度從暗到明變化的位置，并以該位置為基準(zhǔn)來進(jìn)行被曝光體的圖案與光掩模的開口部的位置對(duì)合，因此，對(duì)于矩形形狀的簡(jiǎn)單圖形的圖案，在圖案的緣部設(shè)定的基準(zhǔn)位置的檢測(cè)容易且位置對(duì)合也容易，但對(duì)于例如TFT基板那樣的在像素內(nèi)具有配線圖案的復(fù)雜圖形的圖案或通過反射照明所得到的復(fù)雜的線條畫圖形的圖案，在圖案的緣部設(shè)定的基準(zhǔn)位置的檢測(cè)困難，位置對(duì)合不容易。因而，難以高精度地進(jìn)行被曝光體的圖案與光掩模的開口部的位置對(duì)合。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明應(yīng)對(duì)這種問題點(diǎn)，其目的在于提供一種即使對(duì)于復(fù)雜圖形的圖案也能夠進(jìn)行光掩模的高精度的位置對(duì)合的對(duì)準(zhǔn)方法、對(duì)準(zhǔn)裝置及曝光裝置。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)方法使光掩模與以矩陣狀具有一定圖案且沿著一方向輸送中的被曝光體進(jìn)行位置對(duì)合，并執(zhí)行如下的步驟對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)受光元件的排列方向上的亮度變化的位置的步驟，該攝像機(jī)構(gòu)具有在與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)所述受光元件；在所述被曝光體移動(dòng)一定距離期間，將在所述受光元件的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的所述亮度變化的次數(shù)沿著被曝光體的輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到與所述檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的步驟；使對(duì)于與所述圖案相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板從所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)的步驟；
根據(jù)超過了利用所述多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置的步驟；從所述確定的多個(gè)圖案的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置的步驟；算出所述選擇的圖案的位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量的步驟；以所述位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式至少使所述光掩模沿著與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng) ，從而進(jìn)行所述光掩模與所述被曝光體的位置對(duì)合的步驟。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，沿著一方向輸送以矩陣狀具有一定圖案的被曝光體，并對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)受光元件的排列方向上的亮度變化的位置，在被曝光體移動(dòng)一定距離期間，將在上述受光元件的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的亮度變化的次數(shù)沿著被曝光體的輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到與上述檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，使對(duì)于與上述圖案相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板從上述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，根據(jù)超過了利用該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)所規(guī)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置，從該確定的多個(gè)圖案的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置，算出該選擇的圖案的位置與攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量，以該位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式至少使光掩模沿著與被曝光體的輸送方向交叉的方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，從而進(jìn)行光掩模與被曝光體的位置對(duì)合，其中該攝像機(jī)構(gòu)具有在與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)所述受光元件。另外，在確定了所述多個(gè)圖案的位置之后，取代選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置的步驟，而執(zhí)行對(duì)所述多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置進(jìn)行運(yùn)算的步驟和從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的中點(diǎn)位置的步驟，在算出所述位置偏差量的步驟中，算出所述選擇的中點(diǎn)位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量。由此，在確定了多個(gè)圖案的位置后，運(yùn)算該確定的多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量。而且，在檢測(cè)所述亮度變化的位置的步驟中，檢測(cè)從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置，在得到所述多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的步驟中，將從明至暗及從暗至明的亮度變化的次數(shù)分別進(jìn)行累計(jì)而得到各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，在得到所述多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)的步驟中，對(duì)于所述算出的各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)及與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后，對(duì)該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)中的鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，在確定所述多個(gè)圖案的位置的步驟中，根據(jù)超過了利用所述平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置。由此，檢測(cè)從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置，將該從明至暗及從暗至明的亮度變化的次數(shù)分別進(jìn)行累計(jì)而得到各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，之后，對(duì)于該算出的各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)及與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，進(jìn)而對(duì)該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)中的鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置。此外，所述攝像機(jī)構(gòu)通過反射照明來拍攝所述被曝光體的圖案。由此，利用攝像機(jī)構(gòu)通過反射照明來拍攝被曝光體的圖案。并且，所述被曝光體是形成有配線圖案的TFT基板。由此，檢測(cè)形成有配線圖案的TFT基板的圖案的位置。另外，本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)裝置使光 掩模與以矩陣狀具有一定圖案且沿著一方向輸送中的被曝光體進(jìn)行位置對(duì)合，其特征在于，具備圖象處理部，其對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)受光元件的排列方向上的亮度變化的位置，在所述被曝光體移動(dòng)一定距離期間，將在所述受光元件的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的所述亮度變化的次數(shù)沿著被曝光體的輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到與所述檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，使對(duì)于與所述圖案相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板從所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，根據(jù)超過了利用該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置，其中，所述攝像機(jī)構(gòu)具有在與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)所述受光元件；運(yùn)算部，其從所述確定的多個(gè)圖案的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置，算出該選擇的圖案的位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏
差量;對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，其以所述位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式至少使所述光掩模沿著與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，從而進(jìn)行所述光掩模與所述被曝光體的位置對(duì)合。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，利用圖像處理部對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)受光元件的排列方向上的亮度變化的位置，在被曝光體移動(dòng)一定距離期間，將在上述受光元件的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的亮度變化的次數(shù)沿著被曝光體的輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到與上述檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，使對(duì)于與上述圖案相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板從上述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，根據(jù)超過了利用該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置，利用運(yùn)算部從確定的多個(gè)圖案的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置，算出該選擇的圖案的位置與攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量，通過對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，以上述位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式至少使光掩模沿著與被曝光體的輸送方向交叉的方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，從而進(jìn)行光掩模與被曝光體的位置對(duì)合，其中該攝像機(jī)構(gòu)具有在與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)所述受光兀件，該被曝光體將一定的圖案形成為矩陣狀且沿著一方向被輸送。而且，所述運(yùn)算部運(yùn)算所述確定的多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量。由此，利用運(yùn)算部運(yùn)算確定的多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量。并且，所述圖像處理部檢測(cè)從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置，將該從明至暗及從暗至明的亮度變化的次數(shù)分別進(jìn)行累計(jì)而得到各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，之后，對(duì)于該算出的各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)及與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，進(jìn)而對(duì)該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)中的鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后，根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置。 由此，利用圖像處理部檢測(cè)從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置，將該從明至暗及從暗至明的亮度變化的次數(shù)分別進(jìn)行累計(jì)而得到各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，之后，對(duì)于該算出的各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)及與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，進(jìn)而對(duì)該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)中的鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后，根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置。另外，本發(fā)明的曝光裝置使光掩模與以矩陣狀具有一定圖案且沿著一方向輸送中的被曝光體進(jìn)行位置對(duì)合并進(jìn)行曝光，其特征在于，具備光源，其放射紫外線；掩模臺(tái)，其與所述輸送中的被曝光體的面接近對(duì)置并保持所述光掩模；攝像機(jī)構(gòu)，其具有在與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)受光兀件，并對(duì)所述光掩模進(jìn)行曝光的曝光位置的向所述輸送方向的相反方向隔開一定距離的位置進(jìn)行拍攝；對(duì)準(zhǔn)裝置，其對(duì)通過所述攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)所述受光元件的排列方向上的亮度變化的位置，在所述被曝光體移動(dòng)一定距離期間，將在所述受光元件的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的所述亮度變化的次數(shù)沿著被曝光體的輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到與所述檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，使對(duì)于與所述圖案相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板從所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，根據(jù)超過了利用該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置，從該確定的多個(gè)圖案的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置，算出該選擇的圖案的位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量，以該位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式至少使所述光掩模沿著與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，從而進(jìn)行所述光掩模與所述被曝光體的位置對(duì)合。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，沿著一方向輸送以矩陣狀具有一定圖案的被曝光體，并利用對(duì)準(zhǔn)裝置對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)受光元件的排列方向上的亮度變化的位置，在被曝光體移動(dòng)一定距離期間，將在上述受光元件的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的亮度變化的次數(shù)沿著被曝光體的輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到與上述檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，使對(duì)于與上述圖案相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板從上述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，根據(jù)超過了利用該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置，從該確定的多個(gè)圖案的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置，算出該選擇的圖案的位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量，以上述位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式至少使與輸送中的被曝光體的面接近對(duì)置并保持光掩模的掩模臺(tái)沿著與被曝光體的輸送方向交叉的方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，從而進(jìn)行光掩模與被曝光體的位置對(duì)合，從光源放射紫外線而對(duì)被曝光體進(jìn)行曝光，其中該攝像機(jī)構(gòu)具有在與被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)受光元件。此外，所述對(duì)準(zhǔn)裝置在確定了所述多個(gè)圖案的位置后，運(yùn)算該多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo) 位置的位置偏差量。由此，利用對(duì)準(zhǔn)裝置在確定了多個(gè)圖案的位置后，運(yùn)算該多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量。并且，所述對(duì)準(zhǔn)裝置檢測(cè)從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置，將該從明至暗及從暗至明的亮度變化的次數(shù)分別進(jìn)行累計(jì)而得到各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，之后，對(duì)于該算出的各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)及與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，進(jìn)而對(duì)該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)中的鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后，根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置。由此，利用對(duì)準(zhǔn)裝置，檢測(cè)從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置，將該從明至暗及從暗至明的亮度變化的次數(shù)分別進(jìn)行累計(jì)而得到各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，之后，對(duì)于該算出的各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)及與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，進(jìn)而對(duì)該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后，根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置。[發(fā)明效果]根據(jù)本發(fā)明的第一或第六方面，即使形成于被曝光體的圖案的圖形復(fù)雜或像通過反射照明所得到那樣圖案為復(fù)雜的線條畫圖形，也能夠?qū)σ苿?dòng)中的被曝光體的攝像圖像依次進(jìn)行處理而容易檢測(cè)在與被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列的多個(gè)圖案的位置。因此，以檢測(cè)到的圖案的位置為基準(zhǔn)，能夠使光掩模追隨在與輸送方向交叉的方向上發(fā)生振動(dòng)且同時(shí)被輸送的被曝光體的移動(dòng)，從而能夠高精度地使光掩模的開口部與被曝光體的圖案進(jìn)行位置對(duì)合。而且，與二維圖像的圖案匹配法相比，能夠減小電路規(guī)模，且能夠高速地進(jìn)行圖像處理。因此，能夠縮短曝光工序的生產(chǎn)節(jié)拍。另外，根據(jù)本發(fā)明的第二、第七或第十方面，檢測(cè)確定的多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從而能夠以該中點(diǎn)位置為基準(zhǔn)來進(jìn)行被曝光體與光掩模的位置對(duì)合。此外，根據(jù)本發(fā)明的第三、第八或第十一方面，能夠更高精度地進(jìn)行圖案的位置的確定。因此，能夠進(jìn)一步提高被曝光體與光掩模的對(duì)準(zhǔn)精度。另外，根據(jù)本發(fā)明的第四方面，能夠容易進(jìn)行由不透明的基板構(gòu)成的被曝光體的圖案的位置檢測(cè)。
另外，根據(jù)本發(fā)明的第五方面，即使對(duì)于在像素內(nèi)具有配線圖案那樣的TFT基板，也能夠高精度地進(jìn)行光掩模的開口部的位置對(duì)合。并且，根據(jù)本發(fā)明的第九方面，即使形成于被曝光體的圖案的圖形復(fù)雜，也能夠?qū)σ苿?dòng)中的被曝光體的攝像圖像依次進(jìn)行處理而容易檢測(cè)在與被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列的多個(gè)圖案的位置。因此，以檢測(cè)到的圖案的位置為基準(zhǔn)，能夠使光掩模追隨在與輸送方向交叉的方向上發(fā)生振動(dòng)且同時(shí)被輸送的被曝光體的移動(dòng)，從而能夠高精度地使光掩模的開口部與被曝光體的圖案進(jìn)行位置對(duì)合來進(jìn)行曝光。而且，與二維圖像的圖案匹配法相比，能夠減小電路規(guī)模，且能夠高速地進(jìn)行圖像處理。因此，能夠縮短曝光工序的生產(chǎn)節(jié)拍。


圖I是表示本發(fā)明的曝光裝置的實(shí)施方式的主視圖。圖2是表示在上述實(shí)施方式中使用的濾色基板的俯視圖。圖3是表示在上述實(shí)施方式中使用的光掩模的俯視圖，是表示掩模圖案與攝像機(jī)構(gòu)的位置關(guān)系的說明圖。圖4是表示本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)裝置的實(shí)施方式的框圖。圖5是表示本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)方法的流程圖。圖6是表示本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)方法的說明圖，(a)表示濾色基板的反射照明圖像，(b)表示在(a)的濾色基板中與像素的輸送方向平行的緣部的檢測(cè)結(jié)果，(C)表示與上段的像素列對(duì)應(yīng)的邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，(d)表示與上段的像素對(duì)應(yīng)的單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)所構(gòu)成的模板，(e)表示將(d)與(C)進(jìn)行相關(guān)比較而得到的相關(guān)值數(shù)據(jù)，(f)表示對(duì)(e)的相關(guān)值數(shù)據(jù)中的鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到的平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)。圖7是表示向上述濾色基板上進(jìn)行曝光的曝光例的說明圖。
具體實(shí)施例方式以下，基于附圖，詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖I是表示本發(fā)明的曝光裝置的實(shí)施方式的主視圖。該曝光裝置使光掩模與將一定的圖案形成為矩陣狀且沿著一方向輸送中的被曝光體進(jìn)行位置對(duì)合來進(jìn)行曝光，具備輸送機(jī)構(gòu)I、曝光光學(xué)系統(tǒng)2、掩模臺(tái)3、攝像機(jī)構(gòu)4、照明用光源5、對(duì)準(zhǔn)裝置6。需要說明的是，在此，如圖2所示，被曝光體例如是將黑底為矩形形狀的像素7(圖案)形成為矩陣狀的濾色基板8，對(duì)沿著該圖所示的箭頭A方向輸送的情況進(jìn)行說明。上述輸送機(jī)構(gòu)I在上表面載置濾色基板8而沿著圖I中的箭頭A方向進(jìn)行輸送，將在上表面具有噴出氣體的多個(gè)噴出孔和對(duì)氣體進(jìn)行吸引的多個(gè)吸引孔的多個(gè)單位臺(tái)9沿著濾色基板8的輸送方向(以下，稱為“基板輸送方向”)并列設(shè)置，通過氣體的噴出與吸引的平衡而使濾色基板8在多個(gè)單位臺(tái)9上浮起規(guī)定量，在該狀態(tài)下，通過輸送輥10支承濾色基板8的兩端緣部來進(jìn)行輸送。在上述輸送機(jī)構(gòu)I的上方設(shè)有曝光光學(xué)系統(tǒng)2。該曝光光學(xué)系統(tǒng)2對(duì)后述的光掩模11照射均勻的光源光LI，從光路的上游朝向下游依次具備曝光用光源12、積光儀(photointegrator) 13、聚光透鏡 14。
在此，曝光用光源12放射紫外線，是激光振蕩器或氙氣閃光燈等。而且，積光儀13使從曝光用光源12放射的光源光LI的橫斷面內(nèi)的亮度分布均勻，是復(fù)眼透鏡、柱狀透鏡或光導(dǎo)管等。并且，聚光透鏡14將光源光LI形成為平行光而向光掩模11照射。在上述輸送機(jī)構(gòu)I與曝光光學(xué)系統(tǒng)2之間設(shè)有掩模臺(tái)3。該掩模臺(tái)3與輸送中的濾色基板8的面平行，且與該面接近對(duì)置而對(duì)光掩模11進(jìn)行保持，在掩模臺(tái)3的中央部形成開口 15而對(duì)光掩模11的緣部進(jìn)行保持。如圖3所示，上述光掩模11通過排列與上述像素7大致相同形狀的多個(gè)開口部(以下，稱為“掩模圖案16”)而形成，所述 多個(gè)開口部和平行于箭頭A(基板輸送方向)的中心線具有一定的位置關(guān)系，且其之間的間距是上述像素7在圖2中與箭頭A交叉(正交)方向上的排列間距的3倍。而且，在掩模圖案16的列的側(cè)方隔開一定距離形成有與掩模圖案16的列平行的細(xì)長狀的觀察口(viewport) 17,透過該觀察口 17利用后述的攝像機(jī)構(gòu)4能夠拍攝濾色基板8的表面。并且，如圖3所示，以掩模圖案16的列側(cè)成為箭頭A所示的基板輸送方向的前頭側(cè)的方式由掩模臺(tái)3保持。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，掩模圖案16的與基板輸送方向(箭頭A方向)交叉的方向的寬度形成為與像素7的同方向的排列間距相等的尺寸。更具體而言，光掩模11在透明的玻璃基板18的一面形成鉻(Cr)的遮光膜19，在該遮光膜19上形成上述掩模圖案16及觀察口 17，在玻璃基板18的另一面形成與掩模圖案16的列對(duì)應(yīng)的防反射膜，且與觀察口 17對(duì)應(yīng)地形成透過可視光而對(duì)紫外線進(jìn)行反射的濾光器的膜。并且，如圖I所示，以形成有遮光膜19的面成為下側(cè)的方式由掩模臺(tái)3保持。在上述輸送機(jī)構(gòu)I的上方設(shè)有攝像機(jī)構(gòu)4。該攝像機(jī)構(gòu)4在光掩模11進(jìn)行曝光的曝光位置的向基板輸送方向的相反方向隔開一定距離的位置上拍攝形成在濾色基板8上的多個(gè)像素7，如圖3所示，該攝像機(jī)構(gòu)4是沿著與基板輸送方向(箭頭A方向)交叉的方向?qū)⒍鄠€(gè)受光元件20排列成一直線狀而成的線性CCD (傳感器)。而且，在直線狀的受光部的規(guī)定位置(圖3中的中心位置)預(yù)先設(shè)有作為濾色基板8與光掩模11的位置對(duì)合目標(biāo)的目標(biāo)位置T。在本實(shí)施方式中，如圖3所示，以該目標(biāo)位置T與平行于箭頭A所示的基板輸送方向的光掩模11的中心線一致的方式配設(shè)攝像機(jī)構(gòu)4。在從上述輸送機(jī)構(gòu)I朝向攝像機(jī)構(gòu)4的光路被半透半反鏡27分支的光路上設(shè)有照明用光源5。該照明用光源5使照明光L2透過光掩模11的觀察口 17向?yàn)V色基板8照射，通過濾色基板8的反射光而使攝像機(jī)構(gòu)4能夠拍攝濾色基板8的像素7，該照明用光源5是主要放射可視光的鹵素?zé)舻取Ｒ陨鲜鲅谀Ｅ_(tái)3及攝像機(jī)構(gòu)4能夠一體地在與濾色基板8的面平行的面內(nèi)沿著與基板輸送方向交叉的方向移動(dòng)的方式設(shè)置對(duì)準(zhǔn)裝置6。該對(duì)準(zhǔn)裝置6對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)4以一定的時(shí)間間隔拍攝的多個(gè)一維圖像依次進(jìn)行處理，檢測(cè)攝像機(jī)構(gòu)4的受光元件20的排列方向上的從明至暗及從暗至明變化的亮度變化的位置，在濾色基板8移動(dòng)一定距離期間，將在受光元件20的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的上述亮度變化的次數(shù)沿著基板輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置所對(duì)應(yīng)的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D6(c))，使對(duì)于濾色基板8的像素7的相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板26(參照該圖(d))從上述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)上述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，來求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一相關(guān)值數(shù)據(jù)(參照該圖(e)的實(shí)線)，同時(shí)，求出與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二相關(guān)值數(shù)據(jù)(參照該圖(e)的虛線)，之后，利用上述多個(gè)第一及第二相關(guān)值數(shù)據(jù)對(duì)鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)(參照該圖(f))，然后根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)像素7的位置，并運(yùn)算該確定的多個(gè)像素7的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T的位置偏差量，以該位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式使光掩模11沿著與基板輸送方向交叉的方向移動(dòng)，從而進(jìn)行光掩模11與濾色基板8的位置對(duì)合(對(duì)準(zhǔn))，如圖4所示，該對(duì)準(zhǔn)裝置6具備對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)21、位置偏差量檢測(cè)部22、對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)控制器23。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，由于光掩模11的掩模圖案16的與基 板輸送方向交叉的方向的寬度形成為與像素7的同方向的排列間距相等的尺寸，因此通過上述對(duì)準(zhǔn)，將掩模圖案16的與基板輸送方向(箭頭A方向)平行的兩端緣部定位在相鄰的像素7之間的中間位置。 在此，上述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)21使掩模臺(tái)3和攝像機(jī)構(gòu)4 一體地在與濾色基板8的面平行的面內(nèi)沿著與基板輸送方向交叉的方向移動(dòng)，例如由電動(dòng)機(jī)和滑動(dòng)臺(tái)等構(gòu)成。而且，上述位置偏差量檢測(cè)部22對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)4拍攝到的圖像進(jìn)行處理而運(yùn)算光掩模11與濾色基板8之間的位置偏差量，如圖4所示，包括圖像處理部24和由CPU構(gòu)成的運(yùn)算部25。這種情況下，圖像處理部24對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)4以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理，檢測(cè)攝像機(jī)構(gòu)4的受光元件20的排列方向上的從明至暗及從暗至明變化的亮度變化的位置，在濾色基板8移動(dòng)一定距離期間，將在受光元件20的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的上述亮度變化的次數(shù)沿著基板輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置所對(duì)應(yīng)的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)(這不是攝像機(jī)構(gòu)4所進(jìn)行的一直線的數(shù)據(jù)取入中得到的邊緣個(gè)數(shù)的累計(jì)的數(shù)據(jù))，使對(duì)于濾色基板8的像素7的相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板26從上述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)上述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，來求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一相關(guān)值數(shù)據(jù)，同時(shí)，求出與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后，利用上述多個(gè)第一及第二相關(guān)值數(shù)據(jù)對(duì)鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，然后根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)像素7的位置。而且，運(yùn)算部25運(yùn)算由圖像處理部24確定的多個(gè)像素7的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T的位置偏差量，該運(yùn)算部25通過軟件來執(zhí)行運(yùn)算處理。并且，對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)控制器23驅(qū)動(dòng)控制對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)21的電動(dòng)機(jī)，以運(yùn)算部25所算出的上述位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式使掩模臺(tái)3和攝像機(jī)構(gòu)4 一體移動(dòng)。接下來，參照?qǐng)D5的流程圖說明如此構(gòu)成的曝光裝置的動(dòng)作及本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)方法。首先，將涂敷了規(guī)定的彩色抗蝕劑的濾色基板8定位并載置在輸送機(jī)構(gòu)I上的規(guī)定位置，沿著圖I所示的箭頭A方向以一定速度輸送。當(dāng)濾色基板8的基板輸送方向前頭側(cè)到達(dá)攝像機(jī)構(gòu)4的攝像位置時(shí)，開始基于攝像機(jī)構(gòu)4的攝像。此時(shí)，照明用光源5的照明光L2透過光掩模11的觀察口 17向?yàn)V色基板8照射，被濾色基板8反射的照明光L2由攝像機(jī)構(gòu)4接受。由此，通過攝像機(jī)構(gòu)4來拍攝形成于濾色基板8的多個(gè)像素7的與基板輸送方向(箭頭A)交叉的方向的一維圖像。這種攝像機(jī)構(gòu)4的攝像每當(dāng)濾色基板8移動(dòng)了與受光元件20的基板輸送方向(圖3所示的箭頭A方向)的寬度大致相等的距離時(shí)執(zhí)行。需要說明的是，如圖6(a)所示，通過上述那樣的反射照明所拍攝到的圖像成為像素7的緣部被鑲邊成黑色的線條畫圖形。在此，首先，在步驟SI中，通過攝像機(jī)構(gòu)4以一定的時(shí)間間隔拍攝到的圖像由圖像處理部24依次處理，在與基板輸送方向交 叉的方向上分別檢測(cè)濾色基板8的像素7的從明至暗進(jìn)行亮度變化的多個(gè)邊緣(參照?qǐng)D6(b)的實(shí)線)及從暗至明進(jìn)行亮度變化的多個(gè)邊緣(參照該圖(b)的虛線)。在步驟S2中，在濾色基板8移動(dòng)與像素7的基板輸送方向的排列間距相同的距離期間，將在攝像機(jī)構(gòu)4的受光元件20的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的從明至暗的亮度變化的次數(shù)沿著基板輸送方向進(jìn)行累計(jì)，而得到與檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D6(c)的實(shí)線)，并將從暗至明的亮度變化的次數(shù)沿著基板輸送方向進(jìn)行累計(jì)，而得到與檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D6(c)的虛線)。在步驟S3中，使對(duì)于濾色基板8的像素7的相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板26 (參照?qǐng)D6 (d))從上述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)(參照該圖(c)的箭頭B)，并對(duì)上述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，來求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一相關(guān)值數(shù)據(jù)(參照該圖(e)的實(shí)線)，同時(shí)，求出與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二相關(guān)值數(shù)據(jù)(參照該圖(e)的虛線)。此時(shí)，基于多個(gè)第一相關(guān)值數(shù)據(jù)能夠確定該圖(C)的箭頭B方向上的多個(gè)第一像素位置，基于多個(gè)第二相關(guān)值數(shù)據(jù)能夠確定多個(gè)第二像素位置。在此，模板26的中心坐標(biāo)設(shè)定成與該圖(d)的上段所示的像素7的中心一致。因此，上述第一相關(guān)值數(shù)據(jù)和第二相關(guān)值數(shù)據(jù)原本應(yīng)該相互一致而出現(xiàn)在各像素7的中心位置。然而，實(shí)際上，由于攝像機(jī)構(gòu)4的受光元件20的檢測(cè)精度，使第一相關(guān)值數(shù)據(jù)和第二相關(guān)值數(shù)據(jù)存在該圖(e)所示那樣不一致的情況。因此，在本實(shí)施方式中，為了進(jìn)一步提高各像素7的位置的確定精度，利用上述第一及第二相關(guān)值數(shù)據(jù)對(duì)鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)(參照該圖(f))。在步驟S4中，根據(jù)超過了利用在步驟S3中得到的平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，來確定多個(gè)像素7的位置(參照?qǐng)D6(f))。在步驟S5中，運(yùn)算在步驟S4中確定的多個(gè)像素7的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置。這種情況下，該中點(diǎn)位置相當(dāng)于相鄰的像素7之間的黑底上的中心位置。在步驟S6中，從在步驟S5中算出的多個(gè)中點(diǎn)位置中抽出與設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T接近的中點(diǎn)位置。在步驟S7中，算出在步驟S6中抽出的中點(diǎn)位置與設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T之間的位置偏差量。在步驟S8中，通過對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)控制器23來驅(qū)動(dòng)控制對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)21的電動(dòng)機(jī)，以步驟S7中算出的位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值例如零的方式使掩模臺(tái)3和攝像機(jī)構(gòu)4 一體地沿著與基板輸送方向交叉的方向移動(dòng)，來進(jìn)行光掩模11的掩模圖案16與濾色基板8的像素7的位置對(duì)合。并且，上述步驟SI S8在濾色基板8的移動(dòng)中也始終執(zhí)行，使光掩模11與移動(dòng)中的濾色基板8進(jìn)行位置對(duì)合并進(jìn)行曝光。因此，即使濾色基板8在發(fā)生左右振動(dòng)的同時(shí)被輸送，也能夠使光掩模11自動(dòng)追隨濾色基板8的移動(dòng)來進(jìn)行曝光，從而能夠提高重疊曝光精度。這種情況下，在上述步驟S4中，在得到超過了預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)之后，即，在對(duì)像素7進(jìn)行檢測(cè)之后，立即基于輸送機(jī)構(gòu)I具備的未圖示的位置傳感器的輸出，開始運(yùn)算濾色基板8的移動(dòng)距離，當(dāng)濾色基板8移動(dòng)一定距離而基板輸送方向前頭側(cè)的像素7到達(dá)光掩模11的掩模圖案16的正下方時(shí)，使曝光用光源12點(diǎn)亮一定時(shí)間。由此，使光源光LI向光掩模11照射一定時(shí)間而能夠?qū)V色基板8的像素7上的彩色抗蝕劑進(jìn)行曝光。之后，每當(dāng)濾色基板8移動(dòng)與圖2所示的像素7的基板輸送方向(箭頭A方向)的排列間距相等的距離時(shí)，使曝光用光源12點(diǎn)亮 一定時(shí)間而執(zhí)行曝光。或者也可以將各像素7的檢測(cè)時(shí)作為基準(zhǔn)來控制光源光LI的照射時(shí)機(jī)。由此，如圖7中附加斜線所示，能夠在濾色基板8的目標(biāo)像素7上曝光形成對(duì)應(yīng)色的彩色抗蝕劑。需要說明的是，在上述實(shí)施方式中，說明了利用第一及第二相關(guān)值數(shù)據(jù)對(duì)鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，然后根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)像素7的位置的情況，但本發(fā)明并不局限于此，也可以根據(jù)超過了利用第一或第二相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)像素7的位置。另外，在上述實(shí)施方式中，說明了利用位置被確定的多個(gè)像素7來運(yùn)算多個(gè)鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，并從該多個(gè)鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T的位置偏差量的情況，但本發(fā)明并不局限于此，也可以從確定的多個(gè)像素7的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T接近的像素7的位置，算出該選擇的像素7的位置與攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T的位置偏差量。此外，在上述實(shí)施方式中，說明了對(duì)準(zhǔn)裝置6使掩模臺(tái)3和攝像機(jī)構(gòu)4 一體地沿著與基板輸送方向交叉的方向移動(dòng)的情況，但本發(fā)明并不局限于此，也可以僅使掩模臺(tái)3移動(dòng)。這種情況下，若能夠利用線性刻度尺等計(jì)測(cè)掩模臺(tái)3的移動(dòng)距離，則只要使掩模臺(tái)3移動(dòng)與濾色基板8的上述選擇的中點(diǎn)位置和攝像機(jī)構(gòu)4的目標(biāo)位置T的位置偏差量相等的距離即可?；蛘邔?duì)準(zhǔn)裝置6還可以使濾色基板8沿著與基板輸送方向交叉的方向移動(dòng)。另外，在上述實(shí)施方式中，說明了被曝光體是在表面形成有比較簡(jiǎn)單的圖形的圖案(像素7)的濾色基板8的情況，但本發(fā)明并不局限于此，被曝光體也可以是形成任意圖形的圖案的物體，例如是在像素7內(nèi)具有復(fù)雜配線圖案的TFT基板。并且，在這種形成有復(fù)雜圖形的圖案的被曝光體中，能有效地發(fā)揮本發(fā)明的特征。并且，在上述實(shí)施方式中，說明了照明為反射照明的情況，但本發(fā)明并不局限于此，照明也可以是透過被曝光體的透過照明。[符號(hào)說明]I…輸送機(jī)構(gòu)3…掩模臺(tái)4…攝像機(jī)構(gòu)
6…對(duì)準(zhǔn)裝置7…像素(圖案)8…濾色基板(被曝光體)11…光掩模12…曝光用光源(光源)20…受光元件 21…對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)24…圖像處理部25…運(yùn)算部26…模板
權(quán)利要求
1.一種對(duì)準(zhǔn)方法,使光掩模與以矩陣狀具有一定圖案且沿著一方向輸送中的被曝光體進(jìn)行位置對(duì)合，其特征在于，執(zhí)行如下的步驟 對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)受光元件的排列方向上的亮度變化的位置的步驟，該攝像機(jī)構(gòu)具有在與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)所述受光元件； 在所述被曝光體移動(dòng)一定距離期間，將在所述受光元件的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的所述亮度變化的次數(shù)沿著被曝光體的輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到與所述檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的步驟； 使對(duì)于與所述圖案相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板從所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)的步驟； 根據(jù)超過了利用所述多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置的步驟； 從所述確定的多個(gè)圖案的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置的步驟； 算出所述選擇的圖案的位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量的步驟； 以所述位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式至少使所述光掩模沿著與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，從而進(jìn)行所述光掩模與所述被曝光體的位置對(duì)合的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，在確定了所述多個(gè)圖案的位置之后，取代選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置的步驟，而執(zhí)行對(duì)所述多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置進(jìn)行運(yùn)算的步驟和從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的中點(diǎn)位置的步驟，在算出所述位置偏差量的步驟中，算出所述選擇的中點(diǎn)位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于， 在檢測(cè)所述亮度變化的位置的步驟中，檢測(cè)從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置，在得到所述多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的步驟中，將從明至暗及從暗至明的亮度變化的次數(shù)分別進(jìn)行累計(jì)而得到各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，在得到所述多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)的步驟中，對(duì)于所述算出的各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)及與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后，對(duì)該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)中的鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，在確定所述多個(gè)圖案的位置的步驟中，根據(jù)超過了利用所述平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于， 所述攝像機(jī)構(gòu)通過反射照明來拍攝所述被曝光體的圖案。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于， 所述被曝光體是形成有配線圖案的TFT基板。
6.一種對(duì)準(zhǔn)裝置，使光掩模與以矩陣狀具有一定圖案且沿著一方向輸送中的被曝光體進(jìn)行位置對(duì)合，其特征在于，具備 圖象處理部，其對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)受光元件的排列方向上的亮度變化的位置，在所述被曝光體移動(dòng)一定距離期間，將在所述受光元件的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的所述亮度變化的次數(shù)沿著被曝光體的輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到與所述檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，使對(duì)于與所述圖案相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板從所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，根據(jù)超過了利用該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù) 據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置，其中，所述攝像機(jī)構(gòu)具有在與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)所述受光元件； 運(yùn)算部，其從所述確定的多個(gè)圖案的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置，算出該選擇的圖案的位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量; 對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，其以所述位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式至少使所述光掩模沿著與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，從而進(jìn)行所述光掩模與所述被曝光體的位置對(duì)合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于， 所述運(yùn)算部運(yùn)算所述確定的多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于， 所述圖像處理部檢測(cè)從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置，將該從明至暗及從暗至明的亮度變化的次數(shù)分別進(jìn)行累計(jì)而得到各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，之后，對(duì)于該算出的各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)及與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，進(jìn)而對(duì)該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)中的鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后，根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置。
9.一種曝光裝置，使光掩模與以矩陣狀具有一定圖案且沿著一方向輸送中的被曝光體進(jìn)行位置對(duì)合并進(jìn)行曝光，其特征在于，具備 光源，其放射紫外線； 掩模臺(tái)，其與所述輸送中的被曝光體的面接近對(duì)置并保持所述光掩模； 攝像機(jī)構(gòu)，其具有在與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)受光兀件，并對(duì)所述光掩模進(jìn)行曝光的曝光位置的向所述輸送方向的相反方向隔開一定距離的位置進(jìn)行拍攝； 對(duì)準(zhǔn)裝置，其對(duì)通過所述攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)所述受光元件的排列方向上的亮度變化的位置，在所述被曝光體移動(dòng)一定距離期間，將在所述受光元件的排列方向上的相同位置檢測(cè)到的所述亮度變化的次數(shù)沿著被曝光體的輸送方向進(jìn)行累計(jì)，得到與所述檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，使對(duì)于與所述圖案相同形狀的圖案預(yù)先設(shè)定了單位邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的模板從所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)的排列方向的一端朝向另一端移動(dòng)，并對(duì)所述算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，根據(jù)超過了利用該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置，從該確定的多個(gè)圖案的位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置，算出該選擇的圖案的位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量，以該位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式至少使所述光掩模沿著與所述被曝光體的輸送方向交叉的方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，從而進(jìn)行所述光掩模與所述被曝光體的位置對(duì)合。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的曝光裝置，其特征在于， 所述對(duì)準(zhǔn)裝置在確定了所述多個(gè)圖案的位置后，運(yùn)算該多個(gè)圖案的鄰近對(duì)的中點(diǎn)位置，從該多個(gè)中點(diǎn)位置中選擇與預(yù)先設(shè)定于所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的中點(diǎn)位置，算出該選擇的中點(diǎn)位置與所述攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的曝光裝置，其特征在于， 所述對(duì)準(zhǔn)裝置檢測(cè)從明至暗及從暗至明的亮度變化的位置，將該從明至暗及從暗至明的亮度變化的次數(shù)分別進(jìn)行累計(jì)而得到各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，之后，對(duì)于該算出的各邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，求出與從明至暗的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)及與從暗至明的亮度變化對(duì)應(yīng)的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，進(jìn)而對(duì)該多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)中的鄰近對(duì)進(jìn)行平均而得到平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)，之后，根據(jù)超過了利用該平均化相關(guān)值數(shù)據(jù)所預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種對(duì)準(zhǔn)方法、對(duì)準(zhǔn)裝置及曝光裝置。一邊輸送將圖案形成為矩陣狀的基板，一邊對(duì)通過攝像機(jī)構(gòu)以一定的時(shí)間間隔拍攝到的多個(gè)圖像依次進(jìn)行處理而檢測(cè)受光元件的排列方向上的亮度變化的位置，在基板移動(dòng)一定距離期間，將在相同位置檢測(cè)到的亮度變化的次數(shù)進(jìn)行累計(jì)，得到與檢測(cè)到的亮度變化的位置對(duì)應(yīng)排列的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)，使模板移動(dòng)，并對(duì)算出的多個(gè)邊緣個(gè)數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)，根據(jù)超過了預(yù)先設(shè)定的閾值的多個(gè)相關(guān)值數(shù)據(jù)來確定多個(gè)圖案的位置，從其中選擇與攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置接近的圖案的位置，算出該圖案的位置與攝像機(jī)構(gòu)的目標(biāo)位置的位置偏差量，以該位置偏差量成為預(yù)先設(shè)定的值的方式使光掩模沿著與基板的輸送方向大致正交的方向移動(dòng)，其中該攝像機(jī)構(gòu)具有在與基板的輸送方向交叉的方向上排列成一直線狀的多個(gè)受光元件。
文檔編號(hào)G03F9/00GK102804075SQ201080028720
公開日2012年11月28日 申請(qǐng)日期2010年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月29日
發(fā)明者巖本正實(shí) 申請(qǐng)人:株式會(huì)社V技術(shù)