專利名稱：感光樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種樹脂組合物，尤其涉及一種負(fù)型感光樹脂組合物。
背景技術(shù)：
感光材料是指對光產(chǎn)生反應(yīng)而在吸收光能量后發(fā)生分子內(nèi)(Intra-reaction)或分子間(Inter-reaction)變化(例如極性變化、鏈斷裂或鏈交聯(lián))，并導(dǎo)致曝光區(qū)與未曝光區(qū)對顯影液產(chǎn)生溶解速率上差異的材料。例如，負(fù)型感光材料在曝光后產(chǎn)生交聯(lián)反應(yīng)而變得難溶于顯影液；反之，正型感光材料則于曝光后變得易溶于顯影液，因此，其曝光區(qū)會溶解于顯影液而被除去。光刻技術(shù)(photolithography)利用感光材料的特性,通過曝光、顯影等步驟來制作電子元件中的精細(xì)圖案。光刻工序中，將感光材料覆蓋于基板上，使光線透過光罩在感光材料上進(jìn)行選擇性曝光，再利用曝光區(qū)與未曝光區(qū)在溶解速率上的差異進(jìn)行顯影，使光罩上的圖案(例如線路圖案)轉(zhuǎn)移至感光材料上。目前，感光材料已廣泛應(yīng)用于印刷電路板(PCB)、集成電路(1C)、液晶顯示面板(LCD)和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)等領(lǐng)域，用于制作例如光阻劑以及電子元件中的保護(hù)層或絕緣層。日本專利申請JP2007-156139揭示了一種感光樹脂組合物，可用于制作液晶顯示面板中的光間隔體，并提供極佳彈性。由于微型化與高集成度(Integration)的發(fā)展趨勢,對感光材料的要求也日益嚴(yán)格，因此,為符合高分辨率的需求并提升產(chǎn)品的可靠性及合格率,感光材料必須具有高感光性、高透光性、高表面硬度、高耐熱性、高平坦度、高抗蝕性、低熱膨脹性，以及對基板(例如，液晶顯示面板、觸控面板中的銦錫氧化物(ITO))的高附著力等特性。美國專利US7374861揭露含有聚酰亞胺、具叔胺基的不飽和乙烯基單體及光引發(fā)劑的感光組合物，通過所述單體可縮短顯影時(shí)間。日本專利JP3994429揭露一種可用于形成液晶顯示面板、集成電路裝置或固態(tài)影像攝取裝置(solid state image pickup device)中的薄膜的樹脂組合物，可提供良好的表面平滑度(surface smoothness)、耐熱性(heat resistance)、透明度(transparency)及耐化學(xué)性(chemical resistance)。此外，美國專利 US6432616 通過將含有不飽和鍵及/或雜原子的支鏈導(dǎo)入聚合物中，以提高感光材料的感光性及對銅基板的附著力。臺灣專利TWl8O3Il則揭露一種用于短波長成像(short wavelength imaging)的光阻劑，可提供良好的分辨率及對銅基板的附著力。然而，為符合產(chǎn)業(yè)需求，仍亟需具有高附著力，并同時(shí)提供高表面硬度及高透光性等特性的材料。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種感光樹脂組合物，包括(A)具有環(huán)氧結(jié)構(gòu)的堿溶性樹脂，由包含(al)選自丙烯酸系單體、其酸酐或其混合物的聚合性單體與(a2)含環(huán)氧結(jié)構(gòu)的丙烯酸系單體聚合的共聚物，其特征是，以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，所述堿溶性樹脂的含量為10至50wt% ； (B)以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，I至10wt%的具有乙烯 型不飽和鍵(ethylenicallyunsaturated bond)的可光聚合(photopolymerizable)化合物；(C)以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，I至10wt%的光引發(fā)劑；以及(D)以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，I至10wt%的固化劑。根據(jù)本發(fā)明一具體實(shí)施例，丙烯酸系單體是丙烯酸或甲基丙烯酸，而不飽和羧酸酐是丙烯酸酐或甲基丙烯酸酐。根據(jù)本發(fā)明一具體實(shí)施例，含環(huán)氧結(jié)構(gòu)的丙烯酸系單體含有式(I)結(jié)構(gòu)
權(quán)利要求
1.一種感光樹脂組合物，包括 (A)具有環(huán)氧結(jié)構(gòu)的堿溶性樹脂，由包含(al)選自丙烯酸系單體、其酸酐或其混合物的聚合性單體與(a2)含環(huán)氧結(jié)構(gòu)的丙烯酸系單體聚合的共聚物，其中，以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，所述堿溶性樹脂的含量為10至50wt% ； (B)以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，I至10wt%的具有乙烯型不飽和鍵的可光聚合化合物； (C)以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，I至10wt%的光引發(fā)劑；以及 (D)以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，I至10wt%的固化劑。
2.如權(quán)利要求I所述的感光樹脂組合物，其特征在于，所述丙烯酸系單體是丙烯酸或甲基丙烯酸。
3.如權(quán)利要求I所述的感光樹脂組合物，其特征在于，所述含環(huán)氧結(jié)構(gòu)的丙烯酸系單體含有式(I)結(jié)構(gòu)
4.如權(quán)利要求I所述的感光樹脂組合物，其特征在于，所述具有環(huán)氧結(jié)構(gòu)的堿溶性樹脂的重均分子量為5000至15000。
5.如權(quán)利要求I所述的感光樹脂組合物，其特征在于，所述具有環(huán)氧結(jié)構(gòu)的堿溶性樹脂中，(al)選自丙烯酸系單體、其酸酐或其混合物的聚合性單體與(a2)含環(huán)氧結(jié)構(gòu)的丙烯酸系單體的重量比為I : O. 8至I : 3。
6.如權(quán)利要求I所述的感光樹脂組合物，其特征在于，所述固化劑具有式(II)結(jié)構(gòu)
7.如權(quán)利要求6所述的感光樹脂組合物，其特征在于，以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，所述固化劑的含量為3至5wt%。
8.如權(quán)利要求I所述的感光樹脂組合物，還包括溶劑。
9.如權(quán)利要求8所述的感光樹脂組合物，其特征在于，以所述感光樹脂組合物的總重為基準(zhǔn)計(jì)，所述溶劑的含量為60至70wt%。
10.如權(quán)利要求I所述的感光樹脂組合物，還包括添加劑。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光樹脂組合物，其包括具有環(huán)氧結(jié)構(gòu)的堿溶性樹脂、具有乙烯型不飽和鍵的可光聚合化合物、光引發(fā)劑及固化劑。本發(fā)明感光樹脂組合物可提供符合產(chǎn)業(yè)利用需求的優(yōu)異表面硬度、附著力及透光性。
文檔編號G03F7/038GK102636955SQ201110037678
公開日2012年8月15日 申請日期2011年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月10日
發(fā)明者周俊欽, 張志毅, 林昱伶, 趙志翰 申請人:臺灣永光化學(xué)工業(yè)股份有限公司