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      感光性樹脂層疊體卷的制作方法

      文檔序號:11120569閱讀:914來源:國知局
      感光性樹脂層疊體卷的制造方法與工藝

      技術領域
      本發(fā)明涉及感光性樹脂層疊體卷。
      背景技術
      :以往,作為感光性元件的包裝公開了幾種方式。例如公開了為了保護卷端面而設置端面保護部件的包裝(專利文獻1)?,F(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2005-41537號公報技術實現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題本發(fā)明要解決的課題在于,提供在啟封時可以簡單地將異物從感光性樹脂層疊體卷端面去除的感光性樹脂層疊體卷。用于解決問題的方案上述課題可以通過本發(fā)明的以下技術方案來解決。即本發(fā)明如下:[1]一種感光性樹脂層疊體卷,其中,將感光性樹脂層疊體在卷芯上卷繞成卷狀,卷端面保護部件按照與卷繞起來的感光性樹脂層疊體的端面接觸的方式配置,所述卷端面保護部件在用于與卷端面接觸的側具有粘合劑組合物,所述感光性樹脂層疊體至少包含支撐層、和層疊于該支撐層的感光性樹脂層。[2]根據(jù)第[1]項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,其由遮光片材覆蓋。[3]根據(jù)第[2]項述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述遮光片材為筒狀。[4]根據(jù)第[1]~[3]項中任一項所述的感光性樹脂層疊體卷,其中,所述卷芯的長度比所述感光性樹脂層疊體的寬度長,所述卷端面保護部件為配置于在卷繞成卷狀的感光性樹脂層疊體的端面的環(huán)狀片材,該環(huán)狀片材以貫穿所述卷芯的伸出部的方式配置。[5]根據(jù)第[4]項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述環(huán)狀片材的內徑為卷芯外徑的1~1.1倍。[6]根據(jù)第[4]或[5]項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述環(huán)狀片材按照其一半存在于空中的方式設置在水平伸出的平板上,將所述環(huán)狀片材的存在于空中的部分中離平板最遠的所述環(huán)狀片材的前端、與平板的與所述環(huán)狀片材接觸側的面之間的距離設為彎曲距離H(mm)、所述環(huán)狀片材外徑的一半設為R(mm)時,H/R為0.06~0.59。[7]根據(jù)第[1]~[6]項中任一項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述端面保護部件與低密度聚乙烯薄膜的粘接力為5gf/inch~250gf/inch。[8]根據(jù)第[1]~[7]項中任一項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述卷端面保護部件的基材為無塵紙、低塵紙、合成紙、或者、紙與樹脂基材貼合而成的物質。[9]根據(jù)第[1]~[8]項中任一項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述感光性樹脂層是包含感光性樹脂組合物的層,所述感光性樹脂組合物包含含有羧基的堿可溶性高分子、加成聚合性單體、光聚合引發(fā)劑。[10]根據(jù)第[9]項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述含有羧基的堿可溶性高分子為苯乙烯或其衍生物共聚而成的物質。[11]根據(jù)第[9]或[10]項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述加成聚合性單體包含雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。[12]根據(jù)第[9]~[11]項中任一項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述光聚合引發(fā)劑包含六芳基聯(lián)咪唑或其衍生物。[13]根據(jù)第[1]~[12]項中任一項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述粘合劑組合物包含丙烯酸(酯)系樹脂。[14]根據(jù)第[1]~[13]項中任一項所述的感光性樹脂層疊體卷,其特征在于,所述粘合劑組合物含有粘合劑和顆粒,該顆粒的50質量%以上具有該粘合劑組合物的涂布厚度的80~120%的直徑,并且該顆粒的含量相對于100重量份粘合劑為5重量份至30重量份。[15]一種感光性樹脂層疊體卷的制造方法,其特征在于,在卷芯上卷繞成卷狀的感光性樹脂層疊體,以與卷繞起來的感光性樹脂層疊體的端面接觸方式配置卷端面保護部件,其中,該卷芯的長度比該感光性樹脂層疊體的寬度長,該感光性樹脂層疊體至少包含支撐層、和層疊于該支撐層的感光性樹脂層,該卷端面保護部件在與卷端面接觸的側具有粘合劑組合物,該卷端面保護部件是下述環(huán)狀片材:以一體或分割成多個部分的狀態(tài)在卷繞成卷狀的感光性樹脂層疊體的端面配置,在配置于卷繞成卷狀的感光性樹脂層疊體的端面上后該環(huán)狀片材的內徑為卷芯外徑的1~1.1倍。[16]根據(jù)第[15]項所述的感光性樹脂層疊體卷的制造方法,其特征在于,所述環(huán)狀片材的內徑為所述卷芯的外徑的1.001~1.1倍,以貫穿所述卷芯的伸出部的方式配置所述環(huán)狀片材。[17]根據(jù)第[15]或[16]項所述的感光性樹脂層疊體卷的制造方法,其特征在于,所述環(huán)狀片材按照其一半存在于空中的方式設置在水平伸出的平板上,將所述環(huán)狀片材的存在于空中的部分中離平板最遠的所述環(huán)狀片材的前端、與平板的與所述環(huán)狀片材接觸側的面之間的距離設為彎曲距離H(mm)、所述環(huán)狀片材外徑的一半設為R(mm)時,H/R為0.06~0.59。[18]根據(jù)第[15]~[17]項中任一項所述的感光性樹脂層疊體卷的制造方法,其特征在于,所述環(huán)狀片材與低密度聚乙烯薄膜的粘接力為5gf/inch~250gf/inch。[19]一種感光性樹脂層疊體卷的包裝方法,其特征在于,使用權利要求15~18中任一項所述的方法制造感光性樹脂層疊體卷,進一步由筒狀的遮光片材覆蓋所述感光性樹脂層疊體卷。[20]一種環(huán)狀片材,其為薄膜在卷芯上卷繞成卷狀的薄膜卷用的環(huán)狀片材,其中,所述卷芯的長度比所述薄膜的寬度長,所述環(huán)狀片材的內徑為卷芯外徑的1~1.1倍,并且所述環(huán)狀片材與所述卷繞的薄膜的端面接觸,在所述環(huán)狀片材的與該端面接觸的側具有粘合劑組合物,以貫穿所述卷芯的伸出部的方式配置在薄膜卷上。[21]根據(jù)第[20]項所述的環(huán)狀片材,其中,所述薄膜為感光性樹脂層疊體。[22]根據(jù)第[20]或[21]項所述的環(huán)狀片材,其特征在于,所述環(huán)狀片材按照其一半存在于空中的方式設置在水平伸出的平板上,將所述環(huán)狀片材的存在于空中的部分中離平板最遠的所述環(huán)狀片材的前端、與平板的與所述環(huán)狀片材接觸側的面之間的距離設為彎曲距離H(mm)、所述環(huán)狀片材外徑的一半設為R(mm)時,H/R為0.06~0.59。[23]根據(jù)第[20]~[22]項中任一項所述的環(huán)狀片材,其特征在于,其與低密度聚乙烯薄膜的粘接力為5gf/inch~250gf/inch。[24]根據(jù)第[20]~[23]項中任一項所述的環(huán)狀片材,其特征在于,其具有的基材為無塵紙、低塵紙、合成紙、或者、紙與樹脂基材貼合而成的物質。[25]根據(jù)第[21]~[24]項中任一項所述的環(huán)狀片材,其特征在于,所述感光性樹脂層是包含感光性樹脂組合物的層,所述感光性樹脂組合物包含含有羧基的堿可溶性高分子、加成聚合性單體、光聚合引發(fā)劑。[26]根據(jù)第[25]項所述的環(huán)狀片材,其特征在于,所述含有羧基的堿可溶性高分子為苯乙烯或其衍生物共聚而成的物質。[27]根據(jù)第[25]或[26]項所述的環(huán)狀片材,其特征在于,所述加成聚合性單體包含雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。[28]根據(jù)第[25]~[27]項中任一項所述的環(huán)狀片材,其特征在于,所述光聚合引發(fā)劑包含六芳基聯(lián)咪唑或其衍生物。[29]根據(jù)第[20]~[28]項中任一項所述的環(huán)狀片材,其特征在于,所述粘合劑組合物包含丙烯酸(酯)系樹脂。[30]根據(jù)第[20]~[29]項中任一項所述的環(huán)狀片材,其特征在于,所述粘合劑組合物含有粘合劑和顆粒,該顆粒的50質量%以上具有該粘合劑組合物的涂布厚度的80~120%的直徑,并且該顆粒的含量相對于100重量份粘合劑為5重量份至30重量份。[31]一種薄膜卷,其具備由遮光片材覆蓋的、[20]~[30]中所述的環(huán)狀片材。發(fā)明的效果若使用本發(fā)明的感光性樹脂層疊體卷,則在啟封時可以簡單地將異物從感光性樹脂層疊體卷端面去除。附圖說明圖1是將感光性樹脂層疊體在卷芯上卷繞成卷狀,并且卷端面保護部件按照與所卷繞的感光性樹脂層疊體的端面接觸的方式配置的感光性樹脂層疊體卷的一實施方式的示意圖。圖2是表示彎曲距離H與環(huán)狀片材的外徑的一半R的圖。圖3是表示由筒狀的遮光片材覆蓋的感光性樹脂層疊體卷的一實施方式的示意圖。具體實施方式以下,詳細說明用于實施本發(fā)明的最佳方式(以下簡稱為“實施方式”)。需要說明的是,本發(fā)明不限于以下的實施方式,可以在其要旨的范圍內進行各種變形來實施。感光性樹脂層疊體卷是將長條狀(帶狀)的感光性樹脂層疊體沿其長度方向在卷芯上卷繞,并且卷端面保護部件按照與所卷繞的感光性樹脂層疊體的端面(所述帶狀的感光性樹脂層疊體的寬度方向端部側)接觸的方式配置的感光性樹脂層疊體卷。圖1表示這種感光性樹脂層疊體卷10的一實施方式的示意圖。在此,感光性樹脂層疊體1包含支撐層4、層疊于該支撐層的感光性樹脂層5和任意的保護層6,將該層疊體1卷繞于卷芯2。而且,與該卷繞的感光性樹脂層疊體的兩個端面接觸地設置卷端面保護部件3。在此,卷端面保護部件3作為環(huán)狀片材而表示。(感光性樹脂層疊體)感光性樹脂層疊體至少包含支撐層與層疊于該支撐層上的感光性樹脂層,優(yōu)選進一步包含層疊于感光性樹脂層上的保護層。感光性樹脂層疊體中還包含被稱為干膜抗蝕劑、干膜光致抗蝕劑的感光性薄膜。支撐層只要是支撐感光性樹脂層的結構即可。作為可以使用的支撐層,優(yōu)選的是透過從曝光光源發(fā)射的光的透明的層。作為這樣的支撐層,可列舉出聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏二氯乙烯薄膜、偏二氯乙烯共聚薄膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜、纖維素衍生物薄膜等??梢愿鶕?jù)需要將這些薄膜拉伸后使用。從分辨率的觀點出發(fā),優(yōu)選霧度為5以下的薄膜。更優(yōu)選霧度為3以下,進一步優(yōu)選霧度為2.5以下,更進一步優(yōu)選霧度為1以下。關于支撐層的厚度,較薄的層在圖像形成性和經(jīng)濟性方面是有利的,但是從需要維持涂布感光性樹脂組合物層時的熱收縮等出發(fā),優(yōu)選使用10μm~30μm的厚度。例如可列舉出帝人杜邦薄膜(株)制造的GR19、GR16、MitsubishiPlastics,Inc.制造的R310-16、R340G16、東レポリエステルフィルム(株)制造的FB40(16μm膜厚)、FB60(16μm膜厚)等。就保護層而言,保護層與感光性樹脂層的密合力充分地小于支撐層,因此能夠容易地剝離。例如,作為保護層,可以優(yōu)選使用聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜和拉伸聚丙烯薄膜等。另外,可以使用日本特開昭59-202457號公報中公開的剝離性優(yōu)異的薄膜。保護層的厚度優(yōu)選為10~100μm,更優(yōu)選為10~50μm。例如,可列舉出TamapolyCo.,Ltd.制造的GF-18、GF-818、GF-858等。對于感光性樹脂層,可以將感光性樹脂組合物涂布于支撐層并干燥從而進行層疊。感光性樹脂層的厚度優(yōu)選為5~100μm,更優(yōu)選的上限為50μm。由于感光性樹脂層的厚度越接近5μm,分辨率越提高,越接近100μm,膜強度越提高,因此可以根據(jù)用途適當?shù)剡x擇。作為制造感光性樹脂層疊體的方法,可以采用以往公知的方法。例如,預先準備將用于感光性樹脂層的感光性樹脂組合物與溶劑混合作為感光性樹脂組合物調合液,使用棒涂機或者輥涂機涂布到支撐層并使其干燥,在支撐層上層疊包含該感光性樹脂組合物的感光性樹脂層。感光性樹脂組合物調合液優(yōu)選添加溶劑調合到25℃下為500~4000mPA·秒。從感光性樹脂組合物調合液粘度、干燥性、殘留溶劑量、涂布性、發(fā)泡性的觀點出發(fā),溶劑中可以適當選擇地使用甲乙酮、丙酮、乙醇、甲醇、丙醇、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚醋酸酯、甲苯等。接著,通過在該感光性樹脂層上層疊保護層,可以制作感光性樹脂層疊體。對于感光性樹脂層疊體,以長條狀在卷芯上卷繞而成為卷狀并使用。卷繞長度沒有特別限定,從卷的重量和處理容易度的觀點出發(fā),優(yōu)選為320m以下。若1根感光性樹脂層疊體卷能層壓的基材越多則效率越高,因此從生產(chǎn)率的觀點出發(fā),卷繞長度優(yōu)選為100m以上。(卷芯)卷芯有時也被稱為芯體。其形狀沒有特別限定,可以為圓筒狀,也可以為圓柱狀。由于感光性樹脂層疊體作為蝕刻或抗鍍層以及永久圖案而用于電子材料,因此優(yōu)選實施了無塵處理的卷芯,優(yōu)選塑料樹脂制的卷芯。塑料樹脂的材質優(yōu)選的是輕、強度優(yōu)異、無塵的材質??梢允褂镁郾?PP)樹脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)樹脂、尼龍樹脂、聚氯乙烯樹脂等,優(yōu)選ABS樹脂。卷芯的直徑?jīng)]有特別限定,在將感光性樹脂層疊體卷安裝于層壓裝置的情況下,為了能夠安裝于裝置,卷芯優(yōu)選為2~5inch、更優(yōu)選為3inch的直徑。卷芯的長度(在使用圓筒狀或圓柱狀的卷芯時為其軸向長度)與感光性樹脂層疊體的寬度相比,可以相同或者較短,但在卷繞感光性樹脂層疊體時,為了在兩側可以確保適當?shù)纳斐霾?,?yōu)選為卷芯的長度大于感光性樹脂層疊體的寬度的長度。可以按照貫穿該伸出部的方式安裝環(huán)狀片材,因此優(yōu)選。另外,也可以將被稱為芯體支架的軸承嵌合于該伸出部并以使感光性樹脂層疊體卷不移動的方式在懸空狀態(tài)下保管感光性樹脂層疊體卷。(卷端面保護部件)對于卷端面保護部件,按照與所卷繞的感光性樹脂層疊體的端面接觸的方式配置。作為其形狀沒有特別限定,只要是以一定的面積與端面接觸而將卷端面的至少一部分覆蓋保護的形狀就沒有影響,其中,優(yōu)選的是按照與卷繞的感光性樹脂層疊體的端面接觸的方式貫穿卷芯的伸出部地配置的環(huán)狀片材。進一步優(yōu)選的是具有能夠實質上覆蓋感光性樹脂層疊體卷端面的大致整體的尺寸的寬度的環(huán)狀。卷端面保護部件可以僅用于所卷繞的感光性樹脂層疊體的一端,但優(yōu)選用于兩端。當卷端面保護部件為環(huán)狀片材時,對于其環(huán)內徑,為了可以貫穿卷芯使用,優(yōu)選略大于卷芯的外徑。另外,通過使環(huán)狀片材的中心與卷芯的中心稍稍偏離,由此環(huán)狀片材的外周從卷繞成卷狀的感光性樹脂層疊體的外周略有露出。這樣,從環(huán)狀片材的拆卸變得容易出發(fā),環(huán)內徑優(yōu)選略大于卷芯的外徑。具體而言,當環(huán)內徑為卷芯外徑的1.001倍以上進行安裝時對卷芯沒有阻滯(日文:張り付き),因而優(yōu)選。更優(yōu)選為1.005倍以上,進一步優(yōu)選為1.01倍以上。從保護卷端面整體并去除異物的觀點出發(fā),優(yōu)選環(huán)內徑為卷芯的外徑的1.1倍以下,更優(yōu)選為1.05倍以下,進一步優(yōu)選為1.03倍以下。對于環(huán)外徑,為了可以覆蓋感光性樹脂層疊體卷的端面,優(yōu)選的是卷繞成卷狀的感光性樹脂層疊體的外徑的0.99倍以上,更優(yōu)選為1倍以上。另外,從抑制對覆蓋感光性樹脂層疊體卷的遮光性的圓筒狀管等包裝材料的附著的觀點出發(fā),環(huán)外徑優(yōu)選為感光性樹脂層疊體卷的外徑的1.1倍以下,更優(yōu)選為1.05倍以下,進一步優(yōu)選為1.03倍以下。對于卷端面保護部件的基材,可列舉出聚酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚丙烯、尼龍、分別無拉伸、拉伸、雙軸拉伸的材料、以及低密度聚乙烯、高密度聚乙烯、硬質聚氯乙烯、軟質聚氯乙烯、玻璃紙、醋酸酯、三醋酸纖維素、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚酰亞胺等塑料樹脂、以及已防塵處理的紙、已防塵處理的優(yōu)質紙、潔凈紙、以及、紙與前述塑料樹脂貼合而成的物質、合成紙等。由于感光性樹脂層疊體作為抗蝕層或者抗鍍層以及永久圖案而用于電子材料,因此優(yōu)選實施了無塵處理的材料。從靜電的發(fā)生少、對端面的追隨性良好、異物去除性優(yōu)異且安裝性也優(yōu)異的觀點出發(fā),優(yōu)選基材為已防塵處理的紙、已防塵處理的優(yōu)質紙、潔凈紙、以及、紙與前述塑料樹脂貼合而成的物質、合成紙作為材質。合成紙優(yōu)選將聚丙烯作為主原料。當基材是已防塵處理的紙、已防塵處理的優(yōu)質紙、潔凈紙、以及、紙與前述塑料樹脂貼合而成的物質時,基材的厚度優(yōu)選為50~500μm。從安裝性的觀點出發(fā),優(yōu)選為50μm以上,從對端面的追隨性、異物去除性的觀點出發(fā),優(yōu)選為500μm以下,更優(yōu)選為60~200μm,進一步優(yōu)選為60~150μm。對于卷端面保護部件,從脫模性、防污性的觀點出發(fā),也可以對表面進行壓花加工。對于卷端面保護部件,在與感光性樹脂層疊體卷的端面接觸的一側具有粘合劑組合物。卷端面保護部件優(yōu)選為俯視圓形的環(huán)狀片材。對于前述環(huán)狀片材,前述環(huán)狀片材按照其一半存在于空中的方式設置在水平伸出的平板上,將前述環(huán)狀片材的存在于空中的部分中離平板最遠的前述環(huán)狀片材的頂端、與平板的與前述環(huán)狀片材接觸側的面之間的距離設為彎曲距離H(mm)、前述環(huán)狀片材外徑的一半設為R(mm)時,H/R優(yōu)選為0.06~0.59。從環(huán)狀片材的卷端面安裝性的觀點出發(fā),H/R優(yōu)選為0.59以下。更優(yōu)選為0.5以下,進一步優(yōu)選為0.45以下。從對卷端面的追隨性與異物去除性的觀點出發(fā),優(yōu)選為0.06以上。更優(yōu)選為0.1以上,進一步優(yōu)選為0.15以上。彎曲距離H的測定方法如下所示。首先,如圖2所示,在沿實質上水平方向(與垂直方向正交的方向)伸出的實質上的平板7上設置環(huán)狀片材3。此時,將具備粘合劑的面朝上,按照不與平板7貼合的方式設置。按照環(huán)狀片材3的一半存在于空中,即按照環(huán)狀片材3的中心位于平板的端部所存在的實質上為直線狀的邊緣的方式固定環(huán)狀片材。固定時,如圖2所示,也可以使用固定部件8進行固定。此時,環(huán)狀片材3不會受到重力以外的影響而彎曲或者彎折。通過L字型標尺測定存在于環(huán)狀片材的空中的部分(從端部露出的部分)處的、距離平板的邊緣最遠的環(huán)狀片材的頂端與平板的與環(huán)狀片材接觸的面所形成的假想面之間的垂直方向距離。測定地點設為日本靜岡縣富士市。(粘合劑組合物)對于粘合劑組合物,可以選擇使用在剝離了卷端面保護部件時在感光性樹脂薄膜端面上沒有殘膠,在剝離了卷端面保護部件時在卷端面保護部件上沒有感光性樹脂的附著的公知的粘合劑組合物。其中,從異物去除性與脫模性的觀點出發(fā),優(yōu)選為包含丙烯酸(酯)系樹脂的組合物。感光性樹脂組合物是包含含有羧基的堿可溶性高分子、加成聚合性單體、光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物,粘合劑組合物包含丙烯酸(酯)系樹脂時,從可以進一步高度地兼具異物去除性和脫模性的觀點出發(fā)而優(yōu)選。對于粘合劑組合物優(yōu)選含有顆粒,該顆粒的50質量%以上優(yōu)選為具有該粘合劑組合物的涂布厚度的80~120%的直徑,并且該顆粒的含量相對于100重量份粘合劑為5重量份至30重量份。需要說明的是,顆粒的直徑使用顯微鏡觀察,針對任意的100個顆粒,觀察出其最大直徑,并計算其平均值。從脫模性的觀點出發(fā),顆粒的直徑優(yōu)選為80%以上,從粘性的觀點出發(fā),優(yōu)選為120%以下。更優(yōu)選為90~110%,進一步優(yōu)選為100%。對于顆粒,通常即使理論上可以為單一粒度的顆粒,但實際上較多情況下難以獲得。優(yōu)選具有粒度分布盡可能狹窄的、即尖銳的粒度曲線的顆粒。優(yōu)選粘合劑總量的50質量%以上為該粘合劑的涂布厚度的80~120%的直徑。從脫模性和粘性的平衡的觀點出發(fā),更優(yōu)選為70質量%以上,進一步優(yōu)選為80質量%以上。顆粒的含量優(yōu)選為相對于100重量份粘合劑為5重量份至30重量份。在貼附的情況下,從空氣的脫氣泡性的觀點出發(fā),優(yōu)選為5重量份以上,從粘接性的觀點出發(fā),優(yōu)選為30重量份以下。更優(yōu)選為10重量份至25重量份。當顆粒的材質為玻璃時,15~30重量份是適宜的,塑料制的情況下優(yōu)選為5~25重量份。顆粒的材質優(yōu)選為塑料、無機材料。作為塑料,可列舉出聚甲基丙烯酸酯系、聚甲基丙烯酸甲酯系、聚苯乙烯系、聚苯乙烯丙烯酸(酯)系、聚乙烯系、聚丙烯系、聚苯乙烯丁二烯系、聚苯乙烯二乙烯基苯系、聚氨酯系、聚苯代三聚氰胺系、三聚氰胺系。作為無機材料,可列舉出玻璃、二氧化硅(硅酸鹽礦物)、碳酸鈣。粘合劑的粘接力可以通過降低組合物整體的軟化溫度、提高樹脂成分的極性而提高。作為端面保護部件與低密度聚乙烯薄膜的粘接力,從異物去除性與安裝性的觀點出發(fā),優(yōu)選為5gf/inch~250gf/inch,更優(yōu)選為50gf/inch~240gf/inch。需要說明的是,該粘接力按照以下方式進行測定。即,用手壓輥在端面保護部件的形成有粘合劑組合物的層的面上貼附低密度聚乙烯薄膜(LDPE)片材。低密度聚乙烯薄膜使用TAMAPOLYCo.,Ltd制造的GF-858。切割為寬1inch、長度15cm的矩形條狀,在相對濕度50%、攝氏23度下調節(jié)濕度11小時。使用OrientecCo.,Ltd制造的TensilonRTM-500,以負荷傳感器1kg、拉伸速度100mm/分鐘進行拉伸試驗。此時,用Tensilon的下部將樣品的端面保護部件卡住(固定),用拉伸部將低密度聚乙烯薄膜卡住(固定),進行拉伸試驗。拉伸試驗中在拉伸10mm至50mm的區(qū)間取負載的積分平均,并取試驗次數(shù)2次的平均,將其作為粘接性的值。(感光性樹脂層疊體卷的制造方法)感光性樹脂層疊體卷從抑制異物的附著與抑制運輸時的感光的觀點出發(fā),優(yōu)選使用遮光片材覆蓋。遮光片材也可以稱為遮光性薄膜。遮光片材可以按照將其卷繞于感光性樹脂層疊體卷的方式覆蓋感光性樹脂層疊體卷。如圖3所示,當遮光片材9為筒狀時,由于可以將感光性樹脂卷1插入筒內來覆蓋感光性樹脂卷1,因此優(yōu)選。另外,筒的長度比感光性樹脂層疊體卷1的卷芯2長時,如圖3所示,可以通過將比卷芯2長的部分折入卷芯內部,進一步抑制異物的附著和感光,因此優(yōu)選。遮光片材從可以保護感光性樹脂層疊體卷與來自例如分量輕的墜落物的接觸、包裝容器的輕微接觸的觀點出發(fā),優(yōu)選聚乙烯制的。膜厚從維持適宜的強度并且抑制針孔的觀點出發(fā),優(yōu)選為10μm以上,從處理性的觀點出發(fā),優(yōu)選為300μm以下。更優(yōu)選為20~200μm,進一步優(yōu)選為30~130μm。為了提高遮光性而優(yōu)選黑色。感光性樹脂層疊體卷優(yōu)選通過形成有與前述卷芯嵌合這樣的凸部的被稱為芯體支架的一對部件而懸空固定。通過懸空固定,可以防止運輸時感光性樹脂層疊體與包裝容器的地面壁面的接觸。作為芯體支架,例如可列舉出日本特開2004-42952和日本特開2003-89477中記載的芯體支架。利用遮光片材覆蓋感光性樹脂層疊體卷時,若將遮光片材的比卷芯長的部分折入卷芯內并按照夾持該折入部分的方式進一步安裝芯體支架,則可以抑制異物的附著與感光,因此優(yōu)選。(感光性樹脂組合物)感光性樹脂組合物優(yōu)選包含(a)含有羧基的堿可溶性高分子;(b)加成聚合性單體;(c)光聚合引發(fā)劑。從將環(huán)狀片材從卷端面剝離時卷端面的殘膠少、感光性樹脂組合物向環(huán)狀片材的附著也變少的觀點出發(fā),優(yōu)選感光性樹脂組合物包含上述(a)~(c)。(a)含有羧基的堿可溶性高分子(a)含有羧基的堿可溶性高分子優(yōu)選將含有α,β-不飽和羧基的單體作為聚合成分,堿可溶性高分子的酸當量為100~600,且重均分子量為5,000~500,000。為了使感光性樹脂組合物相對于含堿水溶液的顯影液或剝離液具有顯影性或剝離性,含有羧基的堿可溶性高分子中的羧基是必須的。酸當量是指其中具有1當量的羧基的堿可溶性高分子的質量。酸當量的更優(yōu)選的下限為250,并且更優(yōu)選的上限為450。從耐顯影性提高、分辨率和密合性提高的觀點、以及從確保與溶劑或感光性樹脂組合物中的其他成分、特別是與下述(b)加成聚合性單體的相容性的觀點出發(fā),(a)含有羧基的堿可溶性高分子的酸當量優(yōu)選為100以上,從顯影性和剝離性提高的觀點出發(fā),優(yōu)選為600以下。酸當量的測定是使用平沼產(chǎn)業(yè)(株)制造的平沼自動滴定裝置(COM-555)并使用0.1mol/L的氫氧化鈉根據(jù)電位滴定法而進行的。(a)含有羧基的堿可溶性高分子的重均分子量優(yōu)選為5,000~500,000。從維持感光性樹脂層疊體的厚度均勻并且獲得對顯影液的耐性的觀點、以及從抑制熔邊的觀點出發(fā),重均分子量優(yōu)選為5,000以上,另外,從維持顯影性的觀點出發(fā),優(yōu)選為500,000以下。熔邊是指感光性樹脂層疊體卷繞成卷狀時從卷端面滲出感光性樹脂組合物的現(xiàn)象。滲出的感光性樹脂組合物有時在卷狀態(tài)下會隔著支撐層保護層與從相鄰的另一層的感光性樹脂層滲出的感光性樹脂組合物粘連。粘連后的感光性樹脂組合物、即熔邊后的感光性樹脂組合物有時離開卷狀的感光性樹脂層疊體,在層壓時從端面剝離,成為抗蝕劑屑發(fā)生飛散。若抗蝕劑屑附著于層壓后的基板,則該抗蝕劑屑將附著于接下來曝光用的掩模,被曝光固化,在負性抗蝕劑的情況下遮蔽曝光,成為圖案的缺損。更優(yōu)選的是,(a)含有羧基的堿可溶性高分子的重均分子量的下限為20,000,(a)含有羧基的堿可溶性高分子的重均分子量的上限為250,000。本說明書中的重均分子量是指通過凝膠滲透色譜(GPC)使用聚苯乙烯(ShowaDenkoK.K.制造的ShodexSTANDARDSM-105)的標準曲線測定得到的重均分子量。(a)含有羧基的堿可溶性高分子的重均分子量可以使用JASCOCorporation制造的凝膠滲透色譜在以下條件下進行測定:示差折光檢測器:RI-1530泵:PU-1580脫氣裝置:DG-980-50柱恒溫箱:CO-1560柱:依次為KF-8025、KF-806M×2、KF-807洗脫液:THF。(a)含有羧基的堿可溶性高分子優(yōu)選為包含選自后述第一單體或第二單體中的1種以上的單體作為成分的(共)聚合物。第一單體為分子中具有一個聚合性不飽和基團的羧酸或者酸酐。例如可列舉出(甲基)丙烯酸、富馬酸、桂皮酸、巴豆酸、衣康酸、馬來酸酐和馬來酸半酯。其中,特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸。第二單體為非酸性、且分子中具有至少一個聚合性不飽和基團的單體??闪信e出例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸芐酯、醋酸乙烯酯等乙烯醇的酯類;(甲基)丙烯腈、苯乙烯和能夠聚合的苯乙烯衍生物等。其中,優(yōu)選(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸芐酯,從分辨率的觀點出發(fā),特別優(yōu)選使用苯乙烯。(a)含有羧基的堿可溶性高分子優(yōu)選通過在將上述單體混合并用溶劑例如丙酮、甲乙酮或異丙醇稀釋而成的溶液中,適量添加自由基聚合引發(fā)劑例如過氧化苯甲酰、偶氮異丁腈進行加熱攪拌,從而合成。有時邊在反應液中滴加混合物的一部分邊進行合成。也有時在反應結束之后再添加溶劑,調整至所期望的濃度。作為合成方法,除了溶液聚合以外,還可以使用本體聚合、懸浮聚合或乳液聚合。對于特別優(yōu)選的(a)含有羧基的堿可溶性高分子,第一單體和第二單體的共聚比例是第一單體為10~60質量%,且第二單體為40~90質量%,進一步更優(yōu)選的是第一單體為15~35質量%,且第二單體為65~85質量%。作為(a)含有羧基的堿可溶性高分子的更具體的例子,例如可列舉出含有甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸和苯乙烯作為共聚成分的聚合物,含有甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸和丙烯酸正丁酯作為共聚成分的聚合物,以及含有甲基丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸甲酯和丙烯酸2-乙基己酯作為共聚成分的聚合物等。感光性樹脂組合物中的(a)含有羧基的堿可溶性高分子的含量以感光性樹脂組合物的固體成分總量作為基準為20~90質量%的范圍,優(yōu)選為40~60質量%。(a)含有羧基的堿可溶性高分子的含量從維持感光性樹脂組合物的堿顯影性、通過曝光、顯影而形成的抗蝕圖案作為抗蝕層的特性例如在壓凹、蝕刻和各種電鍍工序中具有充分的耐性的觀點出發(fā),優(yōu)選為20質量%以上,從固化前的感光性樹脂組合物、固化后的抗蝕圖案具有充分的柔軟性的觀點出發(fā),優(yōu)選為90質量%以下。(b)加成聚合性單體(b)加成聚合性單體為在分子內具有至少一個能夠聚合的烯屬不飽和鍵的化合物。烯屬不飽和鍵優(yōu)選為末端烯屬不飽和基團。進而,從高分辨率、熔邊性和壓凹性的觀點出發(fā),作為(b)加成聚合性單體,優(yōu)選使用至少一種的雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。本說明書中,雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物是指源自雙酚A的-C6H4-C(CH3)2-C6H4-基團以及具有(甲基)丙烯酰基或源自(甲基)丙烯?;奶?碳不飽和雙鍵與的化合物。作為具體例子,可列舉出在雙酚A的兩端分別加成了平均2單元的環(huán)氧乙烷的聚乙二醇的二(甲基丙烯酸)酯二(甲基丙烯酸)酯(新中村化學工業(yè)(株)制造的NK酯BPE-200)或在雙酚A的兩端分別加成了平均5單元的環(huán)氧乙烷的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯(新中村化學工業(yè)(株)制造的NK酯BPE-500)、在雙酚A的兩端分別加成了平均6單元的環(huán)氧乙烷和平均2單元的環(huán)氧丙烷的聚亞烷基二醇的二(甲基丙烯酸)酯、在雙酚A的兩端分別加成了平均15單元的環(huán)氧乙烷和平均2單元的環(huán)氧丙烷的聚亞烷基二醇的二(甲基丙烯酸)酯。作為(b)加成聚合性單體,除了上述的化合物以外,可以使用具有至少一個烯屬不飽和基團的已知的化合物??闪信e出例如4-壬基苯基七甘醇二丙二醇丙烯酸酯、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙基酯、苯氧基己甘醇丙烯酸酯、鄰苯二甲酸酐與丙烯酸2-羥丙酯的半酯化合物與環(huán)氧丙烷的反應物(日本觸媒化學制造、商品名OE-A200)、4-正辛基苯氧基五亞丙基二醇丙烯酸酯、1,6-己二醇(甲基)丙烯酸酯、1,4-環(huán)己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯等聚氧亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-二(對羥基苯基)丙烷二(甲基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三縮水甘油醚三(甲基)丙烯酸酯、2,2-雙(4-甲基丙烯酰氧基五乙氧基苯基)丙烷、六亞甲基二異氰酸酯與壬亞丙基二醇單甲基丙烯酸酯的氨基甲酸酯化物等的含有氨基甲酸酯基的多官能(甲基)丙烯酸酯、異氰脲酸酯化合物的多官能(甲基)丙烯酸酯等。它們可以單獨使用,也可以將兩種以上組合使用,也可以與雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物組合使用。感光性樹脂組合物中的(b)加成聚合性單體的含量以感光性樹脂組合物的固體成分總量作為基準為5~75質量%的范圍,更優(yōu)選為15~70質量%。從分辨率、密合性和銅線的形成性的觀點出發(fā),(b)加成聚合性單體的含量為5質量%以上,從固化膜的柔軟性的觀點出發(fā),為75質量%以下。(c)光聚合引發(fā)劑作為(c)光聚合引發(fā)劑,可以適當?shù)厥褂美缤ǔW鳛楦泄庑詷渲墓饩酆弦l(fā)劑而使用的物質,特別優(yōu)選使用六芳基聯(lián)咪唑(以下也稱為三芳基咪唑二聚體)。作為三芳基咪唑二聚體,例如可列舉出:2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體(以下也稱為“2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,1’-聯(lián)咪唑”)、2,2’,5-三-(鄰氯苯基)-4-(3,4-二甲氧基苯基)-4’,5’-二苯基咪唑二聚體、2,4-雙-(鄰氯苯基)-5-(3,4-二甲氧基苯基)-二苯基咪唑二聚體,2,4,5-三-(鄰氯苯基)-二苯基咪唑二聚體、2-(鄰氯苯基)-雙-4,5-(3,4-二甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2’-雙-(2-氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2’-雙-(2,3-二氟甲基苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2’-雙-(2,4-二氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體,2,2’-雙-(2,5-二氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2’-雙-(2,6-二氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2’-雙-(2,3,4-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2’-雙-(2,3,5-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體,2,2’-雙-(2,3,6-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2’-雙-(2,4,5-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2’-雙-(2,4,6-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體,2,2’-雙-(2,3,4,5-四氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2’-雙-(2,3,4,6-四氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體和2,2’-雙-(2,3,4,5,6-五氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體等。特別可以優(yōu)選使用2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體,其為對于分辨率或固化抗蝕膜的強度具有高效果的光聚合引發(fā)劑。這些光聚合引發(fā)劑可以單獨使用,或者可以將兩種以上組合使用。另外,也可以與下述吖啶化合物、吡唑啉化合物等組合使用。在優(yōu)選的實施方式中,作為(c)光聚合引發(fā)劑,可以使用吖啶化合物或吡唑啉化合物。作為吖啶化合物,可列舉出吖啶、9-苯基吖啶、9-(4-甲苯基)-吖啶、9-(4-甲氧基苯基)吖啶、9-(4-羥苯基)吖啶、9-乙基吖啶、9-氯乙基吖啶、9-甲氧基吖啶、9-乙氧基吖啶,9-(4-甲基苯基)吖啶、9-(4-乙基苯基)吖啶、9-(4-正丙基苯基)吖啶、9-(4-正丁基苯基)吖啶、9-(4-叔丁基苯基)吖啶、9-(4-乙氧基苯基)吖啶、9-(4-乙?;交?吖啶、9-(4-二甲基氨基苯基)吖啶、9-(4-氯苯基)吖啶,9-(4-溴苯基)吖啶、9-(3-甲基苯基)吖啶、9-(3-叔丁基苯基)吖啶、9-(3-乙?;交?吖啶、9-(3-二甲基氨基苯基)吖啶、9-(3-二乙基氨基苯基)吖啶、9-(3-氯苯基)吖啶、9-(3-溴苯基)吖啶、9-(2-吡啶基)吖啶、9-(3-吡啶基)吖啶、9-(4-吡啶基)吖啶。其中,優(yōu)選9-苯基吖啶。作為吡唑啉化合物,優(yōu)選1-苯基-3-(4-叔丁基-苯乙烯基)-5-(4-叔丁基-苯基)-吡唑啉、1-(4-(苯并噁唑-2-基)苯基)-3-(4-叔丁基-苯乙烯基)-5-(4-叔丁基-苯基)-吡唑啉、1-苯基-3-(4-聯(lián)苯基)-5-(4-叔丁基-苯基)-吡唑啉、1-苯基-3-(4-聯(lián)苯基)-5-(4-叔辛基-苯基)-吡唑啉。作為除了上述以外的光聚合引發(fā)劑,例如可列舉出2-乙基蒽醌、八乙基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、1,4-萘醌、9,10-菲醌、2-甲基-1,4-萘醌、2,3-二甲基蒽醌和3-氯-2-甲基蒽醌等醌類,二苯甲酮、米蚩酮[4,4’-雙(二甲基氨基)二苯甲酮]和4,4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族酮類,苯偶姻、苯偶姻乙醚、苯偶姻苯醚、甲基苯偶姻和乙基苯偶姻等苯偶姻醚類,苯偶酰二甲基縮酮、苯偶酰二乙基縮酮、噻噸酮類和烷基氨基苯甲酸的組合、1-苯基-1,2-丙二酮-2-O-苯偶姻肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟等肟酯類。需要說明的是,作為上述的噻噸酮類和烷基氨基苯甲酸的組合,例如可列舉出乙基噻噸酮和二甲基氨基苯甲酸乙酯的組合、2-氯噻噸酮和二甲基氨基苯甲酸乙酯的組合以及異丙基噻噸酮和二甲基氨基苯甲酸乙酯的組合。另外,也可以使用N-芳基氨基酸。作為N-芳基氨基酸的例子,可列舉出N-苯基甘氨酸、N-甲基-N-苯基甘氨酸、N-乙基-N-苯基甘氨酸等。其中,特別優(yōu)選N-苯基甘氨酸。感光性樹脂組合物中的(c)光聚合引發(fā)劑的含量以感光性樹脂組合物的固體成分總量作為基準為0.01~30質量%的范圍,更優(yōu)選的下限是0.05%質量%,進一步優(yōu)選的下限是0.1質量%,更優(yōu)選的上限為15質量%,進一步優(yōu)選的上限為10質量%。從利用曝光進行的光聚合時獲得充分感光度的觀點出發(fā),(c)光聚合引發(fā)劑的含量為0.01質量%以上,從光聚合時使光充分地透射到感光性樹脂組合物的底面(即遠離光源的部分)、獲得良好分辨率和密合性的觀點出發(fā),為30質量%以下。(e)其他添加劑感光性樹脂組合物中除了上述(a)~(c)的成分以外,可以含有各種添加劑。具體而言,例如染料、顏料等著色物質。作為這樣的著色物質,例如可列舉出酞菁綠、結晶紫、甲基橙、尼羅藍2B、維多利亞藍、孔雀綠、堿性藍20、金剛綠等。在含有上述著色物質的情況下,著色物質的添加量以感光性樹脂組合物的固體成分總量作為基準,優(yōu)選為0.001~1質量%。著色物質的添加量為0.001質量%以上時,具有提高處理性的效果;為1質量%以下時,具有維持保存穩(wěn)定性的效果。另外,為了能夠通過曝光賦予可視圖像,也可以在感光性樹脂組合物中含有顯色劑。作為這樣的顯色系染料,可列舉出隱色染料、或者熒烷染料和鹵素化合物的組合。例如,作為隱色染料,可列舉出三(4-二甲基氨基-2-甲基苯基)甲烷[隱色結晶紫]、三(4-二甲基氨基-2-甲基苯基)甲烷[隱色孔雀綠]以及熒烷染料。其中,在使用隱色結晶紫的情況下,對比度良好,是優(yōu)選的。作為前述鹵素化合物,可列舉出正戊基溴、異戊基溴、溴化異丁烯、溴化乙烯、二苯基甲基溴、二溴甲苯(benzalbromide)、二溴甲烷、三溴甲基苯基砜、四溴化碳、磷酸三(2,3-二溴丙基)酯、三氯乙酰胺、正戊基碘、異丁基碘、1,1,1-三氯-2,2-雙(對氯苯基)乙烷、六氯乙烷、氯代三嗪化合物等。在含有這些染料的情況下,感光性樹脂組合物中的染料的含量以感光性樹脂組合物的固體成分總量作為基準,優(yōu)選分別為0.1~10質量%。此外,為了提高感光性樹脂組合物的熱穩(wěn)定性和保存穩(wěn)定性,優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有自由基阻聚劑、或者選自由苯并三唑類和羧基苯并三唑類組成的組中的至少1種以上的化合物。作為這樣的自由基阻聚劑,例如可列舉出對甲氧基苯酚、氫醌、焦棓酚、萘胺、叔丁基鄰苯二酚、氯化亞銅、2,6-二叔丁基-對甲酚、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2’-亞甲基雙(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、亞硝基苯基羥胺鋁鹽、二苯基亞硝胺。作為苯并三唑類,例如可列舉出1,2,3-苯并三唑、1-氯-1,2,3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞甲基-1,2,3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞甲基-1,2,3-甲苯三唑、雙(N-2-羥乙基)氨基亞甲基-1,2,3-苯并三唑。作為羧基苯并三唑類,例如可列舉出4-羧基-1,2,3-苯并三唑、5-羧基-1,2,3-苯并三唑、(N,N-二丁基氨基)羧基苯并三唑、N-(N,N-二-2-乙基己基)氨基亞甲基羧基苯并三唑、N-(N,N-二-2-羥乙基)氨基亞甲基羧基苯并三唑、N-(N,N-二-2-乙基己基)氨基亞乙基羧基苯并三唑。自由基阻聚劑、苯并三唑類和/或羧基苯并三唑類的總計添加量以感光性樹脂組合物的固體成分總量作為基準,優(yōu)選為0.001~3質量%,更優(yōu)選的下限為0.05質量%,更優(yōu)選的上限為1質量%。從對感光性樹脂組合物賦予保存穩(wěn)定性的觀點出發(fā),該總計添加量優(yōu)選為0.001質量%以上,從維持感光度的觀點出發(fā),優(yōu)選為3質量%以下。在感光性樹脂組合物中,根據(jù)需要可以含有其他增塑劑。作為這樣的增塑劑,例如可列舉出將雙酚A進行聚氧亞烷基改性后的化合物。除此以外,例如可以使用聚氧乙烯失水山梨糖醇月桂酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇油酸酯等失水山梨糖醇衍生物;聚乙二醇、聚丙二醇等聚亞烷基二醇類;鄰苯二甲酸二乙酯等鄰苯二甲酸酯類;鄰甲苯磺酰胺、對甲苯磺酰胺、檸檬酸三丁酯、檸檬酸三乙酯、乙酰基檸檬酸三乙酯、乙?;鶛幟仕崛ズ鸵阴;鶛幟仕崛□サ鹊脑鏊軇?。特別優(yōu)選使用失水山梨糖醇衍生物和聚亞烷基二醇類。感光性樹脂組合物中的增塑劑的含量以感光性樹脂組合物的固體成分總量作為基準,優(yōu)選為1質量%~50質量%,更優(yōu)選的下限為3質量%,更優(yōu)選的上限為30質量%。從抑制顯影時間的延遲、對固化膜賦予柔軟性的觀點出發(fā),優(yōu)選為1質量%以上,另外從抑制固化不足或冷流的觀點出發(fā),優(yōu)選為50質量%以下。實施例以下,在實施例中進一步進行具體說明,但不限定于此。首先,說明實施例和比較例的評價用樣品的制作方法,其次,表示關于所得樣品的評價方法和評價結果。在此,使用了環(huán)狀片材作為卷端面保護部件。(實施例1~12、比較例1)1.評價用樣品的制作實施例和比較例中的評價用樣品如下制作。<感光性樹脂層疊體的制作>將下述表1所示的組合物1(其中,各成分的數(shù)字表示作為固體成分的配混量(質量份)。表1中的簡略符號與表2中一致。)和溶劑充分地攪拌、混合,制成感光性樹脂組合物調合液,準備16μm厚的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(MitsubishiPlastics,Inc.制造的R310)作為支撐體,使用模涂機將感光性樹脂組合物調合液均勻地涂布于該聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜的表面并進行干燥,然后形成感光性樹脂層。感光性樹脂層的厚度為15μm。接著,在感光性樹脂層的、沒有層疊聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜的表面上,貼合作為保護層的33μm厚的聚乙烯薄膜(TAMAPOLYCO.,LTD.制造的GF-858),得到感光性樹脂層疊體1。另外,上述感光性樹脂層疊體1中,除了將組合物1設為組合物2~6以外,與感光性樹脂層疊體1同樣地進行制作,得到感光性樹脂層疊體2~6。上述感光性樹脂層疊體1中,除了將組合物1設為組合物7~10,將感光性樹脂層的厚度設為10μm以外,與感光性樹脂層疊體1同樣地進行制作,得到感光性樹脂層疊體7~10。<感光性樹脂層疊體卷的制作>環(huán)狀片材使用表3~表5所示的片材。對于環(huán)狀片材的含有丙烯酸(酯)樹脂的粘合劑組合物,在沒有特別說明的情況下,將直接使用ElleairTackNS80/SBG85S/再剝離(ElleairTexel株式會社制造)的粘合劑組合物。針對樣品F和G,粘合劑組合物進行如下調整。即,將表2所示的B-1和M-8以固體成分比為45:55和40:60的方式進行配混,涂布于基材并進行干燥、調整,以使干燥后的膜厚為15μm。將感光性樹脂層疊體1切口為寬495mm,在內徑77mm、外徑88mm、長度530mm的ABS樹脂制卷芯(芯體)上卷繞300m。卷繞成卷狀的感光性樹脂層疊體的外徑為180mm。使卷繞于芯體而成為卷狀的感光性樹脂層疊體保持在棒狀的不銹鋼制支架上,該不銹鋼制支架按照固定另一端而可以保持水平的方式設計棒狀的不銹鋼制支架上。使用外周500mm、長800mm、厚80μm的圓筒形遮光性聚乙烯管覆蓋成為卷狀的感光性樹脂層疊體。將前述由遮光性聚乙烯管覆蓋的卷狀的感光性樹脂層疊體從支架拆卸,在按照寬330mm、高100mm且上部彎曲為凹狀而可以固定卷的方式設計的緩沖部上設置卷。折回遮光性聚乙烯管的一端,使卷狀感光性樹脂層疊體的端面露出,安裝環(huán)狀片材。另一端也同樣地安裝環(huán)狀片材,制作了感光性樹脂層疊體卷1。將遮光性聚乙烯管折入芯體內,安裝按照中心部為凸狀、與芯體嵌合的方式設計的芯體支架,對感光性樹脂卷1進行包裝。2.評價基準按以下的評價項目和評價基準,對感光性樹脂層疊體卷進行評價并標注等級。評價結果在表3~5中示出。(1)異物去除性從感光性樹脂層疊體卷將環(huán)狀片材剝離,確認是否有異物附著于環(huán)狀片材。如下進行標注等級?!穑寒愇锔街诃h(huán)狀片材。在卷端面上貼附其他粘合帶并進行剝離,不能確認有異物附著?!鳎寒愇锔街诃h(huán)狀片材,但在卷端面上貼附其他粘合帶并進行剝離時,確認到粘合帶上也有異物的附著?!粒寒愇餂]有附著于環(huán)狀片材。若在卷端面上貼附其他粘合帶并進行剝離,則確認到有異物的附著。(2)環(huán)狀片材安裝性按上述<感光性樹脂層疊體卷的制作>中記載的內容制作卷,將環(huán)狀薄膜安裝于卷端面時的安裝性,如下進行標注等級?!穑嚎梢院唵蔚匕惭b環(huán)狀片材。貼附于卷端面時,可以沒有褶皺地貼附?!鳎簩h(huán)狀片材貼附、安裝于支架或者卷芯的方面需要時間。貼附于卷端面時,一部分產(chǎn)生褶皺或進入空氣。×:將環(huán)狀片材貼附、安裝于支架或者卷芯上的方面需要時間。當剝離不希望部位上所貼附的環(huán)狀片材而再次貼附時,環(huán)狀片材被拉伸變形或斷裂,而使貼附于卷端面變得困難。(3)環(huán)狀片材的包裝材料貼附性按上述<感光性樹脂層疊體卷的制作>中記載的內容制作卷后,將其啟封。啟封后,也與安裝時同樣地,對環(huán)狀片材是否安裝于端面進行觀察,如下進行標注等級?!穑号c安裝時同樣地安裝著?!鳎簡⒎鈺r環(huán)狀片材貼附于遮光性圓筒形聚乙烯片材,具有從一部分端面剝離的部位?!粒簡⒎鈺r環(huán)狀片材貼附于遮光性圓筒形聚乙烯片材,與遮光性圓筒形聚乙烯片材一同剝離。(4)環(huán)狀片材的去除性按上述<感光性樹脂層疊體卷的制作>中記載的內容制作卷后,將其啟封,用戴有樹脂制手套的手剝離環(huán)狀片材。對剝離時的操作性如下進行標注等級?!穑嚎梢栽?秒內容易地剝離環(huán)狀片材?!鳎涵h(huán)狀片材的剝離需要5秒以上的時間。(5)異物個數(shù)按上述<感光性樹脂層疊體卷的制作>中記載的內容制作14根卷狀的感光性樹脂層疊體。從全部卷的端面去除異物,從該14根中隨機地使卷端面的總計四個位置附著異物。之后,對全部的卷安裝并剝離環(huán)狀片材,計算附著于卷端面的異物。[表1][表2]B-1甲基丙烯酸25質量%、甲基丙烯酸甲酯50質量%、苯乙烯25質量%的三元共聚物(重均分子量50000、酸當量344)B-2甲基丙烯酸25質量%、甲基丙烯酸甲酯65質量%、丙烯酸丁酯10質量%的三元共聚物(重均分子量70000、酸當量344)B-3甲基丙烯酸25質量%、甲基丙烯酸甲酯65質量%、丙烯酸丁酯10質量%的三元共聚物(重均分子量120000、酸當量344)M-1三羥甲基丙烷三丙烯酸脂M-2六亞甲基二異氰酸酯與五亞丙基二醇單甲基丙烯酸酯的氨基甲酸酯化物M-3三氧基乙基三羥甲基丙烷三丙烯酸脂M-4在雙酚A的兩端分別加成了平均2單元的環(huán)氧丙烷和平均6單元的環(huán)氧乙烷的聚亞烷基二醇的二(甲基丙烯酸)酯M-5在雙酚A的兩端分別加成了各平均2單元的環(huán)氧乙烷的聚乙二醇的二(甲基丙烯酸)酯M-6在平均12單元的環(huán)氧丙烷的兩端加成了各平均3單元的環(huán)氧乙烷的聚亞烷基二醇的二(甲基丙烯酸)酯M-7由平均9單元的環(huán)氧乙烷得到的聚乙二醇的二丙烯酸酯M-8在雙酚A的兩端分別加成了各平均5單元的環(huán)氧乙烷的聚乙二醇的二(甲基丙烯酸)酯I-12-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體I-24,4′-雙(二乙基氨基)二苯甲酮D-1孔雀綠D-2隱色結晶紫P-1對甲苯磺酰胺P-2重均分子量2000的聚丙二醇P-3加成了平均18摩爾的環(huán)氧乙烷的聚氧乙烯[二(1-苯乙基)苯基醚]P-4聚氧乙烯失水山梨糖醇三油酸酯(日本乳化劑株式會社制造,Newcol3-85)X-1(N,N-二丁基氨基)羧基苯并三唑X-2三乙二醇雙[3-(3-叔丁基)-5-甲基-4-羥基苯基]丙酸酯X-3亞硝基苯基羥胺鋁鹽X-42-二正丁基氨基-4,6-二硫基-均三嗪X-53-環(huán)氧丙氧丙基三甲氧基硅烷[表3][表4][表5]除了將感光性樹脂層疊體1制成感光性樹脂層疊體2~6、在環(huán)狀片材上使用樣品B以外,與感光性樹脂層疊體卷1同樣地制作感光性樹脂層疊體卷,將其作為感光性樹脂層疊體卷2~6。使用感光性樹脂卷2~6進行(1)~(5)的評價時,得到與使用感光性樹脂層疊體卷1時同樣的結果。除了將感光性樹脂層疊體1制成感光性樹脂層疊體7~10、在環(huán)狀片材上使用樣品B、將外徑180mm設為外徑176mm以外,與感光性樹脂層疊體卷1同樣地制作感光性樹脂層疊體卷,將其作為感光性樹脂層疊體卷7~10。卷繞成卷狀的感光性樹脂層疊體的外徑為176mm。使用感光性樹脂卷7~10進行(1)~(5)的評價時,得到與使用感光性樹脂層疊體卷1時同樣的結果。產(chǎn)業(yè)上的可利用性對于上述感光性樹脂層疊體卷,由于在啟封時可以容易地將異物去除,因此在精密設備、電子材料的加工中有用,作為裝入精密設備、電子材料中的永久圖案也有用。附圖標記說明1感光性樹脂層疊體2卷芯3卷端面保護部件(環(huán)狀片材)4支撐層5感光性樹脂層6保護層7平板8固定部件9遮光片材10感光性樹脂層疊體卷。當前第1頁1 2 3 
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