專利名稱：一種對(duì)投影光刻機(jī)步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種用于步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)的步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)代電子工業(yè)的發(fā)展是以微電子技術(shù)為基礎(chǔ)，微電子技術(shù)的核心是集成電路，而集成電路的發(fā)展又必須以半導(dǎo)體專用設(shè)備為其主要支撐條件。隨著硅片的直徑不斷增大， 集成度不斷提高，圖形線寬不斷縮小，專用設(shè)備顯得越來(lái)越重要。在集成電路生產(chǎn)過(guò)程中， 光刻設(shè)備占據(jù)著統(tǒng)治地位。從1973年世界上第一臺(tái)光刻機(jī)誕生以來(lái)，光刻機(jī)及光刻技術(shù)的發(fā)展可謂日新月異，突飛猛進(jìn)。光刻技術(shù)在經(jīng)歷了接觸式接近式、投影式、步進(jìn)重復(fù)投影式幾個(gè)重大技術(shù)發(fā)展階段之后，便向步進(jìn)掃描方式過(guò)渡。軌跡規(guī)劃的主要任務(wù)是計(jì)算給定運(yùn)動(dòng)軌跡在各采樣周期的加速度、速度、和位置等參考數(shù)據(jù)，供后續(xù)的數(shù)字控制器使用。因軌跡規(guī)劃直接決定光刻機(jī)的運(yùn)動(dòng)精度和性能，是光刻及研發(fā)中的重點(diǎn)和難點(diǎn)之一。傳統(tǒng)的軌跡規(guī)劃方法利用目標(biāo)值與實(shí)際值的實(shí)時(shí)比較進(jìn)行控制，難以滿足目標(biāo)數(shù)據(jù)時(shí)間的可預(yù)知性。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的是在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)之上針對(duì)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)的特征分別進(jìn)行分析，確定步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)的約束條件，從系統(tǒng)需求的角度自行對(duì)軌跡進(jìn)行了規(guī)劃，使其更符合步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)控制系統(tǒng)的實(shí)際需求，本發(fā)明能根據(jù)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)的步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)的約束條件，而提供一種對(duì)投影光刻機(jī)步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法。為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)對(duì)投影光刻機(jī)步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法， 將軌跡規(guī)劃方法同時(shí)用于步進(jìn)運(yùn)動(dòng)和掃描運(yùn)動(dòng)的步驟如下步驟Sl 根據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)對(duì)限制值的定義，針對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡輪廓利用幾何曲線的對(duì)稱性與圖形面積求積分法，依據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)和掃描運(yùn)動(dòng)給定的約束條件計(jì)算步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)的限制值；步驟S2 根據(jù)運(yùn)動(dòng)軌跡輪廓，利用幾何曲線的對(duì)稱性與圖形面積求積分法，計(jì)算并得到步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)各自加速度的導(dǎo)數(shù)與時(shí)間的關(guān)系曲線中的關(guān)鍵時(shí)間變量；步驟S3 針對(duì)關(guān)鍵時(shí)間變量，根據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)各自加速度的導(dǎo)數(shù)與時(shí)間的關(guān)系曲線中各時(shí)間切換點(diǎn)與關(guān)鍵時(shí)間變量的關(guān)系，計(jì)算得到各時(shí)間切換點(diǎn)的值；步驟S4:根據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)典型輪廓中加速度的導(dǎo)數(shù)與時(shí)間的關(guān)系以及時(shí)間切換點(diǎn)的值，計(jì)算得到步進(jìn)運(yùn)動(dòng)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)的函數(shù)；步驟S5 對(duì)加速度的導(dǎo)數(shù)的函數(shù)依次求一重、二重和三重積分，進(jìn)而得到步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)的加速度、速度和位移隨時(shí)間變化的曲線。優(yōu)選實(shí)施例所述步進(jìn)運(yùn)動(dòng)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)的函數(shù)表達(dá)式是
j (t) = jmax X [u (t-t0) -U (t-ti) -U (t-t2) +u (t-t3) -U (t-t4) +u (t-t5) +u (t-t6) -U (t_ t7)]，式中j(t)為加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)，jmax為最大加速度的導(dǎo)數(shù)，u(·)為單位階躍函數(shù)，t0至t7為時(shí)間切換點(diǎn)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的時(shí)間切換點(diǎn)、χ至t7X或掃描運(yùn)動(dòng)的時(shí)間切換點(diǎn)tOT至t7Y，t是運(yùn)動(dòng)時(shí)間代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)時(shí)間tx或掃描運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)時(shí)間tY。優(yōu)選實(shí)施例所述一重積分表示如下a(t) =I j(t)dt,式中a(t)為加速度隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的加速度隨時(shí)間變化的函數(shù)a(tx)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度隨時(shí)間變化的函數(shù)a(tY)，j(t)為加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j (tx)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j(tY)。優(yōu)選實(shí)施例所述二重積分表示如下v(t) = / / j(t)dt,式中V(t)為速度隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的速度隨時(shí)間變化的函數(shù) v(tx)或掃描運(yùn)動(dòng)速度隨時(shí)間變化的函數(shù)v(tY)，j(t)為加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j (tx)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j (tY)。優(yōu)選實(shí)施例所述三重積分表示如下s(t) = / / / j(t)dt,式中S(t)為位移隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的位移隨時(shí)間變化的函數(shù) s(tx)或掃描運(yùn)動(dòng)的位移隨時(shí)間變化的函數(shù)s(tY)，j(t)為加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j (tx)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j(tY)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是本發(fā)明可以根據(jù)給定的約束條件，依據(jù)時(shí)間最短原則計(jì)算出各時(shí)間切換點(diǎn)的值，最終通過(guò)計(jì)算和積分得到步進(jìn)運(yùn)動(dòng)或掃描運(yùn)動(dòng)的加速度的導(dǎo)數(shù)、加速度、 速度以及位移的運(yùn)動(dòng)軌跡輪廓，解決了傳統(tǒng)的軌跡規(guī)劃方法利用目標(biāo)值與實(shí)際值的實(shí)時(shí)比較進(jìn)行控制，難以滿足目標(biāo)數(shù)據(jù)時(shí)間的可預(yù)知性的技術(shù)問題。本發(fā)明不僅適用于步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)裝置，對(duì)于需要事先知道運(yùn)動(dòng)軌跡的加工設(shè)備都有一定的適用性。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)掃描曝光工作基本原理圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)硅片子場(chǎng)曝光硅片臺(tái)步進(jìn)掃描運(yùn)動(dòng)示意圖；圖3為本發(fā)明軌跡規(guī)劃方法的實(shí)現(xiàn)流程圖；圖4為現(xiàn)有技術(shù)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)典型輪廓；圖5為本發(fā)明規(guī)劃步進(jìn)運(yùn)動(dòng)關(guān)鍵時(shí)間變量的算法流程圖；圖6為現(xiàn)有技術(shù)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)掃描運(yùn)動(dòng)典型輪廓；圖7為本發(fā)明規(guī)劃掃描運(yùn)動(dòng)關(guān)鍵時(shí)間變量的算法流程圖。
具體實(shí)施方式
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)的基本原理見圖1。照明光源1、載有掩模3的掩模臺(tái)4和載有硅片6的硅片臺(tái)7同時(shí)以指定的速度\和速度Vw沿相反方向移動(dòng)到物鏡系統(tǒng)的上方和下方，掩模上特定區(qū)域的圖形在照明光束2照射下，經(jīng)過(guò)物鏡系統(tǒng)5，投影到涂有抗蝕劑的硅片6上，實(shí)現(xiàn)掩模圖形的轉(zhuǎn)移。其中X表示光刻機(jī)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的方向，Y表示掃描運(yùn)動(dòng)的方向、Z表示垂直于X、Y運(yùn)動(dòng)的方向。掃描型光刻機(jī)有兩種典型運(yùn)動(dòng)模式，即步進(jìn)運(yùn)動(dòng)和掃描運(yùn)動(dòng)。其中掩模臺(tái)4始終做周期性一維掃描運(yùn)動(dòng)，而硅片臺(tái)7則不同，它在一個(gè)掃描周期之內(nèi)除了和掩模臺(tái)4作反向同步掃描運(yùn)動(dòng)之外，還要在與掃描運(yùn)動(dòng)垂直的方向上進(jìn)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，使被掃描區(qū)域從上一行轉(zhuǎn)移至下一行，從而完成整個(gè)硅片6的掃描。圖2是現(xiàn)有技術(shù)硅片子場(chǎng)曝光硅片臺(tái)步進(jìn)掃描運(yùn)動(dòng)示意圖，以及硅片臺(tái)7的掃描運(yùn)動(dòng)和步進(jìn)運(yùn)動(dòng)速度曲線。當(dāng)硅片子場(chǎng)A沿著目標(biāo)路徑運(yùn)動(dòng)，硅片臺(tái)7以步進(jìn)方式運(yùn)動(dòng)，以便把硅片子場(chǎng)B移動(dòng)到靠近光軸位置。此時(shí)的運(yùn)動(dòng)為加速_>勻速_>減速，經(jīng)過(guò)一段調(diào)整時(shí)間，對(duì)于子場(chǎng)B的掃描開始。掃描的過(guò)程也包括加速_>勻速_>減速。當(dāng)硅片臺(tái)進(jìn)入勻速階段時(shí)曝光開始。圖2中所示的目標(biāo)路徑指示在硅片6曝光的過(guò)程中，硅片臺(tái)7的運(yùn)動(dòng)軌跡，即目標(biāo)路徑就是整個(gè)硅片臺(tái)7的運(yùn)動(dòng)軌跡；圖2中的兩個(gè)橢圓中所示的曲線即為速度曲線，其中標(biāo)有步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的橢圓中的曲線表示目標(biāo)路徑的步進(jìn)運(yùn)動(dòng)方向的整個(gè)速度變化曲線，標(biāo)有掃描運(yùn)動(dòng)的橢圓中的曲線表示目標(biāo)路徑的掃描運(yùn)動(dòng)方向的整個(gè)速度變化曲線。A、 B、C表示三個(gè)相鄰的曝光子場(chǎng)。這里掩模臺(tái)4和硅片臺(tái)7運(yùn)動(dòng)參數(shù)呈比例關(guān)系G 1)，但是運(yùn)動(dòng)的軌跡輪廓是一樣的。這樣光刻機(jī)中掩模臺(tái)4和硅片臺(tái)7的運(yùn)動(dòng)就可以歸結(jié)為步進(jìn)和掃描兩種運(yùn)動(dòng)方式。其中步進(jìn)運(yùn)動(dòng)要求軌跡規(guī)劃目標(biāo)數(shù)據(jù)的時(shí)間可預(yù)知性和終點(diǎn)位置的精確位置；掃描運(yùn)動(dòng)除了這些要求外，更關(guān)注掩模臺(tái)4、硅片臺(tái)7同步掃描曝光的精確性和常速掃描速度的穩(wěn)定性。假定運(yùn)動(dòng)軌跡初始位置和終點(diǎn)位置的加速度與速度均為零。圖4和圖6分別為一種步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)典型的軌跡輪廓，這四個(gè)曲線中加速度曲線、速度曲線、位移曲線依次是加速度的導(dǎo)數(shù)曲線的一重、二重、 三重積分。加速度的導(dǎo)數(shù)曲線中①為最大加速度的導(dǎo)數(shù)段，②為最大加速度段，③為最大速度段，改變給定的約束條件軌跡中的②或③可能將不再存在，也就是軌跡規(guī)劃存在著多種可能情形。(一 )針對(duì)以上分析，首先針對(duì)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行軌跡規(guī)劃，步進(jìn)運(yùn)動(dòng)軌跡規(guī)劃方法的約束條件為最大加速度的導(dǎo)數(shù)jmaxX、最大加速度^iaxx、最大速度Vmaxx、給定速度vx及終點(diǎn)位置sx(由于在本發(fā)明中X向?yàn)椴竭M(jìn)運(yùn)動(dòng)，Y向?yàn)閽呙柽\(yùn)動(dòng)，所以在類似的變量中所有步進(jìn)運(yùn)動(dòng)計(jì)算用到的變量均用下標(biāo)X注明，掃描運(yùn)動(dòng)則用下標(biāo)Y注明)。定義限制值1)當(dāng)加速度達(dá)到給定最大值(暫不考慮給定最大速度與運(yùn)動(dòng)位移)，加速度軌跡以對(duì)稱形式在最短時(shí)間內(nèi)將加速度與速度變?yōu)榱銜r(shí)，對(duì)應(yīng)的最大速度記為V_a_mi x，最大位移記為S_a_mi x，這里的a代表加速度，沒有數(shù)學(xué)意義。2)當(dāng)速度達(dá)到最大值(暫不考慮給定運(yùn)動(dòng)位移)，加速度軌跡以對(duì)稱形式在最短時(shí)間內(nèi)將加速度和速度變?yōu)榱銜r(shí)，對(duì)應(yīng)的位移記為s_v_mi x。定義三個(gè)關(guān)鍵時(shí)間變量表示為、x，taX，tvX，其中表示步進(jìn)運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)為最大值的時(shí)間，taX表示步進(jìn)運(yùn)動(dòng)加速度從零加速為最大值并保持最大值的時(shí)間，tvX表示步進(jìn)運(yùn)動(dòng)速度保持最大值的時(shí)間，如圖4所示。定義以最大加速度的導(dǎo)數(shù)jmaxXW速，直到加速度達(dá)到其最大值時(shí)所對(duì)應(yīng)的時(shí)間為ttabx = iimaxX/jmaxX。從圖4可以發(fā)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)軌跡規(guī)劃的本質(zhì)就是確定三個(gè)關(guān)鍵時(shí)間變量、x，taX，tvX的計(jì)算，因此，如圖3所示描述軌跡規(guī)劃的步驟如下步驟Sl 根據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)限制值的定義，針對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡輪廓利用幾何曲線的對(duì)稱性與圖形面積求積分法，依據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)和掃描運(yùn)動(dòng)給定的約束條件計(jì)算限制值V_a_maXx，s_ a_maxx, s_v_maxx,計(jì)算公式為
權(quán)利要求
1.一種對(duì)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法，其特征在于，將軌跡規(guī)劃方法同時(shí)用于步進(jìn)運(yùn)動(dòng)和掃描運(yùn)動(dòng)的步驟如下步驟Si 根據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)對(duì)限制值的定義，針對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡輪廓利用幾何曲線的對(duì)稱性與圖形面積求積分法，依據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)和掃描運(yùn)動(dòng)給定的約束條件計(jì)算步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)的限制值；步驟S2 根據(jù)運(yùn)動(dòng)軌跡輪廓，利用幾何曲線的對(duì)稱性與圖形面積求積分法，計(jì)算并得到步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)各自加速度的導(dǎo)數(shù)與時(shí)間的關(guān)系曲線中的關(guān)鍵時(shí)間變量；步驟S3:針對(duì)關(guān)鍵時(shí)間變量，根據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)各自加速度的導(dǎo)數(shù)與時(shí)間的關(guān)系曲線中各時(shí)間切換點(diǎn)與關(guān)鍵時(shí)間變量的關(guān)系，計(jì)算得到各時(shí)間切換點(diǎn)的值；步驟S4 根據(jù)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)典型輪廓中加速度的導(dǎo)數(shù)與時(shí)間的關(guān)系以及時(shí)間切換點(diǎn)的值，計(jì)算得到步進(jìn)運(yùn)動(dòng)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)的函數(shù)；步驟S5 對(duì)加速度的導(dǎo)數(shù)的函數(shù)依次求一重、二重和三重積分，進(jìn)而得到步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)的加速度、速度和位移隨時(shí)間變化的曲線。
2.如權(quán)利要求1所述的對(duì)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法， 其特征在于所述步進(jìn)運(yùn)動(dòng)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)的函數(shù)表達(dá)式是j (t) = jmax X [u (t-t0) -u (t-ti) -u (t-t2) +u (t-t3) -u (t-t4) +u (t-t5) +u (t-t6) -u (t-t7)]，式中j(t)為加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)，jmax為最大加速度的導(dǎo)數(shù)，U (·)為單位階躍函數(shù)，to至t7為時(shí)間切換點(diǎn)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的時(shí)間切換點(diǎn)、χ至t7X或掃描運(yùn)動(dòng)的時(shí)間切換點(diǎn)tOT至t7Y，t是運(yùn)動(dòng)時(shí)間代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)時(shí)間tx或掃描運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)時(shí)間tY。
3.如權(quán)利要求2所述的對(duì)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法，其特征在于所述一重積分表示如下a(t) = / j(t)dt,式中a(t)為加速度隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的加速度隨時(shí)間變化的函數(shù) a(tx)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度隨時(shí)間變化的函數(shù)a(tY)，j(t)為加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j (tx)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j(tY)。
4.如權(quán)利要求2所述的對(duì)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法，其特征在于所述二重積分表示如下v(t) =ff j(t)dt，式中v(t)為速度隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的速度隨時(shí)間變化的函數(shù)ν(tx)或掃描運(yùn)動(dòng)速度隨時(shí)間變化的函數(shù)ν (tY)，j(t)為加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j(tx)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù) j (tY)。
5.如權(quán)利要求2所述的對(duì)對(duì)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法，其特征在于所述三重積分表示如下s(t) = / / / j(t)dt，式中s(t)為位移隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的位移隨時(shí)間變化的函數(shù)s (tx)或掃描運(yùn)動(dòng)的位移隨時(shí)間變化的函數(shù)S (tY)，j(t)為加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)代表步進(jìn)運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù)j (tx)或掃描運(yùn)動(dòng)加速度的導(dǎo)數(shù)隨時(shí)間變化的函數(shù) j (tY)。
全文摘要
本發(fā)明是一種對(duì)投影光刻機(jī)步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)軌跡的規(guī)劃方法，其規(guī)劃步驟如下根據(jù)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)系統(tǒng)給定的步進(jìn)以及掃描運(yùn)動(dòng)的約束條件，計(jì)算各自的限制值，算出關(guān)鍵的時(shí)間變量，進(jìn)而算出各時(shí)間切換點(diǎn)，再由時(shí)間切換點(diǎn)的值得到加速度的導(dǎo)數(shù)的軌跡函數(shù)，最后通過(guò)積分依次求得加速度、速度以及位移隨時(shí)間變化的曲線。本發(fā)明能夠根據(jù)步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)系統(tǒng)給定的約束條件，得到加速度的導(dǎo)數(shù)、加速度、速度以及位移的軌跡曲線，從而為步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)的步進(jìn)及掃描運(yùn)動(dòng)控制提供時(shí)間最優(yōu)軌跡。本發(fā)明不僅適用于步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)裝置，對(duì)于需要事先知道運(yùn)動(dòng)軌跡的加工設(shè)備都有一定的適用性。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102236269SQ201110205579
公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2011年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月21日
發(fā)明者徐鋒, 李蘭蘭, 李金龍, 盛壯, 胡松, 趙立新 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所