專利名稱：液晶顯示器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示器，更具體地，涉及具有用于感測(cè)使用者觸摸的感測(cè)電極的液晶顯示器。
背景技術(shù)：
液晶顯示器因?yàn)榛诘万?qū)動(dòng)電壓的低能耗和便攜性的優(yōu)點(diǎn)而廣泛地應(yīng)用在筆記本電腦、監(jiān)視器、航天器和航空器等等的許多領(lǐng)域中。液晶顯示器包括下基板、上基板和在下基板和上基板之間形成的液晶層。在液晶顯示器中，根據(jù)是否有電場(chǎng)施加到液晶層上來(lái)控制液晶層中的液晶分子的排列狀態(tài)，并且根據(jù)液晶分子的排列狀態(tài)來(lái)控制透光度，由此在液晶顯示器上顯示出圖像。通常使用鼠標(biāo)或鍵盤作為液晶顯示器的輸入裝置。而能夠讓使用者使用手指或筆直接輸入信息的觸摸屏被主要應(yīng)用在導(dǎo)航系統(tǒng)、便攜式終端和家用電器上。以下將參照附圖描述現(xiàn)有技術(shù)的具有觸摸屏的液晶顯示器。圖1是表示現(xiàn)有技術(shù)的液晶顯示器的截面圖。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的液晶顯示器包括液晶面板10和觸摸屏20。液晶面板10顯示圖像，并且包括下基板12、上基板14和在下基板12和上基板14 之間形成的液晶層16。觸摸屏20在液晶面板10上形成以感測(cè)使用者的觸摸，并且包括觸摸基板22、在觸摸基板22下方形成的第一感測(cè)電極24和在觸摸基板22上形成的第二感測(cè)申極26。第一感測(cè)電極24在觸摸基板22下方沿水平方向排列，第二感測(cè)電極26在觸摸基板22上沿垂直方向排列。于是，如果使用者觸摸預(yù)定的位置，則在被觸摸的位置，第一感測(cè)電極24和第二感測(cè)電極26之間的電容發(fā)生改變。結(jié)果，可感測(cè)到電容發(fā)生改變的位置，因此可感測(cè)到使用者的觸摸位置。然而，在前文所述的現(xiàn)有技術(shù)的液晶顯示器中，因?yàn)橛|摸屏20在液晶面板10上單獨(dú)形成，液晶顯示器的總厚度因觸摸屏20而增加。因此，存在制造工藝步驟復(fù)雜化并且制造成本增加的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明涉及一種液晶顯示器及其制造方法，所述液晶顯示器及其制造方法基本上消除了由于現(xiàn)有技術(shù)的限制和缺點(diǎn)所導(dǎo)致的一個(gè)或多個(gè)問題。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是提供一種液晶顯示器及其制造方法，其中用來(lái)感測(cè)使用者觸摸的感測(cè)電極設(shè)置在液晶面板內(nèi)，因而在液晶面板上不需要單獨(dú)的觸摸屏，因此減小了液晶顯示器的總厚度，簡(jiǎn)化了制造工藝步驟并且降低了制造成本。本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)的一部分將在下面的描述中列出，這些優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)的一部分在對(duì)下文的描述進(jìn)行研讀后，對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是顯而易見的，或可通過(guò)對(duì)本發(fā)明的實(shí)施而獲悉。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)可通過(guò)書面描述、權(quán)利要求書以及附圖中具體指出的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。為了獲得這些目的和其他優(yōu)點(diǎn)，依照本發(fā)明的意圖，如在這里具體化和概括描述的，一種液晶顯示器包括在基板上排列成彼此相交以限定多個(gè)像素的柵極線與數(shù)據(jù)線、在所述多個(gè)像素的每一個(gè)中形成的像素電極、與所述像素電極一起形成電場(chǎng)并且被構(gòu)圖以感測(cè)使用者觸摸的公共電極、在所述公共電極上非連續(xù)地形成并且與公共電極電連接的感測(cè)線、在所述公共電極下方形成用于把所述感測(cè)線的非連續(xù)部分彼此電連接起來(lái)的跳線、以及用來(lái)把所述跳線與所述感測(cè)線電連接起來(lái)的第一連接電極和第二連接電極，其中所述第一連接電極與所述跳線相連接，并且所述第二連接電極分別與所述感測(cè)線和所述第一連接電極相連接。本發(fā)明的另一方面，一種制造液晶顯示器的方法包括以下步驟在基板上構(gòu)圖跳線；在所述跳線上形成層間絕緣膜；在所述層間絕緣膜中形成第一接觸孔以暴露所述跳線；形成通過(guò)所述第一接觸孔與所述跳線相連接的第一連接電極；通過(guò)在所述第一連接電極上按順序沉積無(wú)機(jī)膜和有機(jī)膜來(lái)形成第一鈍化膜；在所述第一鈍化膜的有機(jī)膜中形成開口 ；在所述第一鈍化膜的有機(jī)膜上構(gòu)圖公共電極并且在所述公共電極上構(gòu)圖感測(cè)線；在所述感測(cè)線上形成第二鈍化膜；通過(guò)去除所述第二鈍化膜的預(yù)定區(qū)域和所述第一鈍化膜的無(wú)機(jī)膜的預(yù)定區(qū)域來(lái)形成第二接觸孔以暴露所述感測(cè)線和所述第一連接電極；以及形成通過(guò)所述第二接觸孔與所述感測(cè)線以及所述第一連接電極連接的第二連接電極。應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明的之前的概括描述和之后的詳細(xì)描述都是示例性和解釋性的， 意在對(duì)要求保護(hù)的本發(fā)明提供進(jìn)一步的解釋。


附圖提供了對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解并且被加入并構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，所述附解了本發(fā)明的實(shí)施方式并且和說(shuō)明書一起用來(lái)解釋本發(fā)明的原理。在附圖中圖1是表示現(xiàn)有技術(shù)的液晶顯示器的截面圖；圖2a是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的液晶顯示器的下基板的平面圖，圖2b是沿圖 2a的線I-I的截面圖；圖3a是表示在本發(fā)明的一實(shí)施方式的液晶顯示器中設(shè)置用于感測(cè)使用者的觸摸位置的感測(cè)線的簡(jiǎn)圖，圖3b是沿圖3a的線I-I的截面圖；圖4是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的液晶顯示器的一個(gè)像素的平面圖；圖5a和圖5b是沿圖4的線1_1截取的本發(fā)明的各種實(shí)施方式的液晶顯示器的截面圖；圖6a至6h是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式制造液晶顯示器的下基板的方法的截面圖；以及圖7a至7h是表示根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式制造液晶顯示器的下基板的方法的截面圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將詳細(xì)地描述本發(fā)明的示范性實(shí)施方式，本發(fā)明的示范性實(shí)施方式的示例在附圖中表示。盡可能地，在所有附圖中將使用相同的標(biāo)號(hào)表示相同的或相似的部分。圖2a是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的液晶顯示器的下基板的平面圖，圖2b是沿圖 2a的線I-I的截面圖。如圖2所示，本發(fā)明的一實(shí)施方式的液晶顯示器包括基板100、柵極線210、數(shù)據(jù)線 230、公共電極300、感測(cè)線400和像素電極500?；?00可由玻璃或透明塑料形成。柵極線210在基板100上以水平方向排列，數(shù)據(jù)線230在基板100上以垂直方向排列。這樣，柵極線210和數(shù)據(jù)線230彼此相交以限定多個(gè)像素。柵極線210排列成直線，數(shù)據(jù)線230排列成曲線。但是，柵極線210和數(shù)據(jù)線230 的排列方式并不局限于以上的例子。例如，數(shù)據(jù)線230可排列成直線。同時(shí)，盡管未示出，多個(gè)像素中的每一個(gè)都設(shè)置有作為開關(guān)器件的薄膜晶體管。所述薄膜晶體管包括柵極、半導(dǎo)體層、源極和漏極。所述薄膜晶體管可具有底柵結(jié)構(gòu)和頂柵結(jié)構(gòu)，在所述底柵結(jié)構(gòu)中柵極布置在半導(dǎo)體層下方，在所述頂柵結(jié)構(gòu)中柵極布置在半導(dǎo)體層上方。公共電極300通過(guò)與像素電極500 —起形成電場(chǎng)來(lái)驅(qū)動(dòng)液晶層，并且還用作感測(cè)使用者的觸摸位置的感測(cè)電極。為了用作感測(cè)電極，多個(gè)公共電極300形成為預(yù)定的圖案。多個(gè)公共電極300中的每一個(gè)可形成為具有對(duì)應(yīng)于一個(gè)或多個(gè)像素的尺寸。例如，多個(gè)公共電極300中的每一個(gè)可如圖所示形成為具有對(duì)應(yīng)于三個(gè)像素的尺寸。感測(cè)線400用來(lái)把多個(gè)公共電極300彼此電連接起來(lái)。換言之，單獨(dú)形成的多個(gè)公共電極300與感測(cè)線400相連接，并且感測(cè)電路與感測(cè)線400的末端相連接以感測(cè)使用者的觸摸位置。感測(cè)線400排列成平行于柵極線210和數(shù)據(jù)線230，因此能夠感測(cè)在X軸方向上和Y軸方向上的觸摸位置。感測(cè)線400用來(lái)把多個(gè)公共電極300彼此電連接起來(lái)，并且也用來(lái)減小公共電極的電阻。此外，感測(cè)線400可用來(lái)防止發(fā)生向錯(cuò)。下文將更詳細(xì)地描述感測(cè)線400。通常使用例如ITO的透明導(dǎo)電材料作為公共電極300。但是，存在透明導(dǎo)電材料具有高電阻的問題。于是，可把具有優(yōu)異的導(dǎo)電性的金屬感測(cè)線400與公共電極300相連接， 從而可減小公共電極300的電阻。此外，如圖2a所示，如果數(shù)據(jù)線230形成為曲線，光泄漏會(huì)發(fā)生在數(shù)據(jù)線230彎曲的區(qū)域，因此可發(fā)生向錯(cuò)。于是，可在發(fā)生向錯(cuò)的區(qū)域形成平行于柵極線210排列的感測(cè)線 400，因此可防止發(fā)生向錯(cuò)。同時(shí)，盡管通過(guò)感測(cè)線400可防止發(fā)生向錯(cuò)，感測(cè)線400可能會(huì)減小孔徑比。于是， 為了防止減小孔徑比，最好使平行于數(shù)據(jù)線230排列的感測(cè)線400與數(shù)據(jù)線230重疊。為了減小公共電極300的電阻同時(shí)防止減小透光度，可額外地形成與柵極線210重疊的感測(cè)線 400。像素電極500在每個(gè)像素中形成，并且特別形成為對(duì)應(yīng)于像素的形狀。
同時(shí)，盡管未示出，像素電極500中可設(shè)置有至少一條狹縫。如果像素電極500中設(shè)置有狹縫，可通過(guò)狹縫在像素電極500和公共電極300之間形成邊緣場(chǎng)，并且可通過(guò)邊緣場(chǎng)驅(qū)動(dòng)液晶。換言之，可獲得邊緣場(chǎng)開關(guān)模式的液晶顯示器。以下將參照表示液晶顯示器截面結(jié)構(gòu)的圖2b更詳細(xì)地描述本發(fā)明的一實(shí)施方式的液晶顯示器。如圖2b所示，柵極絕緣膜205在基板100上形成，并且柵極線210在柵極絕緣膜 205上構(gòu)圖。這種設(shè)置對(duì)應(yīng)于使用頂柵結(jié)構(gòu)的薄膜晶體管的情況。盡管未示出，半導(dǎo)體層在柵極絕緣膜205下方形成。所述半導(dǎo)體層包括溝道區(qū)和摻雜區(qū)，電子在所述通道區(qū)中遷移， 所述摻雜區(qū)與在所述溝道區(qū)兩側(cè)的源極區(qū)和漏極區(qū)相連。層間絕緣膜220在柵極線210上形成，并且數(shù)據(jù)線230在層間絕緣膜220上構(gòu)圖。 此外，第一鈍化膜240在數(shù)據(jù)線230上形成。公共電極300在第一鈍化膜240上構(gòu)圖，并且感測(cè)線400在公共電極300上構(gòu)圖。第二鈍化膜450在感測(cè)線400上形成，并且像素電極500在第二鈍化膜450上構(gòu)圖。同時(shí)，如上所述，感測(cè)線400將公共電極300彼此電連接并且在X軸方向上和Y軸方向上感測(cè)使用者的觸摸位置。下文將更詳細(xì)地描述這一點(diǎn)。圖3a是表示在本發(fā)明的液晶顯示器中設(shè)置用于感測(cè)使用者的觸摸位置的感測(cè)線的略圖，圖3b是沿圖3a的線I-I的截面圖。在圖3a中，為了方便，在一個(gè)公共電極區(qū) (block)中示出一條感測(cè)線。如圖3a所示，考慮到使用者的手或筆的接觸面積，形成了包括多個(gè)公共電極的公共電極區(qū)。即，公共電極區(qū)是包括多個(gè)公共電極的單元區(qū)。例如，圖2a所示的公共電極的集合可以是一個(gè)單元區(qū)。而且，感測(cè)線把各個(gè)公共電極區(qū)彼此連接起來(lái)。由于感測(cè)線包括了水平感測(cè)線和垂直感測(cè)線，通過(guò)用于感測(cè)使用者觸摸時(shí)的電容變化的水平感測(cè)線可感測(cè)Y軸方向上的觸摸位置，通過(guò)用于感測(cè)使用者觸摸時(shí)的電容變化的垂直感測(cè)線可感測(cè)X軸方向上的觸摸位置。在這種情況下，如果水平感測(cè)線與垂直感測(cè)線電連接，則會(huì)發(fā)生短路，因此無(wú)法感測(cè)使用者的觸摸位置。于是，用來(lái)感測(cè)使用者的觸摸位置的水平感測(cè)線與垂直感測(cè)線不可以彼此電連接。為了不使水平感測(cè)線與垂直感測(cè)線彼此電連接，會(huì)使用跳線(jump line)。在圖 3a中，感測(cè)線表示為實(shí)線，跳線表示為虛線。更詳細(xì)地，水平感測(cè)線和垂直感測(cè)線在公共電極區(qū)上形成。此時(shí)，水平感測(cè)線非連續(xù)地形成以免與垂直感測(cè)線相交。跳線在公共電極區(qū)下方形成。此時(shí)，跳線通過(guò)接觸孔與水平感測(cè)線相連接，從而把水平感測(cè)線的非連續(xù)形成的部分彼此電連接起來(lái)。盡管在圖中，水平感測(cè)線的非連續(xù)形成的部分通過(guò)跳線彼此電連接，然而垂直感測(cè)線也可非連續(xù)地形成，并且垂直感測(cè)線的非連續(xù)部分可通過(guò)跳線彼此電連接起來(lái)。以下將參照?qǐng)D3a的放大圖，更詳細(xì)地描述感測(cè)線與跳線之間的電連接。圖3a的放大圖表示其中感測(cè)線與跳線相連接的一個(gè)像素。如圖3a所示，柵極線 210和數(shù)據(jù)線230彼此相交以限定一個(gè)像素。像素電極500在像素中形成。
此外，感測(cè)線400形成為平行于柵極線210，并且跳線215形成為與感測(cè)線400電連接。跳線215可以按照和感測(cè)線400相同的方式形成為平行于柵極線210。特別地，跳線215在發(fā)生向錯(cuò)的區(qū)域中形成，從而能夠防止發(fā)生向錯(cuò)。在這種情況下，由于感測(cè)線400在公共電極上形成，而跳線215在公共電極下方形成，因此額外地形成第一連接電極235和第二連接電極550以把感測(cè)線400與跳線215電連接起來(lái)。第一連接電極235與跳線215相連接，第二連接電極550與感測(cè)線400相連接，并且第一連接電極235與第二連接電極550彼此相連接。于是，跳線215與感測(cè)線400電連接起來(lái)。更詳細(xì)地，第一連接電極235通過(guò)第一接觸孔ch 1與跳線215相連接，并且第一連接電極235通過(guò)第二接觸孔ch 2與第二連接電極550相連接。第二連接電極550通過(guò)第二接觸孔ch 2與第一連接電極235相連接，并且第二連接電極550通過(guò)第三接觸孔ch 3與感測(cè)線400相連接。跳線215與感測(cè)線400的連接結(jié)構(gòu)參照表示所述連接結(jié)構(gòu)截面的圖3b將更容易
被理解。如圖3b所示，柵極絕緣膜205在基板100上形成，跳線215在柵極絕緣膜205上形成。如上所述，包括溝道區(qū)和摻雜區(qū)的半導(dǎo)體層在柵極絕緣膜205下方形成。跳線215可與柵極線210在同一層上形成。于是，跳線215和柵極線210可通過(guò)相同的工序由相同的材料形成。層間絕緣膜220在跳線215上形成，第一連接電極235在層間絕緣膜220上形成。層間絕緣膜220設(shè)置有用來(lái)暴露跳線215的第一接觸孔ch 1，并且第一連接電極 235通過(guò)第一接觸孔ch 1與跳線215相連接。第一連接電極235可與數(shù)據(jù)線230在同一層上形成。于是，第一連接電極235和數(shù)據(jù)線230可通過(guò)相同的工序由相同的材料形成。第一鈍化膜240在第一連接電極235上形成。第一鈍化膜240可形成為包括無(wú)機(jī)膜242和有機(jī)膜244的雙層膜。如果較厚地形成有機(jī)膜244來(lái)作為第一鈍化膜240，其優(yōu)點(diǎn)是能夠減小寄生電容。 如果有機(jī)膜244在第一連接電極235上形成，則會(huì)腐蝕第一連接電極235。于是，優(yōu)選的是在第一連接電極235上較薄地形成無(wú)機(jī)膜242再形成厚的有機(jī)膜244。公共電極300在第一鈍化膜240上構(gòu)圖，感測(cè)線400在公共電極300上構(gòu)圖。第二鈍化膜450在感測(cè)線400上形成，并且第二連接電極550在第二鈍化膜450 上形成。第二接觸孔ch 2在第一鈍化膜240和第二鈍化膜450中形成以暴露第一連接電極235，第二連接電極550通過(guò)第二接觸孔ch 2與第一連接電極235相連接。此外，第三接觸孔ch 3在第二鈍化膜450中形成以暴露感測(cè)線400，第二連接電極 550通過(guò)第三接觸孔ch 3與感測(cè)線400相連接。第二連接電極550可與像素電極500在同一層上形成。于是，第二連接電極550
8與像素電極500可通過(guò)相同的工序由相同的材料形成。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，跳線215通過(guò)第一連接電極235和第二連接電極550與感測(cè)線400電連接起來(lái)。為了實(shí)現(xiàn)連接，形成總共三個(gè)接觸孔，例如第一接觸孔 ch 1、第二接觸孔ch 2和第三接觸孔ch 3。特別地，由于分別形成第二接觸孔ch 2和第三接觸孔ch 3，以分別連接第二連接電極550和第一連接電極235以及連接第二連接電極550和感測(cè)線400，正如在圖3a的放大圖中要注意的，這增加了第二連接電極550的長(zhǎng)度L。但是，如果第二連接電極550的長(zhǎng)度L增加，將減小與第二連接電極550分開的像素電極500的總面積。因此，會(huì)產(chǎn)生孔徑比降低的問題。以下將描述能夠解決上述問題的本發(fā)明另一實(shí)施方式的液晶顯示器的下基板。圖4是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的液晶顯示器的一個(gè)像素的平面圖。圖4表示出感測(cè)線和跳線之間的連接。如圖4所示，柵極線210和數(shù)據(jù)線230在基板100上排列以彼此相交，因此限定一
個(gè)像素。像素中設(shè)置有像素電極500。此外，感測(cè)線400形成為平行于柵極線210，并且跳線215形成為與感測(cè)線400電連接。跳線215可以按照和感測(cè)線400同樣的方式形成為平行于柵極線210。特別地，跳線 215可在發(fā)生向錯(cuò)的區(qū)域中形成，以防止發(fā)生向錯(cuò)。感測(cè)線400在公共電極上形成，而跳線215在公共電極下方形成。于是，形成第一連接電極235和第二連接電極550以電連接感測(cè)線400與跳線215。第一連接電極235與跳線215相連接，第二連接電極550與感測(cè)線400相連接。并且，第一連接電極235與第二連接電極550彼此相連接。于是，跳線215與感測(cè)線400電連接起來(lái)。更詳細(xì)地，第一連接電極235通過(guò)第一接觸孔ch 1與跳線215相連接，并且通過(guò)第二接觸孔ch2與第二連接電極550相連接。第二連接電極550通過(guò)第二接觸孔ch 2與第一連接電極235相連接，并且也通過(guò)第二接觸孔ch 2與感測(cè)線400相連接。即，第二連接電極550通過(guò)一個(gè)第二接觸孔ch 2 與第一連接電極235以及感測(cè)線400相連接。跳線215與感測(cè)線400的連接結(jié)構(gòu)將參照表示所述連接結(jié)構(gòu)截面的圖5a和5b進(jìn)行描述。圖5a和圖5b是沿圖4的線1_1截取的本發(fā)明的各種實(shí)施方式的液晶顯示器的截面圖。如圖5a所示，柵極絕緣膜205在基板100上形成，跳線215在柵極絕緣膜205上形成。如上所述，包括溝道區(qū)和摻雜區(qū)的半導(dǎo)體層在柵極絕緣膜205下方形成。跳線215可與柵極線210在同一層中形成。于是，跳線215與柵極線210可通過(guò)相同的工序由相同的材料形成。層間絕緣膜220在跳線215上形成，第一連接電極235在層間絕緣膜220上形成。層間絕緣膜220設(shè)置有第一接觸孔ch 1以暴露跳線215，第一連接電極235通過(guò)第一接觸孔ch 1與跳線215相連接。
第一連接電極235可與數(shù)據(jù)線230在同一層中形成。于是，第一連接電極235與數(shù)據(jù)線230可通過(guò)相同的工序由相同的材料形成。第一鈍化膜240在第一連接電極235上形成。在這種情況下，第一鈍化膜240可形成為包括無(wú)機(jī)膜242和有機(jī)膜244的雙層膜。公共電極300在第一鈍化膜240上構(gòu)圖，感測(cè)線400在公共電極300上構(gòu)圖。第二鈍化膜450在感測(cè)線400上形成，第二連接電極550在第二鈍化膜450上形成。第二接觸孔ch 2在第一鈍化膜240和第二鈍化膜450中形成以同時(shí)暴露第一連接電極235和感測(cè)線400，并且第二連接電極550通過(guò)第二接觸孔ch 2與第一連接電極235 以及感測(cè)線400相連接。更詳細(xì)地，通過(guò)去除第一鈍化膜240的無(wú)機(jī)膜242的預(yù)定區(qū)域和第二鈍化膜450 的預(yù)定區(qū)域來(lái)形成第二接觸孔ch 2。第一鈍化膜240的有機(jī)膜244設(shè)置有單獨(dú)的開口 245，并且感測(cè)線400在開口 245 中構(gòu)圖。此外，第二鈍化膜450在開口 245中部分地形成。最后，通過(guò)去除在開口 245中形成的第二鈍化膜450以及在第二鈍化膜450下方的無(wú)機(jī)膜242來(lái)形成第二接觸孔ch 2。參考將在下面描述的制造工序?qū)⒏菀桌斫忾_口 245和第二接觸孔ch 2。第二連接電極550可與像素電極500在同一層上形成。于是，第二連接電極550 與像素電極500可通過(guò)相同的工序由相同的材料形成。圖5b的實(shí)施方式與圖5a的實(shí)施方式相同，除了在圖5b的實(shí)施方式中感測(cè)線400 和公共電極300額外地在形成于第一鈍化膜240的有機(jī)膜244中的開口 245內(nèi)構(gòu)圖，所以將忽略對(duì)圖5b的實(shí)施方式的重復(fù)描述。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，跳線215通過(guò)第一連接電極235和第二連接電極550與感測(cè)線400電連接。為了實(shí)現(xiàn)這些連接，形成總共兩個(gè)接觸孔，例如第一接觸孔ch 1和第二接觸孔ch 2。特別地，由于僅形成第二接觸孔ch 2就把第二連接電極550分別與第一連接電極 235以及感測(cè)線400連接起來(lái)，如將從圖4中看出的，與之前的實(shí)施方式相比，第二連接電極550的長(zhǎng)度L縮短了。于是，相對(duì)增加了與第二連接電極550分開的像素電極500的總面積，因此可增大孔徑比。以下將描述制造本發(fā)明的液晶顯示器的下基板的方法。圖6a至6h是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式制造液晶顯示器的下基板的方法的截面圖，涉及用于制造圖5a的液晶顯示器的下基板的方法。首先，如圖6a所示，在基板100上形成柵極絕緣膜205，在柵極絕緣膜205上構(gòu)圖跳線215。在跳線215上形成層間絕緣膜220之后，在層間絕緣膜220中形成第一接觸孔 ch 1以暴露跳線215?？稍谛纬蓶艠O絕緣膜205之前，執(zhí)行在基板100上形成半導(dǎo)體層的工序。可同時(shí)形成跳線215和柵極線?？赏瑫r(shí)形成第一接觸孔ch 1和用來(lái)把半導(dǎo)體層與源極以及漏極連接起來(lái)的接觸孔。如上所述，由于可用現(xiàn)有工序形成跳線215和第一接觸孔ch 1，所以不額外需要單獨(dú)的工序來(lái)形成跳線215和第一接觸孔ch 1。接下來(lái)，如圖6b所示，形成通過(guò)第一接觸孔ch 1與跳線215相連接的第一連接電極 235。可同時(shí)形成第一連接電極235和數(shù)據(jù)線。于是，不額外需要形成第一連接電極235 的單獨(dú)的工序。接下來(lái)，如圖6c所示，在第一連接電極235上按順序沉積無(wú)機(jī)膜242和有機(jī)膜244 來(lái)形成第一鈍化膜240。如圖6d所示，在第一鈍化膜240的有機(jī)膜244中形成開口 245。接下來(lái)，如圖6e所示，在第一鈍化膜240的有機(jī)膜244上構(gòu)圖公共電極300，并且在公共電極300上構(gòu)圖感測(cè)線400。不在有機(jī)膜244的開口 245中形成公共電極300，而把感測(cè)線400延伸至有機(jī)膜 244的開口 245。這樣，由于感測(cè)線400延伸至開口 245，在之后的工序中可增加感測(cè)線400 與第二連接電極之間的接觸面積。接下來(lái)，如圖6f所示，在感測(cè)線400上形成第二鈍化膜450。也在有機(jī)膜244的開口 245中形成第二鈍化膜450。如圖6g所示，除去第二鈍化膜450的預(yù)定區(qū)域和第一鈍化膜240的無(wú)機(jī)膜242的預(yù)定區(qū)域以形成第二接觸孔ch 2。通過(guò)第二接觸孔ch 2暴露感測(cè)線400和第一連接電極235。由于第二鈍化膜450通常由無(wú)機(jī)膜形成，可通過(guò)一次蝕刻工序同時(shí)去除第二鈍化膜450的預(yù)定區(qū)域和第一鈍化膜240的無(wú)機(jī)膜242的預(yù)定區(qū)域?？赏瑫r(shí)形成第二接觸孔ch 2和用來(lái)把像素電極與薄膜晶體管的漏極相連接的接觸孔。于是，不額外地需要形成第二接觸孔ch 2的單獨(dú)的工序。接下來(lái)，如圖6h所示，形成通過(guò)第二接觸孔ch 2與感測(cè)線400以及第一連接電極 235相連接的第二連接電極550?？赏瑫r(shí)形成第二連接電極550和像素電極。于是，不額外需要形成第二連接電極 550的單獨(dú)的工序。圖7a至7h是表示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式制造液晶顯示器的下基板的方法的截面圖，涉及制造圖5b的液晶顯示器的下基板的方法。將省略和之前實(shí)施方式的描述相同的描述。首先，如圖7a所示，在基板100上形成柵極絕緣膜205，在柵極絕緣膜205上構(gòu)圖跳線215。在跳線215上形成層間絕緣膜220之后，在層間絕緣膜220中形成第一接觸孔ch 1以暴露跳線215。接下來(lái)，如圖7b所示，形成通過(guò)第一接觸孔ch 1與跳線215相連接的第一連接電極235。接下來(lái)，如圖7c所示，在第一連接電極235上按順序沉積無(wú)機(jī)膜242和有機(jī)膜244 來(lái)形成第一鈍化膜240。如圖7d所示，在第一鈍化膜240的有機(jī)膜244中形成開口 245。接下來(lái)，如圖7e所示，在第一鈍化膜240的有機(jī)膜244上構(gòu)圖公共電極300，并且在公共電極300上構(gòu)圖感測(cè)線400。
把公共電極300和感測(cè)線400延伸至有機(jī)膜244的開口 245。接下來(lái)，如圖7f所示，在感測(cè)線400上形成第二鈍化膜450。如圖7g所示，除去第二鈍化膜450的預(yù)定區(qū)域和第一鈍化膜240的無(wú)機(jī)膜242的預(yù)定區(qū)域以形成第二接觸孔ch 2，從而暴露感測(cè)線400和第一連接電極235。接下來(lái)，如圖7h所示，形成通過(guò)第二接觸孔ch 2與感測(cè)線400以及第一連接電極 235相連接的第二連接電極550。如上已經(jīng)描述了構(gòu)成本發(fā)明的液晶顯示器的下基板。本發(fā)明的液晶顯示器包括之前描述的下基板、上基板和在所述兩基板之間形成的液晶層。上基板包括用來(lái)遮擋光以防止光泄漏到除像素區(qū)域以外的其他區(qū)域的遮光層、在所述遮光層之間形成的紅(R)、綠(G)和藍(lán)(B)濾色器層和在濾色器層上形成的保護(hù)層。盡管如上已經(jīng)描述了本發(fā)明的液晶顯示器的下基板的制造工藝，可通過(guò)這樣的工藝步驟制造本發(fā)明的液晶顯示器，即，如上形成下基板；形成上基板，其中按順序形成遮光層、濾色器層和保護(hù)層；以及在所述下基板和所述上基板之間形成液晶層?？赏ㄟ^(guò)本領(lǐng)域已知的液晶注入法或液晶分配法執(zhí)行在下基板和上基板之間形成液晶層的工序。如上所述，本發(fā)明的液晶顯示器及其制造方法具有以下優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)橛脕?lái)形成電場(chǎng)以驅(qū)動(dòng)液晶的公共電極被用作感測(cè)使用者觸摸的感測(cè)電極，所以與現(xiàn)有技術(shù)不同，不需要在液晶面板上的單獨(dú)觸摸屏，因此減小了液晶顯示器的總厚度， 簡(jiǎn)化了制造工藝的步驟并且降低了制造成本。此外，跳線與感測(cè)線通過(guò)第一連接電極和第二連接電極電連接。特別地，由于能夠形成一個(gè)接觸孔把第二連接電極分別與第一連接電極以及感測(cè)線相連接，從而能夠縮短第二連接電極的長(zhǎng)度，因此能夠增大孔徑比。對(duì)所屬領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，能夠?qū)Ρ景l(fā)明進(jìn)行各種修改和變化。因此本發(fā)明旨在涵蓋對(duì)本發(fā)明的所有修改和變化，只要這些修改和變化在所附權(quán)利要求書及其等效物的范圍內(nèi)。
1權(quán)利要求
1.一種液晶顯示器，包括在基板上排列為彼此相交以限定多個(gè)像素的柵極線與數(shù)據(jù)線； 在所述多個(gè)像素的每一個(gè)中形成的像素電極；與所述像素電極一起形成電場(chǎng)的公共電極，所述公共電極被構(gòu)圖以感測(cè)使用者的觸摸；在所述公共電極上非連續(xù)地形成并且與所述公共電極電連接的感測(cè)線；在所述公共電極下方形成用于把所述感測(cè)線的非連續(xù)部分彼此電連接起來(lái)的跳線；以及用來(lái)把所述跳線與所述感測(cè)線電連接起來(lái)的第一連接電極和第二連接電極， 其中所述第一連接電極與所述跳線相連接，并且所述第二連接電極分別與所述感測(cè)線以及所述第一連接電極相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示器，其中所述第一連接電極通過(guò)第一接觸孔與所述跳線相連接，所述第二連接電極通過(guò)第二接觸孔分別與所述感測(cè)線以及所述第一連接電極相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液晶顯示器，其中所述第一接觸孔設(shè)置在形成于所述跳線與所述第一連接電極之間的層間絕緣膜中，并且所述第二接觸孔設(shè)置在第一鈍化膜和第二鈍化膜中，所述第一鈍化膜在所述第一連接電極和所述感測(cè)線之間形成，所述第二鈍化膜在所述感測(cè)線和所述第二連接電極之間形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液晶顯示器，其中所述第一鈍化膜由在所述第一連接電極上形成的無(wú)機(jī)膜和在所述無(wú)機(jī)膜上形成的有機(jī)膜形成，所述有機(jī)膜設(shè)置有開口，并且所述感測(cè)線延伸進(jìn)所述開口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液晶顯示器，其中所述公共電極額外地延伸進(jìn)所述開口。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示器，其中所述跳線與所述柵極線在同一層上由相同材料形成，所述第一連接電極與所述數(shù)據(jù)線在同一層上由相同材料形成，所述第二連接電極與所述像素電極在同一層上由相同材料形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示器，其中所述像素電極中包括至少一條狹縫，所述感測(cè)線和所述跳線平行于所述柵極線并且在發(fā)生向錯(cuò)的區(qū)域中形成。
8.—種制造液晶顯示器的方法，所述方法包括以下步驟 在基板上構(gòu)圖跳線；在所述跳線上形成層間絕緣膜；在所述層間絕緣膜中形成第一接觸孔以暴露所述跳線；形成通過(guò)所述第一接觸孔與所述跳線相連接的第一連接電極；通過(guò)在所述第一連接電極上按順序沉積無(wú)機(jī)膜和有機(jī)膜來(lái)形成第一鈍化膜；在所述第一鈍化膜的所述有機(jī)膜中形成開口；在所述第一鈍化膜的所述有機(jī)膜上構(gòu)圖公共電極并且在所述公共電極上構(gòu)圖感測(cè)線.一入 ，在所述感測(cè)線上形成第二鈍化膜；通過(guò)去除所述第二鈍化膜的預(yù)定區(qū)域和所述第一鈍化膜的所述無(wú)機(jī)膜的預(yù)定區(qū)域來(lái)形成第二接觸孔以暴露所述感測(cè)線和所述第一連接電極；以及形成通過(guò)所述第二接觸孔與所述感測(cè)線以及所述第一連接電極連接的第二連接電極。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述公共電極不在所述有機(jī)膜的開口中形成，所述感測(cè)線延伸至所述有機(jī)膜的開口。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述公共電極和所述感測(cè)線延伸至所述有機(jī)膜的開口。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種液晶顯示器及其制造方法。液晶顯示器包括在基板上排列成彼此相交以限定多個(gè)像素的柵極線與數(shù)據(jù)線；在多個(gè)像素的每一個(gè)中形成的像素電極；與像素電極一起形成電場(chǎng)并且被構(gòu)圖以感測(cè)使用者觸摸的公共電極；在公共電極上非連續(xù)地形成并且與公共電極電連接的感測(cè)線；在公共電極下方形成用于把感測(cè)線的非連續(xù)部分彼此電連接起來(lái)的跳線；以及用來(lái)把跳線與感測(cè)線電連接起來(lái)的第一連接電極和第二連接電極，其中第一連接電極與跳線連接，并且第二連接電極分別與感測(cè)線以及第一連接電極相連接。由于公共電極被用作感測(cè)電極，在液晶面板上不需要單獨(dú)的觸摸屏。
文檔編號(hào)G02F1/1362GK102478738SQ20111037922
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月22日
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