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      紅外線用線柵偏振片的制作方法

      文檔序號:2680413閱讀:307來源:國知局
      專利名稱:紅外線用線柵偏振片的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種紅外線用線柵偏振片。
      背景技術(shù)
      由于近年來的光刻技術(shù)的發(fā)達(dá),能夠形成具有光的波長級別的間距的微細(xì)結(jié)構(gòu)圖案。具有這樣非常小的間距的圖案的構(gòu)件、制品不僅在半導(dǎo)體領(lǐng)域,在光學(xué)領(lǐng)域其利用范圍也比較廣,是非常有用的。例如,由金屬等構(gòu)成的導(dǎo)電體線以特定的間距排列成格子狀從而構(gòu)成的具有凹凸結(jié)構(gòu)的線柵,其間距如果是比入射光(例如,可見光的波長400nm至700nm)小得多的間距(例如二分之一以下)的話,幾乎使相對于導(dǎo)電體線平行振動的電場矢量成分的光全部反射,幾乎使相對于導(dǎo)電體線正交的電場矢量成分的光全部透過,因此能夠作為發(fā)出單一偏振光的偏振片使用。線柵偏振片由于能夠反射未透過的光并對其進(jìn)行再利用,因此從光的有効利用的觀點(diǎn)考慮,也是非常理想的。作為這樣的線柵偏振片,例如有專利文獻(xiàn)I所公開的線柵偏振片。該線柵偏振片是具有以比入射光的波長小的光柵周期設(shè)置了間隔的金屬線的成形體。
      背景技術(shù)
      文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)[專利文獻(xiàn)I]日本專利公開特開2002-328234號公報
      實(shí)用新型內(nèi)容實(shí)用新型要解決的課題基于上述那樣的原理,線柵偏振片在可見光至近紅外光、紅外光的較廣范圍內(nèi)具有優(yōu)異的偏振特性。因此,近年來,在近紅外光、紅外光的利用盛行的安保領(lǐng)域等,線柵偏振片作為有用的偏振片而被期待。另一方面,從近年來各種各樣的制品設(shè)計的要求來看,正尋求一種在特定的波長區(qū)域選擇性地發(fā)揮偏振特性的線柵偏振片。例如,希望有能在可見光區(qū)域使光透過,在近紅外區(qū)域以上的區(qū)域發(fā)揮偏振特性的紅外線用線柵偏振片等。但是,采用以往的線柵偏振片的話,由于在可見光區(qū)域具有高的偏振特性,因此在可見光區(qū)域的透過率較低,無法滿足對于上述那樣的在紅外區(qū)域的選擇性的利用。本實(shí)用新型正是鑒于上述問題點(diǎn)而作出的,其目的在于提供一種在可見光區(qū)域具有高透過率且在紅外區(qū)域示出高的偏振特性的紅外線用線柵偏振片。解決課題的手段本實(shí)用新型的紅外線用線柵偏振片,其具有周期性地排列在基材上的金屬絲和包覆金屬絲的透明包覆層,其特征在于金屬絲的周期為160nm以上、300nm以下,在400nm以上、650nm以下的全光透過率為50%以上,且紅外區(qū)域的透射光的偏振度為80%以上。在本實(shí)用新型的紅外線用線柵偏振片中,400nm以上、650nm以下的透射光的偏振度小于80%,紅外區(qū)域的透過率小于50%。在本實(shí)用新型的紅外線用線柵偏振片中,400nm以上、650nm以下的反射光的全光反射率小于20%,紅外區(qū)域的反射光的全光反射率在20%以上。優(yōu)選的情況為,在本實(shí)用新型的紅外線用線柵偏振片中,在基材上具有膜厚為
      0.005 μ m以上、3 μ m以下的樹脂覆膜,在樹脂覆膜上形成有金屬絲。優(yōu)選的情況為,在本實(shí)用新型的紅外線用線柵偏振片中,金屬絲的占空比為O. 05以上、O. 3以下。優(yōu)選的情況為,在本實(shí)用新型的紅外線用線柵偏振片中, 透明包覆層的折射率為
      1.4以上、2. 6以下。實(shí)用新型的效果采用本實(shí)用新型的話,能夠提供一種在可見光區(qū)域具有高透過率且在紅外區(qū)域示出高的偏振特性的紅外線用線柵偏振片。

      圖I是對本實(shí)施形態(tài)所涉及的線柵偏振片的一構(gòu)成實(shí)例進(jìn)行說明的圖。圖2是示出本實(shí)施例所涉及的線柵偏振片的透過率的測量結(jié)果的圖。圖3是示出比較例I所涉及的線柵偏振片的透過率的測量結(jié)果的圖。圖4是示出比較例2所涉及的線柵偏振片的透過率的測量結(jié)果的圖。符號說明100線柵偏振片101 基材102金屬線103透明包覆層。
      具體實(shí)施方式
      本發(fā)明人對在紅外區(qū)域選擇性地發(fā)揮偏振特性的紅外線用線柵偏振片進(jìn)行了全力研究之后發(fā)現(xiàn),通過將金屬線的周期設(shè)為規(guī)定的范圍且采用用透明包覆層覆蓋金屬線的構(gòu)成,可以在可見光區(qū)域提高透過率且在紅外區(qū)域得到高的偏振特性。下面,對本實(shí)用新型的紅外線用線柵偏振片進(jìn)行說明。圖I所示的線柵偏振片100具有基材101、設(shè)置于該基材101上的金屬線102、和
      被設(shè)置為覆蓋該金屬線102的透明包覆層103。金屬線102周期性地被排列在基材101上,規(guī)定的方向上的金屬線102的周期被設(shè)定為160nm以上、300nm以下。這樣,通過做成以160nm以上、300nm以下的周期配置金屬線102、且利用透明包覆層103覆蓋該金屬線102的構(gòu)成,能夠得到在可見光區(qū)域具有高的透過率且在紅外區(qū)域具有高的偏振特性的線柵偏振片100。這是因?yàn)?,通過做成利用透明包覆層103覆蓋以160nm以上、300nm以下的周期配置的金屬線102的構(gòu)成,具有可以增大在紅外區(qū)域和可見區(qū)域的邊界區(qū)域的S偏振成分的透過率的變化率的效果,能夠造成偏振分離特性在可見區(qū)域和紅外區(qū)域的顯著差異。另外,在本說明書中,可見光區(qū)域是指650nm以下,紅外區(qū)域是指800nm以上、2000nm 以下。通過作成圖I所示的構(gòu)成,能夠得到可見光區(qū)域(尤其是,400nm以上、650nm以下)的全光透過率的平均值為50%以上、紅外區(qū)域的透過率的偏振度為80%以上的線柵偏振片。又,通過作成上述構(gòu)成,能夠得到可見光區(qū)域 (尤其是,400nm以上、650nm以下)的透射光的偏振度不到80%、紅外區(qū)域的透過率不到50%的線柵偏振片。又,通過作為上述構(gòu)成,可見光區(qū)域的反射光的全光反射率的平均值不到20 %,界面反射引起的光澤、眩光較少,能夠得到可見光的透過可見性優(yōu)異的線柵偏振片。又,能夠?qū)⒓t外區(qū)域的全光反射率制成20%以上。< 基材 >又,基材101只要在目的波長區(qū)域?yàn)閷?shí)質(zhì)上透明即可。例如,能夠?qū)⒉AУ鹊臒o機(jī)材料、樹脂材料使用于基材101。尤其是,能夠?qū)渲牧线m用于基材101。通過使用樹脂材料來形成基材101,具有能夠利用棍軋法(英文roll process ;日文口一> 口七^ ),以及能夠使線柵偏振板100具有柔韌性等的優(yōu)點(diǎn)。作為可以使用于基材101的樹脂,例如有聚甲基丙烯酸甲酯樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚苯乙烯樹脂、環(huán)烯烴樹脂樹脂(COP)、交聯(lián)聚乙烯樹脂、聚氯乙烯樹脂、聚芳酯樹脂、聚苯醚樹脂、改性聚苯醚樹脂、聚醚酰亞胺樹脂、聚醚砜樹脂、聚砜樹脂、聚醚酮樹脂等的非結(jié)晶性熱塑性樹脂、或者聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯樹脂、聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、聚對苯二甲酸丁二醇酯樹月旨、芳香族聚酯樹脂、聚甲醛樹脂、聚酰胺樹脂等的結(jié)晶性熱塑性樹脂、或者丙烯酸系、環(huán)氧系、聚氨酯系等的紫外線(UV)固化型樹脂或熱固化型樹脂等。又,作為基材101,也可以在表面設(shè)有具有規(guī)定的周期的凹凸結(jié)構(gòu)。此時,在基材101的表面,能夠通過在沿規(guī)定的方向延伸的格子狀凸部上選擇性地設(shè)置金屬膜來形成金屬線102。作為形成在基材101表面上的格子狀凹凸形狀,例如舉例有梯形、矩形、方形、棱鏡狀、或半圓形等的正弦波形狀等。在此,正弦波形狀是指具有由凹部和凸部重復(fù)交替而成的曲線部。另外,曲線部為彎曲的曲線即可,例如,凸部中間變細(xì)的形狀也包含于這里所述的正弦波形狀中。從透過率的觀點(diǎn)考慮,基材截面形狀優(yōu)選為矩形或正弦波形狀。又,也可以組合紫外線固化性樹脂或熱固化性樹脂等的樹脂覆膜、以及玻璃等的無機(jī)基材、或者熱塑性樹脂或三醋酸酯樹脂等的樹脂基材來構(gòu)成基材101。此時,能夠在被形成于無機(jī)基材或者樹脂基材上的樹脂覆膜的表面形成具有規(guī)定的周期的凹凸結(jié)構(gòu)。從能夠得到鏡面性優(yōu)良、平滑性高的表面的觀點(diǎn)考慮,樹脂覆膜的膜厚為O. 005 μ m以上、3 μ m以下較為理想。<金屬線>金屬線102能夠形成為在基材101上以規(guī)定的周期沿一定的方向大致平行地延伸。例如,如圖I所示,能夠與具有格子狀凹凸形狀的基材101的凸部的至少一側(cè)的側(cè)面相接觸地設(shè)置。作為用作金屬線102的金屬,舉例有鋁、銀、銅、鉬、金或者以這些各個金屬作為主成分的合金等。尤其是通過使用鋁或者銀來形成金屬線102,可以減小在可見光區(qū)域的吸收損失,因此較為理想。為了提高可見光區(qū)域透過率,金屬線102的周期在凹凸結(jié)構(gòu)延伸的規(guī)定方向上為160nm以上、300nm以下的范圍,優(yōu)選的情況是設(shè)定為180nm以上、240nm以下。又,在相對于規(guī)定的方向的截面視圖(圖I)中,金屬線102的占空比為O. 05以上、O. 3以下比較理想。通過將金屬線102的占空比設(shè)定為該范圍,能夠提高可見光區(qū)域中的S偏振成分的透過率。金屬線102的形成方法并沒有特別的限定。舉例有采用基于電子束光刻法或者干涉曝光法的掩模圖案形成和干法刻蝕形成的方法、或基于斜向蒸鍍法形成等。從生產(chǎn)率、光學(xué)對稱性的觀點(diǎn)考慮,斜向蒸鍍法較為理想。又,從光學(xué)特性的觀點(diǎn)來看,不需要的金屬優(yōu)選通過蝕刻法去除。蝕刻方法并沒有特別的限制,只要是不會給基材、介電體層帶來不良影響、能夠選擇性地去除金屬部分的方法即可,但從生產(chǎn)率的觀點(diǎn)出發(fā),浸潰到堿性的水溶液中的方法比較理想?!赐该靼矊印?透明包覆層103優(yōu)選采用折射率I. 4以上、2. 6以下的材料形成。在這里所說的透明包覆層103的折射率是指對于波長589nm的光的折射率。又,透明包覆層103設(shè)置為被填充在相鄰的金屬線102之間比較理想,通過利用透明包覆層103包覆以160nm以上、300nm以下的周期配置的金屬線102,能夠得到在可見光區(qū)域具有高的透過率、且在紅外區(qū)域具有聞的偏振特性的線柵偏振片100。作為透明包覆層103的具體的材料,能夠使用氧化硅、氧化鋁、氧化鈦、氧化鋯、氮化硅、氧化鋅等的無機(jī)透明材料、或光學(xué)透明的聚合物、粘著劑等的有機(jī)透明材料。又,也可以將這些透明材料中的折射率不同的多個材料組合使用。與空氣層相比較,通過使用折射率差大的材料作為透明包覆層103,能夠使可見區(qū)域和紅外區(qū)域的偏振分離特性產(chǎn)生顯著的差異,只要折射率為1.4以上,就能夠使其作為在可見區(qū)域和紅外區(qū)域的偏振分離特性不同的線柵偏振片100充分地發(fā)揮作用。作為透明包覆層103的形成方法,能夠使用各種的方法。例如,能夠利用在被進(jìn)行了離型處理的兩片PET之間形成有樹脂的粘著片。能夠?qū)⒄持膯蚊娴碾x型PET剝離,一邊采用輥等對被形成在基材101上的金屬線102均勻地施加壓力,一邊將透明包覆層103貼合在金屬線102面上而形成。又,使用UV固化型的樹脂的情況下,在將樹脂溶液涂敷在被形成于基材101上的金屬線102上之后,使其與光學(xué)基材密合。接著,通過照射UV光使樹脂固化,能夠形成透明包覆層103?!唇殡婓w層〉為了提高構(gòu)成基材101的材料與金屬線102的密合性,可以在兩者之間設(shè)置與兩者的密合性都較高的介電體材料?;?01與金屬線102的密合性高的話,就能夠防止金屬線102從基材101剝離,抑制偏振度的降低。作為可以適合使用的介電體,可以使用例如,硅(Si)的氧化物、氮化物、鹵化物、碳化物的單一成分或者它們的混合物(在介電體單一成分中,混入其他的元素、單一成分或者化合物的介電體)、或者鋁(Al)、鉻(Cr)、釔(Y)、鋯(Zr)、鉭(Ta)、鈦(Ti)、鋇(Ba)、銦(In) JM (Sn)、鋅(Zn)、鎂(Mg)、鈣(Ca)、鈰(Ce)、銅(Cu)等金屬的氧化物、氮化物、鹵化物、碳化物的單一成分或者或者它們的混合物。介電體材料在想要獲得透過偏振性能的波長區(qū)域內(nèi)實(shí)質(zhì)上透明較為理想。對介電體材料的層積方法沒有特別的限制,例如,可以適當(dāng)?shù)厥褂谜婵照翦兎ā㈥帢O真空噴鍍法、離子鍍敷法等物理蒸鍍法。〈使用形態(tài)〉本實(shí)施形態(tài)所示的線柵偏振片100在可見光區(qū)域具有高的透過率,且能夠在紅外區(qū)域不損害偏振特性地使用,因此能夠作為在紅外區(qū)域利用偏振特性的紅外用偏振片優(yōu)選使用。具體地說,能夠適用于對基于可見光的信息(影像信息、信號信息等)和基于紅外光的I種類以上的信息(影像信息,信號信息等)進(jìn)行分離或者重疊的影像傳感器或紅外線膜用濾光片等。例如,能夠適用于利用了影像和信號的游戲、電子黑板、各種輸入設(shè)備等的交互系統(tǒng)。又,本實(shí)施形態(tài)的線柵偏振片100能夠適用于作為對可見影像信息和不同的多個紅外線的信息進(jìn)行分離或者重疊的設(shè)備的監(jiān)視拍攝裝置(例如,流感患者監(jiān)視拍攝裝置)、或使用于生產(chǎn)過程管理或壽命檢查等的紅外線拍攝裝置。通過將本實(shí)施形態(tài)所示的線柵偏振片100適用于這些電子設(shè)備,能夠得到較多的可見光的光量,因此能夠得到高分辨率的可視影像信息、遠(yuǎn)距離的可視信號信息,且能夠謀求可視信號信息的低耗電化。又,除了上述電子設(shè)備之外,實(shí)施形態(tài)的線柵偏振片100還可以用作為透明的紅外線用偏振片。例如,通過使用本實(shí)施形態(tài)的線柵偏振片,能夠如觸摸面板那樣一邊以目視確認(rèn)位于偏振片之下的信息,一邊操作從偏振片的下方或者上方飛來的紅外線光束。又,通過將紅外線用線柵偏振片適用于IXD,能夠提供一種透過IXD顯示可視影像、且顯示由紅外線傳感器等讀取了的信息的LCD。又,采用紅外線用線柵偏振片,能夠適用于進(jìn)行來自多個遙控器的信號切換的紅外線信號的打開/關(guān)閉控制開關(guān)。另外,本實(shí)用新型并不限于上述的實(shí)施形態(tài),可以進(jìn)行各種變更來實(shí)施。另外,所述實(shí)施形態(tài)的材質(zhì)、數(shù)量等僅為一個示例,可以進(jìn)行適當(dāng)?shù)刈兏A硗?,可以在不超出本?shí)用新型的技術(shù)上的思想的范圍內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)?shù)刈兏實(shí)施例]以下,通過實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明,但本實(shí)用新型不為以下這些實(shí)施例所限定。首先,對本實(shí)施例所使用的線柵偏振板的制作方法進(jìn)行以下說明。(實(shí)施例)(使用紫外線固化樹脂的格子狀凹凸形狀轉(zhuǎn)印膜的制作)在格子狀凹凸形狀轉(zhuǎn)印膜的制作中,使用了 Ni制模具(以下稱為“模具A”)。模具A具有間距寬度為230nm的格子狀凹凸形狀,與格子的延伸方向相垂直的截面的凹凸形狀大致成正弦波形狀。基板為厚度80 μ m的三醋酸酯纖維素樹脂(以下,稱為“TAC”)膜(TD80UL-H :富士膠片株式會社制),該TAC膜的相對于波長550nm的面內(nèi)相位差值為
      3.2nm,慢軸與MD方向大體一致。在該TAC膜上涂敷大約3 μ m的丙烯酸系紫外線固化樹脂(折射率I. 52),以TAC膜的TD方向和模具A的格子狀凹凸形狀的延伸方向大致平行、且使得空氣不會進(jìn)入到模具A和TAC膜之間的狀態(tài),使涂敷面向下地裝載該TAC膜。用中心波長為365nm的紫外線燈,從TAC膜側(cè)照射lOOOmJ/cm2的紫外線,從而轉(zhuǎn)印模具A的格子狀凹凸形狀。將TAC膜從模具上剝離,從而制作了轉(zhuǎn)印有縱向300mm、橫向200mm的格子狀凹凸形狀的膜。(以下,將其稱為“轉(zhuǎn)印膜A”。)另外,在折射率的測量中,是使用激光折射儀(MOde12010MetriCOn( J卜U ^ )公司制),在將要測量的樣本在25°C的恒溫室內(nèi)養(yǎng)護(hù)一晝夜之后,測量折射率。根據(jù)由同一裝置得到的波長532nm、632. 8nm以及824nm的折射率的測量結(jié)果,利用柯西色散公式求得、折射率的波長色散圖,從而求出波長589nm的折射率。利用真空蒸鍍法的金屬的蒸鍍)接下來,在轉(zhuǎn)印膜A的格子狀凹凸形狀轉(zhuǎn)印表面,通過真空蒸鍍使鋁(Al)成膜。Al的蒸鍍條件為常溫下、真空度2.0X10_3Pa、蒸鍍速度40nm/s。為了測量Al的厚度,將表面平滑的玻璃基板與轉(zhuǎn)印膜同時插入到裝置中,將平滑玻璃基板上的Al厚度作為平均厚度。將在與格子的長度方向垂直相交的平面內(nèi)的基材面的法線與蒸鍍源所成的角度定義為蒸鍍角Θ,使蒸鍍角Θ為20。,Al平均厚度為120nm,對此次所有的轉(zhuǎn)印膜進(jìn)行蒸鍍。另外,在此所說的平均厚度是指,假設(shè)在平滑玻璃基板上從與玻璃面相垂直的方向蒸鍍物質(zhì)時的蒸鍍物的厚度,作為蒸鍍量的參考值來使用。(不必要的Al的去除)接著,以去除不必要的Al的目的,將蒸鍍了 Al的轉(zhuǎn)印膜A在室溫下浸潰于O. I重量%的氫氧化鈉水溶液中60秒鐘。然后立即進(jìn)行水洗,使膜干燥。另外,金屬線的延伸方向與基板的TD方向大致平行,與基板的慢軸方向大致正交。又,金屬線的占空比為O. 2。形成為使用積水化學(xué)工業(yè)株式會社粘著劑(WT#5402A,折射率I. 472)作為透明包覆體來覆蓋金屬線。具體地說,在TAC膜(TD80UL-H:富士膠片株式會社制)的單面粘貼粘著劑,以該TAC膜的MD方向與線柵基材的MD方向大致平行的狀態(tài),一邊通過輥均勻地施加壓力,一邊將樹脂貼合在線柵偏振片的金屬線層上,由此來制作線柵偏振片。其后,進(jìn)行線柵偏振片的透過率、偏振度的測量。其結(jié)果示于圖2。根據(jù)圖2可以確認(rèn)到,實(shí)施例的線柵偏振片在可見光區(qū)域(尤其在400nm以上、650nm以下)具有高的透過率,其全光透過率的平均值為63. 5 %,在紅外區(qū)域(尤其在800nm以上)具有偏振度98. 5。這是因?yàn)椋ㄟ^利用透明包覆層覆蓋周期為230nm的金屬線,S偏振成分在可見區(qū)域的透過率有所上升。又,在可見區(qū)域的偏振度為6. 8。(比較例I)金屬線與上述實(shí)施例相同地形成,但樹脂的形成沒有進(jìn)行。即,與實(shí)施例的線柵偏振片比較,比較例I的線柵偏振片的不同點(diǎn)在于不具有透明包覆層。其后,進(jìn)行線柵偏振片的透過率、偏振度的測量。其結(jié)果示于圖3。根據(jù)圖3可以確認(rèn)到,可見光區(qū)域的全光線透射率的平均值為33. 9%。(比較例2)在格子狀凹凸形狀轉(zhuǎn)印膜的制作中,使用了間距寬度為145nm的Ni制模具。其后的工序與實(shí)施例相同地進(jìn)行。即,與實(shí)施例的線柵偏振片比較,比較例2的線柵偏振片的不同點(diǎn)在于金屬線的周期為145nm。其后,進(jìn)行線柵偏振片的透過率、偏振度的測量。其結(jié)果示于圖4。根據(jù)圖4可以確認(rèn)到,在可見光區(qū)域能夠得到高的偏振特性,而全光透過率在50%以下的低透過率。[產(chǎn)業(yè)上的可利用性]本實(shí)用新型的線柵偏振片適合使用于在紅外線區(qū)域適用的光學(xué)設(shè)備等。
      權(quán)利要求1.一種紅外線用線柵偏振片,其具有周期性地排列在基材上的金屬線和包覆所述金屬線的透明包覆層,其特征在于,所述金屬線的周期為160nm以上、300nm以下,在400nm以上、650nm以下的全光透過率為50%以上,且紅外區(qū)域的透射光的偏振度為80%以上。
      2.如權(quán)利要求I所述的紅外線用線柵偏振片,其特征在于,400nm以上、650nm以下的透射光的偏振度小于80%,紅外區(qū)域的透過率小于50%。
      3.如權(quán)利要求I或2所述的紅外線用線柵偏振片,其特征在于,400nm以上、650nm以下的全光反射率小于20%,紅外區(qū)域的全光反射率在20%以上。
      4.如權(quán)利要求I或2所述的紅外線用線柵偏振片,其特征在于,在所述基材上具有膜厚為O. 005 μ m以上、3 μ m以下的樹脂覆膜,在所述樹脂覆膜上形成有所述金屬線。
      5.如權(quán)利要求I或2所述的紅外線用線柵偏振片,其特征在于,所述金屬線的占空比為 O.05以上、O. 3以下。
      6.如權(quán)利要求I或2所述的紅外線用線柵偏振片,其特征在于,所述透明包覆層的折射率為1.4以上、2. 6以下。
      7.如權(quán)利要求3所述的紅外線用線柵偏振片,其特征在于,在所述基材上具有膜厚為O.005μπι以上、3μπι以下的樹脂覆膜,在所述樹脂覆膜上形成有所述金屬線。
      專利摘要本實(shí)用新型提供一種在可見光區(qū)域具有高透過率且在紅外區(qū)域示出高的偏振特性的紅外線用線柵偏振片。該紅外線用線柵偏振片具有周期性地排列在基材(101)上的金屬線(102)和包覆金屬線(102)的透明包覆層(103),金屬線(102)的周期為160nm以上、300nm以下,在400nm以上、650nm以下的全光透過率為50%以上,且紅外區(qū)域的透射光的偏振度為80%以上。
      文檔編號G02B5/30GK202362481SQ20112048758
      公開日2012年8月1日 申請日期2011年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月30日
      發(fā)明者木下大輔, 河津泰幸 申請人:旭化成電子材料株式會社
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