專利名稱：光柵尺、光學(xué)碼盤專用高精度高效率曝光機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
光柵尺、光學(xué)碼盤專用高精度高效率曝光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及一種曝光設(shè)備，具體的說是一種光柵尺、光學(xué)碼盤專用高精度高效率曝光機(jī)。
背景技術(shù)：
[0002]隨著現(xiàn)代工業(yè)的高速發(fā)展，市場對光學(xué)傳感器的需求快速增加，從技術(shù)要求上精度越來越高，同時也對生產(chǎn)能力提出了更高要求。[0003]曝光機(jī)主要用于精密蝕刻中的曝光制版，獲得較高雙面曝光精度和良好效果，為蝕刻做好前道精密曝光制版工作。[0004]目前市場上使用的曝光機(jī)多為廠家自制的曝光設(shè)備，工作效率低，一次曝光一件， 曝光精度低，制作不出高精度的光學(xué)器件。發(fā)明內(nèi)容[0005]本發(fā)明的目的主要解決光柵尺和高脈沖光學(xué)碼盤碼道透光和不透光比例不均勻問題，同時解決曝光長尺和一次多件曝光問題，提供一種結(jié)構(gòu)簡單合理、可實現(xiàn)高脈沖碼盤的大批量生產(chǎn)，降低費品率，工作效率高的光柵尺、光學(xué)碼盤專用高精度高效率曝光機(jī)。[0006]本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，該曝光機(jī)包括機(jī)架、遮光罩、電控箱體、絲杠、柱面體棱鏡、高壓紫外線汞燈、燈盒、絲杠支撐座、導(dǎo)軌、透光支撐玻璃板和散熱風(fēng)扇，所述的遮光罩罩在機(jī)架的外面，所述的透光支撐玻璃板水平設(shè)置在機(jī)架的臺面上，在機(jī)架上的兩根平行導(dǎo)軌設(shè)置在透光支撐玻璃板的下方，機(jī)架上的絲杠設(shè)置在兩根平行導(dǎo)軌的中間，絲杠支撐座與絲杠螺紋連接，在絲杠支撐座上設(shè)置有兩個立柱，連接燈盒的高壓紫外線汞燈設(shè)置在兩個立柱之間，柱面體棱鏡設(shè)置在兩個立柱的上面，且在以紫外線汞燈為焦點的位置上，散熱風(fēng)扇設(shè)置在高壓紫外線汞燈的側(cè)面。[0007]本發(fā)明具有以下優(yōu)點和積極效果[0008]I、本發(fā)明主要解決高脈沖光柵尺和光學(xué)碼盤碼道透光和不透光比例不均勻問題， 同時解決曝光長尺問題，可達(dá)3-5米(只要加長絲杠長度，可以更長)，而且一次能多件曝光， 可實現(xiàn)高脈沖碼盤大批量生產(chǎn)，降低費品率，也解決工作效率低的問題，相比以前的各廠家自制的曝光設(shè)備有效率高，曝光精度高等優(yōu)點。[0009]2、本發(fā)明把柱面棱鏡放在高壓紫外線汞燈的焦點處，讓紫外光線透過柱面棱鏡后行成一組平行光速，功率最強(qiáng)處平行照射到曝光物件上，同時由絲杠帶動整體安裝在一起的柱面棱鏡和高壓汞燈及散熱風(fēng)扇勻速運(yùn)動，運(yùn)動速度及距離可通過控制器事先編好的程序進(jìn)行。


[0010]圖I是光柵尺、光學(xué)碼盤專用高精度高效率曝光機(jī)整體結(jié)構(gòu)示意圖。[0011]圖2是本發(fā)明遮光罩剖開的曝光機(jī)外形圖。[0012]圖3是本發(fā)明圖I另一角度結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0013]由附圖I、2所示該曝光機(jī)包括機(jī)架I、遮光罩2、電控箱體(電機(jī)加控制器)3、絲杠4、柱面體棱鏡5、高壓紫外線汞燈6、燈盒7、絲杠支撐座8、導(dǎo)軌9、透光支撐玻璃板10和散熱風(fēng)扇11，所述的遮光罩2罩在機(jī)架I的外面，所述的透光支撐玻璃板10水平設(shè)置在機(jī)架I的臺面上，在機(jī)架I上的兩根平行導(dǎo)軌9設(shè)置在透光支撐玻璃板10的下方，機(jī)架I上的絲杠4設(shè)置在兩根平行導(dǎo)軌9的中間，絲杠支撐座8與絲杠4螺紋連接，在絲杠支撐座8 上設(shè)置有兩個立柱12，連接燈盒7的高壓紫外線汞燈6設(shè)置在兩個立柱12之間，柱面體棱鏡5設(shè)置在兩個立柱12的上面，且在以紫外線汞燈6為焦點的位置上，散熱風(fēng)扇11設(shè)置在高壓紫外線汞燈6的側(cè)面。[0014]所述的電控箱體3內(nèi)部有單片機(jī)，單片機(jī)內(nèi)部有控制點擊正反轉(zhuǎn)及速度的程序， 以便控制曝光的速度和時間。[0015]工作過程[0016]首先接通220V電源，打開電源開關(guān)，綠色指示燈亮，同時紫外線高壓汞燈也通電加熱，此時把模板(對稱工作板)放在透光支撐玻璃板10的光線能照射區(qū)域按順序排列好， 可以二到三排(根據(jù)工件大小而定)。然后把被曝光器件放在工作板上面，使用工裝保證其上下同圓，再用壓陀壓緊在工件上面，放下遮光罩2，按下工作開關(guān)，電機(jī)轉(zhuǎn)動，此時高壓汞燈與柱面棱鏡5及散熱風(fēng)扇11 一起在絲母的帶動下，會以事先程序設(shè)定好的速度及方向滑動，走完程序后，電機(jī)會自動反方向運(yùn)動返回到初始位置，等待下一次指令，這樣一次曝光完成。
權(quán)利要求1.一種光柵尺、光學(xué)碼盤專用高精度高效率曝光機(jī)，其特征在于該曝光機(jī)包括機(jī)架(I)、遮光罩(2)、電控箱體(3)、絲杠(4)、柱面體棱鏡(5)、高壓紫外線汞燈(6)、燈盒(7)、絲杠支撐座(8)、導(dǎo)軌(9)、透光支撐玻璃板(10)和散熱風(fēng)扇(11),所述的遮光罩(2)罩在機(jī)架(I)的外面，所述的透光支撐玻璃板(10)水平設(shè)置在機(jī)架(I)的臺面上，在機(jī)架(I)上的兩根平行導(dǎo)軌(9)設(shè)置在透光支撐玻璃板(10)的下方，機(jī)架(I)上的絲杠(4)設(shè)置在兩根平行導(dǎo)軌(9)的中間，絲杠支撐座(8)與絲杠(4)螺紋連接，在絲杠支撐座(8)上設(shè)置有兩個立柱(12 )，連接燈盒(7 )的高壓紫外線汞燈(6 )設(shè)置在兩個立柱(12 )之間，柱面體棱鏡(5 )設(shè)置在兩個立柱(12)的上面，且在以紫外線汞燈(6)為焦點的位置上，散熱風(fēng)扇(11)設(shè)置在高壓紫外線汞燈(6)的側(cè)面。
專利摘要本實用新型涉及一種曝光設(shè)備，具體的說是一種光柵尺、光學(xué)碼盤專用高精度高效率曝光機(jī)。該曝光機(jī)包括機(jī)架、遮光罩、電控箱體、絲杠、柱面體棱鏡、高壓紫外線汞燈、燈盒、絲杠支撐座、導(dǎo)軌、透光支撐玻璃板和散熱風(fēng)扇，本實用新型主要解決光柵尺和高脈沖光學(xué)碼盤碼道透光和不透光比例不均勻問題，同時解決曝光長尺和一次多件曝光問題，提供一種結(jié)構(gòu)簡單合理、可實現(xiàn)高脈沖碼盤的大批量生產(chǎn)，降低費品率，工作效率高。
文檔編號G03F7/20GK202815411SQ201220448218
公開日2013年3月20日 申請日期2012年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月5日
發(fā)明者倪國東 申請人:長春榮德光學(xué)有限公司