本發(fā)明涉及能從波長(zhǎng)不同的多種激光中根據(jù)其照射目的選擇波長(zhǎng)而照射到照射對(duì)象物的激光照射裝置，特別是涉及能進(jìn)行裝置的小型化、且可從多種波長(zhǎng)的混合激光中以高波長(zhǎng)純度取出最短波長(zhǎng)的激光的激光照射裝置和使用該激光照射裝置的液晶顯示面板的亮點(diǎn)修正方法。

背景技術(shù)：
現(xiàn)有的這種激光照射裝置具備產(chǎn)生波長(zhǎng)短的第1激光的第1激光發(fā)生器和產(chǎn)生波長(zhǎng)比第1激光長(zhǎng)的第2激光的第2激光發(fā)生器，使第1激光照射到液晶顯示面板的亮點(diǎn)缺陷的液晶單元，在使該液晶單元的彩色濾光片從基板剝離而在兩者間形成間隙后，使第2激光照射到上述液晶單元，使該液晶單元的彩色濾光片的物性以透光性降低的方式發(fā)生變化（例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1）。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1：特開(kāi)2008－165164號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
發(fā)明要解決的問(wèn)題但是，在這樣的現(xiàn)有的激光照射裝置中，具備產(chǎn)生波長(zhǎng)不同的激光的2臺(tái)激光發(fā)生器，分別進(jìn)行開(kāi)啟/關(guān)閉切換而取出特定波長(zhǎng)的激光，所以難以使裝置小型化。與此相對(duì)，也考慮如下情況：在利用1個(gè)激光發(fā)生器由其基波生成高次諧波而得到波長(zhǎng)不同的多種激光后，使用例如分色鏡對(duì)該多種波長(zhǎng)的激光進(jìn)行波長(zhǎng)分離，使所分離的多種波長(zhǎng)的激光分別通過(guò)多個(gè)光路，并且將各光路打開(kāi)關(guān)閉而取出特定波長(zhǎng)的激光，但是在該情況下，多個(gè)光路橫向地展開(kāi)設(shè)置，因此不容易實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。另外，也能使用濾波器從在同一光路中傳播的多種波長(zhǎng)的混合激光中取出特定波長(zhǎng)的激光，但是在濾波器的特性上，難以使例如266nm的激光與波長(zhǎng)接近的355nm的激光分離而以高波長(zhǎng)純度取出。因此，在使用例如266nm的激光修正液晶顯示面板的亮點(diǎn)缺陷而使該亮點(diǎn)缺陷的液晶單元的彩色濾光片從基板剝離的情況下，有由于用上述濾波器不能除去而殘存的355nm的激光對(duì)上述液晶單元的周邊部分帶來(lái)熱影響的危險(xiǎn)性。因此，本發(fā)明針對(duì)這樣的問(wèn)題點(diǎn)，提供能進(jìn)行裝置的小型化、且可從多種波長(zhǎng)的混合激光中以高波長(zhǎng)純度取出最短波長(zhǎng)的激光的激光照射裝置和使用該激光照射裝置的液晶顯示面板的亮點(diǎn)修正方法。用于解決問(wèn)題的方案為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的激光照射裝置從波長(zhǎng)不同的多種激光中根據(jù)其照射目的選擇波長(zhǎng)而照射到照射對(duì)象物，在包括多種波長(zhǎng)的上述激光的混合光的光路上，具備：第1狹縫和第2狹縫，上述第1狹縫的寬度相當(dāng)于多種波長(zhǎng)的上述激光中以使包覆于照射對(duì)象物的薄膜剝離為目的而使用的最短波長(zhǎng)的激光的衍射極限，上述第2狹縫的寬度比上述第1狹縫的寬度寬；和物鏡，其使通過(guò)了上述第1狹縫和第2狹縫的激光在上述照射對(duì)象物上聚光。通過(guò)這樣的構(gòu)成，使波長(zhǎng)不同的多種激光的混合光通過(guò)寬度相當(dāng)于至少最短波長(zhǎng)的激光的衍射極限的狹縫，從上述多種波長(zhǎng)的激光中根據(jù)其照射目的選擇波長(zhǎng)，利用物鏡使該所選擇的激光在照射對(duì)象物上聚光。優(yōu)選上述第1狹縫和第2狹縫在上述混合光的光路上以長(zhǎng)邊平行的方式橫向排列形成，還設(shè)有遮光單元，上述遮光單元至少將通過(guò)上述第2狹縫的激光的通路打開(kāi)關(guān)閉，使得能選擇照射到上述照射對(duì)象物的激光的波長(zhǎng)。更優(yōu)選上述第1狹縫形成于上述混合光的光路中央部，上述第2狹縫隔著上述第1狹縫形成于上述第1狹縫的兩側(cè)。更優(yōu)選至少上述第1狹縫平行排列地形成有多個(gè)。另外，本發(fā)明的液晶顯示面板的亮點(diǎn)修正方法使用波長(zhǎng)不同的第1激光和第2激光修正液晶單元的亮點(diǎn)缺陷，在使上述第1激光和第2激光的混合光輸出到同一光路的狀態(tài)下，按如下階段進(jìn)行：在上述混合光的光路上具備的第1狹縫和第2狹縫中，利用物鏡使選擇性地通過(guò)了寬度相當(dāng)于波長(zhǎng)短的上述第1激光的衍射極限的上述第1狹縫的上述第1激光在上述液晶顯示面板上聚光，使上述亮點(diǎn)缺陷的液晶單元的彩色濾光片從基板剝離而在兩者間形成間隙的階段；利用上述物鏡使通過(guò)了寬度比上述第1狹縫寬的上述第2狹縫的波長(zhǎng)長(zhǎng)的上述第2激光在上述液晶顯示面板上聚光，切削上述亮點(diǎn)缺陷的液晶單元周邊的黑矩陣而產(chǎn)生黑色粉塵的階段；以及利用上述物鏡使通過(guò)了上述第1狹縫的上述第1激光或者至少通過(guò)了上述第2狹縫的上述第1激光和第2激光在上述液晶顯示面板上聚光，使上述黑色粉塵移動(dòng)而分散于上述間隙中的階段。優(yōu)選上述第1狹縫和第2狹縫在上述混合光的光路上平行排列地形成，利用遮光單元將通過(guò)上述第2狹縫的激光的通路打開(kāi)關(guān)閉，使得能選擇照射到上述液晶顯示面板的激光的波長(zhǎng)。更優(yōu)選至少上述第1狹縫在上述激光的光路中央部平行排列地形成有多條，在該多條第1狹縫的兩側(cè)形成有上述第2狹縫。發(fā)明效果根據(jù)權(quán)利要求1的發(fā)明，能從在同一光路中傳播的多種波長(zhǎng)的激光的混合光中根據(jù)其照射目的選擇并取出需要的波長(zhǎng)的激光，能實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。另外，因?yàn)槭股鲜龌旌瞎庠趯挾认喈?dāng)于最短波長(zhǎng)的激光的衍射極限的狹縫中通過(guò)，所以能從上述混合光中以高波長(zhǎng)純度取出最短波長(zhǎng)的激光。因此，與現(xiàn)有技術(shù)不同，能排除由于殘存在取出的最短波長(zhǎng)的激光中的波長(zhǎng)長(zhǎng)的激光引起的對(duì)激光照射區(qū)域周邊部的熱影響地進(jìn)行激光加工。而且，通過(guò)使用最短波長(zhǎng)的激光，與波長(zhǎng)長(zhǎng)的激光相比能使焦點(diǎn)深度更淺，能減小激光照射區(qū)域周邊部的累計(jì)熱能。因此，能穩(wěn)定地進(jìn)行薄膜的激光加工。另外，根據(jù)權(quán)利要求2的發(fā)明，僅僅對(duì)遮光單元進(jìn)行打開(kāi)關(guān)閉操作，就能根據(jù)照射目的從混合光中取出2種波長(zhǎng)的激光。在該情況下，能從第1狹縫以高波長(zhǎng)純度取出熱能最小的最短波長(zhǎng)的激光，從第2狹縫中取出將該第2狹縫寬度設(shè)為衍射極限的波長(zhǎng)以下的、包含上述最短波長(zhǎng)的激光的激光。因此，能利用選擇性地通過(guò)上述第1狹縫而取出的最短波長(zhǎng)的激光限制熱影響地進(jìn)行激光加工，能使用通過(guò)第2狹縫的多種波長(zhǎng)的激光中熱能最大的最長(zhǎng)波長(zhǎng)的激光進(jìn)行激光加工。而且，根據(jù)權(quán)利要求3的發(fā)明，能擴(kuò)大通過(guò)第2狹縫的激光在照射對(duì)象物上的照射面積，能使激光加工的效率提高。并且，根據(jù)權(quán)利要求4的發(fā)明，能擴(kuò)大通過(guò)第1狹縫的最短波長(zhǎng)的激光在照射對(duì)象物上的照射面積，提高限制熱影響的激光加工的效率。另外，根據(jù)權(quán)利要求5的液晶顯示面板的亮點(diǎn)修正方法的發(fā)明，因?yàn)槟苁够旌瞎馔ㄟ^(guò)寬度相當(dāng)于最短波長(zhǎng)的第1激光的衍射極限的第1狹縫，所以能從上述混合光中以高波長(zhǎng)純度取出最短波長(zhǎng)的第1激光。因此，與現(xiàn)有技術(shù)不同，能排除由于殘存在取出的第1激光中的波長(zhǎng)長(zhǎng)的第2激光引起的對(duì)激光照射區(qū)域周邊部的熱影響地進(jìn)行激光加工。而且，利用最短波長(zhǎng)的第1激光，與波長(zhǎng)長(zhǎng)的第2激光相比，能使焦點(diǎn)深度更淺，能減小激光照射區(qū)域周邊部的累計(jì)熱能。因此，能穩(wěn)定地進(jìn)行彩色濾光片的剝離加工。另一方面，黑矩陣的切削加工能利用通過(guò)第2狹縫的第1激光和第2激光中熱能大的第2激光進(jìn)行。而且，根據(jù)權(quán)利要求6的發(fā)明，僅僅對(duì)遮光單元進(jìn)行打開(kāi)關(guān)閉操作，就能根據(jù)照射目的從混合光中取出2種波長(zhǎng)的激光。并且，根據(jù)權(quán)利要求7的發(fā)明，能分別擴(kuò)大照射到液晶顯示面板的第1激光和第2激光的照射面積。因此，能有效地進(jìn)行基于第1激光的彩色濾光片的剝離加工和基于第2激光的黑矩陣的切削加工。由此，能縮短液晶顯示面板的亮點(diǎn)缺陷的修正作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍，能提高生產(chǎn)率。附圖說(shuō)明圖1是示出本發(fā)明的激光照射裝置的實(shí)施方式的主視圖。圖2是示出上述實(shí)施方式中的狹縫和遮光單元的配置關(guān)系的平面透視圖。圖3是示出本發(fā)明的液晶顯示面板的亮點(diǎn)修正方法的流程圖。圖4是說(shuō)明在上述亮點(diǎn)修正方法中使彩色濾光片剝離而形成間隙的階段的俯視圖。圖5是圖4的側(cè)視圖。圖6是說(shuō)明在上述亮點(diǎn)修正方法中切削黑矩陣而產(chǎn)生黑色粉塵的階段的俯視圖。圖7是說(shuō)明在上述亮點(diǎn)修正方法中使黑色粉塵分散到上述間隙的階段的俯視圖。具體實(shí)施方式下面，基于附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1是示出本發(fā)明的激光照射裝置的實(shí)施方式的主視圖。該激光照射裝置可從波長(zhǎng)不同的多種激光根據(jù)其照射目的選擇波長(zhǎng)而照射到照射對(duì)象物，包括激光振蕩器1、狹縫2、遮光單元3以及物鏡4。上述激光振蕩器1是產(chǎn)生多種波長(zhǎng)的激光的激光振蕩器，例如固體YAG激光器、準(zhǔn)分子激光器等，由1064nm的基波生成作為其第4高次諧波的266nm的第1激光和第3高次諧波的355nm的第2激光，并會(huì)輸出其混合光。并且具備光束擴(kuò)展器，上述光束擴(kuò)展器將光束直徑擴(kuò)大到可充分覆蓋設(shè)于后述的掩模5中的狹縫2的形成區(qū)域的程度。在上述激光L的光路上設(shè)有狹縫2。該狹縫2從上述第1和第2激光的混合光至少將第1激光選擇性地分離并輸出，是具有相當(dāng)于第1激光的衍射極限的寬度的細(xì)長(zhǎng)狀的開(kāi)口，形成于包覆在透明基板上的遮光膜，形成掩模5的形態(tài)。詳細(xì)地，上述狹縫2包括相當(dāng)于第1激光（266nm）的衍射極限的寬度的第1狹縫2A和相當(dāng)于第2激光（355nm）的衍射極限的寬度的第2狹縫2B，將該第1狹縫2A和第2狹縫2B橫向排列設(shè)置于激光L的光路上。在該情況下，當(dāng)然第1狹縫2A的寬度比第2狹縫2B的寬度窄。更詳細(xì)地，如圖2所示，在上述掩模5上的激光照射區(qū)域內(nèi)（該圖所示的圓內(nèi)）的中央部，平行排列地形成有多個(gè)第1狹縫2A，在其兩側(cè)與該多個(gè)第1狹縫2A平行排列地形成有多個(gè)第2狹縫2B。由此，將照射到照射對(duì)象物Ob上的第1和第2激光的照射面積加大，實(shí)現(xiàn)激光加工的效率提高。此外，在1064nm的基波事先被除去的情況下，第2狹縫2B的寬度可以比相當(dāng)于第2激光（355nm）的衍射極限的寬度寬。在上述掩模5的激光L的出射側(cè)設(shè)有遮光單元3。該遮光單元3將通過(guò)設(shè)于掩模5中的第2狹縫2B的激光L的通路打開(kāi)關(guān)閉，如圖2所示，以在中央部形成開(kāi)口7的方式將長(zhǎng)方形的4張遮光板6A、6B、6C、6D配置成四邊形的框狀，各遮光板6A～6D分別能在其短軸方向（該圖所示的X軸、Y軸方向）移動(dòng)。在該情況下，利用上述遮光板6A、6B打開(kāi)關(guān)閉通過(guò)第2狹縫2B的激光L的通路，利用遮光板6C、6D調(diào)整照射到照射對(duì)象物Ob上的激光L的長(zhǎng)軸的長(zhǎng)度。此外，在圖1中，示出將遮光單元3設(shè)置在掩模5的激光L的出射側(cè)的情況，但是可以設(shè)置在掩模5的激光L的入射側(cè)。在上述激光L的光路上，與照射對(duì)象物Ob相對(duì)地設(shè)有物鏡4。該物鏡4使通過(guò)上述掩模5的第1狹縫2A和第2狹縫2B的第1和第2激光在照射對(duì)象物Ob上聚光，安裝于轉(zhuǎn)換器8，能根據(jù)激光L的照射目的從多個(gè)物鏡4中選擇1個(gè)來(lái)使用。例如，在出于使用266nm的第1激光從基板使薄膜剝離（提離）的目的的情況下，可以選擇使用UV20倍或者50倍的物鏡4，在使用355nm的第2激光切削例如液晶顯示面板的包括有機(jī)物質(zhì)的黑矩陣時(shí)，可以選擇使用NUV20倍或者50倍的物鏡4。此時(shí)，物鏡4的成像位置和上述掩模5的位置形成相互共軛的關(guān)系。此外，在圖1中，附圖標(biāo)記9是載置照射對(duì)象物Ob的載物臺(tái)，以后述的背面照明光能通過(guò)的方式與照射對(duì)象物Ob上的觀察區(qū)域?qū)?yīng)地形成有開(kāi)口10。另外，附圖標(biāo)記11是用于觀察照射對(duì)象物Ob上的激光加工區(qū)域或者觀察激光加工狀態(tài)的CCD相機(jī)。而且，附圖標(biāo)記12是用于從里面?zhèn)葘?duì)作為照射對(duì)象物Ob的例如液晶顯示面板進(jìn)行照明而檢測(cè)亮點(diǎn)缺陷的液晶單元的背面照明光源。另外，附圖標(biāo)記13是從表面?zhèn)葘?duì)例如液晶顯示面板進(jìn)行照明而使得能觀察亮點(diǎn)缺陷的液晶單元的修正狀態(tài)的反射照明光源。而且，附圖標(biāo)記14是插入到反射照明光源13的光路中、使得容易觀察例如上述亮點(diǎn)缺陷的液晶單元中的彩色濾光片的剝離狀態(tài)的偏振觀察單元。并且，附圖標(biāo)記15是為了能利用CCD相機(jī)11觀察照射對(duì)象物Ob表面而插入到激光振蕩器1的光路上、使紫外線(xiàn)透射并使可見(jiàn)光反射的分色鏡，附圖標(biāo)記16是為了將從反射照明光源13發(fā)出的照明光引導(dǎo)到照射對(duì)象物Ob而插入到激光振蕩器1的光路上、使紫外線(xiàn)透射并使可見(jiàn)光反射的分色鏡。接著，參照?qǐng)D3的流程圖對(duì)這樣構(gòu)成的激光照射裝置的動(dòng)作和使用該激光照射裝置的液晶顯示面板的亮點(diǎn)修正方法進(jìn)行說(shuō)明。在此，對(duì)液晶顯示面板的亮點(diǎn)缺陷的液晶單元已經(jīng)被檢測(cè)到的情況進(jìn)行說(shuō)明。首先，在步驟S1中，在激光振蕩器1的功率設(shè)定為利用后述的第1激光（266nm）可剝離后述的藍(lán)色彩色濾光片20B的程度的狀態(tài)下，利用激光振蕩器1由1064nm的基波生成作為其第4高次諧波的266nm的第1激光和第3高次諧波的355nm的第2激光，將它們的混合光輸出到同一光路上。而且，混合光的光束直徑被光束擴(kuò)展器擴(kuò)大到可充分覆蓋設(shè)于掩模5中的狹縫2的形成區(qū)域的程度。接著，在步驟S2中，從激光振蕩器1輸出的混合光照射到掩模5，掩模5在照射區(qū)域中央部形成有第1狹縫2A，與該第1狹縫2A平行排列地在其兩側(cè)形成有第2狹縫2B。此時(shí)，遮光單元3的遮光板6A、6B沿著X軸在圖2所示的箭頭A、B方向移動(dòng)，遮光單元3處于將通過(guò)第2狹縫2B的激光L的通路遮斷的狀態(tài)。在本實(shí)施方式中，第1狹縫2A形成為相當(dāng)于第1激光（266nm）的衍射極限的寬度，因此在照射到掩模5的混合光中，第1激光（266nm）能透射過(guò)第1狹縫2A，但是波長(zhǎng)比第1激光長(zhǎng)的基波（1064nm）的激光和第2激光（355nm）不能透射過(guò)第1狹縫2A。另一方面，第2狹縫2B形成為相當(dāng)于第2激光（355nm）的衍射極限的寬度，因此在照射到掩模5的混合光中，第1激光（266nm）和第2激光（355nm）能透射過(guò)第2狹縫2B，但是波長(zhǎng)比第2激光長(zhǎng)的基波（1064nm）的激光不能透射。因此，在步驟S2中，如上所述，通過(guò)第2狹縫2B的激光L的通路處于被遮光單元3關(guān)閉的狀態(tài)，因此透射過(guò)掩模5的各狹縫2的激光L中透射過(guò)第2狹縫2B的第1激光和第2激光被遮光單元3遮斷，如圖4所示，僅透射過(guò)第1狹縫2A的第1激光L1通過(guò)物鏡4照射到與作為照射對(duì)象物Ob的液晶顯示面板17的亮點(diǎn)缺陷的例如藍(lán)色（B）對(duì)應(yīng)的液晶單元18B上。此外，在該圖中，附圖標(biāo)記18R是與紅色（R）對(duì)應(yīng)的液晶單元，附圖標(biāo)記18G是與綠色（G）對(duì)應(yīng)的液晶單元。在該情況下，如圖5所示，第1激光L1在透射過(guò)透明的相對(duì)電極基板19后，在亮點(diǎn)缺陷的液晶單元的例如藍(lán)色彩色濾光片20B和包覆著該藍(lán)色彩色濾光片20B的相對(duì)電極基板19的界面附近聚光。由此，藍(lán)色彩色濾光片20B的上述界面附近部發(fā)生熱解，藍(lán)色彩色濾光片20B從相對(duì)電極基板19剝離，在藍(lán)色彩色濾光片20B與相對(duì)電極基板19之間形成間隙21。此外，在該圖中，附圖標(biāo)記20R是紅色彩色濾光片，附圖標(biāo)記20G是綠色彩色濾光片。而且，使載物臺(tái)9相對(duì)于物鏡4在與XY平面平行的面內(nèi)相對(duì)移動(dòng)，如圖4中箭頭所示，使第1激光L1在亮點(diǎn)缺陷的液晶單元18B內(nèi)進(jìn)行掃描。這樣，如圖5所示，使上述液晶單元18B的藍(lán)色彩色濾光片20B整體從相對(duì)電極基板19剝離。接著，在步驟S3中，使激光振蕩器1的功率升高到能利用第2激光L2切削后述的黑矩陣22的程度，并且使遮光單元3的遮光板6A、6B沿著X軸在圖2所示的箭頭C、D方向移動(dòng)，將通過(guò)第2狹縫2B的激光L的通路打開(kāi)，如圖6所示，使通過(guò)第2狹縫2B的第2激光L2照射到上述亮點(diǎn)缺陷的液晶單元18B周邊的包括有機(jī)物質(zhì)的黑矩陣22上。并且，一邊使載物臺(tái)9相對(duì)于物鏡4在與XY平面平行的面內(nèi)相對(duì)移動(dòng)，一邊切削黑矩陣22的一部分而產(chǎn)生黑色粉塵23。在該情況下，通過(guò)第1狹縫2A和第2狹縫2B的第1激光L1也照射到黑矩陣22上，但是第1激光L1與第2激光L2相比熱能小，因此第1激光L1無(wú)助于切削黑矩陣22。接著，在步驟S4中，在使激光振蕩器1的功率降低到不能利用第2激光L2切削黑矩陣22的程度的狀態(tài)下，使載物臺(tái)9相對(duì)于物鏡4在與XY平面平行的面內(nèi)相對(duì)移動(dòng)，使透射過(guò)第1狹縫2A的第1激光L1和透射過(guò)第2狹縫2B的第1激光L1和第2激光L2進(jìn)行掃描，如圖7所示，使上述黑色粉塵23從黑矩陣22上向上述液晶單元20B側(cè)移動(dòng)而使其在上述間隙21內(nèi)大致均等地分散。由此，使亮點(diǎn)缺陷的液晶單元20B的透光率降低，使亮點(diǎn)不明顯。此外，在上述實(shí)施方式中，對(duì)利用第1激光L1和第2激光L2使黑色粉塵23移動(dòng)的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明不限于此，可以在步驟S4中，在利用遮光單元3將通過(guò)第2狹縫2B的激光L的通路關(guān)閉的狀態(tài)下，僅使用透射過(guò)第1狹縫2A的第1激光L1使黑色粉塵23移動(dòng)。另外，在上述實(shí)施方式中，對(duì)第1狹縫2A和第2狹縫2B分別由多條狹縫2形成的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明不限于此，第1狹縫2A和第2狹縫2B可以分別是1條。而且，在上述實(shí)施方式中，對(duì)將第1狹縫2A和第2狹縫2B排列形成在激光L的光路上、利用遮光單元3將通過(guò)第2狹縫2B的激光L的光路打開(kāi)關(guān)閉的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明不限于此，可以不設(shè)置遮光單元3，而使充分離開(kāi)形成的第1狹縫2A和第2狹縫2B相互移動(dòng)地進(jìn)行切換。另外，在上述實(shí)施方式中，對(duì)第1狹縫2A和第2狹縫2B是形成于掩模5的開(kāi)口的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明不限于此，可以是形成于金屬板的橫截面為細(xì)長(zhǎng)狀的貫通孔。而且，在上述實(shí)施方式中，對(duì)使用第1狹縫2A的衍射極限光將液晶顯示面板17的藍(lán)色彩色濾光片20B剝離的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明不限于此，也能使用于半導(dǎo)體基板等的制造工藝中的薄膜的提離。并且，在上面的說(shuō)明中，使用本發(fā)明的激光照射裝置對(duì)液晶顯示面板的亮點(diǎn)缺陷修正方法進(jìn)行了描述，但是本發(fā)明不限于此，激光照射裝置如果是從波長(zhǎng)不同的多種激光中根據(jù)其照射目的選擇波長(zhǎng)而照射到照射對(duì)象物的裝置，則可以是任意的裝置。附圖標(biāo)記說(shuō)明1：激光振蕩器2：狹縫2A：第1狹縫2B：第2狹縫3：遮光單元4：物鏡17：液晶顯示面板18A、18B、18G：液晶單元19：相對(duì)電極基板（基板）20A、20B、20G：彩色濾光片21：間隙22：黑矩陣23：黑色粉塵Ob：照射對(duì)象物L(fēng)：激光L1：第1激光L2：第2激光